電子元器件抗ESD技術(shù)講義

電子元器件抗ESD技術(shù)講義引言隨著電子元器件技術(shù)的發(fā)展，靜電對元器件應(yīng)用造成的危害越來越明顯。一方面，電子元器件不斷向輕、薄、短、小、高密度、多功能等方向發(fā)展，因而元器件的尺寸越來越小，尤其是微電子器件，COMSIC中亞微米柵已進(jìn)入實(shí)用化，柵條寬度達(dá)到0.18um，柵氧厚度為幾個nm或幾十個?，柵氧的擊穿電壓小于20V。尺寸的減小，就使電子元器件對靜電變得更加敏感。而大量新發(fā)展起來的特種器件如GaAs單片集成電路（MMIC）、新型的納米器件以及高頻聲表面波器件（SAW）等多數(shù)也都是靜電敏感元器件；另一方面，在電子元器件制造和應(yīng)用環(huán)境中，作為靜電主要來源的各種高分子材料被廣泛采用，使得靜電的產(chǎn)生更加容易和廣泛。因此，必須應(yīng)用各種抗靜電放電損傷的技術(shù)，使靜電對電子元器件的危害減小到最低的程度。編寫本講義的主要目的是對電子元器件制造和應(yīng)用行業(yè)的有關(guān)技術(shù)和管理人員進(jìn)行“電子元器件抗靜電放電損傷技術(shù)”的基礎(chǔ)培訓(xùn)。本講義主要分為4個章節(jié)的內(nèi)容。第1章“電子元器件抗ESD損傷的基礎(chǔ)知識”，介紹有關(guān)靜電和靜電放電的基本原理，以及對元器件損傷的主要機(jī)理和模式；第2章“制造過程的防靜電損傷技術(shù)”，重點(diǎn)介紹在電子元器件制造和裝配過程中，對環(huán)境和人員的靜電防護(hù)要求，以保證電子元器件在制造和裝配過程中的靜電安全；第3章“抗靜電檢測及分析技術(shù)”，主要介紹對電子元器件的抗ESD水平進(jìn)行檢測的技術(shù)。包括國內(nèi)外抗ESD檢測的主要標(biāo)準(zhǔn)，檢測的模型和方法以及實(shí)際的一些檢測結(jié)果和遇到的問題；并介紹了對ESD損傷的元器件進(jìn)行失效分析的技術(shù)，包括一些常用和有效的分析技術(shù)及其適用的條件和技巧。還討論了ESD損傷和過電（EOS）損傷的幾種判別方法和技術(shù)。第4章“電子元器件抗ESD設(shè)計技術(shù)”，介紹電子元器件抗ESD損傷的設(shè)計技術(shù)，主要包括抗ESD設(shè)計的主要原則、基本保護(hù)電路和最先進(jìn)的大規(guī)模CMOS電路中保護(hù)電路的設(shè)計技術(shù)。本講義的內(nèi)容既有通用的基本理論和知識，也收集了國內(nèi)外的相關(guān)資料和數(shù)據(jù)，還有我們自己在工作中遇到和解決的實(shí)際案例、數(shù)據(jù)和圖片等。講義的內(nèi)容既有理論性，更注重實(shí)用性，希望能為從事電子元器件制造和應(yīng)用行業(yè)的有關(guān)技術(shù)和管理人員提供較為具體的技術(shù)指導(dǎo)和幫助。第1章電子元器件抗ESD損傷的基礎(chǔ)知識本章主要介紹有關(guān)靜電和靜電放電的基本原理，產(chǎn)生的危害以及對元器件損傷的主要機(jī)理和模式。1.1靜電和靜電放電的定義和特點(diǎn)什么是靜電(Electrostatic，staticelectricity)？通俗地來說，靜電就是靜止不動的電荷。它一般存在于物體的表面。是正負(fù)電荷在局部范圍內(nèi)失去平衡的結(jié)果。靜電是通過電子或離子轉(zhuǎn)移而形成的。靜電可由物質(zhì)的接觸和分離、靜電感應(yīng)、介質(zhì)極化和帶電微粒的附著等物理過程而產(chǎn)生。那什么是靜電放電（ElectrostaticDischarge，ESD）呢？處于不同靜電電位的兩個物體間的靜電電荷的轉(zhuǎn)移就是靜電放電。這種轉(zhuǎn)移的方式有多種，如接觸放電、空氣放電。一般來說，靜電只有在發(fā)生靜電放電時，才會對元器件造成傷害和損傷。如人體帶電時只有接觸金屬物體、或與他人握手時才會有電擊的感覺。對電子元器件來說，靜電放電（ESD）是廣義的過電應(yīng)力的一種。那么什么是過電應(yīng)力呢？其中的ESD又有什么特點(diǎn)？廣義的過電應(yīng)力（ElectricalOverStress，EOS）是指元器件承受的電流或電壓應(yīng)力超過其允許的最大范圍。表1.1是三種過電應(yīng)力現(xiàn)象的特點(diǎn)比較。燥表睜1.在1起三餃種過不電應(yīng)撒力現(xiàn)婦象的稻特點(diǎn)朵比較尤閃電遮（L床ig冠ht液ni外ng洲）柔過電香（E術(shù)OS袖）掠靜電抬放電盛（E伍SD練）旗極端虜?shù)母叱饓合箻O大顏的能傭量徑低電奏壓（對16刑V）埋持續(xù)鴨時間珠較長遙較低考的能頂量肆高電尋壓（設(shè)4k法V）姜持續(xù)胡時間妨短（秩幾百踢納秒斷）耐很低污的能呼量何快速舊的上倒升時乞間棄臂從表缺中可版以看嚇到，莊靜電疫放電沸現(xiàn)象檢是過乎電應(yīng)產(chǎn)力一訪種，仍但與蝶通常并所說黑的過蹈電應(yīng)遷力相屑比有月其自受身的應(yīng)特點(diǎn)昆：首芽先其抵電壓腫較高番，至租少都緊有幾修百伏槐，典腎型值句在幾李千伏邁，最兆高可芒達(dá)上敲萬伏圾；其寄次，房持續(xù)準(zhǔn)時間沃短，滾多數(shù)漿只有盛幾百姑納秒中；第抓三是檔相對訓(xùn)于通袖常所期說的科EO肉S，錄其釋延放的章能量妙較低含，典膀型值熔在幾乏十個懶到幾瓣百個箏微焦痰耳；豎另外蹦，E券SD朋電流甩的上舒升時按間很穿短，染如常輛見的彎人體篇放電翁，其潤電流寇上升既時間瓶短于咽10鵲ns合。擾1.峰2擦對氧靜電帽認(rèn)識居的發(fā)郊展歷遭史職誤人類援對靜傅電放士電危漁害的耽認(rèn)識奧也是質(zhì)經(jīng)歷虎了一聽段漫濤長的耐歷史嚷，電敗子行借業(yè)認(rèn)蔬識到盯ES羞D的斥危害湯只是喘最近博幾十雜年。灘表軍1.閉2列擦出了拆人類縮尤其遵是電葉子行乖業(yè)對帳ES巾D認(rèn)神識的泊發(fā)展的過程片，。脖表務(wù)1.上2沃姓對E冰SD匆認(rèn)識剛的發(fā)休展餡1滿千百訊年前臟，靜雕電對晉人類觀來說機(jī)曾經(jīng)聾是非眠常神非秘的垂2望中國叫發(fā)明騾了火貴藥后逃，靜艘電對藝火藥誰制造佳行業(yè)情不再乎神秘姓了脂3臂美國凍獨(dú)立安戰(zhàn)爭施期間薪，火竄藥是刺在有鐘潮濕續(xù)的泥限墻和濤泥地遮的房較子里政制造鍋的積4霜現(xiàn)在續(xù)，在頂靜電節(jié)火花蒙可能佛引起廚爆炸棒的行捎業(yè)如海面粉壁廠、遇醫(yī)院答的手乘術(shù)室組都采支取了漫特殊移的防隔靜電尼措施鄙。從5惹在其帳它行四業(yè)，罪靜電死仍然捷是神凝秘緞6幼在4繳0和久50辜年代蘿，在專塑料還和膠濕片制啊造行醬業(yè)，嘴發(fā)現(xiàn)滲靜電界問題塌7宣在5爬0和溉60支年代震，在莊電子繡行業(yè)理，出更現(xiàn)靜坦電問熟題?？食３l(fā)生演奇怪丑的失壺效，向在光西學(xué)顯就微鏡拿下看蘆不到暴失效扛原因賓。失啄效分火析的結(jié)結(jié)論模是原禮因不拴明惕8明MO湯S晶節(jié)體管防的普前及和僻IC匹的發(fā)勵展使場靜電僚問題工加劇賞9嶼70焰年代窗，I逢C的擠幾何石尺寸虛縮小散使問余題更漸糟肉10端真正政的突稼破是葡半導(dǎo)斑體領(lǐng)凝域掃澤描電令子顯誘微鏡管的應(yīng)萬用（濾70徐年代蟻后期怕），粒第一魯次即域使最包小的爸ES否D損姐傷也遠(yuǎn)能看派到沸11債19帖79服年，處EO吐S/彩ES蚊D研尤討會礎(chǔ)成立期，摸主要釀研究爽ES深D問兔題，醋尋求吧解決鬧方法爬12象80登年代燃初期蠻，多秒數(shù)主趁要的捉電子侄制造貧商建攝立了參他們恒的E滿SD團(tuán)組織梯，負(fù)跪責(zé)E剖SD役問題駝13宗EO佩S/錯ES希D也乖許是撒當(dāng)今煤電子憐制造掃行業(yè)煮最主結(jié)要的犁失效攀機(jī)理喊1.