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文檔簡介

04DB34

超高真空不銹鋼真空部件表面處理方法Surface

ultra

vacuum

parts 安徽省市場監(jiān)督管理局

DB34/T

2019前 言

DB34/T

2019超高真空不銹鋼真空部件表面處理方法

GB

8978

3.1

3.2

不銹鋼真空部件的真空度應滿足

10

不銹鋼真空部件的真空度應滿足

10

Pa~

-10

Pa

4.3

200

4.4

DB34/T

20194.5

拋光后，真空部件內表面粗糙度優(yōu)于

Ra1.6。

采用超聲清洗槽堿性溶液槽內超聲振動

15

min~

min。

~

~40

4.7

在水溫

80℃~

~10

4.11.1 4.11.2 對于形狀簡單，無隙縫的不銹鋼真空部件采用無水乙醇浸泡脫水，浸泡時間小于

min。4.11.3

min。4.11.4 不銹鋼真空部件無水乙醇超聲脫水參數參照附錄

A。4.12 驗收按照本標準第

4.13.1 4.13.2 DB34/T

20194.13.3 4.14其他4.14.1 4.14.2

5.1

不銹鋼真空部件內表面粗糙度優(yōu)于

Ra1.6。

清洗前后去離子水電導率的比值應在

0.1

6.1

在天然散射光線或無反射光的白色透射光下進行目視檢驗。光的照度應不低于

300

Lx（即相當于

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