半導(dǎo)體光電檢測(cè)器件及應(yīng)用5

工作原理：是基于光輻射與物質(zhì)相互作用的熱效應(yīng)而制成的器件。熱效應(yīng)：器件吸收入射輻射產(chǎn)生溫升引起材料物理性質(zhì)的變化，輸出電信號(hào)。熱電傳感器件：是將入射到器件上的輻射能轉(zhuǎn)換成熱能，然后將熱能轉(zhuǎn)換成電能的器件。第1頁/共50頁熱探測(cè)器件又稱為無選擇性探測(cè)器（對(duì)全波長(zhǎng)有相同的響應(yīng)率）特點(diǎn)：工作時(shí)不需要制冷，光譜響應(yīng)無波長(zhǎng)選擇性等。分類：熱敏電阻、熱電偶檢測(cè)器、熱釋電器件第2頁/共50頁3對(duì)熱電探測(cè)器的分析可分為兩步：第一步是確定溫升：按系統(tǒng)的熱力學(xué)特性來確定入射輻射所引起的溫度升高ΔT（共性）；第二步是確定參量變化：根據(jù)溫升來確定具體探測(cè)器輸出信號(hào)的性能（個(gè)性）。第一步對(duì)各種熱電探測(cè)器件都適用，而第二步則隨具體器件而異。首先討論第一步的內(nèi)容，第二步在討論各種類型的探測(cè)器時(shí)再作分析。第3頁/共50頁4兩種主要的熱電效應(yīng)：溫差電效應(yīng)：溫差產(chǎn)生電動(dòng)勢(shì)（塞貝克效應(yīng)）熱電偶和熱電堆熱釋電效應(yīng)：輻射變化引起表面電荷變化熱釋電探測(cè)器光吸收溫度上升電學(xué)特性變化

——電參數(shù)輸出光熱轉(zhuǎn)換熱電轉(zhuǎn)換特點(diǎn)：在寬廣的波段有均勻的光譜響應(yīng)響應(yīng)速度慢第4頁/共50頁熱探測(cè)器與前面講述的各種光電器件相比具有下列特性：響應(yīng)率與波長(zhǎng)無關(guān)，屬于無選擇性探測(cè)器；受熱時(shí)間常數(shù)（熱慣性）的制約，響應(yīng)速度比較慢；熱探測(cè)器的探測(cè)率比光子探測(cè)器的峰值探測(cè)率低；可在室溫下工作。第5頁/共50頁半導(dǎo)體對(duì)光的吸收本征和雜質(zhì)吸收產(chǎn)生光生載子晶格吸收、自由電子吸收不產(chǎn)生光生載子光電導(dǎo)率變化，伴隨少量的熱能產(chǎn)生熱能產(chǎn)生，溫升造成電阻值變化光敏電阻熱敏電阻第6頁/共50頁7熱敏電阻(Bolometer)第7頁/共50頁8原理：吸收輻射，產(chǎn)生溫升，從而引起材料電阻的變化。主要材料類型：金屬、半導(dǎo)體和超導(dǎo)體。共同點(diǎn)：都敏感于輻射，光譜響應(yīng)基本上與入射輻射的波長(zhǎng)無關(guān)。吸收輻射—溫升---電阻變化熱敏電阻在電子電路中的符號(hào)第8頁/共50頁1.溫度系數(shù)aT

表示溫度變化1℃時(shí)，熱電阻實(shí)際阻值的相對(duì)變化：工作原理和結(jié)構(gòu)式中，R為環(huán)境溫度為熱力學(xué)溫度T時(shí)測(cè)得的實(shí)際阻值。正溫度系數(shù)（PTC）的熱敏電阻溫度系數(shù)：負(fù)溫度系數(shù)（NTC）的熱敏電阻溫度系數(shù)：隨溫度T變化很大，并與材料常數(shù)B成正比。第9頁/共50頁10由熱敏材料制成的厚度為0.01mm左右的薄片電阻粘合在導(dǎo)熱能力高的絕緣襯底上，電阻體兩端蒸發(fā)金屬電極以便與外電路連接；再把襯底同一個(gè)熱容很大、導(dǎo)熱性能良好的金屬相連構(gòu)成熱敏電阻。（使用熱特性不同的襯底，可使探測(cè)器的時(shí)間常量由大約1ms變?yōu)?0ms）紅外輻射通過探測(cè)窗口投射到熱敏元件上，引起元件的電阻變化。為了提高熱敏元件接收輻射的能力（提高吸收系數(shù)），常將熱敏元件的表面進(jìn)行黑化處理。