銹3少靜吹電的重產(chǎn)生威通常福物體廊保持叉電中鹽性狀趁態(tài)，械這是程由于瑞它所油具有濃的正宰負(fù)電眠荷量棵相等蒸的緣驕故。返如果駝兩種和不同球材料圖的物糕件因周直接觀接觸慶或靜正電感夫應(yīng)而載導(dǎo)致揀相互蠢間電偉荷的旋轉(zhuǎn)移煤，使固之存苦在過帝剩電未荷，說這樣察就產(chǎn)匹生了召靜電護(hù)。帶刻有靜嘆電電宅荷的玻物體泄之間追或者頑它們筍與地糞之間做有一廈定的個電勢充差，輩稱之限為靜跑電勢盞。貿(mào)擾靜電庭產(chǎn)生饑的方謙式有劫很多扣，如暫接觸推、摩等擦、緞沖流跪、冷玉凍、暮電解呆、壓克電、族溫差玉等，訓(xùn)但主伸要是暴兩種織形式崖，即費(fèi)摩擦炕產(chǎn)生伸靜電陸和感概應(yīng)產(chǎn)位生靜貫電，睡如圖拐1.盞1所穿示。疫前者炭是兩背種物伏體直竿接接告觸后跨形成食的，吃通常滲發(fā)生好于絕更緣體婚與絕祖緣體家之間待或者辛絕緣膽體與害導(dǎo)體經(jīng)之間搞；后視者則桶發(fā)生瞧于帶何電物或體與品導(dǎo)體躁之間詞，兩曾種物給體無欠需直出接接釋觸。晶1旱.疏3高.1喪碎摩擦奉產(chǎn)生滿靜電豆當(dāng)兩晉種具亮有不品同的食電子夜化學(xué)墳勢或晶費(fèi)米瑞能級滔的材攻料相鋒互接來觸時叛，電慘子將躬從化寸學(xué)勢籍高的否材料李向化森學(xué)勢間低的猶材料羞轉(zhuǎn)移蔑。當(dāng)敲接觸悲后又串快速炸分離大時，征總有志一部墻分轉(zhuǎn)充移出惱來的倚電子逆來不只及返似回到六它們提原來甩所在挽的材碌料，沖從而濕使化啟學(xué)勢顛低的這材料捧因電澤子過且剩而很帶負(fù)還電，潛化學(xué)期勢高防的材父料因耗電子屑不足挪而帶贏正電腹。對姑絕緣提體而飾言，涼由于洗電子保不易比移動陸，過寶剩電業(yè)荷將添在接盼觸表驚面附孔近累嘗積。萌顯然螞，這唉種方連式產(chǎn)勵生的詳靜電駛荷與同相互筍接觸孩的兩笨個物牛體分煙離的道速度侮有關(guān)吳。芝實(shí)際奏上，孟只要廟兩種歷不同麻的物朱體接虹觸再巾分離閃就會譜有靜門電產(chǎn)碑生。謹(jǐn)?shù)杉子谀θ廉a(chǎn)答生的洽熱能驢為電窮子轉(zhuǎn)頓移提洪供了歌足夠巖的能決量，屯因此豈使靜油電產(chǎn)雪生作棄用大撥大增逼強(qiáng)。娃當(dāng)兩撈種物決體相慕互摩覽擦的得時候認(rèn)，接舟觸和驢分離閘幾乎棄同時泊進(jìn)行慢，是繞一個符不斷憶接觸事又不平斷分捷離的捧過程回。分猾離速贊度快餃、接貝觸面叫積大筋，使賣得摩聽擦所頓產(chǎn)生旬的靜頂電荷壞比固未定接調(diào)觸后團(tuán)再分駛離所峽產(chǎn)生雹的靜鵲電荷脂的數(shù)規(guī)量要曠大得塞多。炊摩擦咱生電熔主要棉發(fā)生才在絕誠緣體告之間殼，因島為絕卻緣體屬不能護(hù)把所犁產(chǎn)生積的電育荷迅喪速分獲布到掠物體咳整個柔表面附，或掏迅速腰傳給路它所奇接觸偷的物盼體,頓所以詞能產(chǎn)踢生相殿當(dāng)高爆的靜公電勢菌?？荼?犁.3饞是常肚見物爛體帶非電順賽序表誤，從劉帶正號電依魚次排層列到料帶負(fù)窗電，內(nèi)其中度任何侄兩種看物體研摩擦喜時，挖可以忘按此噴表來嗎判斷瘡它們姻帶電攔的極豆性，跳還可偵以大叼致估依計所狀帶電境荷的扶多寡潤程度指。排成在前賭面的揪材料娛與排祖在后禮面的于材料觸相互眨摩擦飽時，稼前者禾帶正唇電，戶后者舅帶負(fù)捷電。藝同種猜材料袖與不季同材龜料相沿互摩莖擦?xí)r吉所帶筆電荷瓜的極沙性可田能不忘同，裁如棉仁布與賭玻璃掃棍摩議擦帶艱負(fù)電迫，但當(dāng)與硅最片摩沖擦?xí)r聰帶正后電。該棉布鼻與玻像璃摩拼擦后魂所帶懂電量家大于殺它與悅尼龍欠摩擦醋所帶門電量朝。膠摩擦裝產(chǎn)生申靜電拆的大串小除扎了與默摩擦補(bǔ)物體抬本身導(dǎo)的材才料性霞質(zhì)有邀關(guān)之役外，物還要俱受到管許多斑因素奉的影純響，謹(jǐn)如環(huán)處境的猾濕度約、摩淋擦的霉面積愧、分高離速攝度、犁接觸捷壓力喂、表妙面潔梁凈度傅等。馳表1羊.3賭是常菜見物基體帶傳電順天序表奮序號書材料諒序號堤材料養(yǎng)序號姻材料戒正電適荷方鎖向岔8正羊毛卷1鴉6低硬橡習(xí)皮訊1滿空氣仿9吩絲綢寬17射鑷、膜銅諸2督人的野手慣10忘鋁吵18眾黃銅醋、銀華3薪兔毛個11蹤紙芬19丑聚酯臘人造瞇纖維棟4證玻璃嗽12蜜棉布棚20種聚乙指烯陳5得云母夜13席鋼溉21匯聚丙覽烯膠6笨頭發(fā)骨14得木材郊22柔聚氯狂乙烯援(P滿VC僵)恨7升尼龍禮15用琥珀雅負(fù)電拾荷方柏向勇(a膚)骨摩擦踐生電坦喜晝生用源劍赤仆水某尚(路b)料感歐應(yīng)生銳電錘圖鴉1.魔1圾靜電建產(chǎn)生瞇的兩篩種形寬式喪1貍.相3華.春2圾感厲應(yīng)產(chǎn)徐生靜則電烤靜紗電產(chǎn)抄生的父另一漢個重源要來鈔源是使感應(yīng)皮生電燥。當(dāng)厘一個債導(dǎo)體毯靠近野帶電碰體時癢，會環(huán)受到胸該帶脹電體伸形成成的靜嚷電場箭的作小用，悉在靠君近帶須電體閱的導(dǎo)屑體表凝面感軌應(yīng)出斥異種鍛電荷悅．遠(yuǎn)期離帶駐電體套的表微面出丟現(xiàn)同糕種電果荷。窯盡管卻這時資導(dǎo)體蹲所帶祖凈電途荷量襯仍為紀(jì)零，腰但出慌現(xiàn)了崗局部甲帶電率區(qū)域霜。顯屆然，清非導(dǎo)銹體不竭能通何過感罩應(yīng)產(chǎn)遍生靜場電。勤1.召3.螺3策靜招電荷穿辨靜電滋的實(shí)遷質(zhì)是怨存在垂剩余系電荷但。電礦荷是絲所有川的有那關(guān)靜燒電現(xiàn)鑄象本蛾質(zhì)方木面的陣物理此量。而電位努、電炊場、遭電流覆等有膛關(guān)的明量都很是由界于電恥荷的添存在國或電省荷的莫移動妙而產(chǎn)狗生的屠物理簽量。紋在科映研院噴所、嘩高等賞院校努、檢將測站枯和工將礦企刻業(yè)等掙部門稍經(jīng)常非需要浩測量輩物體理的電訪荷量賊或電乓荷密尿度。感表示因靜電胳電荷純量的緩多少古用電素量Ｑ藍(lán)表示哲，其養(yǎng)單位殊是庫甩侖Ｃ筆，由蒼于庫繼侖的穗單位循太大撥通常誓用微繪庫或扮納庫茄1庫煮侖（璃C）貫＝1遠(yuǎn)6微秧庫（遲μ堪C）畝1微浴庫(轟μ骨C)慎＝慮13砍納庫晝(仇μ察C)尼1.清3.飄4山靜沙電勢薄雖然屋靜電跟電荷鵲是表鄉(xiāng)征靜裂電的國最直漁接的浴參量柏，但肉人們距又常削說靜討電電圣壓幾繩千伏敲或幾親萬伏上。其脊含義僑是什么么呢權(quán)？與羽那些鞭因素永有關(guān)張？下咳面討亡論這虎個問捎題。召前面蝴已經(jīng)中提到罵，帶溪有靜傘電電將荷的銜物體饞之間咽或者役它們護(hù)與地繭之間建有一寒定的鞋電勢扭差，覽這就降稱之肅為靜攤電勢化，也字叫靜無電電唇壓。傅實(shí)際而環(huán)境蹤中產(chǎn)靈生的先靜電延電壓鼻通常杜是指繁帶電記體與術(shù)大地彼之間呢的電奪位差尋。如純果將仙大地閥作為歡零電見位，紡靜電蛋帶電男體的準(zhǔn)靜電著電壓畫顯然平有正思負(fù)之箏別，稱通常棍說靜仁電電恭壓幾抱千伏有或幾仗萬伏狠是指亞其絕谷對值救。魂靜電格帶電崇體與跨另一鎖個物煌體或汗大地鑰之間隔的電旅位差封與哪叼些因雅素有迅關(guān)呢喇？通蜜常把召靜電球帶電魚體與江另一慕個物陡體或株大地航看成娛一個潮電容如器。僵電容躁器的糧電容紅量C午、電混容器重一個北電極粉上的言電荷李量Q佛和電罵容器色兩個烤極間妻的電讀位差澇V之型間有潑如下遍關(guān)系彎：窯V=低（1泡.1扇）謎從式坑1.鍋1可陣以知禍道，烏靜電絕帶電性物體頂?shù)碾娹D(zhuǎn)容對除其靜呆電勢老有顯暗著影舞響。樸帶電葛物體員與另襲一個魔物體蔽或地跑之間華的靜局電電惹壓與胖它們月之間繞的電緊容量寬成反匙比，鑼即電緩容量枝越小寺，靜格電電們壓越辮大。麻靜電噴荷相申同，木靜電綢勢可挺能有競數(shù)量除級的奧差別否。號如將民式1僻.1這中的事電容期等效駁成平字板電訪容器案，其惜電容稼量C額可表盜示為的：科C=莫密嚼嚼燈杰昆其峰擾圍害箭壇（1咳.2?。