15光學(xué)薄膜透、反射率的常用測(cè)量方法

光學(xué)薄膜的檢測(cè)光學(xué)薄膜透、反射率的常用測(cè)量方法薄膜透射率和反射率的測(cè)量薄膜透射率與反射率主若是采用光譜測(cè)試分析儀進(jìn)行測(cè)試；透射率和反射率是光學(xué)薄膜器件的最基本的光學(xué)特征，所以薄膜反射率和透射率測(cè)試是光學(xué)薄膜的基本測(cè)試技術(shù)；依照波段不同區(qū)分為：紫外－可見光分光光度計(jì)、紅外分光光度計(jì)；按測(cè)試原理不同區(qū)分為：?jiǎn)紊珒x分光光度計(jì)和干涉型光譜測(cè)試系統(tǒng)；光譜儀：?jiǎn)紊珒x型分光光度計(jì)原理單色儀

光源照明光學(xué)系統(tǒng)

樣品池單色儀傳感器處理系統(tǒng)光源：穩(wěn)壓電源、可見(鎢絲燈或鹵鎢燈)、紫外(氙燈)、紅外(鹵鎢燈);照明系統(tǒng)：光束整形與匯聚；單色儀：由色散原件、狹縫機(jī)構(gòu)以及色散原件的掃描驅(qū)動(dòng)；光柵和棱鏡光電傳感系統(tǒng)：由光電探測(cè)器和辦理電路構(gòu)成；可見光電接收器：光電三極管、光電倍增管、CCD紅外光電接收器：硫化鉛光敏電阻、紅外半導(dǎo)體傳感器或熱電偶原理第一不放樣品，測(cè)出100％透射的光譜信號(hào)；放入樣品測(cè)試光譜信號(hào)；兩個(gè)信號(hào)進(jìn)行比較獲取透射率；特點(diǎn)需要2次測(cè)量，測(cè)量速度慢；對(duì)光源的穩(wěn)固性以及系統(tǒng)的穩(wěn)固性要求極高；單色儀型分光光度計(jì)有單光路與雙光路兩類雙光路測(cè)試參照光和主光束：分別被探測(cè)器接收；透射率：兩信號(hào)相除；測(cè)試前要進(jìn)行系統(tǒng)光譜校訂；樣品池參比池單色光探測(cè)器干涉型光譜分析系統(tǒng)紅外：2.5～25um；應(yīng)用邁克爾遜干涉儀對(duì)不同波長(zhǎng)的光信號(hào)進(jìn)行頻率調(diào)制，在頻率域內(nèi)記錄干涉強(qiáng)度隨光程改變的完好干涉圖信號(hào)，并對(duì)此干涉信號(hào)進(jìn)行傅立葉逆變換，獲取被測(cè)光光譜；特點(diǎn)：信噪比高，重復(fù)性好，分辨率高，掃描速度快光譜儀測(cè)試一般步驟一般光譜儀開機(jī)后要進(jìn)行初始化；進(jìn)行樣品測(cè)試參數(shù)設(shè)定；擱置樣品，進(jìn)行測(cè)試；測(cè)試中的注意問題測(cè)量樣品口徑的影響：當(dāng)樣品小于光斑尺寸(1cm2)，采用光闌限制；測(cè)試樣品的厚度：對(duì)于較厚的樣品在參照光路中也要放入等厚樣品測(cè)試樣品楔形角影響：光束盡量準(zhǔn)直＋適用大口徑的積分球探測(cè)；測(cè)試樣品后表面：依據(jù)空白基板的雙面透射率，從樣品雙面透射率數(shù)值中求出前表面的透射率數(shù)值；光芒的偏振效應(yīng)：樣品垂直擱置＋偏振測(cè)試裝置；儀器的光譜分辨率：選擇適合的分辨率，濾光片要求分辨率高；空氣中某些成分的汲取帶影響：二氧化碳汲取，方法是樣品室充氮；光譜分析測(cè)試系統(tǒng)-透射率的測(cè)量偏振測(cè)量原理任意角入射，形成偏振光測(cè)試；晶體偏光棱鏡：產(chǎn)生偏振光；偏光棱鏡＋樣品臺(tái)=入射角可變的多角度透射與反射測(cè)試系統(tǒng)；

光源單色儀樣品臺(tái)光電探測(cè)器偏光鏡光源為部分偏振光時(shí)，薄膜偏振特征的測(cè)量偏振棱鏡的測(cè)試方法圖（a）擱置：圖（b）擱置：對(duì)自然光透射率分光棱鏡的透射率為兩種擱置狀況下所得透射率的均勻值。進(jìn)一步求得各自的值解上述方程組得：取兩只特性一樣棱鏡按上圖所示放置方位互成90度第三次測(cè)量透射率

