PECVD生產(chǎn)操作規(guī)程課件

2023/7/19PECVD生產(chǎn)操作規(guī)程1安全警告設(shè)備帶有高壓、易燃易爆特種有毒氣體、微波輻射等危險嚴(yán)禁無關(guān)人員和小孩進(jìn)入機(jī)器黃色區(qū)域機(jī)器運行時，嚴(yán)禁拔出微波銅天線，嚴(yán)禁拆設(shè)備任何部件。否則可能帶來微波輻射和高壓電擊等危險未經(jīng)培訓(xùn)和許可嚴(yán)禁操作設(shè)備，不正確操作設(shè)備可能損壞設(shè)備，嚴(yán)禁亂操作計算機(jī)7/19/202322安全與標(biāo)識威脅人身傷亡或健康微波輻射危險微波泄露限制：根據(jù)最新科學(xué)研究和世界許多國家執(zhí)行規(guī)定，距易接近設(shè)備部件5cm處微波泄漏小于5mw/cm2熱的表面7/19/20233

觸電危險戴防護(hù)眼鏡戴防護(hù)手套7/19/202343開機(jī)開總電源啟動計算機(jī)檢查冷卻水檢查氣源啟動“system”程序7/19/202353.1開總電源檢查三只紅色急停按鈕是否復(fù)位，如末復(fù)位拉出復(fù)位7/19/20236

向右轉(zhuǎn)動主電源斷路器手柄復(fù)位，然后向左轉(zhuǎn)動手柄，主電源合閘機(jī)器上指示燈、溫控儀表點亮可確認(rèn)總電源已開啟7/19/202373.2啟動計算機(jī)輕壓一下工控機(jī)主機(jī)上“POWER”按鈕，計算機(jī)啟動WIN-NT7/19/202383.3檢查冷卻水冷卻水壓力應(yīng)在4kg/cm2--6kg/cm2范圍內(nèi)先打開冷卻水出水閥，然后打開進(jìn)水閥7/19/20239

檢查、調(diào)節(jié)水流量計，ww1--4為10L/min,ww5--6為6L/min，ww7--12為2.5L/min(設(shè)備人員調(diào)節(jié))7/19/2023103.4檢查氣源打開壓縮空氣閥，壓縮空氣為5kg/cm2--7kg/cm2打開氮氣閥，氮氣壓力小于5kg/cm27/19/2023113.5啟動“system”程序用鼠標(biāo)左鍵雙擊Win-nt桌面“system”圖標(biāo)啟動后登入自己使用權(quán)限帳號7/19/2023124選擇工藝單、生產(chǎn)開真空泵，預(yù)加熱啟動指定工藝檢查工藝運行情況放置空石墨框進(jìn)行傳動狀態(tài)測試工藝調(diào)試，生產(chǎn)7/19/2023134.1開真空泵，預(yù)加熱檢查機(jī)器無故障顯示后，開真空泵加熱腔和反應(yīng)腔預(yù)加熱當(dāng)反應(yīng)腔真空壓力小于1.0e-2mbar,溫度達(dá)到預(yù)設(shè)定的值，方可啟動工藝7/19/2023144.2啟動指定工藝打開墻壁氣箱中特氣閥點擊“control”控制按鈕，“technology”框中選擇規(guī)定的工藝單后，加載“l(fā)oad”,啟動工藝“start”，在“transp-ortation”框啟動傳動7/19/2023154.3檢查工藝運行情況過程狀態(tài)畫面框顯示過程執(zhí)行“processrunning”壓力控制微波開啟特氣開啟以上條件滿足方可啟動工藝7/19/2023164.4傳動狀態(tài)測試在機(jī)器裝載口平穩(wěn)放置空石墨框進(jìn)行傳動狀態(tài)測試7/19/2023174.5進(jìn)行工藝調(diào)試，生產(chǎn)放入裝有需加工硅片的石墨框進(jìn)行工藝調(diào)試，生產(chǎn)在機(jī)器口放置、檢查好石墨框后按壓黑色準(zhǔn)備好按鈕，機(jī)器傳動才執(zhí)行帶上高溫手套，及時從機(jī)器出口平穩(wěn)拿出石墨框7/19/2023185停機(jī)停止工藝運行關(guān)墻壁氣箱中特氣閥,特氣管路吹掃關(guān)掉真空泵,向機(jī)器腔體沖入凈化N2退出控制程序“system”,關(guān)主電源關(guān)上壓縮空氣、氮氣、冷卻水7/19/2023195.1停止工藝運行鼠標(biāo)點擊“control”按鈕，彈出下拉菜單點擊工藝“stop”按鈕點擊傳動“stop”按鈕7/19/2023205.2關(guān)墻壁氣箱中特氣閥，特氣管路吹掃關(guān)上位于墻壁氣箱中特氣閥通知經(jīng)過培訓(xùn)的設(shè)備人員進(jìn)行特氣管路吹掃7/19/2023215.3關(guān)掉真空泵，向腔體沖入N2進(jìn)入“system”狀態(tài)畫面，點擊“pumps”控制按鈕，彈出下拉菜單等待真空泵凈化N2氣閥關(guān)閉點擊三個真空泵“pumpoff”控制按鈕關(guān)掉真空泵點擊反應(yīng)腔“vent”控制按鈕,向機(jī)器腔體沖入凈化N2，等待沖好指示燈點亮7/19/2023225.4退出控制程序，關(guān)主電源進(jìn)入“service”狀態(tài)畫面，點擊系統(tǒng)中“switchoff”控制按鈕，計算機(jī)顯示回到win-nt畫面進(jìn)行正常關(guān)計算機(jī)操作用手按壓一下紅色急停按鈕，關(guān)閉主電源，拉出紅色急停按鈕復(fù)位7/19/2023235.5關(guān)上壓縮空氣、氮氣、冷卻水關(guān)上壓縮空氣、氮氣閥等十五分鐘后可關(guān)閉冷卻水，先關(guān)進(jìn)水閥，然后關(guān)回水閥7/19/202324

7/19/2023257/19/202326

Figure10:Processchamber7/19/202327Figure12:Gassystem7/19/20232