光伏設備行業(yè)HJT市場分析

光伏設備行業(yè)HJT市場分析一、HJT降本增效持續(xù)進行，龍頭擴產(chǎn)依舊（一）HJT擴產(chǎn)不停歇，以新玩家為主HJT擴產(chǎn)規(guī)模以及出貨維持較高增速。隨著雙面微晶、0BB、銀包銅、銅電鍍、HJT/鈣鈦礦疊層電池等新技術(shù)的持續(xù)進步，HJT投資依然維持了較高的景氣度。根據(jù)PVInfolink，2023年中國HJT產(chǎn)能預估可達到58GW，同比增長346%，組件出貨13GW，同比增長333%；根據(jù)Taiyangnews發(fā)布的《2023年異質(zhì)結(jié)太陽能技術(shù)報告》，中國已經(jīng)有超過40家企業(yè)布局HJT行業(yè)，規(guī)劃和在建的產(chǎn)能合計約218GW，其中不乏三五互聯(lián)、乾景園林、寶馨科技等跨界玩家。華晟新能源、東方日升、金剛光伏貢獻了HJT擴產(chǎn)的主要份額。華晟新能源、愛康科技、東方日升、金剛光伏等主要玩家電池和組件產(chǎn)能建設規(guī)模合計超過80GW，三五互聯(lián)、乾景園林、寶馨科技、泉為科技、國電投、正業(yè)科技等跨界玩家均具有超過10GW的擴產(chǎn)規(guī)劃。（二）HJT組件首次進入央企集采，下游認可度明顯提高HJT組件首次進入央企集采，中標企業(yè)均為頭部玩家。3月27日，中核匯能開展“2023年度光伏組件設備集中采購”開標，中核匯能作為中國核電的控股子公司，是國內(nèi)央企首次將“HJT組件”作為一個單獨的產(chǎn)品分類進行招標。本次招標共6GW，分為三個包件，其中：包件1為P型單晶（540W以下規(guī)模500MW，540W及以上規(guī)模3GW），包件2為N型單晶（TOPCon，550W及以上規(guī)模2GW），包件3為N型單晶（HJT，580W及以上規(guī)模500MW）。根據(jù)中標結(jié)果，東方日升、通威太陽能和愛康光電中標N型HJT電池組件。HJT組件在功率和溢價上有顯著優(yōu)勢。本次招標的HJT組件的門檻功率為580W，比PERC高出40W，比TOPCon高出30W。根據(jù)SOLARZOOM新能源智庫統(tǒng)計的最新開標結(jié)果，此次招標共有40家企業(yè)參與投標，包件1均價為1.64元/W，投標價格范圍在1.60-1.72元/W；包件2均價為1.72元/W，投標價格范圍在1.65-1.80元/W；包件3均價為1.80元/W，投標價格范圍在1.73-1.89元/W；對比報價均價，HJT組件和TOPCon組件相比PERC的溢價分別為0.16元/W和0.08元/W。本次中核匯能招標規(guī)模共6GW，參與招標企業(yè)共40家，規(guī)模大小和參與數(shù)量具有一定代表性，溢價數(shù)據(jù)更加客觀，展示了HJT技術(shù)的高功率、高發(fā)電量的優(yōu)勢。隨著雙面微晶、0BB、銀包銅、銅電鍍、薄片化等降本提效技術(shù)的逐漸成熟，HJT技術(shù)的競爭力預計將進一步增強，性價比將逐步顯現(xiàn)。（三）HJT組件功率優(yōu)勢明顯，多技術(shù)爭奇斗艷HJT組件功率和轉(zhuǎn)換效率優(yōu)于TOPCon組件和PERC組件。2023年SNEC展會上，TOPCON、HJT、鈣鈦礦等多項技術(shù)成為焦點，從組件功率來看，HJT組件占據(jù)前列，以東方日升伏羲系列組件的最高功率741.456W為首，高出TOPCon組件最高功率約21W，高出PERC組件最高功率約61W，轉(zhuǎn)換效率也有一定優(yōu)勢。0BB、銀包銅、MBB/SMBB、HBC、HPDC等技術(shù)路線多點開花。在HJT組件技術(shù)路線中，已開發(fā)了0BB、MBB、SMBB等多種類型的主柵技術(shù)，HBC（HJT+IBC）、HPDC（復合鈍化雙結(jié)電池）等電池結(jié)構(gòu)優(yōu)化技術(shù)，以及銀包銅等材料改進技術(shù)，HJT的降本提效路線多點持續(xù)突破。二、提效降本路線明晰，多線并舉待花開HJT提效降本路線較為明確，23年逐步進入兌現(xiàn)期。參考HJT龍頭企業(yè)華晟新能源的展望，HJT技術(shù)將歷經(jīng)5個階段，逐步將單面/雙面微晶、銅電鍍電極、無銦TCO、背接觸結(jié)構(gòu)等技術(shù)運用到異質(zhì)結(jié)電池中；雙面微晶、0BB、銀包銅、銅電鍍、低銦化/無銦化靶材的導入多在2023~2024年陸續(xù)完成測試，25年有望成為HJT大規(guī)模量產(chǎn)的時間節(jié)點。（一）雙面微晶：22年為導入期，23年逐步走向成熟雙面微晶效率預計提升0.5%以上，2023年全面導入。2023年3月和4月，華晟宣城三期2.4GW和金剛酒泉4.8GW的雙面微晶電池分別實現(xiàn)出片，轉(zhuǎn)換效率均突破25%，比單面微晶提高0.5%以上。