┳訟為狹電容絡(luò)器面屬積、霜ε免為兩瞎板之品間物忌質(zhì)的易介電扒常數(shù)壇、d點(diǎn)為兩稅板之教間的湊距離耍。將尤（1泛.2獵）帶住入（濃1.斤1）察得：隔V盡=賀農(nóng)孫蝦沸賊（1離.3再）灰從（育1.驕3）鼻式也貸可以閉了解異與靜購電電奧壓有捐關(guān)的需各因喪素。攏例：帝人體蹲帶靜琴電，蕉其靜餓電電轉(zhuǎn)壓與賭所帶軋的電翅荷量宵Q和夠人腳玻與地脫面的嶺距離條d成亂正比秒，與染兩腳瞧的面傾積A掩（如代果人壓是站版立的測）和彼腳底燒面與顧地間咱的物化質(zhì)的哀介電鍵常數(shù)辯ε沒成反絲比。桐又例淘：局在桌暫面的沾聚乙茶烯袋搬的靜先電勢穿為幾驕百伏謀，當(dāng)楚人將早袋子扔提起備離開狹桌面耗時，餃因它飲對地探間距好增大脹，電靠容減收小，晌會使龍靜電回勢增理加到斃幾千線伏。后1屑.3充.5棗搖影狐響靜湯電產(chǎn)嶺生和匪大小死的因鉛素秩靜電弄的產(chǎn)右生及好其大既小與惑環(huán)境碑濕度爽和空蜂氣中林的離蟲子濃謝度有溉密切哨的關(guān)菊系。電在高代濕度在環(huán)境殿中由競于物倍體表玉面吸直附有神一定跑數(shù)量漸雜質(zhì)職離子春的水洪分子柳，形職成弱呀導(dǎo)電還的濕揀氣薄撥層，甚提高田了絕律緣體眾的表卡面電客導(dǎo)率嫁，可語將靜哨電荷市散逸患到整終個材但料的艇表面給，從蜜而使傅靜電京勢降德低。交所以譜，在浸相對喬濕度眼高的償場合想，如泳海洋賄性氣刷候地熄區(qū)(足如我娃國的岔東南禁沿海饒地區(qū)部)或比潮濕鞋的梅尾雨季錢節(jié)，蛛靜電與勢較贏低。虛在相待對濕砌度低陡的場粥合，死如大錘陸性般氣候香地區(qū)輝(如速我國字的北僵方地彩區(qū))洲或干式燥的依冬季回，靜距電勢屋就高礎(chǔ)。與帽普通扯場所煎相比剩，在祥空氣戚純凈脾的場赴所(鼠如超彈凈車趨間)厭內(nèi)，俱因空錘氣中盯的離慌子濃來度低繪，所環(huán)以靜餐電更總加容風(fēng)易產(chǎn)趨生。盡表1滾.4振是電港子生蓮產(chǎn)中尚產(chǎn)生饑的靜享電勢罵的典彩型值敢。從干中可憐以看見到，爺同樣溪的動汽作在罵不同鄰的濕姻度下撇，產(chǎn)掘生的鹽靜電膚電壓匹可以咬相差朽一個因量級欲以上蒙。遮表1嗎.4屯勁電子鳳生產(chǎn)錢中產(chǎn)丈生的蛋靜電榜勢的頸典型革值（耳單位哄：V黨）盈事件富相對弟濕度影10野％螺40旋％拋50慌％匹走過素乙烯拒地毯圣12秤00鼠0丑50聾00證30臥00教在工伐作椅蓄上操勁作人須員的省移動凱60開00淘80卷0凈40槍0娛將D郊IP脂封裝眉的器旦件從唉塑料畝管中粥取出侮20邀00亦70愁0英40惕0密將印氏刷電喪路板屈裝進(jìn)撒泡沫貧包裝清盒中汪21醒00偽0描11承00聽0辣55井00膝1.治4劑靜擊電的唇來源比在電澤子制繳造業(yè)類中，比靜電劣的來電源是紡多方秒面的冤，如箏人體收、塑慎料制握品、公有關(guān)若的儀爬器設(shè)傻備以巷及電左子元惠器件貿(mào)本身筍。歪1.范4.械1甚人聰體靜銹電吩人體稻是最聞重要蓮的靜長電源晴，這嗽主要摧有三危個方償面的糞原因虜。其桑一，習(xí)人體托接觸尺面廣炸，活捧動范筐圍大閃，很賞容易卷與帶扇有靜鈴電荷改的物速體接呆觸或譽(yù)摩擦扛而帶洲電，區(qū)同時委也有禁許多爪機(jī)會區(qū)將人暖體自球身所鬼帶的檔電荷蓋轉(zhuǎn)移韻到器胡件上童或者考通過粥器件磨放電冷。其卡二，激人體渠與大旬地之做間的茄電容牧低，陪約為況50溫一2戲50電pF躬，典洗型值堡為1釣50干PF富，故難少量苗的人蹤體靜用電荷頭即可喂導(dǎo)致虛很高郊的靜曲電勢豎。其鴉三，堵人體儉的電鵝阻較受低，技相當(dāng)葛于良停導(dǎo)體貼，如津手到雷腳之分間的訪電阻虧只有執(zhí)幾百膨歐姆咽，手纖指產(chǎn)糕生的簡接觸購電阻嗽為幾胖千至倍幾十浪千歐帖姆，選故人鼓體處常于靜克電場唯中也樣容易所感應(yīng)絡(luò)起電通，而鄭且人筐體某排一部汪分帶唉電即誕可造問成全沒身帶勉電。陜影響柄人體辰靜電絹的因菜素十焰分復(fù)帥雜，徐主要席體現(xiàn)勒在以篇下幾劍個方臟面：凱(1紗)覺人體脈靜電制與人個體所慣接觸健的環(huán)融境以慎及活僚動方敞式有宴關(guān)賄表灰1.碎4列權(quán)出了吹在幾液種活住動中套人體娛的靜鞠電勢江，圖斤1.駐2則醬給出糠了操編作人致員在仰做不肉同的眼動作另時手得上靜誦電勢薦的變澡化曲進(jìn)線。隸圖1耀.2伴操作步者手進(jìn)上的溪靜電兇(2撞)渴人命體靜釋電與躍環(huán)境興濕度目有關(guān)摔，濕業(yè)度越孫低則保靜電卵勢越慘高。則從表瞎1.光4可命以清句楚地宗看到免這一所點(diǎn)。緒(3肌)柏人陳體靜煙電與桌所著曬衣物岸和鞋告帽的摩材料寒有關(guān)餡，化踐纖和里塑料查制品海較之茅棉制冒品更華容易錘產(chǎn)生誠靜電俘。工銅作服迷和內(nèi)護(hù)衣摩殖擦?xí)r膏產(chǎn)生慣的靜盼電是狡人體撓靜電偶的主窗要起鋪因之撐一，也表1倦.5缺列出妹了質(zhì)眠地不源同的截工作倆服和燈內(nèi)衣圣摩擦澤時人檔體所摸帶的蝶靜電傾勢。也表1科.5耀眨質(zhì)地栗不同字的工晴作服磁和內(nèi)巡衣摩蟲擦?xí)r洽人體逃的靜孕電勢恨（k女V）士(4蜜)斧人找體靜油電與咱個體輝人的應(yīng)體質(zhì)勻有關(guān)鉗，主蓬要表千現(xiàn)在球人體阿等效友電容娃與等圈效電堤阻上障。人擱體電干容越駱小，猛則因肝摩擦輪而帶粘電越防容易盼，帶親電電精壓越程高，境人體脅電阻域越小膊，則恥因感微應(yīng)帶赴電越壯容易鹽。人吳體電魔容與糖所穿翁戴的捕衣服土和鞋征的材雞料以要及周昨圍所擦接觸魚的環(huán)娘境(令特別私是地裹板)疤有關(guān)龜，人流體電株阻則六與皮貝膚表況面水比分、豆鹽和駕油脂凡的含引量、敵皮膚看接觸尤面積桶和壓伐力等惡因素碗有關(guān)估。由秋于人嗚體電室容的下60抱％是吼腳底膽對地遺電容遵，而分電容雨量正育比于著人體室與地去之間酷的接邪觸面柜積，年所以司單腳秀站立映的人置體靜尼電勢口遠(yuǎn)大常于雙結(jié)腳站遵立的迎人體醉靜電毒勢。紅六金(5士)人航體靜墾電與柜人的獵操作沾速度朗有關(guān)臨，操嚼作速衫度越慈快，即人體海靜電疾勢越訊高。繁由圖題1.氏2可恭以看繩出這眼一點(diǎn)換。片(6迅)仆人體曬各部案位所字帶的吐靜電功電荷孟不是驕均等雁的，催一般奪認(rèn)為范手腕第側(cè)的理靜電旱勢最愁高。干1.集4.擁2忘儀逢器和唱設(shè)備驕的靜旺電譯弊儀器唯和設(shè)揉備也晌會由嗎于摩滋擦或康靜電幅感應(yīng)毫而帶簽上靜侮電。答如傳春輸帶淹在傳瑞動過米程中廟由于窩與轉(zhuǎn)消軸的苗接觸漠和分昌離產(chǎn)囑生的崗靜電科，或適是接不地不黎良的練儀器盆金屬章外殼正在電折場中瘋感應(yīng)卷產(chǎn)生捏靜電勤等。議儀器波設(shè)備度帶電妨后，備與元純器件銀接觸偽也會僑產(chǎn)生蛇靜電勢放電損，并貨造成飽靜電兇損傷哈。診1.積4.慧3簽器綱件本定身的椒靜電恥電子薪元器績件的納外殼辜(協(xié)主要哥指陶瘦瓷、孝玻璃擠和塑否料封連裝管獅殼)洪與絕麗緣材說料相晌互摩奏擦，困也會界產(chǎn)生解靜電礦。器安件外劫殼產(chǎn)翁生靜揉電后瑞，會盞通過卷某一只接地悄的管售腳或陵外接銅引線趕釋放賴靜電蹄，也香會對飄器件謊造成摧靜電錫損傷赤。緞1.命4.址4住其糟它靜市電來像源接除上惱述三碼種靜莖電來誠源外身，在徐電子先元器撒件的奮制造喪、安瑞裝、蠅傳遞育、運(yùn)厲輸、朋試驗后、儲腫存、旬測量體和調(diào)依試等大過程斑中，孝會遇耍到各擔(dān)種各攀樣的您由絕凝緣材背料制賴成的壞物品響，如駐表1羽.6升所列翁。這降些物腿品相哀互摩逃擦或駝與人穗體摩愚擦都寫會產(chǎn)脹生很表高的尼靜電柱勢。訊表1傻.顆6嚼臺電子率元器霧件操摘作環(huán)到境的丹其它食靜電課源堅1.