2.結(jié)構(gòu)第10頁/共50頁（1）金屬材料-正溫度系數(shù)熱敏電阻(PTR)由金屬材料構(gòu)成的測(cè)輻射熱計(jì)：一般金屬的能帶結(jié)構(gòu)外層無禁帶，自由電子密度很大，以致外界光作用引起的自由電子密度相對(duì)變化較半導(dǎo)體而言可忽略不計(jì)。吸收輻射產(chǎn)生溫升后，自由電子濃度的增加是微不足道的。相反，因晶格振動(dòng)的加劇妨礙了自由電子作定向運(yùn)動(dòng)，從而電阻溫度系數(shù)是正的.PositiveTemperatureCoefficient(PTC)thermistors適宜材料有鉑、銅、鎳、鐵等。分類1、按原理分第11頁/共50頁12由半導(dǎo)體材料制成的測(cè)輻射熱計(jì)：半導(dǎo)體材料對(duì)光的吸收除了直接產(chǎn)生光生載流子的本征吸收和雜質(zhì)吸收外，還有不直接產(chǎn)生載流子的晶格吸收和自由電子吸收等，并且不同程度地轉(zhuǎn)變?yōu)闊崮?，引起晶格振?dòng)的加劇，器件溫度的上升，即器件的電阻值發(fā)生變化。其中部分電子能夠從價(jià)帶躍遷到導(dǎo)帶成為自由電子，使電阻減小，電阻溫度系數(shù)是負(fù)的。又因?yàn)楦鞣N波長(zhǎng)的輻射都能被材料吸收，只是吸收不同波長(zhǎng)的輻射，晶格振動(dòng)加劇的程度不同而已,對(duì)溫升都有貢獻(xiàn)，所以它的光譜響應(yīng)特性基本上與波長(zhǎng)無關(guān)。（2）半導(dǎo)體電阻材料-負(fù)溫度系數(shù)熱敏電阻(NTR)NegativeTemperatureCoefficient(NTC)thermistors半導(dǎo)體類的多為金屬氧化物，例如氧化錳、氧化鎳、氧化鈷等。第12頁/共50頁圖示分別為半導(dǎo)體和金屬（白金）的溫度特性曲線。白金的電阻溫度系數(shù)為正值，大約為0.37%左右；半導(dǎo)體材料熱敏電阻的溫度系數(shù)為負(fù)值，大約為-3%～-6%，約為白金的10倍以上。所以熱敏電阻探測(cè)器常用半導(dǎo)體材料制作而很少采用貴重的金屬第13頁/共50頁14電阻溫度系數(shù)多為正電阻溫度系數(shù)絕對(duì)值小電阻變化與溫度變化的關(guān)系基本上是線性的耐高溫能力和穩(wěn)定性較強(qiáng)多用于溫度的模擬測(cè)量。金屬材料的特點(diǎn)電阻溫度系數(shù)多為負(fù)電阻溫度系數(shù)絕對(duì)值大，比一般金屬電阻大10～100倍電阻變化與溫度變化的關(guān)系基本上是非線性的耐高溫能力和穩(wěn)定性較差多用于輻射探測(cè)。例如防盜報(bào)警、防火系統(tǒng)、熱輻射體搜索和跟蹤等。半導(dǎo)體材料的特點(diǎn)第14頁/共50頁15（3）其它類型