通威股份、東方日升、愛康科技、寶馨科技等頭部玩家正在積極導入測試中，預計2023年各企業(yè)將全面完成雙面微晶的開發(fā)測試，逐步步入成熟的量產(chǎn)階段。（二）薄片化：100μm各家導入研發(fā)中HJT電池在“薄片化”上具備一定的先天優(yōu)勢。根據(jù)南京航空航天大學沈鴻烈教授介紹，一般的，硅片每減薄20μm，可使價格可下降10%，對應組件成本降低約5-6分/W。與PERC和TOPCon電池相比，HJT電池結(jié)構(gòu)對稱，應力分布更加均勻；制備溫度較低（200℃左右），不容易因為受熱不均引起硅片翹曲；硅片減薄對轉(zhuǎn)換效率的影響較小，因此薄片化對HJT的競爭力提高有著明顯的促進作用。愛康科技認為，隨著焊接工藝、自動化工藝和層壓工藝的優(yōu)化以及無主柵技術(shù)的開發(fā)，210硅片厚度可降至90μm。TCL中環(huán)首發(fā)110μmN型硅片，硅片龍頭開始推動行業(yè)降本。2023年3月，TCL中環(huán)價格公示中首次新增110μmN型硅片，210片報價8.02元/片，182片報價6.14元/片，明顯低于P型150μm硅片價格，主要來自于薄片化帶來的成本降低；5月，TCL中環(huán)公示的110μm和130μm硅片的價格均有一定幅度下降，主要原因是伴隨產(chǎn)業(yè)鏈成本下降，一季度終端需求逐步回暖，產(chǎn)業(yè)鏈開工率提升，硅片環(huán)節(jié)受供應鏈關(guān)鍵輔材短缺影響呈現(xiàn)供應緊缺局面，同時隨硅料供給能力提升，價格逐步下行，光伏制造業(yè)硅成本占比逐步下降，核心競爭力重新回歸至技術(shù)創(chuàng)新與先進的制造方式。110μm硅片的量產(chǎn)實現(xiàn)在推動硅片環(huán)節(jié)降本的同時，為N型電池技術(shù)的發(fā)展提供保障，助力產(chǎn)業(yè)鏈成本的持續(xù)降低。“薄片化”導入各家進度不一，東方日升較為領先。目前行業(yè)內(nèi)的HJT玩家已經(jīng)完成對130μm硅片的開發(fā)，而東方日升率先完成100μm硅片的開發(fā)，而華晟新能源、愛康科技和金剛光伏等HJT頭部企業(yè)均在積極導入測試更薄的硅片。根據(jù)4月27日東方日升披露的公眾號，首批異質(zhì)結(jié)伏曦電池已于金壇基地成功下線，采用了多項行業(yè)領先技術(shù)，包括使用100μm厚度的210半切硅片、微晶技術(shù)和低銀含漿料，電池效率突破25.5%，組件功率突破700W，成本降低20%。（三）0BB：降本增效利器，組件端重大技術(shù)變化HJT采用高含銀量的低溫銀漿，少銀化是降本的關(guān)鍵方向。HJT采用低溫銀漿，導電性能弱于高溫銀漿，因此需要提高銀含量增強導電性，從而導致更大的銀耗量。無主柵（0BB）技術(shù)、銀包銅技術(shù)和銅電鍍技術(shù)是目前行業(yè)攻堅的重點方向，多項技術(shù)已進入測試階段，量產(chǎn)突破在即。0BB降本提效同步進行，東方日升專利布局較為深入。0BB技術(shù)可以大大減少柵線對光線的遮擋，提高電池轉(zhuǎn)換效率，同時還可以降低銀漿用量，從而降低電池制造成本。專利布局方面，東方日升在電池串連接方法、組件制備工藝方面布局較為深入，華晟新能源、愛康科技也在復合膜、0BB電池片和組件等方面有部分專利布局。東方日升可能通過加粗柵塊和導電環(huán)保證0BB組件的穩(wěn)定性。專利CN218602452U公布了一種0BB電池，在水平柵線上間隔排布連接有多個加粗柵塊或?qū)щ姯h(huán)的布置線，沿布置線上點涂非導電膠并連接焊帶；導電環(huán)內(nèi)涂膠水后，能夠增大每條布置線上用于粘接焊帶的涂膠面積，保證焊帶在電池片上的固定效果；同時加粗柵塊使點涂膠水不容易遮擋柵線，保證組串形成的組件可靠性，解決了膠水涂布面積不當導致焊帶固定不牢或EL不良的問題。華晟新能源可能運用軟連接和硬連接相互搭配的工藝，防止電池片和焊帶脫離。專利CN115347080A在太陽能電池片兩面均使用液態(tài)粘接膠與粘接膠帶搭配的工藝，液態(tài)膠與電池片之間屬于硬連接，能夠減少電池片的彎曲程度；粘接膠帶與太陽能電池片之間的連接屬于軟連接，能夠緩沖保護電池片頭尾部易碎區(qū)域，兩者共同作用有利于減少碎片的產(chǎn)生，使焊帶和電池片連接更加緊密，同時避免在層壓的過程中電池片發(fā)生翹曲和焊帶脫離，提高電池片的使用壽命。0BB對組件亦提出了新的要求。0BB的電池結(jié)構(gòu)發(fā)生了較大的變化，因此組件端也需要做出相應的調(diào)整，東方日升、華晟新能源的組件連接方法比較類似類似，均是將前一電池片正面焊帶連接至下一電池片背面膠水結(jié)構(gòu)，從而將多塊電池片連通形成組件，這種連接方式相對傳統(tǒng)；而愛康科技則開發(fā)了新的焊接工藝，電池片之間經(jīng)過疊片后通過焊接點上的導電膠進行電流傳輸，取消了相鄰電池片之間的間距，組件內(nèi)有效發(fā)電面積增多，從而提升組件效率。華晟新能源可能使用凹槽和復合膜保證封裝時組件效率不受損。