，光譜分析儀器比較性能Lamda900PECary5000島津UV365Hitachi4100光譜175～3330175～3330190～2500185～3330分辨率0.08nm0.1nm0.1nm0.1nm透射精度0.000080.00030.0010.0003反射測(cè)試可以可以可以偏振測(cè)試可以可以可以光譜分析測(cè)試系統(tǒng)-反射率的測(cè)量反射率的測(cè)量不如透射率測(cè)量普及；透明帶內(nèi)：R=1-T；汲取帶內(nèi)：R=1-T-A；對(duì)于汲取膜系或是對(duì)消耗敏感的激光高反射膜來說，反射測(cè)量不可少；光譜分析測(cè)試系統(tǒng)-反射率的困難不簡(jiǎn)單找到在很寬波段范圍內(nèi)擁有100％反射率性能長(zhǎng)遠(yuǎn)穩(wěn)固的參仍舊品；在反射率測(cè)量中，因?yàn)榉瓷涔饴返淖儞Q敏捷，對(duì)有樣品和無樣品時(shí)，光斑在光電探測(cè)器光敏面上的地點(diǎn)常常改動(dòng)，這以致偏差明顯增加；各種薄膜器件對(duì)反射率測(cè)量的測(cè)量范圍和精度多有不同的要求。減反射膜要求反射率的精度低于0.1％，而激光高反射膜要求反射率在高于99％的范圍內(nèi)能夠有優(yōu)于0.01％的測(cè)量精度；光譜分析測(cè)試系統(tǒng)-單次反射法測(cè)量反射率此反射測(cè)試系統(tǒng)為小角度的斜入射系統(tǒng)。光譜分析測(cè)試系統(tǒng)-多次反射法測(cè)量反射率單次反射時(shí)參仍舊品反射率影響測(cè)試精度；V-W型測(cè)試：參仍舊品先放于地點(diǎn)a處，測(cè)試信號(hào)I1；測(cè)試樣品放于b處，測(cè)試信號(hào)I2，則R=(I1I2)1/2樣品的反射率為：利用激光諧振腔測(cè)試激光高反射鏡的反射率激光器的諧振腔由一塊全反射鏡和一塊半反半透的鏡(輸出鏡）構(gòu)成；當(dāng)輸出鏡選定，全反鏡反射率改變0.1％，出射激光的強(qiáng)度改變10％，所以能夠經(jīng)過出射激光強(qiáng)度的變化來測(cè)定反射鏡的反射率；分光光度計(jì)中影響測(cè)量的因素：測(cè)量樣品的口徑對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響，假如受樣品形狀和尺寸的影響，一部分測(cè)量光沒有經(jīng)過樣品，需要選擇適合的小孔光闌。大氣汲取對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響，二氧化碳汲取帶水蒸氣的汲取帶回對(duì)測(cè)量結(jié)果帶來較大影響。樣品楔角對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響，鍥形的測(cè)試樣品會(huì)影響測(cè)量精度。測(cè)試樣品厚度對(duì)測(cè)試結(jié)果的影響，較厚的高折射率基片會(huì)使光束在接受器光敏面的匯聚狀況發(fā)生變化，從而惹起測(cè)量偏差。測(cè)試樣品后表面的影響，測(cè)試透過率時(shí)不可防止會(huì)引入后表面的影響，需要經(jīng)過計(jì)算除去此種影響。分光光度計(jì)中影響測(cè)量的因素：光源、單色部分狹縫的寬度、探測(cè)器的精度以及光學(xué)系統(tǒng)的穩(wěn)固性都會(huì)影響測(cè)量結(jié)果。光芒傾斜入射時(shí)，需要除去入射光偏移帶來的測(cè)量偏差和偏振態(tài)問題帶來的測(cè)量問題。860nm時(shí)，掃描光芒會(huì)出現(xiàn)突跳現(xiàn)象，這是因?yàn)楣獍叩攸c(diǎn)的變化和偏振效應(yīng)造成的。特別規(guī)光譜特征的測(cè)量，需要自己設(shè)計(jì)測(cè)量附件進(jìn)行測(cè)量。

詳細(xì)測(cè)量中的一些問題入射光地點(diǎn)偏移帶來測(cè)量的問題假如測(cè)自然光的傾斜入射透過率，因?yàn)槿肷涔馄駪B(tài)的問題帶來測(cè)量問題突跳現(xiàn)象

入射光地點(diǎn)偏移帶來測(cè)量的問題

加光路賠償鏡入射光地點(diǎn)偏移帶來測(cè)量的問題探測(cè)器用積分球

測(cè)自然光的傾斜入射透過率，因?yàn)槿肷涔馄駪B(tài)的問題帶來測(cè)量問題

加消偏器加起偏器T=(Tp+Ts)/2沒有消偏器和起偏器時(shí)將入射面旋轉(zhuǎn)90度測(cè)量二次T=(T1+T2)/2

突跳現(xiàn)象

突跳現(xiàn)象產(chǎn)生的原因這