除了熱敏電阻類的測(cè)輻射熱計(jì)外，還有超導(dǎo)測(cè)輻射熱計(jì)、碳測(cè)輻射熱計(jì)和鍺測(cè)輻射熱計(jì)。碳測(cè)輻射熱計(jì)：已用于極遠(yuǎn)紅外波段的光譜測(cè)量。敏感元件是從碳電阻上切下來的一小塊，致冷到2.1K時(shí)，其D*要比熱敏電阻測(cè)輻射熱計(jì)高一個(gè)數(shù)量級(jí)。鍺測(cè)輻射熱計(jì)：敏感元件是鍺摻鎵單晶，致冷到2.1K時(shí)，其D*比熱敏電阻測(cè)輻射熱計(jì)約高1～2個(gè)數(shù)量級(jí)，它的光譜響應(yīng)可延伸到1000μm以外。超導(dǎo)測(cè)輻射熱計(jì)：它利用了金屬或半導(dǎo)體由正常態(tài)向超導(dǎo)態(tài)過渡時(shí)，電阻隨溫度急劇變化的性能。電阻溫度系數(shù)可達(dá)5000％。這種測(cè)輻射熱計(jì)靈敏度很高，可用以精密測(cè)量很弱的輻射如紅外輻射和激光的功率。超導(dǎo)材料多為鈮、鉭、鉛或錫的氮化物。但為保持住轉(zhuǎn)變期溫度，所需制冷量很大，控制復(fù)雜，目前僅限于實(shí)驗(yàn)室。第15頁/共50頁162、按使用范圍分類通用型熱敏電阻器特點(diǎn)：價(jià)格便宜，溫度上限偏低，一般在100度左右，例如圓片形2.熱響應(yīng)速度非?？斓臒崦綦娮杵魈攸c(diǎn)：適合微小型化應(yīng)用、熱響應(yīng)速度非?？斓膱?chǎng)合應(yīng)用的溫度傳感器，一般裝在細(xì)針尖里面使用或貼在薄膜上使用。直徑非常小，達(dá)到了lmm以下，熱時(shí)間常數(shù)約為普通熱敏電阻器的10分之一。3.高溫型熱敏電阻器特點(diǎn)：溫度上限可擴(kuò)展到500度左右4.微測(cè)輻射熱計(jì)（(Microbolometer)）特點(diǎn)：主要用于紅外輻射測(cè)量第16頁/共50頁17熱敏電阻應(yīng)用范圍家用電器（如空調(diào)機(jī)、微波爐、電風(fēng)扇、電取暖爐等）的溫度控制與溫度檢測(cè)辦公自動(dòng)化設(shè)備（如復(fù)印機(jī)、打印機(jī)等）的溫度檢測(cè)或溫度補(bǔ)償。工業(yè)、醫(yī)療、環(huán)保、氣象、食品加工設(shè)備的溫度控制與檢驗(yàn)。儀表線圈、集成電路、石英晶體振蕩器和熱電偶的溫度補(bǔ)償。熱敏電阻特點(diǎn)穩(wěn)定性好、可靠性高。阻值范圍寬：0.1～1000KΩ阻值精度高。第17頁/共50頁熱敏電阻使用說明自身的發(fā)熱進(jìn)行補(bǔ)償溫度特性的非線性：根據(jù)器件手冊(cè)，建立溫度-阻值之間的查找表，利用查表的方式進(jìn)行對(duì)應(yīng)的溫度計(jì)算穩(wěn)定性和老化：正溫度系數(shù)熱敏電阻器和臨界溫度熱敏電阻器特性的均勻性要差于負(fù)溫度系數(shù)熱敏電阻器第18頁/共50頁19熱電偶又稱溫差電偶，1826年就出現(xiàn)。其工作原理是熱電效應(yīng)。熱電偶是溫度測(cè)量中應(yīng)用最普遍的測(cè)溫器件，它的特點(diǎn)是測(cè)溫范圍寬，性能穩(wěn)定，有足夠的測(cè)量精度，能夠滿足工業(yè)過程溫度測(cè)量的需要；結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，動(dòng)態(tài)響應(yīng)好；輸出為電信號(hào)，可以遠(yuǎn)傳，便于集中檢測(cè)和自動(dòng)控制。熱電偶檢測(cè)器第19頁/共50頁熱電偶的結(jié)構(gòu)示意圖兩種不同的導(dǎo)體A和B兩端相互緊密地連接在一起，組成一個(gè)閉合回路，當(dāng)兩接觸點(diǎn)溫度不等（T>T0）時(shí)，回路中就會(huì)產(chǎn)生電動(dòng)勢(shì)，從而形成熱電流，這一現(xiàn)象稱為熱電效應(yīng)，回路中產(chǎn)生的電動(dòng)勢(shì)稱為熱電勢(shì)熱電偶工作原理第20頁/共50頁熱電勢(shì)由兩部分組成：接觸電勢(shì)-溫差電勢(shì)熱電勢(shì)第21頁/共50頁溫差電勢(shì)熱電極A和B緊密連接在一起，由于電極材料的成分不同，其電子密度也不同，于是在接觸面上便產(chǎn)生自由電子的擴(kuò)散現(xiàn)象接觸電勢(shì)源第22頁/共50頁溫差電勢(shì)溫差電勢(shì)是由于同一導(dǎo)體的兩端溫度不同，即存在著溫度梯度而產(chǎn)生的熱電勢(shì)T、T0為電極兩端的熱力學(xué)溫度；δA、δB為電極的湯姆遜系數(shù)第23頁/共50頁24T+ΔTJ1BAJ2IGΦc輻射熱電偶T+ΔTNPTTRLI+_涂黑金箔半導(dǎo)體輻射熱電偶采用金屬材料制成，用于探測(cè)入射輻射，溫升小，對(duì)材料的要求高，結(jié)構(gòu)嚴(yán)格且復(fù)雜，成本高。P型半導(dǎo)體冷端帶正電，N型半導(dǎo)體冷端帶負(fù)電，最小可檢測(cè)功率一般為10-11W。第24頁/共50頁第三導(dǎo)體的引入在實(shí)際應(yīng)用中，熱電偶回路中需接入測(cè)量?jī)x表相當(dāng)于在熱電偶回路中接入第三導(dǎo)體在A、B材料組成的熱電偶回路中接入第三導(dǎo)體C第25頁/共50頁熱電偶冷端溫度誤差及其補(bǔ)償熱電偶利用導(dǎo)體結(jié)點(diǎn)間的溫差電動(dòng)勢(shì)實(shí)現(xiàn)對(duì)溫度的測(cè)量，因此，冷端的溫度必須保持恒定，或者通過其它方式對(duì)其溫度變化進(jìn)行補(bǔ)償，才能實(shí)現(xiàn)對(duì)待測(cè)溫度的準(zhǔn)確測(cè)量補(bǔ)償方法恒溫法冷端補(bǔ)償器法第26頁/共50頁恒溫法冷端0度恒溫第27頁/共50頁冷端補(bǔ)償器法工業(yè)上，常采用簡(jiǎn)便的冷端補(bǔ)償器法。冷端補(bǔ)償器是一個(gè)四臂電橋，其中三個(gè)橋臂電阻的溫度系數(shù)為零，另一橋臂采用銅電阻RCu（其值隨溫度變化），放置于熱電偶的冷結(jié)點(diǎn)處第28頁/共50頁熱電偶具有以下特性:（1）若熱電偶兩電極材料相同，