在專利CN218827159U中提出了一種復合膜，由表面開設有凹槽的承載膜和粘接膜構(gòu)成，通過將導電絲（焊帶）嵌入凹槽固定并減少移動，在復合膜和無主柵太陽能電池進行層壓時，即使承載膜在高溫熔化后具有流動性，也能夠避免因承載膜流動引起的導電絲出現(xiàn)移位，還能避免復合膜和無主柵太陽能電池在壓合過程中由于受到較大壓力造成導電絲彎曲或者卷翹，保證太陽能電池組件效率。設備端，0BB電池主要設備為連接電池片使用的串焊機。目前0BB主要有SmartWire、點膠和焊接三種方案。SmartWire需要先制作內(nèi)嵌銅焊帶的有機薄膜（即銅絲復合膜），再與電池片連接、組串隨后與封裝膠膜熱壓；點膠方案先在電池片表面進行點膠，再將整條焊帶利用UV燈固化在電池片上，最后通過層壓實現(xiàn)焊帶與電池片的合金化；焊接方案則通常與點膠結(jié)合，先將焊帶和柵線初步焊接，再在指定位置點膠固化，從而穩(wěn)固焊帶與細柵的結(jié)合，或?qū)⒑笌c柵線點膠固化后再進行焊接合金化。奧特維作為0BB串焊機龍頭，多方案均有布局。SmartWire方案中，專利CN112490329A先將正背面膜片與焊帶貼敷形成焊帶組件，再將電池片依次疊放，即可通過熱壓完成電池串的連接，生產(chǎn)效率高；點膠方案中，專利CN217280819U直接通過施膠、疊放、照射固化完成串焊；焊接方案中，布局了點膠+焊接和焊接+點膠兩種串焊技術(shù)，“點膠+焊接方案”即在將焊帶膠粘至無主柵電池片上后，立即對焊帶實施低溫焊接，使得焊帶與無主柵電池片的副柵之間形成合金化連接以形成電池串，此時后道層壓無需設置功能膜隔離EVA，從而降低成本，“焊接+點膠方案”即先將將焊帶組焊接到電池片上，使焊帶組與副柵之間形成合金化連接，再利用膠帶將焊帶組固定至電池表面并層壓固化，可以提高焊接強度，防止焊帶位移。邁為股份相對聚焦，采用先焊接再點膠的方案。根據(jù)專利CN218769576U，邁為發(fā)明的0BB串焊機先將電池片主背面、焊帶焊接在一起形成電池串，并進行粘合劑涂敷、固化，消除了搭接不良的風險，降低了焊帶與細柵對齊度的要求，提升焊帶與電池片的結(jié)合力；同時取消了復合膜和電池片正背面PAD點，減少光伏電池片表面遮擋和銀漿使用量，極大的降低了成本；此外，兩套電池串翻轉(zhuǎn)機構(gòu)、涂敷固化機構(gòu)以及加熱裝置，能夠維持工作溫度，提高電池串穩(wěn)定性的同時提高產(chǎn)能。小牛自動化、光遠股份也涉及0BB串焊機布局。小牛自動化開發(fā)的適應0BB膠粘工藝的NS02-5000T型超高速劃焊一體機在2023年先后中標正泰新能、晶澳太陽能、韓華美國和隆基嘉興，2023年5月24日，在新品發(fā)布會上提出在0BB和薄片化背景下克服傳統(tǒng)焊接隱裂斷柵等問題的IFC技術(shù)，開發(fā)了CHJ40型一體化覆膜機，能夠?qū)崿F(xiàn)電池片、焊帶、正背面膠膜一次性直接覆膜成串，焊帶與膠膜無需提前復合，兼容復合膜覆膜工藝，具有無需助焊劑、互聯(lián)條密集，隱裂和微裂電流傳導更優(yōu)的特點。光遠股份（非上市）聚焦電池片組件端新主流高速劃焊一體設備、無應力焊接設備，開發(fā)了眾多針對多主柵和無主柵等密柵電池的串焊設備、壓緊設備。東方日升率先突破0BB電池量產(chǎn)，各廠家測試中。2023年4月27日，東方日升（江蘇公司）宣布4GW高效25.5%異質(zhì)結(jié)0BB電池順利實現(xiàn)首線全線貫通，首批異質(zhì)結(jié)伏曦電池已于金壇基地成功下線，標志著東方日升金壇基地210異質(zhì)結(jié)電池正式進入大規(guī)模量產(chǎn)階段；愛康科技5月30日在互動平臺表示，新開發(fā)的730W異質(zhì)結(jié)組件屬于AKiDower7.0系列，采用0BB技術(shù)，可有效降低串聯(lián)電阻，實現(xiàn)組件CTM提升1%；疊加100um以下硅片薄片化、光轉(zhuǎn)膜、微晶工藝等先進技術(shù)，轉(zhuǎn)換效率高達23.5%；公司已具備量產(chǎn)能力。（四）銀包銅：少銀化重要手段，核心在于下游的接受程度銀包銅漿料國產(chǎn)替代進展良好，廠家專利布局已久。帝科股份、邁為股份、蘇州固锝（子公司蘇州晶銀）和博遷新材進展相對較快，其中帝科股份、蘇州晶銀和博遷新材在低溫銀漿制備、銀包銅粉及漿料制備和絲網(wǎng)印刷裝置上有一定專利布局，有望解決國產(chǎn)廠家導電漿料可靠性差、導電性低、太陽能電池的轉(zhuǎn)化效率低等諸多技術(shù)缺陷，能夠產(chǎn)生優(yōu)異的歐姆接觸性能的同時，通過銀包銅粉的使用降低材料成本，并改善銀顆粒之間的團聚現(xiàn)象，提高導電性能。含銀量低于50%的漿料，驗證相對順利。主流銀包銅漿料含銅量為40~50%，背面效率與低溫銀漿持平，正面略有差距。目前蘇州固锝、帝科股份40~50%銅含量的漿料已通過客戶可靠性測試，實現(xiàn)了批量供貨；邁為股份正在測試40%的銀包銅漿料；博遷新材搭建了中試線，小粒徑成品銀包銅粉突破噸級以上銷售。銀包銅有望降低單片銀耗量30%以上，每W耗量降至10mg水平。