伯5須靜碼電放困電的尺三種繳模式輛靜電籃對電扒子產(chǎn)甜品的飽損害覆有多襖種形民式，愉其中燃最常近見、鮮危害澡最大駱的是謀靜電倍放電翠（E串SD嚇）。傭帶靜況電的俯物體踐與元村器件桿有電步接觸湊時，寫靜電挽會轉(zhuǎn)蜘移到武元器羨件上誤或通隨過元各器件捐放電圖；或演者元彼器件巧本身拴帶電戚，通罩過其婆它物初體放虜電。封這兩劃種過普程都慈可能萌損傷啞元器楚件，壽損傷凳的程跨度與費(fèi)靜電駐放電消的模裁式有引關(guān)。贏實(shí)際毯過程償中靜猜電的繪來源閑有很詳多，輛放電株的形跡式也皺有多盤種。山但通背過對坊靜電便的主輪要來袖源以矮及實(shí)廣際發(fā)雄生的樂靜電肢放電部過程斤的研魚究認(rèn)糞為，劉對元跨器件休造成稠損傷埋的主蘭要是石三種截模式愿，即依帶電句人體箱的靜兩電放繭電模膊式、穩(wěn)帶電間機(jī)器莖的放度電模帳式和午充電托器件慘的放略電模拔式。報圖1暗.3西和1溜.4獵分別印是人然體放聞電和瘋充電睡器件腦放電狹的實(shí)喘例圖顏。玉1.考5.陰1淚帶盤電人拖體的塔放電伐模式切(H害BM汗)僵申由于壯人體送會與討各種求物體衫間發(fā)逢生接刮觸和遣磨擦塑，又坊與元位器件森接觸帖，所還以人譽(yù)體易阻帶靜纖電，駛也容鈔易對霧元器挑件造科成靜位電損旅傷。絨普遍捷認(rèn)為善大部案分元裙器件蛙靜電橋損傷誰是由陰人體揉靜電須造成尾的。巖帶靜鋒電的覆人體相可以確等效挑為圖懲1.片5的銳等效荷電路撥，這臥個等朽效電慈路又唉稱人些體靜課電放價電模搬型（掩Hu饞ma背n仍Bo泳dy仗M乓od拆el敏）。住其中丙，V羅p帶萌靜電蓮的人互體與羽地的短電位椒差，舌Cp牙帶靜尾電的壯人體仗與地奶之間蚊的電仔容量釀，一循般為似50亮-2隔50蓋pF給；R耍p人叼體與直被放耗電體債之間期的電敵阻值奧，一混般為耀10再2需-1閉0該5但Ω鞋。膛圖1灘.3帖沫人體宗放電潑實(shí)例余府尺喚繞劈釀露拌葛自王圖粉1.狡4面充為電器黑件放越電實(shí)霸例CMCM＋－VMRPCP＋－VP騎圖1笛.5臉帶項電人吹體的育靜電讀放電鐘模型辟嶺揀圖商1.津6帶抱電機(jī)伴器的孫放電啟模型黨人體織與被死放電才體之邀間的朝放電幸有兩虧種。栽即接罰觸放沒電和痰電弧醒放電季。接雜觸放旱電時姑人體僵與被交放電毒之間呈的電統(tǒng)阻值炊是個是恒定擊值。茄電弧治放電含是在價人體侮與被伯放電解體之典間有夢一定沿距離鐵時，卸它們菠之間淺空間派的電謠場強(qiáng)生度大英于其釀介質(zhì)妨（如涂空氣檢）的惱介電踩強(qiáng)度鍋，介買質(zhì)電韻離產(chǎn)哈生電廣弧放席電，山暗場什中可拿見弧梳光。采電弧武放電傘的特丘點(diǎn)是溪在放炎電的顧初始誘階段冤，因碧為空權(quán)氣是月不良腦導(dǎo)體鵲，放窄電通薦道的遣阻抗起較高拴，放冬電電頓流較盤??；抬隨著配放電椒的進(jìn)尾行，德通道劈溫度林升高書，引昆起局狼部電嫩離，件通道鮮阻抗期逐漸罷降低耐，電偏流增毛大，春直至困達(dá)到役一個赴峰值味；然河后，強(qiáng)隨著堤人體將靜電溫能量逗的釋帖放，共電流職逐漸拳減少睜，直戀至電翅弧消涂失。蜜承1.磁5.遷2遺帶電額機(jī)器胡的放附電模造式（縣MM咳）永增機(jī)器豎因為唉摩擦轎或感葉應(yīng)也炕會帶餐電。指帶電拉機(jī)器懲通過弄電子天元器丈件放再電也銷會造回成損件傷。司機(jī)器最放電飄的模消型（突Ma奴ch堪in躬e襖Mo鑄de扁l）侮如圖送1.口6所重示。液與人罰體模握式相藍(lán)比，鞠機(jī)器宇沒有投電阻驕，電躁容則微相對商要大濟(jì)。特1.顫5.弦3暴充葡電器啊件的惜放電族模型研在元復(fù)器件綿裝配剖、傳屢遞、古試驗殖、測著試、籍運(yùn)輸另和儲盆存的展過程疲中由益于殼恩體與偷其它糞材料營磨擦鴨，殼落體會順帶靜妥電。吐一旦烈元器填件引溪出腿挨接地誠時，歪殼體義將通脂過芯妙體和房引出揭腿對素地放劈電。病這種膜形式戒的放協(xié)電可劑用所說謂帶欲電器享件模奪型(金Ch盡a金rg逃e今d-走De突vi顧ce競M價od歷e耍l，鄭C捎DM火)來她描述江。下泛面以斜雙極品型和旁MO六S型滑半導(dǎo)歷體器永件為堪例給介出靜麗電放那電的居等效悅電路訴。咸雙極禁型器燈件的和C怎DM雖等效低電路竊如圖芝1.謠7(竊a)若所示恰，C雜d為職器件覺與周渡圍物膝體及光地之奮間的謠電容蝕，L夸d為胸器件朝導(dǎo)電紙網(wǎng)絡(luò)姨的等它效電銷感，燭Rd尊為芯撫片上計放電胞電流頌通路得的等己效電竊阻。景串聯(lián)漁著的臣Rd釀、C知d和酷Ld冬等效餅于帶潔電器值件。丹開關(guān)相S合吩上表憲示器逆件與證地的帽放電付接觸株，接她觸電摔阻為沈R卻c狗。否(b評)臨圖1廊.7拋玉帶電慧器件澇的靜鴨電放崇電模抹型枯（a止）星雙極躍型器湖件蚊（b棉）平MO摸S椅器件宅M且OS立器件跌的C熊DM昨等效陡電路勿如圖免1.需7(寺b)部所示俗。由傳于M總OS沖器件烈各個塊管腿月的放指電時廊間長滲短相華差很陣大，知所以掌要用足不同舞的放逐電通機(jī)路來煙模擬轟，每憂條放核電通盼路都恭用其欺等效繡電容叛、電遺阻和勉電感藝來表勢示。盲當(dāng)開繁關(guān)S主閉合脅而且歸有任悉一個煙管腿急接地拉時，丈各通童路存唱儲的窄電荷悟?qū)⒁卜烹娢?。若?zhàn)在放飯電過予程中龍，各斃個通押路的議放電淹特性微不同束，就財會引饞起相寫互間退的電方勢差刪。這拾一電泳勢差御也會平造成謝器件你的損帝壞，霞如柵祥介質(zhì)悉擊穿懂等。鈔器件隱放電檢等效推電容擇Cd靜的大塞小和垃器件夠與周動圍物違體之墾間的狐位置嫌及取造向有壘關(guān)，史表1用.撈7騙給出揪了雙偵列直客插封攤裝器豬件在花不同益取向另時的現(xiàn)等效勻電容眠值，兄可見局管殼惕的取末向不快同，換電容麗可相悲差十癢幾倍頓，因焰而其蛙靜電認(rèn)放電貪閾值娘可以燙有顯恒著差圾別。陜表1貿(mào).7迷雙列撒直插線封裝腹器件牛在不暖同取區(qū)向時侵的電梨容值站(p鴿F)也1.朱6桶靜似電放漁電失允效螞1.暗6.寄1咐失乓效模理式疊桐電子箏元器推件由蹦靜電奪放電炎引發(fā)暮的失森效可蒜分為貫突發(fā)攏性失仰效和常潛在鋸性失拳效兩案種模話式。物突發(fā)蓮性失犁效是和指元減器件達(dá)受到田靜電著放電駱損傷閘后，界突然利完全鐮喪失暗其規(guī)挖定的劈功能療，主周要表剃現(xiàn)為情開路洽、短識路或扮參數(shù)茅嚴(yán)重糕漂移夫，具錦體模貧式如徹：雙優(yōu)極型濕器件偉的射培一基歲間短料路，著場效熟應(yīng)器湯件的醒柵一歐源間織或柵前一漏駛間短健路或員開路綠，集置成電攏路的堂金屬姓化互楚連或第鍵合喘引線軟的熔振斷，尸多晶坦硅電描阻開怠路，懸M哈OS餅電容返介質(zhì)蹲擊穿天短路腳等。馬潛在睬性失農(nóng)效是帆指靜放電放貞電能討量較范低，外僅在漢元器紙件內(nèi)渾部造尸成輕恰微損臉傷，販放電濫后器澆件電朱參數(shù)搖仍然鋸合格懸或略無有變愉化，微但器販件的其抗過旦電應(yīng)繼力能剃力已貍經(jīng)明淋顯削優(yōu)弱，身或者忌使用鉗壽命排已明哭顯縮黎短，己再受捆到工教作應(yīng)憶力或原經(jīng)過塌一段進(jìn)時間今工作舅后將棉進(jìn)一價步退從化，煌直至旋造成充徹底臂失效拆。遼塘旗在使門用環(huán)瑞境中飯出現(xiàn)連的靜役電放地電失灑效大過多數(shù)術(shù)為潛魚在失喝效。輸據(jù)統(tǒng)搶計，蘇在由余靜電改放電匪造成惕的使邊用失朵效中覽，潛計在性歌失效摸約占搏90茂％，肯而突濫發(fā)性嶼失效此僅占弦10灘％。敬而且傘，潛珍在性對失效蹤比突開發(fā)性蘋失效華具有湯更大苗的危業(yè)險性疑，這緊一方跪面是形因為堪潛在初失效肌難以盞檢測著、而弓器件席在制討造和薦裝配毅過程村中受低到的桌潛在泛靜電償損傷歪會影吸響它拍裝入放整機(jī)深后的降使用耀壽命絕；另哄一方夸面，挎靜電過損傷鋒具有挽積累劍性，愁即使叫一次圣靜電鼻放電病未能俱使器乘件失憂效，漁多次張靜電類損傷桌累積終起來驗最終線必然乓使之搜完全究失效瓣。路1.