GB/T 42721-2023電子特氣一氧化氮

ICS7110020

CCSG.86.

中華人民共和國國家標準

GB/T42721—2023

電子特氣一氧化氮

Electronicspecialtygas—Nitricoxide

2023-08-06發(fā)布2024-03-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標準化管理委員會

GB/T42721—2023

前言

本文件按照標準化工作導則第部分標準化文件的結構和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利本文件的發(fā)布機構不承擔識別專利的責任

。。

本文件由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本文件起草單位大連科利德光電子材料有限公司昊華氣體有限公司湖州市南潯區(qū)佰通標準化

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研究院中船邯鄲派瑞特種氣體股份有限公司廣東華特氣體股份有限公司蘇州金宏氣體股份有限

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公司江西華特電子化學品有限公司華測檢測認證集團股份有限公司綠菱電子材料天津有限公司

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北京高麥克儀器科技有限公司三峽大學湖北和遠氣體股份有限公司湖北京瑞氣體有限公司蘭州裕

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隆氣體股份有限公司玉門大洋天慶石化有限責任公司昊華氣體有限公司西南分公司中昊光明化工

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研究設計院有限公司上海申南特種氣體有限公司上海華愛色譜分析技術有限公司大連大特氣體有

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限公司上海市計量測試技術研究院中國計量科學研究院杭州新世紀混合氣體有限公司宿州伊維特

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新材料有限公司聯(lián)雄投資上海有限公司杭氧集團股份有限公司衢州杭氧特種氣體有限公司上海

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凡偉儀器設備有限公司浙江泓芯半導體有限公司布魯克北京科技有限公司空氣化工產品中國

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投資有限公司浙江炬和科技有限公司紹興科藝標準技術咨詢有限公司沈陽中復科金壓力容器有限

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公司浙江西亞特電子材料有限公司浙江東開半導體科技有限公司和立氣體上海有限公司昆明廣

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瑞達特種氣體有限責任公司西南化工研究設計院有限公司

、。

本文件主要起草人施旖旎付夢月陳輝劉穎焦培培郭瓊張?zhí)鞚衫钕栌钤鹆嵘壑纹?/p>

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傅鑄紅陳艷珊金向華孫猛廖恒易茹高藝曹雪楓湯萍牛艷東李長健馬彬淇杜大艷曹小林

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方強袁有錄王小波尹愛華常俠邊魯寧陽輝汪正宏陳潔吳靚方華王昭彬于慶偉高艷秋

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郝萍王德發(fā)張體強張金波楊金山秦遠望何波楊康黃輝韓一松毛玲玲吳慧明蘭鋒尚柏羊

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耿朝曦王晶李倩董碩顧大正宮兵王大為楊利錢葉超吳乾康梁永強梁成科高靜馬昌寧

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趙剛賴曉峰周鵬云

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Ⅰ

GB/T42721—2023

電子特氣一氧化氮

1范圍

本文件規(guī)定了一氧化氮的技術要求采樣試驗方法檢驗規(guī)則標志包裝運輸貯存及安全信息

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的要求

。

本文件適用于集成電路等電子工業(yè)制造中使用的電子用一氧化氮

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內容通過文中的規(guī)范性引用而構成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

危險貨物包裝標志

GB190

所有部分鋼質無縫氣瓶

GB/T5099()

氣體中微量水分的測定第部分光腔衰蕩光譜法

GB/T5832.33:

氣瓶顏色標志

GB/T7144

純氮高純氮和超純氮

GB/T8979、

鋁合金無縫氣瓶

GB/T11640

壓縮氣體氣瓶充裝規(guī)定

GB/T14194

化學品安全標簽編寫規(guī)定

GB15258

氣瓶警示標簽

GB/T16804

氣體分析氦離子化氣相色譜法

GB/T28726

移動式壓力容器安全技術監(jiān)察規(guī)程

TSGR0005

氣瓶安全技術規(guī)程

TSG23

氣體分析采樣導則

ISO19230(Gasanalysis—Samplingguidelines)

3術語和定義

本文件沒有需要界定的術語和定義

。

4技術要求

一氧化氮的技術要求應符合表的規(guī)定