根據(jù)華晟新能源的最新測算，M6-12BB電池單片銀耗量已降至150mg，通過在背面副柵使用銀包銅漿料，可將單片銀耗降低至120mg；2023年，華晟預計將全面使用銀包銅漿料代替純銀漿，屆時單片銀耗量將可低至80mg，換算每瓦耗量11.4mg。銀包銅作為一項新技術(shù)，還未經(jīng)歷過電站端長時間的驗證，下游的接受預計還將需要一定的時間。（五）銅電鍍：去銀化終極方案，中試走向量產(chǎn)的關(guān)鍵階段銅電鍍?yōu)槿ャy化終極方案，提效降本共發(fā)力。效率端，銅電阻為低于含有機雜質(zhì)的低溫銀漿，導電性能更好，線寬可以做到10-20μm，而HJT低溫銀漿電極一般在30-50μm，銅電極遮光更少，可釋放電池片發(fā)電效率潛力，預計效率增幅在0.3~0.5%，電鍍銅有望將HJT電池轉(zhuǎn)換效率提高到26%以上；成本端，銅材料價格遠低于低溫銀漿，用銅柵線替換銀柵線能夠?qū)崿F(xiàn)大幅度降本，根據(jù)國電投測算，到2023年底，銅柵線異質(zhì)結(jié)金屬化成本有望降低到0.08元/W，比銀柵線技術(shù)成本降低50%，度電成本（LCOE）顯著降低。銅電鍍主要步驟為種子層+圖形化+金屬化，各路廠家多方布局。制備種子層是為了提升柵線與TCO層間的導電性和附著力，易于電鍍銅附著，目前邁為正在攻克無種子層技術(shù)；圖形化主要分為激光直寫、掩膜顯影，代表廠商分別為芯碁微裝、蘇大維格，近期太陽井布局了投影式光刻技術(shù)，具有較好的曝光效果同時避免掩膜板損傷，邁為則布局了激光開槽和掩膜顯影等圖形化方式。金屬化分為水平電鍍和垂直電鍍，代表廠家分別為捷德寶、太陽井和東威科技，水平電鍍更利于產(chǎn)量提升和自動化實現(xiàn)，邁為參股子公司啟威星主要涉及銅電鍍的濕法裝備，在水平電鍍方面亦有布局。通威布局了種子層電鍍方案。在專利CN115799400A中，發(fā)現(xiàn)槽道中部的感光膠層殘留導致電鍍沉積速度慢于正常銅種子層上的電鍍沉積速度，而發(fā)生“U型冒鍍”，通過調(diào)整顯影能力和改變顯影方式、額外增加除膠步驟能夠?qū)l(fā)生U型冒鍍概率控制在0.004%以下；在專利CN115986006A中，通過進行多次電流密度遞增的電鍍逐步形成柵線，能夠減小由于槽壁與電鍍液的接觸不均而導致金屬鍍層內(nèi)形成孔洞的幾率，增強鍍層與鍍層、鍍層與種子層之間的結(jié)合力，降低柵線的電阻率，進而提高太陽電池的可靠性和轉(zhuǎn)換效率。通威布局的銅互聯(lián)電池，采用銅與氧化銅的混合層作為種子層。在完成非晶硅、摻雜層和透明導電層的制備后，先利用PVD在正背面沉積100~250nm的銅種子層，再沉積100~200nm的混合物層，其中氧化銅的含量在30~80%之間，可以阻擋環(huán)境中的水和氧氣影響內(nèi)部的銅種子層，還能使得形成的銅柵線形貌整齊且毛刺較少；圖形化使預鍍混合層表面露出，再用弱酸洗去氧化銅，便會形成鏤空的單質(zhì)銅層，此時再進行電鍍，銅會從最底部的種子層表面開始生長，逐漸填充“鏤空銅”之后在表面生長銅柵線（高度為8~10μm），使得電鍍銅整體與銅種子層之間的接觸電阻變小、空洞數(shù)量和尺寸顯著減少；電鍍銅完成后再二次電鍍一層2~4μm的錫柵線以保護銅柵線。邁為另辟蹊徑，重點開發(fā)無種子層電鍍技術(shù)。在電鍍銅步驟前采用預鍍鎳的方式，直接生成了正背電極的柵線，從而無需雙面PVD濺射銅種子層及刻蝕，避免了含銅廢水的排放；減少了由于銅種子層刻蝕引起的TCO損傷，無效線寬遮擋區(qū)域從占整體吸線寬50%以上降低到低于10%水平，克服了傳統(tǒng)技術(shù)的不足。邁為布局的銅電鍍電池可能采用多疊層TCO層和多層減反層膜設計。在專利CN115911167A中，在電池正面以PVD方法沉積的ITO作為緩沖層，再在ITO表面以RPD方法沉積IZrO、背面直接沉積ICO作為TCO層，并均以SnO2作為保護層，從而形成疊層TCO層，具備高遷移率、高透過性、耐腐蝕性的特征；由于SnO2保護層的存在，無需鍍銅種子層即可進行銅電鍍工藝，避免了去除銅種子層的蝕刻工藝對TCO層造成損傷；多層減反膜工藝能夠再次提高光的吸收，且SiO2與POE膜封裝效果較好，更利于后續(xù)電池的組裝。捷佳偉創(chuàng)針對金屬電極技術(shù)和組件問題，開發(fā)了多種電鍍銅方案。捷佳創(chuàng)偉首席科學家宋廣華認為傳統(tǒng)的電鍍銅工藝容易出現(xiàn)種子銅殘余、壓膜表面損傷和EVA膠膜脫層等問題，而組件產(chǎn)品則面臨戶外電站和短路LID實驗出現(xiàn)EL主柵發(fā)黑的問題，針對此開發(fā)了無種子銅電鍍+IWO+介質(zhì)膜+水平電鍍的方案，能夠在一定程度上避免上述問題的發(fā)生。國電投除開發(fā)普通銅電鍍電池外，還布局了背面為銅薄膜的銅電鍍電池。普通銅柵線電池使用疊層TCO，以氫摻雜氧化銦層為底層，提高整體載流子遷移率、降低電阻率，覆蓋一層ITO、IWO等構(gòu)成的接觸層，以保證TCO層與金屬電極之間較低的接觸電阻；國電投還開發(fā)了一種背面為整面銅薄膜的電極，無需進行圖形化，即可以節(jié)省工藝流程和光刻掩膜的使用，有效地降低成本，同時降低串聯(lián)電阻、提高填充因子，提高電池的效率。