學(xué)6夜.2開陜失效佛機(jī)理幼水稀靜電橫放電芽失效伍機(jī)理徒可分電為過綢電壓有場致處失效類和過慨電流方熱致莖失效惹。過淹電壓錘場致遠(yuǎn)失效框多發(fā)織生于仁MO名S器嗚件，枝包括捐含有僵MO毀S電例容或房鉭電云容的助雙極啞型電唇路和牙混合箏電路慢；過本電流線熱致傻失效型則多炸發(fā)生拿于雙謙極器狀件，惠包括亂輸入蹦用p制n結(jié)費(fèi)二極更管保末護(hù)的蝴MO蠻S電彼路、嗎肖持?jǐn)z基二慘極管王以及燙含有兇雙極勸器件造的混魚合電衡路。貨實(shí)際紡元器用件發(fā)從生哪雪種失披效，磨取決趟于靜會電放注電回稅路的守絕緣不程度工。如昆果放蘇電回勺路阻撤抗較避低，銹絕緣士性差俱，元惠器件掏往往北會因獎放電谷期間勿產(chǎn)生迫強(qiáng)電計流脈隙沖導(dǎo)事致高箏溫?fù)p鑒傷，應(yīng)這屬貞于過賤電流工損傷武。如活果放幣電回正路阻壺抗較秧高，未絕緣卻性好物，則叉元器本件會日因接閃受了纏高電飄荷而巡產(chǎn)生緞高電潤壓，故導(dǎo)致荷強(qiáng)電倉場損己傷，禁這屬井于過亡電壓漁損傷無。尤(品1慶)焦什過電移壓場賢致失雁效拌過電秋壓場妖致失貴效是姑指高厲阻抗睬的靜烈電放醋電回脆路中統(tǒng)，絕鬧緣介晚質(zhì)兩燈端的途電極茫因接扇受了灑高靜根電放正電電枝荷而塊呈現(xiàn)扮高電舅壓，自有可嶼能使趕電極淺之間牛的電至場超姨過其煩介質(zhì)息臨界繡擊穿思電場提，使鞠電極沖之間厚的介左質(zhì)發(fā)軋生擊休穿失扎效。填高靜曬電電穩(wěn)荷和窗高電秋壓的嚴(yán)來源旅既可顆以是成靜電項源直念接接妻觸放鋪電、你也可宋以是海由于腥場感吐應(yīng)而撞產(chǎn)生驚的。邀影響咱過壓仰失效招的主誦要因球素是搬累積句的靜根電電談荷量廳和高帶電壓掩。趨僵探對于宴MO跨S器券件玉(慶包括貍MO彼S電痰容)蛇和固棄體鉭狼電容捉，電際極間母介質(zhì)鋪的電透場超路過其演擊穿賭臨界晌電場樸(對雕于S托iO蝴2爺，臨沖界場啊強(qiáng)為額(7互-1敘0)發(fā)×駕10揪6路V蹤／c熔m)蠻時，帽介質(zhì)羊?qū)泳褪l(fā)才生擊奧穿而改使M劫OS妹器件找的柵襖一源府或柵拒一漏君之間押或電躲容的陣電極廊之間艷短路倘。計等算表芳明，礙當(dāng)人詠體電偶容為采10鏟0久p膽F、孔放電惠電阻登為2蝕0女0摘Ω陣時，童作為三靜電杯放電萍源的監(jiān)人體端的靜池電勢水，只津要有拘11腎00漁V獎就可臭使鑰62勇.5彩nm嘗厚度題的氧粗化層露被破丸壞。失氧化述層越貿(mào)薄或源者氧傷化層秘電場聽越強(qiáng)由，則偷越容珠易出斤現(xiàn)這渡種失狡效，掏所以宏具有快強(qiáng)氧們化層趨電場潮的礙V例MO銹S功偏率器卻件以璃及具調(diào)有更陶薄的貝柵氧敲化層李的V檔LS踏l互MO或S電掏路（爹柵氧避厚度職已達(dá)堂幾個偉nm粱），墻比常西規(guī)M龍0燕S陜器件宋更容份易受逐到過涌電壓懸損傷恒。無桶論是比MO些S器摟件或膛電容段，當(dāng)哥介質(zhì)樓層有插針孔肉或缺警陷時瑞，擊疲穿將之首先傭在針幅孔或隔缺陷稠處發(fā)撤生。晶而對妖MO袖S器煌件來盒說，晉柵介探質(zhì)擊偏穿常順常發(fā)濁生在拾柵一忙漏或穩(wěn)柵一叼漏交殼接處薯，因證該處塵不僅澆電場狡集中裹，而峽且作川為薄釋厚氧蜓化層漿交接銅的臺續(xù)階所萄在，蜘應(yīng)力脾也集賊中，辜故介桐質(zhì)擊雅穿強(qiáng)緒度較調(diào)低。泳如果流靜電戀放電調(diào)能量效不足蝕以造振成器榆件的楚永久且性損串壞，綠即擊員穿后萬器件攤性能摧有可精能恢和復(fù)，街但已消引入芝潛在也缺陷察，繼劈續(xù)使斑用會加經(jīng)常艇出現(xiàn)渠低電守壓擊死穿和腐漏電轟增加膨，不歡久即肢會出慶現(xiàn)致仿命失炮效。辣對于攔CM絕OS輪硅柵刊器件向，靜貝電放病電造政成的攏潛在噸損傷盈會使讓n溝蠢道器顛件出辱現(xiàn)柵軌一源喇管道渣漏電遇，使陰p溝損道器寒件柵壓一源擾間呈穩(wěn)現(xiàn)二里極管判特性券，對萌電路擁的正匯常工戰(zhàn)作造仍成不乖良影紫響，吳如圖返1.策8所握示。扭圖擊1.愚8擇段CM侵OS垂硅柵懂器件打的柵艙一源秤管道旗漏電乞害競對于傲雙極搬型器并件，遙過電需壓場脈致?lián)p果傷沒冠有M顏OS陳器件那那樣片顯著論，靜錢電放沙電常板常在印pn哄結(jié)擴(kuò)忍散窗多口邊攔緣處飯的表鼓面附處近形址成電霉場，舍形成拖局部吧損傷烈使p耗n結(jié)劍反向璃電流坑增大今。申在集柿成電擾路中毅，如陡果鍵漂合引約線與旺芯片全的電旁源線卻之間傍距離禁太近霜，或攪者相彈鄰鋁相條之遙間的筐距離典很近更，則擾當(dāng)靜敵電導(dǎo)右致它增們之休間的乖電壓娘超過挪空氣筋擊穿梯電壓暫時，秩就有的可能歌發(fā)生藥氣體奶電弧打放電拐，形太成電侵火花猶，導(dǎo)斥致鋁課條或旁金屬扶引線壺的熔橡化、瞞結(jié)球豐或流廢動。靈在具彎有高堆密度柱和細(xì)蠢間距慕金屬抱化互瓦連的睛超大膛規(guī)模啄集成拿電路作、具紙有梳零狀電尤極的項超高漆頻晶象體管葛以及攜具有宇小間披距薄仇層電械極的技聲表類面波郊器件燃中，友容易林發(fā)生爸這種軋失效軋。療捏（框2）蚊過電鴿流熱古致失號效予規(guī)過電汽流熱索致失潤效是盈由于趙較低炒阻抗重的放燈電回歇路中溝，由生于靜沉電放網(wǎng)電電西流過網(wǎng)大使蒙局部糕區(qū)域賄溫升練超過豎材料叢的熔烘點(diǎn)，方導(dǎo)致艷材料最發(fā)生餃局部敲熔融掩使元果器件鈴失效線。影抄響過光流失牛效的錯主要計因素趕是功低率密誕度。桂走火拿靜電盤放電態(tài)形成此的是削短時走大電標(biāo)流，孟放電滲脈沖差的時蒸間常撫數(shù)遠(yuǎn)沫小于漁器件魚散熱窄的時傍間常英數(shù)。收因此具，當(dāng)滲靜電局放電溝電流布通過鳳面積雨很小們的把pn港結(jié)或捐肖特店基結(jié)知時，西將產(chǎn)喜生很竹大的連瞬間借功率張密度鋤，形汪成局口部過牧熱，潤有可難能使膨局部仗結(jié)溫岸達(dá)到椒甚至現(xiàn)超過耀材料胞的本奶征溫羽度(歐如硅腔的熔棋點(diǎn)1僵41箭5括℃畝)，信使結(jié)磚區(qū)局敞部或炎多處婦熔化割導(dǎo)致尿pn越結(jié)短煉路，野器件悔徹底招失效拾。這育種失盛效的捉發(fā)生由與否嗚，主水要取復(fù)決于候器件礎(chǔ)內(nèi)部據(jù)區(qū)域艙的功衡率密頓度，弄功率組密度濃越小掀，說趣明器飲件越脂不易嗚受到培損傷啄。而寨器件率內(nèi)部僚的功尸率密桃度大激小除憑與器寸件自健身的貼材料距有關(guān)泡外，葬還與呢靜電牽放電靜的電否流幅厲度、煉脈沖江寬度眾和作癢用的尖面積亞密切鼓相關(guān)籌。在惜總能慎量（唱總靜序電電等荷）肉不變短的情虹況下辣，使墾pn件結(jié)熔島化所匪需的嶼功率葛密度攤可由固下式寺表示盤:馬萍們自(竭1第.4灣)心式中列，P鄭為功快率，罩A為甜結(jié)面紡積，辜κ父、醫(yī)ρ豆和C邀p粗分別揉為半博導(dǎo)體止的熱屢導(dǎo)率上、密查度和菌比熱槍，T財m和歇Ti慚分別熟為破暈壞溫細(xì)度和庸初始墾溫度滲(一辨般為明室溫晝)，棟t曉為施幕加功欲率的怨持續(xù)舞時間捧即放臘電脈壯沖的亞寬度吸。對牌于硅者而言彈，訊ρ強(qiáng)＝2其.證33職g赤／c愚mJ狐，C燙p＝耀0.共75帽5J鏈／8飼·奪K，踩κ危＝0膚．3文06即W／修cm矮：．透K，帖T劃m＝械16娛88艷K。象由實(shí)撇際測齡量得跨到的博和由淚式(猴1.鑒4敘)畫需出的販硅器瀉件功編率密題度與咳脈沖冒寬度失的曲涉線如俱圖1具.肥9所塞示。手射回路黎中靜選電放衣電的蜜時間朵是由篇回路合中的健電阻桃和電冊容決悅定的崗,即有訴τ緊=R物C。炊因此孫，增商加放斬電回能路的偏串聯(lián)袋電阻屆和電超容是堂減小添ES考D損捆傷的笛有效猴途徑代。如萄硅功祥率器酸件，抖由于厭輸入愉端有暖大電卵容組扒成的味阻抗遷匹配桑網(wǎng)絡(luò)司，其辜抗E祖SD蛇水平幕就比擁較強(qiáng)瘦。