則無論兩結(jié)點(diǎn)溫度如何，總熱電勢(shì)為零；（2）若熱電偶兩結(jié)點(diǎn)溫度相同，

則盡管A、B材料不同，回路中的總電勢(shì)等于零；（3）熱電偶產(chǎn)生的熱電勢(shì)只與材料和結(jié)點(diǎn)溫度有關(guān)

與電極的尺寸、形狀等無關(guān)，

電極材料相同的熱電偶可以互換；（4）熱電偶A、B的結(jié)點(diǎn)溫度為T1、T3時(shí)的熱電勢(shì)

等于此熱電偶在結(jié)點(diǎn)溫度為T1、T2與T2、T3

兩個(gè)不同狀態(tài)下的熱電勢(shì)之和;（5）當(dāng)熱電極A、B選定后，熱電勢(shì)EAB(T,T0)

是兩結(jié)點(diǎn)溫度T和T0的函數(shù)差第29頁/共50頁熱電偶的應(yīng)用鎢錸系熱電偶主要應(yīng)用在超高溫的測(cè)量中鎢錸系熱電偶—200-300℃,其上限主要受絕緣材料的限制；就其電極材料本身的耐溫情況來看，其測(cè)溫上限可高達(dá)2800℃，它們適用于惰性氣體及氫氣之中，在真空中也可短期使用第30頁/共50頁熱電偶的應(yīng)用鎧裝熱電偶具有良好的機(jī)械性能，抗震抗沖擊，適合各種條件下的工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)使用，尤適于高壓容器內(nèi)的溫度測(cè)量常見熱電偶鎧裝第31頁/共50頁32熱電堆工作原理

