半導體器件失效分析基礎71張課件

半導體器件失效分析基礎半導體器件失效分析基礎1半導體器件失效分析基礎內部資料,注意保密半導體器件失效分2課程說明課程時長:4小的授課方式:講授必備條件:數(shù)投、便攜機、白板、擴音設備課程簡介:通過對《半導體器件失效分析基礎》課程的講解使學員體會到產品進行元器件失效分析的重要性和迫切性本課程主要講授了器件常見失效模式、常見失效機理、失效分析流程、失效分析技術、失效分析委托流程等。通過典型失效分析照片講解,加深學員對該課程的理解和提高學員對失效分析的興趣課程說明3主要內容1、失效分析產生和發(fā)展2、失效分析目的及意義、失效分析基本內容、主要失效模式和機理、失效分析程序6開展失效分析具備的條件和注意事項、失效分析儀器設備一覽表失效分析儀器設備介紹9典型失效分析照片介紹內部資料,注意保密主要內容41、失效分析的產生和發(fā)展隨著微電子學的飛速發(fā)展,半導體器件已廣泛地應用于宇航、軍事領域、工業(yè)、通訊和民用產品中。因此對半導體器件的可靠性進行研究具有非常重要的意義。內部資料,注意保密1、失效分析的產生和發(fā)展5、失效分析的產生和發(fā)展(續(xù))半導體器件可靠性研究的內容主要包括以下兩方面(1)評價可靠性水平可靠性數(shù)學可靠性試驗可靠性評估等內部資料,注意保密、失效分析的產生和發(fā)展(續(xù))61、失效分析的產生和發(fā)展(續(xù))(2)如何提高可靠性失效分析失效物理工藝監(jiān)控可靠性設計等1、失效分析的產生和發(fā)展(續(xù))71、失效分析的產生和發(fā)展(續(xù))器件可靠性研究首先是從評價可靠性開始的,但研究重點現(xiàn)在已逐漸轉向如何提髙可靠性方面。■可靠性研究更重要的是為了提高可靠性,所以失效分析和失效物理成為可靠性研究的重失效分析和失效物理的研究,它不單純是學術研究,更重要的是為了滿足可靠性工程迅速發(fā)展的需要。1、失效分析的產生和發(fā)展(續(xù))8、失效分析的產生和發(fā)展(續(xù))傳統(tǒng)的可靠性評價工作遇到的困難(1)在試驗時間、試驗樣品、人力、物力方面遇到了難以克服的困難(2)半導體器件和集成電路的品種及工藝更新速度很快,使得過去取得的可靠性數(shù)據(jù)常常變得不適用。、失效分析的產生和發(fā)展(續(xù))91、失效分析的產生和發(fā)展(續(xù))(3)當代電子設備和系統(tǒng)日益復雜化,對器件提出了高可靠的要求。為了解決以上問題,迫切需要種既省時間,又省費用的可靠性研究方法。失效分析和失效物理研究就是為了達到這一目的而迅速發(fā)展起來的1、失效分析的產生和發(fā)展(續(xù))101、失效分析的產生和發(fā)展(續(xù))失效分析的發(fā)展歷史間50年代60年代70年代以后主要研阻容元件晶體管集成電路、大規(guī)模究對象電子管集成電路集成電路、超大規(guī)模集成電路「發(fā)展階段統(tǒng)計失效階段控制失效階段可靠性保證法(開始階段)(在規(guī)模發(fā)展階段)(鞏固提高階段)研究方失效率法失效分析法可靠性保證法理論基礎可靠性數(shù)學失效物理可靠性物理研究重點失效規(guī)律失效機理工藝控制、可靠性設計、可靠性標準研究目的計算失效率。提高可靠性保證可靠性1、失效分析的產生和發(fā)展(續(xù))11半導體器件失效分析基礎71張課件12半導體器件失效分析基礎71張課件13半導體器件失效分析基礎71張課件14半導體器件失效分析基礎71張課件15半導體器件失效分析基礎71張課件16半導體器件失效分析基礎71張課件17半導體器件失效分析基礎71張課件18半導體器件失效分析基礎71張課件19半導體器件失效分析基礎71張課件20半導體器件失效分析基礎71張課件21半導體器件失效分析基礎71張課件22半導體器件失效分析基礎71張課件23半導體器件失效分析基礎71張課件24半導體器件失效分析基礎71張課件25半導體器件失效分析基礎71張課件26半導體器件失效分析基礎71張課件27半導體器件失效分析基礎71張課件28半導體器件失效分析基礎71張課件29半導體器件失效分析基礎71張課件30半導體器件失效分析基礎71張課件31半導體器件失效分析基礎71張課件32半導體器件失效分析基礎71張課件33半導體器件失效分析基礎71張課件34半導體器件失效分析基礎71張課件35半導體器件失效分析基礎71張課件36半導體器件失效分析基礎71張課件37半導體器件失效分析基礎71張課件38半導體器件失效分析基礎71張課件39半導體器件失效分析基礎71張課件40半導體器件失效分析基礎71張課件41半導體器件失效分析基礎71張課件42半導體器件失效分析基礎71張課件43半導體器件失效分析基礎71張課件44半導體器件失效分析基礎71張課件45半導體器件失效分析基礎71張課件46半導體器件失效分析基礎71張課件47半導體器件失效分析基礎71張課件48半導體器件失效分析基礎71張課件49半導體器件失效分析基礎71張課件50半導體器件失效分析基礎71張課件51半導體器件失效分析基礎71張課件52半導體器件失效分析基礎71張課件53半導體器件失效分析基礎71張課件54半導體器件失效分析基礎71張課件55半導體器件失效分析基礎71張課件56半導體器件失效分析基礎71張課件57半導體器件失效分析基礎71張課件58半導體器件失效分析基礎71張課件59半導體器件失效分析基礎71張課件60半導體器件失效分析基礎71張課件61半導體器件失效分析基礎71張課件62半導體器件失效分析基礎71張課件63半導體器件失效分析基礎71張課件64半導體器件失效分析基礎71張課件65半導體器件失效分析基礎71張課件66半導體器件失效分析基礎71張課件67半導體器件失效分析基礎71張課件68半導體器件失效分析基礎71張課件69半導體器件失效分析基礎71張課件70END16、業(yè)余生活要有意義，不要越軌?！A盛頓

17、一個人即使已登上頂峰，也仍要自強不息?！_素·貝克

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