電鍍環(huán)節(jié)，垂直電鍍相對成熟，但是具有產(chǎn)能相對較小、良率較差的弊端，水平電鍍成為行業(yè)研發(fā)的重點方向。垂直電鍍廣泛應用于PCB電鍍銅工藝，夾爪夾住陰電極，豎著掛在電鍍槽中進行銅電鍍。從產(chǎn)業(yè)目前進展看，垂直電鍍用于HJT電池銅電極電鍍，必須放慢沉積速度以提高均勻性，所以單機產(chǎn)能比較小（每小時2000-3000片），良率也比較差，容易發(fā)生碎片；水平電鍍增加了陰極與欲鍍表面的接觸面積，保持待鍍表面的電流密度分布更加均勻，是行業(yè)重點攻堅方向。水平電鍍難度高、潛力大。太陽井開發(fā)了一種使用探針進行電鍍的水平電鍍設備，陰極探針組件包括貼合吸盤和陰極導電探針，貼合吸盤設有吸附腔體，陰極導電探針設于吸附腔體內(nèi)，旋轉(zhuǎn)運動件能帶動陰極導電探針同步旋轉(zhuǎn)，降低了電鍍過程中發(fā)生位置偏移的風險；貼合吸盤周期性地貼合于電池片，形成隔離空間，僅含少量電鍍液，降低了陰極探針與電池片鍍在一起的風險，也減少了后續(xù)退鍍的時間，降低了探針被腐蝕的風險，延長使用壽命。捷得寶布局了增加電池片受鍍面積的單雙面水平鍍設備。通過擴增部的設置提高電鍍效率，縮短設備的制造長度，在陽極組的上藥水盒內(nèi)有柔性海綿擴增面，能夠使上方藥水均勻擴散；下方藥水從底部涌出，能夠擴大藥水與電池片的接觸面積，完成電池片的雙面電鍍。由于配置了真空吸嘴接頭與阻水滾輪組及熱風刀結(jié)構(gòu)，能有效阻絕電鍍藥水于陽極組內(nèi)，有效保持陰極組干燥，無需消掛退鍍。羅博特科獨創(chuàng)了VDI電鍍技術(shù)，具有產(chǎn)能大、碎片率低、占地面積小的優(yōu)點。在專利CN115613106B中，將電池片插入陰極導電支架上的導電支撐單元中，再插入位于電鍍槽內(nèi)的陽極結(jié)構(gòu)中，使一個導電支撐單元位于相鄰兩個陽極板組件之間，即可完成雙面電鍍。該插片式電鍍裝置產(chǎn)能可達到14000整片/小時，碎片率約為0.02%，遠優(yōu)于相同面積下垂直連續(xù)式（7200半片/小時，碎片率0.04%）和水平式電鍍裝置（6000整片/小時，碎片率0.03%）的生產(chǎn)能力。23年為銅電鍍中試之年，下半年值得期待。邁為股份在4月25日投資者關(guān)系公告中表示，今年是銅電鍍中試的大年，至少有3-4家客戶年內(nèi)有300MW級別的中試，下半年公司會有一條中試線在客戶端開始驗證；寶馨科技、愛康科技也在積極進行相應開發(fā)工作；國電投為規(guī)劃的首個5GW高效HJT電池及組件量產(chǎn)基地在溫州龍港市開工建設，與羅博特科合作的VDI電鍍設備已順利進場，力爭三季度建成產(chǎn)線。（六）靶材：低銦化、無銦化為主要方向含銦靶材為主流應用，銦價格和儲量影響HJT發(fā)展。目前，無論研發(fā)或是量產(chǎn)中，絕大多數(shù)異質(zhì)結(jié)電池的TCO層材料均為ITO（主體為氧化銦，占比90%以上，摻雜錫）或其他以銦為主的摻雜材料（鎢摻雜IWO、鋅摻雜IZO等），其中銦是稀有金屬，儲量有限，且價格經(jīng)常波動，會嚴重制約異質(zhì)結(jié)電池的發(fā)展。因此，開發(fā)含銦量更低的透明導電材料或能取代氧化銦錫材料的其他類型透明導電材料迫在眉睫。低銦、無銦電池技術(shù)開發(fā)中，邁為布局較深。在最新的專利CN218918903U中，邁為公開了以氧化錫基TCO材料代替銦基TCO材料的異質(zhì)結(jié)電池方案，使用摻鉭氧化錫（TTO）、摻鉬氧化錫（MTO）或者鉭鉬共摻氧化錫（MTTO）進行多層梯度摻雜作為TCO，有望解決傳統(tǒng)無銦TCO氧化鋅鋁（AZO）材料性能不佳、穩(wěn)定性差、可靠性差的問題，降低了成本的同時保證了電池穩(wěn)定性；在專利CN116031323A中，邁為通過在氧化錫層和摻雜層之間使用PVD方法制備超薄ITO緩沖層和RPD制備超薄ICO/IWO緩沖層，改善了氧化錫層與摻雜層間的接觸電阻大的問題，該疊層結(jié)構(gòu)可大幅度減少靶材的使用，降低生產(chǎn)的工藝成本；同時，該種電池方案可結(jié)合銅電鍍技術(shù)，在氧化錫層上無需制備銅種子層，可直接執(zhí)行銅電鍍工藝，進一步減少工藝步驟、降低工藝難度和銀材料成本。愛康科技與創(chuàng)發(fā)科技合作研發(fā)。創(chuàng)發(fā)光電科技總經(jīng)理為黃信二（愛康集團副總裁），主營業(yè)務為各類光伏靶材，借助薄膜材料研發(fā)經(jīng)驗，創(chuàng)發(fā)科技開發(fā)出較多種類的無銦靶材，包括GZO、AZO、GAZO等，在背面無銦電池測試中與ITO靶材對照組相比，在膜增厚或網(wǎng)版優(yōu)化時可達到相近效率。低銦/無銦異質(zhì)結(jié)電池取得突破進展。