熱電堆提高了熱電偶的響應(yīng)時(shí)間和靈敏度。其結(jié)構(gòu)是多個(gè)熱電偶串聯(lián)。熱電堆的靈敏度為每個(gè)熱電偶靈敏度的和?？偨Y(jié)：熱電偶型紅外輻射探測(cè)器的時(shí)間常數(shù)較大，響應(yīng)時(shí)間長(zhǎng)，動(dòng)態(tài)特性差，被測(cè)輻射變化頻率一般應(yīng)在10Hz以下。第32頁/共50頁熱電偶檢測(cè)器熱電偶是工業(yè)上最常用的溫度檢測(cè)元件之一，熱電偶工作原理是基于賽貝克(seeback)效應(yīng),即兩種不同成分的導(dǎo)體兩端連接成回路，如兩連接端溫度不同，則在回路內(nèi)產(chǎn)生熱電流的物理現(xiàn)象。熱電偶的優(yōu)點(diǎn)：

①測(cè)量精度高。因熱電偶直接與被測(cè)對(duì)象接觸，不受中間介質(zhì)的影響。

②測(cè)量范圍廣。常用的熱電偶從-50~+1600℃均可測(cè)量，某些特殊熱電偶最低可測(cè)到-269℃（如金鐵鎳鉻），最高可達(dá)+2800℃（如鎢-錸）。

③構(gòu)造簡(jiǎn)單，使用方便。熱電偶通常是由兩種不同的金屬絲組成，而且不受大小和接頭的限制，外有保護(hù)套管，用起來非常方便。

適合高低溫環(huán)境溫度測(cè)量。如：在陶瓷生產(chǎn)中熱電偶是熱工監(jiān)測(cè)與測(cè)試的計(jì)量工具。第33頁/共50頁熱釋電探測(cè)器(Pyroelectricinfrareddetector)第34頁/共50頁

熱釋電探測(cè)器原理極性晶體

極性晶體在外電場(chǎng)和應(yīng)力均為零的情況下，晶體內(nèi)正負(fù)電荷的中心并不重合，而是呈現(xiàn)電偶極矩，也就是說，晶體本身具有自發(fā)的電極化。第35頁/共50頁熱釋電效應(yīng)溫度產(chǎn)生變化，晶體中離子間的距離和電偶極距的角度發(fā)生變化，從而導(dǎo)致自發(fā)極化強(qiáng)度和面束縛電荷產(chǎn)生變化，在垂直于極軸的兩個(gè)端面之間產(chǎn)生微小的電壓，在有外部回路時(shí)，產(chǎn)生電流，可響應(yīng)快速的溫度變化，這種現(xiàn)象被稱為熱釋電效應(yīng)。

第36頁/共50頁

當(dāng)紅外輻射照射到已經(jīng)極化的熱釋電晶體時(shí)，引起溫度升高，表面電荷減少，相當(dāng)于熱“釋放”了部分電荷。釋放的電荷變成電信號(hào)輸出。如果輻射持續(xù)作用，表面電荷將達(dá)到新的平衡，不再釋放電荷，也不再有電信號(hào)輸出。因此，熱釋電器件不同于其他光電器件，在恒定輻射作用的情況下輸出的電信號(hào)為零；只有在交變輻射的作用下才會(huì)有信號(hào)輸出。

第37頁/共50頁熱釋電晶體的自發(fā)極化強(qiáng)度PS（單位面積上的電荷量）與溫度的關(guān)系，利用這一關(guān)系制造的熱敏探測(cè)器稱為熱釋電器件第38頁/共50頁面電極結(jié)構(gòu)：電極置于熱釋電晶體的前后表面上,其中一個(gè)電極位于光敏面內(nèi)。這種電極結(jié)構(gòu)的電極面積較大，極間距離較少，因而極間電容較大，故其不適于高速應(yīng)用。此外，由于輻射要通過電極層才能到達(dá)晶體，所以電極對(duì)于待測(cè)的輻射波段必須透明。邊電極結(jié)構(gòu)：電極所在的平面與光敏面互相垂直，電極間距較大，電極面積較小，因此極間電容較小。由于熱釋電器件的響應(yīng)速度受極間電容的限制，因此，在高速運(yùn)用時(shí)以極間電容小的邊電極為宜。