協(xié)放電象回路練高阻項區(qū)（牧如p射n結(jié)息）的綠橫截春面積桑為A洲，增償加放理電回紹路高墨阻區(qū)探的橫廣截面裙積也膛是減族小E悼SD扮損傷杠的重乏要途累徑。茂圖蓄1.倒9燈導(dǎo)致艘硅器黃件靜疲電放方電熱緒破壞芽的功吳率密饞度與潔脈沖落寬度震關(guān)系槽曲線債――岔―告與－杰．－碌均為宜理論敘擬合科曲線降，后甚者的嫩結(jié)面豈積是成前者薄的十連分之枯一灑反偏鍋pn悅結(jié)比鑰正偏芹pn牙結(jié)更靜容易興發(fā)生雷熱致紐失效量，在尤反偏翼條件退下使模結(jié)損靈壞所枯需要佩的能針量只姨有正打偏條告件下攪的十而分之菊一左鬼右。燈這是饅因為嚇反偏趨時，曲大部探分功攔率消網(wǎng)耗在吹結(jié)區(qū)裁中心患，而就正偏吹時，偵則多倒消耗感在結(jié)飲區(qū)外焰的體這電阻暫上。寫對于境雙極休器件本，通賣常發(fā)分射結(jié)漢的面免積比我其它棋結(jié)的莫面積稈都小現(xiàn)，而虹且結(jié)淺面也首比其火它結(jié)當(dāng)更靠嚇近表東面，奧所以外常常歪觀察布到的稈是發(fā)跌射結(jié)居的退典化。然此外拐，擊見穿電尚壓高待于1川00辨V或辱漏電柳流小奸于1截nA宏的p綢n結(jié)嚇(如嗚JF圈ET疏的柵目結(jié))途，比陵類似毫尺寸拾的常污規(guī)p紡n結(jié)汗對靜棍電放跑電更嘆加敏俊感。裹腫艇對于著靜電侄放電錫熱致星失效滋，環(huán)鈴境溫篇度越銜高，摩發(fā)生星失效纖所需迎的靜先電能夫量越踩低，源越容湖易發(fā)騰生此識類失傷效。輔表1塘.8波給出侍了不歇同工寺藝制示造的蛛MO井S電丑路在曲25犯℃罷和l脫25芽℃舞下的哲靜電滔放電誠失效撒電壓蘭值。燭表1蜜.糞8橫不困同溫臺度下虜M0撇S器屬件靜肥電放隔電失我效電燭壓值褲除了限對p奔n結(jié)封造成梨熱破堅壞之舍外，動靜電軋放電馬的大踏電流革脈沖拔功率主還可挨能造臥成其稿它破浩壞。痰它有庸可能師使金失屬互洽連線杜或鍵煩合線榜熔化棟而開小路，真這常歌常出太現(xiàn)在娛金屬塌條截蜜面積村小的衛(wèi)地方歪，如潮鋁條債橫跨逼氧化飛層臺盾階處怪，因伴這種坡地方做電流逢密度排大而狼且結(jié)燦構(gòu)薄覆弱，醒容易便形成箏過熱河點(diǎn)。東對于括淺銷p油n結(jié)若和肖犬特基放結(jié)，躬靜電拜放電間形成判的焦全耳熱橫可導(dǎo)椅致區(qū)扶域溫航度超醉過鋁拿一硅昏共熔費(fèi)點(diǎn)溫墾度，伙使金雕屬化牛滲入認(rèn)硅內(nèi)男部，炭穿透法pn紀(jì)結(jié)使淚器件縱失效墨。在井集成腿電路已中，芹靜電生形成嗽的脈助沖電冰流還捕有可勾能使挨寄生時的器販件導(dǎo)握通，罪產(chǎn)生全各種牛不希矩望的刻效應(yīng)判，如藥CM憤OS君電路白的閂剝鎖效痰應(yīng)和苦功率損晶體級管的遵二次通擊穿功效應(yīng)叛等。轟外需要蛋強(qiáng)調(diào)滲的是完，無蒸論是舍過壓哨失效照還是飄過流癥失效舅，都啄必須左考慮摟時間桑效應(yīng)園。靜必電脈鼠沖雖扶然電歡壓很攻高，般但相磚對其裕它E千OS做應(yīng)力爐而言息其能壓量較封低，吉放電千脈沖僵時間醬很短忘。這呢也是招器件夠的E印SD甘失效籠閾值卻電壓般遠(yuǎn)高堂于其龍額定撒工作艇電壓稼的原耐因。汁第2勇章窗制造崖過程穗的防志靜電練損傷惕技術(shù)掉靜電尸現(xiàn)象且是客傾觀存蜘在的臨，防蝶止靜賣電對漂元器腦件損姑傷的兇途徑紅只有皇兩條饅：一兔是從活元器叫件的牽設(shè)計鈔和制攝造上窮進(jìn)行緞抗靜誦電設(shè)俘計和冠工藝且優(yōu)化以，提畢高元哄器件濟(jì)內(nèi)在死的抗坑靜電噸能力洗；另御一方胡面，泉就是粘采取綱靜電科防護(hù)送措施栗，使石器件袍在制誼造、浩運(yùn)輸施和使代用過礙程中飄盡量郊避免流靜電博帶來潮的損攻傷。渡對元洗器件扛的使朗用方蔥，包荒括后零工序前廠家睜、電叢路板第、組塘件制專造商王以及秀整機(jī)貼廠商哈來說扣，主禿要甚艇至只脈能采授取后電一種俯方法進(jìn)來防鵲止或貿(mào)減少個靜電三對元步器件杜的損漂害。挺2匹.1欲思靜電獻(xiàn)防護(hù)亮的作說用和得意義謹(jǐn)為什唱么要名在制仍造過互程中愈采取示防靜糊電控浮制措謝施？山我們陷從以識下三聲個方絲面來爺說明訊。滴2.臣1.氧1渴多點(diǎn)數(shù)電錘子元候器件氧是靜閃電敏景感器洽件崖多數(shù)嚇未采飯取保劉護(hù)措睬施的僑元器牌件靜盒電放斷電敏味感度王都是廣很低例，很挑多在訓(xùn)幾百明伏的耗范圍徒，如慮MO劍S單晶管在奶10邀0-被20購0V脅之間籮，G考aA霉s歉FE娛T在贊10往0－切30芹0V析之間耐，而洪且這點(diǎn)些單側(cè)管是收不能漆增加以保護(hù)銳電路癢的；看一些偷電路忘尤其捉是C惰MO香S急IC崗采取岔了靜才電保漫護(hù)設(shè)罵計，粘可雖唱然以棗明顯慚的提尸高抗窄ES喂D水伙平，謀但大俊多數(shù)斥也只臉能達(dá)描到2盡00心0－列40騙00欺V，遺而在丹實(shí)際柱環(huán)境淚中產(chǎn)軋生的猛靜電難電壓達(dá)則可笑能達(dá)旋到上惰萬伏猛（如錘第1揚(yáng)章的暴表1衛(wèi).4寬和表速1.賄6。聲因此餐，沒商有防民護(hù)的希元器至件很珠容易帶受到墨靜電累損傷故。而桿且隨齒著元避器件則尺寸樸的越醬來減修小，閘這種譯損傷撤就會嘴越來繁越多放。所誓以我練們說韻，絕去大多竊數(shù)元接器件昏是靜燒電敏沒感器鉤件，濕需要僚在制鼻造、騾運(yùn)輸踏和使銹用過版程中球采取濤防靜地電保弓護(hù)措濤施。含表航2橫.1冤列出站了一河些沒納有靜跪電保用護(hù)設(shè)丑計器溪件的讀靜電憶放電塊敏感增度。茂表昆2帶.1辭賀一些愧器件飲的靜腥電敏劈感度校器件偵類型白實(shí)例洞靜電閑敏感慣度(您單位篩kV錘)家MO本SF耗ET機(jī)3C俯O、薪3D規(guī)O系袖列準(zhǔn)0譜.1就-0記.2衡JF衫ET畜3C沈T系泄列普0.揀14阻-1捷.0粗Ga依As增F共ET識0.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外界沾電場郊(如呢經(jīng)過迎高壓很設(shè)備披附近罵，工絨人移東動頻駁繁、劣車輛擠迅速專移動誘等)弟而受幕到破陸壞，仰所以單傳送芝與運(yùn)紗輸過蛙程需困要特展別注扣意以袍減少混損失錦，避辰免無嶄謂之塞糾紛樸。測所以挽，從梨元器餐件的醋制造夕，使督用到南維修維的任汪一環(huán)臨節(jié)都占有可愚能發(fā)厚生靜廢電損元害?；?.藏3敵靜電絕防護(hù)日的目倉的和及總的困原則叫2忌.中3罰.1嶄礙目的方和原勤則量靜電街防護(hù)喘的根壩本目效的是零在電爐子元威器件鄭、組溪件、悠設(shè)備裕的制畫造和誕使用牛過程振中，符通過榮各種啊防護(hù)擴(kuò)手段姑，防瘦止因雕靜電穩(wěn)的力匪學(xué)和詢放電凍效應(yīng)哲而產(chǎn)恩生或元可能己產(chǎn)生疾的危治害，波或?qū)⒋暨@些先危害悶限制四在最店小程債度，努以確沫保元酒器件踩、組寫件和劣設(shè)備免的設(shè)尖計性耀能及蝦使用啟性能晴不致膜因靜茶電作汽用受仁到損餐害。麻前面燒我們朗已經(jīng)委提到臨，電賭子工燕業(yè)中匙靜電生危害屬的主戚要形塘式是抖靜電哪放電掉引起蜻的元津器件希的突鉤變失姥效和筆潛在械失效墊，并娘進(jìn)而紐造成兄整機(jī)除性能夾的下伏降或擴(kuò)失效虜。所朝以，泊靜電爺防護(hù)師和控健制的發(fā)主要愿目的趕應(yīng)是可控制魯靜電臺放電梨，亦季即防察止靜么電放閉電的籃發(fā)生袋或?qū)⑴蜢o電產(chǎn)放電逝的能魂量降感至所錄有敏照感器龜件的葡損傷完閾值長之下暗。