缺陷檢查培訓演示

（優(yōu)選）缺陷檢查培訓目前一頁\總數(shù)二十三頁\編于十二點21xxCapabilities2目前二頁\總數(shù)二十三頁\編于十二點3目前三頁\總數(shù)二十三頁\編于十二點RunOverview4目前四頁\總數(shù)二十三頁\編于十二點RunonewaferInspectionQueue5目前五頁\總數(shù)二十三頁\編于十二點6目前六頁\總數(shù)二十三頁\編于十二點7目前七頁\總數(shù)二十三頁\編于十二點8目前八頁\總數(shù)二十三頁\編于十二點9目前九頁\總數(shù)二十三頁\編于十二點StoppingtheInspection10目前十頁\總數(shù)二十三頁\編于十二點DefectOverviewWhymonitordefects?

Toimproveproductionyields,defectsneedtobemonitoredandstatisticallyanalyzedateachstageofwaferproduction.11目前十一頁\總數(shù)二十三頁\編于十二點DefectSort1.False:Foundnothingafterreviewwithinspectiondata.2.Unkown:Defectswerefoundbutthereisnosuitabledefectcodetoassign.3.Fallonparticle:Particleonsurfaceofpatten.

4.Infilmparticle:Particlewascontainedinfilm,suchaspoly,HDP,metalandsoon.HDPPoly12目前十二頁\總數(shù)二十三頁\編于十二點5.Scratch:Especiallyforscratchcausedbyrobot,othertoolpartsorman-made.Defectmap:Defectiamge:MicroMacro13目前十三頁\總數(shù)二十三頁\編于十二點6.Discolor:Colordifference7.Masking：Shouldbeetchedbutstillremian(poly,SiN,spacer,metalandsoon).

Someconnectmorethantwolines,it’sbridge(killer).14目前十四頁\總數(shù)二十三頁\編于十二點8.Ringlikedefect:SuchasdefectscausedbyARCsplash,usuallyrelatedtoPHOTO.PolyMetal9.Grapelikedefect:InducesbyPHOTOPU.15目前十五頁\總數(shù)二十三頁\編于十二點10.Residue：Alwayshappenafterwetstationclean.11.Pattenabnormal:Roughness,Defocus,Pattenshiftandsoon.RoughnessDefocusPattenshiftPattenAbnormal16目前十六頁\總數(shù)二十三頁\編于十二點12.Concave:COP（Crystalorientedpits）,OxideLoss，Pits.13.Peeling:Patternshiftormissing（Wplugisoneofpeeling,alwaysappearatwaferedge.）17目前十七頁\總數(shù)二十三頁\編于十二點14.Blind:CTorViahavenotbeenopened.15.Pattendamage:MetaldamagePolybrokenispattendamagetoo,alwayshappenduringHighImp.18目前十八頁\總數(shù)二十三頁\編于十二點16.WResidue:1).CausedbyOxideLoss;2).CausedbyCMP.NORMALABNORMAL17.Under_Pat：Underlayerpatternfailissue.19目前十九頁\總數(shù)二十三頁\編于十二點18.Salicide_abnormal:Salicidepoorformation.19.Grain:Includingpolyormetalgrain.20目前二十頁\總數(shù)二十三頁\編于十二點20.Slurry:

21.PR/Polymer_remain:PRhasnotbeenstrippedcompletely,typicallycontainsCarbon21目前二十一頁\總數(shù)二十三頁\編于十二點22.Arcing:23.Lineopen:22目前二十二頁\總數(shù)二十三頁\編于十二點24.Corrosion:Causedbyetch