根據(jù)邁為股份公眾號，2022年8月，邁為股份采用低銦含量的TCO工藝結(jié)合SunDrive公司的銅電鍍柵線，在全尺寸（M6，274.4cm2）單晶硅異質(zhì)結(jié)電池上獲得了25.94%的效率，單片銦的使用量比常規(guī)（未采用低銦方案）的異質(zhì)結(jié)電池降低了50%，如果疊加設備降銦的方案再降低40%，可以將銦用量降低到常規(guī)水平的30%；而銅電鍍工藝省去了昂貴的銀漿成本，這兩項工藝的結(jié)合使異質(zhì)結(jié)電池的制造成本降至新低，同時確保了優(yōu)異的光電轉(zhuǎn)化效率。根據(jù)隆基綠能官網(wǎng)，2022年12月，隆基研發(fā)團隊利用儲量豐富、價格便宜且安全環(huán)保的薄膜材料，取代了傳統(tǒng)的銦基透明導電膜，實現(xiàn)了26.09%的轉(zhuǎn)換效率，再一次打破世界紀錄，體現(xiàn)了HJT電池工藝在技術(shù)改進和降本方面的潛力。（七）設備端：板式PECVD為主流，Cat-CVD為降本提效潛在選項板式PECVD為目前主流，Cat-CVD相對具備一定優(yōu)點。在HJT電池技術(shù)中，PECVD技術(shù)為沉積非晶硅層和微晶硅層的主流選擇，然而處理等離子體會對薄膜造成不期望的離子轟擊或電荷誘導損傷，且PECVD制備的非晶硅薄膜中氫原子含量過高（10%左右），需要進行脫氫處理；Cat-CVD是基于PECVD等離子體損傷的缺陷所開發(fā)的技術(shù)，具有薄膜和襯底不受等離子體損傷，氣體利用率高、無需脫氫，裝置兼容性強、容易擴產(chǎn)，設備成本低、降本空間大等主要優(yōu)點。Cat-CVD通過催化熱絲活化粒子，避免了高能粒子轟擊對襯底或已沉積薄膜表面的損傷，能夠產(chǎn)生更加平整的薄膜界面；氣體分子利用效率達到了40%，制備薄膜氫原子含量在10%以下；Cat-CVD設備不需要昂貴的射頻電源和復雜的勻氣系統(tǒng)，載板和腔體要求也低得多，設備長度等也短很多，因此造價比PECVD更低，根據(jù)江西漢可測算，每GW電池的鍍膜設備成本從2億元降低至1億元，運營成本低10%以上。臥式設備能夠減少襯底被遮蔽的面積，提高轉(zhuǎn)換效率，降低自動化難度。根據(jù)熱絲放置方向，Cat-CVD可分為臥式和立式，在臥式Cat-CVD設備中，熱絲在鍍膜腔內(nèi)水平延伸，襯底能夠在水平放置的狀態(tài)下進行鍍膜，無需通過特殊結(jié)構(gòu)被固定到載板上，因此能夠減少襯底被遮蔽的面積，進而一定程度上擴大鍍膜面積、提高光電轉(zhuǎn)換效率；由于無需固定結(jié)構(gòu)，能夠防止壓片、磁吸或蓋板等固定結(jié)構(gòu)導致的襯底擦傷或碎片；由于襯底水平放置，運輸和取放料更加容易，降低自動化的難度。捷佳偉創(chuàng)、江西漢可為主要國內(nèi)Cat-CVD供應商。捷佳偉創(chuàng)自主研發(fā)了HJT全線四道工序所有設備及配套自動化設備，Cat-CVD設備目前正在客戶的中試線上進行驗證，已經(jīng)獲取訂單。江西漢可成立于2021年，團隊在Cat-CVD非晶硅薄膜工藝技術(shù)與半導體真空工藝設備技術(shù)潛心積累多年，形成了基礎研發(fā)型、量產(chǎn)研發(fā)型設備，以及TOPCon、異質(zhì)結(jié)電池的技術(shù)解決方案，具有多項Cat-CVD相關(guān)的專利布局。捷佳偉創(chuàng)率先布局，持續(xù)研發(fā)技術(shù)。根據(jù)捷佳偉創(chuàng)的專利布局，通過在鍍膜腔內(nèi)間隔地設置有三個以上具有第一熱絲的鍍膜部，各相鄰的兩個所述鍍膜部之間分別容許單塊所述基板流過，且相鄰的兩個鍍膜部設置為分別對流過它們之間的所述基板的與其相對的一面進行鍍膜，實現(xiàn)了在同一鍍膜腔內(nèi)分別對至少兩塊基板的各兩面進行鍍膜，解決了傳統(tǒng)Cat-CVD中電池片翻面的工藝問題；通過熱絲裝置和保持器裝置，使熱絲能夠在鍍膜腔內(nèi)水平地延伸，避免使用固定器件導致遮蔽襯底，一定程度上擴大鍍膜對象物的鍍膜面積，并且解決了臥式Cat-CVD裝置中熱絲軟化的問題。通過使用一條獨立的工藝線對襯底的一面鍍P型摻雜硅基薄膜，防止了在對襯底的一面鍍P型摻雜硅基薄膜時和其他鍍膜工藝之間產(chǎn)生交叉污染問題。三、技術(shù)持續(xù)突破，設備廠商獲益明顯真空設備端，雙面微晶已成主流。邁為股份、捷佳偉創(chuàng)已獲得行業(yè)內(nèi)頭部企業(yè)的整線訂單，采用雙面微晶PECVD工藝，設備需求量較大，積極擴張產(chǎn)能；金辰股份PECVD設備已獲驗證，定增10億（其中3.4億）用于擴產(chǎn)和PVD產(chǎn)業(yè)化建設。串焊機端，即將完成中試，下半年可能量產(chǎn)。奧特維在2023年已拿到行業(yè)龍頭企業(yè)的小批量0BB串焊機訂單，預計今年下半年0BB可能會有量產(chǎn)，若未來0BB工藝成為行業(yè)主流，則奧特維的串焊機業(yè)務有望迎來量利齊升的階段；邁為股份采用前焊接的技術(shù)，爭取兩三個月之內(nèi)完成中試階段，在Q4提供量產(chǎn)設備。