治從原凱則上馬說靜移電防糟護(hù)應(yīng)辟從阿控制軋靜電患的產(chǎn)是生和繁控制行靜電抗的消襲散觀兩方功面進(jìn)磁行，駛控制乓靜電掃產(chǎn)生隊主要半是控半制工嘩藝過反程和誠工藝樂過程幟中材黎料的晶選擇及；控嫩制靜筆電的惜消散全則主藥要是見快速膽而安電全地眉將靜撞電泄悟放和滴中和論；兩斧者共際同作框用的腸結(jié)果信就有鄉(xiāng)可能鍛使靜返電電爽平不犯超過承安全莫限度街，達(dá)戶到靜殼電防可護(hù)的查目的吼。名2.列3.孔2樸基本亂思路屠和技咱術(shù)途通徑笛幅靜電止放電吃會對撕器件出造成丹損害芒，但畫通過狠采取品正確胃和適盟當(dāng)?shù)陌朱o電失防護(hù)疊和控計制措姜施，擊建立乞靜電雅防護(hù)冰系統(tǒng)鬧，那剖么就乳可以黃消除望或控歪制靜其電放姑電的字發(fā)生辦，使簽其對叨元器恰件的霉損害某降至逆最小鴉。對帳靜電懂敏感哥器件燭進(jìn)行變靜電臘防護(hù)黨和控游制的付基本滔思想體有兩向條：碗(庭1)即對低可能象產(chǎn)生互接地?zé)牡氐穹揭獟乐褂X靜電螺的聚渴集，情及采咸取一監(jiān)定的鉛措施豆，避混免或爹減少沸靜電羽放電生的產(chǎn)繡生，恭或采沿取壞“偉邊產(chǎn)礙生邊宣泄漏是”譜的方湯法達(dá)黎到消喇除電盼荷積翻聚的決目的走，將蟲靜電叔荷控持制在膜不致商引起擦產(chǎn)生業(yè)危害負(fù)的程幣度?？顚σ鸭S存在結(jié)的電歉荷積適聚，能迅速寸可靠蜘地消仗除掉若。偶所以鮮生產(chǎn)施過程蚊中靜斜電防僵護(hù)的冶核心塘是鞏“脖靜電閑消除坡”紗。為倍此可別建立調(diào)一個楊靜電缸完全世工作遭區(qū)，溜即通宴過使臺用各繞種防剪靜電匙制品拍和器睛材，拋采用伐各種冷防靜同電措咳施，擴(kuò)使區(qū)折域內(nèi)駱的可先能產(chǎn)鄭生的如靜電共電壓倉保持及在對夜最敏埋感器磨件安鬧全的盤閾值犬下。腳其基煙本途努徑有修：傾工藝妻控制奏法龜旨在榆使生課產(chǎn)過沉程中蔽盡量劑少產(chǎn)否生靜四電荷免.帶為此鹽應(yīng)從牽工藝蜜流程污、材手料選劃擇、凝設(shè)備易安裝翅和操羅作管水理等院方面樓采取偉措施答，控斃制靜駁電的峽產(chǎn)生全和積患聚，心抑制臣靜電永電位痕和靜標(biāo)電放話電的悅能力馬，使啦之不擺超過艱危害吊的程扮度。頭如在焰半導(dǎo)碧體制亦造過踐程中嘴，當(dāng)堂高速所器件筋的淺龍結(jié)形慈成工就序完帶成后砌，對采沖洗謀用的雀去離令子水擋的電晚阻率雄就必果須控哲制。尿雖然烈電阻蘭率越桌高，士潔凈響效果因越好串，但班電阻壓率越創(chuàng)高。默絕緣錢性越梳越好舍，在屢芯片焦上產(chǎn)蠶生的干靜電瞇就越熟高。繭因此毒一般筍要控益制在棄略高三于8鑰M送Ω域的水摘平，足而不葉能是封初始賊工序綁用的旅16紫－1岔7M金Ω疫。還仁有在輪材料近選擇扒上，民包裝讀材料謀要采安用防候靜電圾材料倡，盡午量避貫免未門經(jīng)處辟理的肉高分淡子材脅料?？孤〇|法緊旨在褲使靜眾電通耍過泄堆漏達(dá)淘到消避除的熔目的怕。通半常采麗用靜岸電接集地是坡電荷舞向大犁地泄吹漏；添也有魚采用寶增大陳物體躬電導(dǎo)靈的方閃法使直接地多沿物調(diào)體表陳面或您通過狠內(nèi)部扭泄漏譜，如繼添加驚靜電佩劑或幕增濕撫。最到常見狐的是剛工作謠人員饒帶的風(fēng)防靜冷電腕亮帶，畫靜電凍接地孕柱。糊靜電侮屏蔽乏法怨根據(jù)醋靜電單屏蔽叛的原咬理，劃可分犧為內(nèi)差場屏偉蔽和捉外場秋屏蔽鐘兩種你。具問體措邊施是晝用接纏地的陶屏蔽釣罩把貝帶電擦體與姨其它脫物體瞧隔離考開來艇，這果樣帶籠電體罩的電挪場將固不會悄影響頁周圍居其它模物體私（內(nèi)扎場屏標(biāo)蔽）豪；有碗時也牲用屏蠟蔽罩拖八被森隔離外的物吉體包眼圍起規(guī)來，遮使其倉免受辣外界便電場鳥的影烤響（緒外場始屏蔽違）。限如G糕aA寶s器巾件包立裝多拼采用胃金屬昆盒或破金屬鈴膜。城復(fù)合急中和杰法濱旨在妥使靜植電荷伏通過棋復(fù)合狠中和圍的辦仔法，擴(kuò)達(dá)到得消除換的目腐的。牢通常鴿利用應(yīng)接地迷消除炒器產(chǎn)祖生帶液有異遼號電程荷的訪離子齒與帶飲電體礙上的亦電荷落復(fù)合鵝，達(dá)魄到中膨和的聲目的癥。一舌般來校說當(dāng)昏帶電亮體是爸絕緣鑰體時征，由坑于電塑荷在爸絕緣居體上洋不能穩(wěn)流動施，所粉以不化能采期用接橋地的致辦法杰泄漏壩電荷寧，這昌時就究必須惠采用血靜電益消除件器產(chǎn)麻生異塵號離冒子去誤中和體。如泉對生標(biāo)產(chǎn)線漂傳送搭帶上憶產(chǎn)生民的靜蠢電荷辭就采稼用這折種方殺法進(jìn)賤行消列除。橫整凈插措施坐旨在耗避免滋尖端鼓放電鬼的現(xiàn)雙象?？篂榇俗C，應(yīng)扇該盡勵可能搬使帶叫電體港及周星圍物棉體的鹽表面蘆保持燈光滑煙和潔浪凈，皆以便低減少膝尖端浸放電倚的可召能性壺。片2.宋4田靜種電防啄護(hù)材府料躬靜電剃防護(hù)漫材料蘭或防傳靜電聰材料可在靜攀電防鬧護(hù)和懲控制綠工程敵中占將有重豬要的趴地位醫(yī)，由巨防靜籮電材石料制鞋成的午靜電咸防護(hù)姿用品新如容濃器、穩(wěn)服裝畝、傳脾送帶厘等是環(huán)制造督過程棉中必駛不可合少的價。鎮(zhèn)2艘.4奪.1熊豎與靜羽電防蠅護(hù)材鞠料有尾關(guān)的育基本努概念寇這里戰(zhàn)先摘介紹風(fēng)一些井在靜御電防消護(hù)和駛控制耗技術(shù)火中用鳳到的蠶與材餓料有挖關(guān)的蘇基本汁概念責(zé)。恭電阻涂和電軍阻率熟：這稠是靜丹電控翅制技青術(shù)中徐最關(guān)綢鍵的詞兩個律概念賠，它益?zhèn)兘?jīng)彼?；旎菹?，小不僅中被用讓來表察示材擱料，既還用貓于描慌述評燥估材踢料的經(jīng)測試博方法擇。慰體電北阻率料：指云某材左料單貪位厚交度上亡的直芝流壓懸降與笑單位祖面積折上通負(fù)過的刪電流粉之比柔。體叉電阻慧系數(shù)般是材蒙料的慈基本俘參數(shù)役之一垃，表寸示其爛導(dǎo)電制性能透，單做位為癢歐姆久/厘竭米。庫筍表面壽電阻床率壩：該綁參數(shù)鄭用于擋厚度株一定圖的薄宜膜材認(rèn)料，作其定星義為岔表面做上單嫂位長倘度的制直流僚壓降屈與單俱位寬尾度流饅過電曲流之池比。暈它指翅正方犬形兩京對邊脅之間勸的阻法值，所只要扁面積泊遠(yuǎn)遠(yuǎn)酬大于它薄膜僻厚度胡，則腳該阻位值與屯正方次形的蜓大小糾無關(guān)廣。表肌面電沒阻率局的單匆位是小歐姆秋。工電阻竭：從羅另一脫方面度表示授不同盒形狀碰(面薪積和仍長度宇)和格電阻鵝率的無材料羞對電軟流的寺阻礙古作用夾，它吊同時每表明奇材料生的表遺面或慨表面澤與地嗓之間霧的電薯路連猴通性振以及票物體刪的放雀電能借力，駛單位耗是歐檢姆。立讀表面疏電阻市：根捎據(jù)E根OS澡/E病SD洋S外11身.1掠1自“頑靜電常釋放出平面賣材料網(wǎng)的表幫面電民阻測廉量那”吐中的匯定義塌，表迷面電勉阻是掘指材腿料某殊個面逼上兩抄點(diǎn)間撿的直比流電虹壓與孔通過王的電督流之削比，蚊以歐恩姆表雜示。鈔表面誤電阻叫值與貫材料群的結(jié)捎構(gòu)無拾關(guān)。曲溝體電囑阻泊：根穗據(jù)E螞SD每D寇S1瞎1.蜻12野“釘靜電引釋放基平面櫻材料遙的體碰電阻撇測量國”碧中的首定義擔(dān)，體似電阻適是指況材料窮兩端卷之間燃的直獲流電征壓與雙通過敢電流針的比泊值，吃它的因單位網(wǎng)也是貼歐姆壽。創(chuàng)絕緣拐材料劉：一堂般指泉表面貢電阻廉系數(shù)筒在1翻×冤10棚12叮歐姆法或體注電阻鳳系數(shù)套在1奉×遣10洗11雹歐姆阻/厘嗽米以盒上的闊材料屆。絕邪緣材丹料的露表面非或內(nèi)柳部基陣本上住沒有倒電流初流動紗，它熄的電損阻很帳大，建難于拜接地呼。這助種材檢料內(nèi)冶的靜漢電荷棕會在須上面趟保留蒜很長竭時間與。投導(dǎo)電出材料脈：一悠般指長表面急電阻那系數(shù)千小于趁1逼×慌10葉5秤歐姆慘或體炎電阻煙系數(shù)您小于癥1渴×它10染4耍歐姆首/厘貴米的濃材料愈。這源種材籌料電糕阻小演，電竊子在踢其表看面及滴內(nèi)部摟流動怠非常系容易帖，可圖流向數(shù)任何蒜接觸橋到的神其它儀導(dǎo)體檢或大殖地。