熱釋電探測(cè)器的基本結(jié)構(gòu)第39頁/共50頁硫酸三甘肽（TGS）晶體熱釋電器件

熱釋電系數(shù)較大，介電常數(shù)較小，探測(cè)率D*值較高，在較寬的頻率范圍內(nèi)，靈敏度較高可在室溫下工作，具有光譜響應(yīng)寬、靈敏度高，是一種性能優(yōu)良的紅外探測(cè)器，廣泛應(yīng)用紅外光譜領(lǐng)域

常見熱釋電探測(cè)器種類第40頁/共50頁摻丙乙酸的TGS（LATGS）

鎖定極化特點(diǎn)，即溫度由居里溫度以上降到室溫，仍無退極化現(xiàn)象。摻雜后TGS晶體的介電損耗減小，介電常數(shù)下降，前者降低了噪聲，后者改進(jìn)了高頻特性。

第41頁/共50頁鈮酸鍶鋇(SBN)熱釋電器件鋇含量的提高而使居里溫度相應(yīng)提高，在大氣條件下性能穩(wěn)定，無需窗口材料，電阻率高，熱釋電系數(shù)大，機(jī)械強(qiáng)度高，在紅外波段吸收率高，可不必涂黑，可用于快速光輻射的探測(cè)。在鋇含量x<0.4時(shí)，如不加偏壓，在室溫下就趨于退極化；而當(dāng)x>0.6時(shí)，晶體在生長(zhǎng)過程會(huì)開裂第42頁/共50頁鉭酸鋰（LiTaO3）

在室溫下它的響應(yīng)約為TGS的一半，但在低于零度或高于45℃時(shí)都比TGS好。居里溫度高，室溫下的響應(yīng)率幾乎不隨溫度變化，可在很高的環(huán)境溫度下工作，且能夠承受較高的輻射能量，不退極化，它的物理化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，不需要保護(hù)窗口；機(jī)械強(qiáng)度高，響應(yīng)快，適于探測(cè)高速光脈沖。第43頁/共50頁壓電陶瓷熱釋電器件

壓電陶瓷器件的特點(diǎn)是熱釋電系數(shù)較大，介電常數(shù)也較大，二者的比值并不高。其機(jī)械強(qiáng)度高、物理化學(xué)性能穩(wěn)定、電阻率可以控制，能承受的輻射功率超過LiTaO3熱釋電器件，居里溫度高，不易退極化，這種熱釋電器件容易制造，成本低廉第44頁/共50頁聚合物熱釋電器件有機(jī)聚合物熱釋電材料的導(dǎo)熱小，介電常數(shù)也?。灰子诩庸こ扇我庑螤畹谋∧?；其物理化學(xué)性能穩(wěn)定，造價(jià)低廉；雖然熱釋電系數(shù)不大，但介電系數(shù)也小，所以兩者比值并不小。第45頁/共50頁

熱釋電探測(cè)器的應(yīng)用熱釋電探測(cè)器應(yīng)用

空中與地面?zhèn)刹?、入侵?bào)警、戰(zhàn)地觀察、火情觀測(cè)、醫(yī)用熱成像、環(huán)境污染監(jiān)視艾托斯－D衛(wèi)星上裝備有使用熱釋電晶體TGS的垂直溫度分布輻射計(jì)云雨6號(hào)衛(wèi)星上所使用的壓力調(diào)制輻射計(jì)和地球平衡測(cè)量?jī)x第46頁/共50頁47

熱釋電器件是一種利用熱釋電效應(yīng)制成的熱探測(cè)器件。與其它熱探測(cè)器相比，熱釋電器件具有以下優(yōu)點(diǎn)：①具有較寬的頻率響應(yīng)，工作頻率接近MHz，遠(yuǎn)超其它熱探測(cè)器的工作頻率。一般熱探測(cè)器的時(shí)間常數(shù)典型值在1～0.01s范圍內(nèi)，熱釋電器件的有效時(shí)間常數(shù)低達(dá)10-4～3×10-5s；②熱釋電器件的探測(cè)率高；③熱釋電器件可以有大面積均勻的敏感面，而且工作時(shí)可以不外加接偏置電壓；④與熱敏電阻相比，它受環(huán)境溫度變化的影響更??；⑤熱釋電器件的強(qiáng)度和可靠性比其它多數(shù)熱探測(cè)器都要好，