銅電鍍-圖形化設備端，多廠商多方案爭奇斗艷。芯碁微裝提供量產(chǎn)線實現(xiàn)最小15μm的銅柵線直寫曝光方案，產(chǎn)能達到6,000片/小時，且積極擴產(chǎn)280臺/套應對產(chǎn)能瓶頸；蘇大維格采用掩膜投影曝光方式，正在積極與光伏廠商進行深度對接和測試，在曝光均勻度、槽型形貌、分辨率等方面均有較好的效果，測試進展順利；帝爾激光開發(fā)的激光高精超細圖形化設備已應用于TOPCon/XBC量產(chǎn)工藝，截至目前已有量產(chǎn)訂單交付，正在研發(fā)HJT圖形化工藝；邁為股份突破了曝光顯影和激光開槽的圖形化步驟，主要瓶頸在電鍍方面，預計下半年會有一條中試線在客戶端開始驗證。金屬化設備端，水平電鍍?yōu)橹饕较?，VDI添加變數(shù)。羅博特科VDI電鍍設備已交付國電投，開啟第二階段驗證，力爭三季度建成銅柵線異質(zhì)結(jié)產(chǎn)線；東威科技第二代設備已經(jīng)驗收確認收入，正在制造第三代設備，擁有8000片/小時以上產(chǎn)能和破片率低于0.1%、均勻性好、高效節(jié)能、清潔環(huán)保等優(yōu)勢，價值量為1500~2000萬元/臺，1GW電鍍設備大概在5000萬左右，與國電投有進一步合作，年底可能量產(chǎn)。（一）邁為股份：HJT設備領先企業(yè)，持續(xù)推動行業(yè)進步邁為股份成立于2010年，是一家集機械設計、電氣研制、軟件算法開發(fā)、精密制造裝備于一體的高端智能裝備制造商。公司憑借多年來優(yōu)異的自主研發(fā)能力、產(chǎn)品質(zhì)量與售后服務體系，打破了外國廠商在光伏絲網(wǎng)印刷設備領域的壟斷，成為全球光伏絲網(wǎng)印刷設備的龍頭企業(yè)，實現(xiàn)了光伏絲網(wǎng)印刷制造設備領域的國產(chǎn)化替代。邁為股份的主要業(yè)務為面向太陽能光伏、顯示、半導體三大行業(yè)，研發(fā)、制造、銷售智能化高端裝備，主要產(chǎn)品包括全自動太陽能電池絲網(wǎng)印刷生產(chǎn)線、異質(zhì)結(jié)高效電池制造整體解決方案、OLED柔性屏激光切割設備、Mini/MicroLED晶圓設備、半導體晶圓封裝設備等。公司收入和凈利潤穩(wěn)中有升，凈利率和毛利率持續(xù)回升。公司實現(xiàn)2022年收入41.48億元，同比增長34.01%，2023Q1季度實現(xiàn)收入11.57億元，同比增長38.64%，收入增速逐漸穩(wěn)定，呈上升趨勢，歸母凈利潤增速有所減緩。公司2022年毛利率為38.31%，凈利率為20.78%，2023Q1毛利率為34.03%，凈利率為19.10%，自2019年起毛利率與凈利率持續(xù)回升，盈利能力較強。根據(jù)4月25日投資者調(diào)研記錄，公司在110μm硅片、雙面微晶、0BB、銀包銅、銅電鍍、異質(zhì)結(jié)/鈣鈦礦疊層等關(guān)鍵技術(shù)均有涉及，將在異質(zhì)結(jié)鈣鈦礦疊層電池技術(shù)上布局研發(fā)；根據(jù)公司5月26日發(fā)布的公眾號，邁為自主研制的雙面微晶異質(zhì)結(jié)高效電池制造整體解決方案，是異質(zhì)結(jié)電池整線裝備國產(chǎn)化持續(xù)創(chuàng)新、成功升級的第三代產(chǎn)品，應用了PECVD雙面微晶工藝，已于2022年12月開始交付客戶，經(jīng)過高效有序的安裝與調(diào)試，雙面微晶技術(shù)的顯著提效優(yōu)勢已在多家客戶的量產(chǎn)線、試量產(chǎn)線上得到驗證。2023年，邁為已累計取得華晟14條整線訂單。（二）捷佳偉創(chuàng)：多路線布局，HJT設備獲頭部客戶訂單捷佳偉創(chuàng)成立于2007年，是國內(nèi)領先的從事晶體硅太陽能電池設備研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的國家高新技術(shù)企業(yè)。公司憑借自身的技術(shù)研發(fā)實力在太陽能電池設備生產(chǎn)領域行業(yè)地位突出。公司的主要業(yè)務為晶體硅太陽能電池設備研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，主要產(chǎn)品包括PECVD及擴散爐等半導體摻雜沉積工藝光伏設備、清洗、刻蝕、制絨等濕法工藝光伏設備以及自動化（配套）設備、全自動絲網(wǎng)印刷設備等晶體硅太陽能電池和鈣鈦礦/晶硅-鈣鈦礦疊層電池生產(chǎn)工藝流程中的主要及配套設備的研發(fā)、制造和銷售。公司收入和凈利潤穩(wěn)中有升。公司2022年實現(xiàn)收入60.05億元，同比增長18.98%，2023Q1季度實現(xiàn)收入19.31億元，同比增長41.73%，收入增速有一定恢復，歸母凈利潤增速呈現(xiàn)波動下降的趨勢。