菊踏耗散理材料哲：一雀般指害表面圍電阻定系數(shù)糊大于傍或等編于1肺×蘿10融5朵而小屠于1絲×瀉10幸12夫歐姆朱，或航體電競阻系象數(shù)大勸于或慣等于勿1申×統(tǒng)10孝4別而小幅于1免×奏10收11綠歐姆蝶/厘伸米的炕材料跨。獸屏蔽恢材料瘦：一吵般指義導(dǎo)電罰層每測毫米儉厚度惡的表亮面電宮阻系米數(shù)小旨于1掠×氏10骨4勿歐姆周，或渡體電吊阻系嗚數(shù)小駝于1醉.0簽×渠10聲3破歐姆媽/厘此米的警材料退，采階用這蝶種材矮料制卡作的紙法拉茶第保趙護(hù)罩囑可防接止靜志電敏倘感器童件受智到靜雖電的潮影響荒。拖抗靜起電性六：通事常指庫材料硬抑制基磨擦行起電菌的特憐性。橡材料段的抗撫靜電討性與誰其電站阻或潑電阻比率沒浪有必?fù)坏幕悸?lián)系兔。如住有些膛抗靜飽電材振料，瑞電阻卡很高物，屬京高絕搞緣型顧，但聲起電芬力很販小，虹多次駝摩擦略都不司會產(chǎn)乏生靜柏電積央累。競理解象并正也確使體用靜鵝電控紫制中識的這歸些基忽本概授念，偵可以些使用飲語更潛加準(zhǔn)搬確，挑這樣槳有助棟于有西效地湯實(shí)施宵ES播D控靠制。撒節(jié)2菜.4境.鳳2快靜電玉防護(hù)脹材料戲的堂主要赴參數(shù)聲表征佳起電略能力策的參斑數(shù)：府表面丈靜電輝位或U軌，帶避電量唐Q堪或電嘗荷面壇密度獅。雙表征緒衰減伯能力反的參好數(shù)：計表面賭電阻丟R捎S節(jié)，泄膊漏電炭阻孝R附（對杠制品魄）；吧表面逼電阻黨率棄S左、體距電阻堆率、督V氧（對辛材料桐）；存時間闖常數(shù)丑或靜姻電半鼻衰期憤t乘1/濫2此：對獲介質(zhì)蓋＝肉，對炕導(dǎo)體框＝滋RC千饅（酒1/山e仗）袍;爸t泡1/帖2陸=0悅.6失9瓶2光.4預(yù).迎3華靜電磨防護(hù)薄材料香的銀分類持如在伐基本毫概念堤中的弱闡述岡，根柴據(jù)防震靜電吵材料劫的導(dǎo)陳電性情能，館可將嗚其分效為靜舅電絕相緣、雪耗散英、導(dǎo)嬌電和療屏蔽沒四種擱，如條以表消面電炕阻率晶(未單位謹(jǐn)/探)疤劃分考如下暮：腹寸唐犁揀音1緩0秩4覺矮餡緒皆1櫻0持5啟堡舟聚解見肥瞇況效漂駝屢瀉棉濱差仆祝瓣榮以倚麗10蛋12過靜電售屏蔽沿靜電涼耗散泄材料梳靜電評絕緣劑材料噴靜電糠導(dǎo)體刃注：敞具體冷的分且界數(shù)爪值不尸同標(biāo)搭準(zhǔn)或蛛不同節(jié)企業(yè)謝有所神不同老，而奇且有示些分享類更店細(xì)?；谶€有疫的標(biāo)炒準(zhǔn)以傅體電瘋荷密粥度作麥為劃違分的瓜參數(shù)鉆沾根據(jù)豐防靜飯電材痛料的怪來源膊分，義可以隙分為辮天然歇材料聚和人吵造材繡料兩陸大類牲。天異然材奧料如析金屬購，棉智織物細(xì)等；內(nèi)而在界靜電譯防護(hù)拐工程晚中，堆大量凳使用貸的是輔人工癥制造舞或經(jīng)俱過人截為改壤造的噴材料里。毒人造閃材料巷主要蔽有兩斷種制量造方樓法：茅一是率在原燈來的怪材料堂中添沖加帶曉電性睡材料菠或物別質(zhì)，鞭如碳聾黑、獸石墨路、碳習(xí)纖維儉的炭硬類，非或金尊屬粉螞、金秀屬纖屬維等記金屬串類，收或抗遞靜電攀劑等柏化合課物類侄。添犁加的籠材料芹或制脆品具蝶有永尸久性漸；另更一種勺方式樣是表潑面涂侮敷，覺如在挎工具驢的把斬手等柄表面恭涂敷糧表面喜活性脾劑，脆利用相分子無的極秒化和牢親水窯基使膀表面煙形成銅單分綿子導(dǎo)夕電層佳，達(dá)楊到靜菊電防阻護(hù)的倉目的防，這柄種方蔽法具岔有時秤效性雕，會沒磨損侵和消慚失。列現(xiàn)在想也有劉耐久隙的高帖分子彈表面覽活性升劑。時2檢.5茂示靜豈電防鎖護(hù)器格材黎靜電三防護(hù)牧器材墓主要趨分為耽兩大努類:插防靜茶電制也品和坐靜電邀消除財器。添防靜慢電制遵品是仍由防詳靜電課材料胳制成嚼的物裳品，鼻主要墾作用旗是防牢止或惡減少劑靜電構(gòu)的產(chǎn)奏生和仗將產(chǎn)掀生的飾靜電獨(dú)謝放季掉。刊而靜森電消播除器集用來鵲中和噴那些捧在絕研材料盒上積首累的毀、無申法用爆泄放園方法拼消除寬的靜謎電電豪荷。憐2絮.5訊.1聲袖防靜困電材緩料的燈制品兵防靜爹電材鞏料制答品的謹(jǐn)種類底相當(dāng)講繁多似，但排主要宣可以晶歸為磨以下橫幾類殖：壁防靜左電服定裝和寶腕帶僚防靜茄電服路裝和院腕帶瞞是消委除人肥體防至靜電失系統(tǒng)嘉的重抗要組沈成部廳分，砍可以抬使消他除或墓控制焦人體謊靜電誕的產(chǎn)朝生，筐從而稻減少僚制造產(chǎn)過程北中最差主要土的靜們電來頑源。遲防靜慘電服原裝包級括防車靜電告的套弦裝、嚷大褂那、鞋伶、帽斷、防侮靜電癥手套豆、轎防靜舍電指梅套、病防靜脈電腳嘩束等并。防升靜電擦服裝醉是用焦不同創(chuàng)色的慘防靜遼電布遇制成鋤。布幻料紗企線含清一定睜比例父的導(dǎo)百電紗中，導(dǎo)粥電紗慮又是碗由一夠定比債例的謎不銹扮鋼纖若維或虎其它看導(dǎo)電網(wǎng)纖維防與普榨通纖杯維混抹紡而熱成。任通過索導(dǎo)電壟纖維籌的電爹暈放丹電和愛泄漏老作用朱消除秘服裝蕉上的思靜電左。由魂于不芝銹鋼服纖維掌屬金君屬類牙纖維瞎，所叨以，剖由它搜織成膚的防雹靜電荷布料零的導(dǎo)踐電性暖能穩(wěn)近定，波不隨屠服裝宮的洗旱滌次殊數(shù)而焰變化紹。膨防三靜電衛(wèi)腕帶需是操劉作人謹(jǐn)員在育接觸拍電子榴元器茫件時辯最重各要的傅靜電牲防護(hù)擾用品漫，通火過接術(shù)地通煎路，慶可以泰將人虹體所犬帶的嶺靜電膝荷安揀全地滑謝放盆掉。伯它由行防靜乳電松立緊帶示、活尾動按旋扣、杏彈簧鳴軟線秧．保至護(hù)電倆阻及探插頭跑或夾秤頭組喂成。姑松緊縣帶的正內(nèi)層毯用防恰靜電海紗線回編織墨，外昂層用足普通終紗線笛編織極。圖迫2.活6坦是防鄭靜電四服裝寺、防煉靜電告腕帶油和腳襯腕帶鋸。膀(讓a漏)吩防疑靜電考服裝愈咳足豐錄結(jié)(b古)鴨手脈腕帶楊存攪刊況滲器比飽戴(撿c秀)闖腳腕在帶產(chǎn)圖襖2.古6竿效防靜蹲電服駛裝、俗防靜太電腕轟帶和介腳腕劃帶植防靜球電包榴裝和糧運(yùn)輸去制品哀等。筑防靜刃電包酬裝制票品非躺常多既，如壺防靜話電屏略蔽袋晃、返防靜飾電包膀裝袋即、防極靜電干海綿劃、防做靜電督IC派包裝廁管貨、防燦靜電吸元件膏盒(婦箱)容、防樹靜電是氣泡利膜和仔防靜杯電運(yùn)緣輸車很等。輛這些椒包裝提制品倉除靜寄電屏掀蔽用牙靜電航導(dǎo)體攻外，摸多數(shù)皆是用吼靜電約耗散警材料學(xué)制成貓的，寒也有跪些是拜用抗都靜電稻材料餃制作喘。目戀的都液是對笛裝入極的電鈴路或介器件鍬及印榮刷電痕路起閱靜電匠保護(hù)災(zāi)作用煩。圖餡2.凝7是轎一些鳴常用議的靜陳電包腰裝制嘆品。誘(a怎)世防查靜電哲包裝卷貸屋趨纏中筑倆棄富匪坦坦丈蘋(暴b)估株防棍靜電舌IC船包裝藥管盜(c申)列碗防靜瓦電海撐面布鍛遵床清嬌腐笛稍躲絕返閑(d楊)麗加防靜錦電儲六存盒見圖良2.叼7徹罩一些波常用戰(zhàn)的靜犯電包裂裝制貌品超防靜搶電地右板和紀(jì)臺墊鴨防靜奶電地川坪和品臺墊族也是河靜電肌防護(hù)代工程彩中不技可或店缺的秒。防掀靜電巧地坪鐘的也滑有多威種，牽按時至效性念分，共有永盾久性瑞的和效臨時要性的窩；按龜材料憂分有暢導(dǎo)電渡橡膠僵、P鑼VC蘇、導(dǎo)邀電陶陽瓷等右；按幫鋪設(shè)就方式疲分，店有地渠面直翅接鋪湊設(shè)的撇和架贏空的乒活動悼地板紀(jì)?？蓾飧鶕?jù)庭實(shí)際離需要腦和成扁本決乞定。剛?cè)缧韬耙谥莸孛嫣糇叨嚯u種電的纜、喂管道蔑的環(huán)理境如查計算托機(jī)防貪選擇燭架空駝鋪設(shè)免的活藝動地賢板比市較好匆。圖掠2.飽8是畝一些局防靜水電地兄板。景防靜貴電臺錢墊主醋要是慎防靜望電復(fù)腦合膠辨板，匯主要概用于絲捕墊希桌面記、流慘水線骨工作族臺面災(zāi)、貨西架及格制做晌地墊圖等。旨材料釘面層忠分為厚草綠蒼色，辦導(dǎo)電軟物質(zhì)梯是抗縫靜電辣劑；男底層份為黑鑄色，課導(dǎo)電請物質(zhì)葬是碳負(fù)黑。拍(a袋)符黑防靜古電復(fù)機(jī)合地韻板梢榴冰長(b罩