公司2022年毛利率為25.44%，凈利率為17.44%，相較于2019年均出現(xiàn)下滑，2023Q1季度毛利率為22.78%，凈利率為17.40%，毛利率呈現(xiàn)一定波動，凈利率維持較高水平。根據(jù)公司5月3日發(fā)布的公眾號，捷佳偉創(chuàng)近期中標全球頭部光伏企業(yè)量產(chǎn)型HJT整線訂單，采用最新的板式PECVD雙面微晶工藝，同時中標境內(nèi)外多家新能源頭部企業(yè)HJT領域制絨/板式PECVD/Cat-CVD/PAR/PVD/印刷等十余項單機設備及重復訂單。公司HJT電池全路線全工藝裝備在技術(shù)和工藝上持續(xù)獲得突破。（三）奧特維：串焊機龍頭，硅片設備、電池片設備、半導體設備多點開花奧特維成立于2010年，是從事高端裝備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，具有自主研發(fā)能力和持續(xù)創(chuàng)新能力的高新技術(shù)企業(yè)，致力于為客戶提供性能優(yōu)異、性價比高的高端設備和解決方案。公司產(chǎn)品主要應用于光伏行業(yè)、鋰電行業(yè)、半導體行業(yè)封測環(huán)節(jié)，包括大尺寸超高速多主柵串焊機、大尺寸超高速硅片分選機、激光劃片機、絲網(wǎng)印刷線、光注入退火爐、單晶爐等光伏設備；圓柱電芯外觀檢測、動力（儲能）模組PACK線等鋰電設備；和應用于半導體封測環(huán)節(jié)的鋁線鍵合機等；還為客戶提供已有設備的改造、升級服務和備品備件。公司收入與凈利潤增速呈上升趨勢。公司2022年實現(xiàn)收入35.4億元，同比增長72.94%，2023Q1季度實現(xiàn)收入10.39億元，同比增長66.27%，近年來收入增速呈上升趨勢，歸母凈利潤增速有一定波動，但保持較高水平。公司2022年毛利率為38.92%，凈利率為20.14%，2023Q1季度毛利率為36.60%，凈利率為21.27%，毛利率和凈利率穩(wěn)步上升。公司在4月28日的投資者關(guān)系公告中表示，2023年公司已拿到行業(yè)龍頭企業(yè)的小批量0BB串焊機訂單，相較于SMBB串焊機，0BB串焊機會疊加點膠、覆膜等工藝，控制難度比SMBB串焊機高，單GW的價值量也更高，若未來0BB工藝成為行業(yè)主流，則公司的0BB串焊機設備的價值量有望得到進一步的提升。預計23年下半年0BB可能會有量產(chǎn)。（四）羅博特科：開創(chuàng)電鍍VDI技術(shù)，光伏半導體多點開花羅博特科成立于2011年，是一家研制高端自動化裝備和基于工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)技術(shù)的智能制造執(zhí)行系統(tǒng)軟件的高新技術(shù)企業(yè)。公司擁有完整的研發(fā)、設計、裝配、測試、銷售和服務體系，為光伏、電子及半導體等領域提供柔性、智能、高效的高端自動化裝備及R2Fab系統(tǒng)軟件，目前公司產(chǎn)品主要應用于光伏電池領域。公司主要業(yè)務包括工業(yè)自動化設備及執(zhí)行系統(tǒng)和高效電池解決方案，其中工業(yè)自動化設備包括智能自動化設備、智能裝配、測試設備及系統(tǒng)。根據(jù)公司的整體發(fā)展戰(zhàn)略，公司已逐步切入光伏電池工藝設備業(yè)務領域。公司收入和凈利潤呈現(xiàn)恢復趨勢。公司2022年實現(xiàn)收入9.03億元，同比減少16.83%，2023Q1季度實現(xiàn)收入2.59億元，同比增長30.51%，主要原因是2022年上半年，公司在采購、制造、運輸、安裝等環(huán)節(jié)均受到不同程度的負面影響，下半年開始形勢有所好轉(zhuǎn)，收入增速自2021年起有一定恢復，利潤實現(xiàn)扭虧轉(zhuǎn)盈。公司2022毛凈利率為22.17%，凈利率為2.88%，2023Q1季度毛利率為20.24%，凈利率為1.54%，相較于2020年均有較大幅度恢復。根據(jù)公司5月29日發(fā)布的公眾號，羅博特科已逐步切入光伏電池工藝設備業(yè)務領域。前端布局了濕法工藝設備，后端布局了光伏銅電鍍設備，具備制絨、清洗、堿拋及銅電鍍工藝設備等系列產(chǎn)品，獨創(chuàng)的銅柵線異質(zhì)結(jié)電池VDI/HDI電鍍技術(shù)方案，具有產(chǎn)能大、占地小、柔性強、功耗低和易維護等優(yōu)勢，首臺VDI電鍍設備已于2月28日交付國電投，將進行第二階段的驗證，力爭三季度成功建成行業(yè)內(nèi)首條大產(chǎn)能銅柵線異質(zhì)結(jié)電池生產(chǎn)線。（五）蘇大維格：光刻技術(shù)翹楚，掩膜、光刻圖形化同步開發(fā)中蘇大維格成立于2001年，公司是國內(nèi)領先的微納結(jié)構(gòu)產(chǎn)品制造和技術(shù)服務商，通過自主研發(fā)微納光學關(guān)鍵制造設備——光刻機，建立了微納光學研發(fā)與生產(chǎn)制造的基礎技術(shù)平臺體系，為客戶提供不同用途微納光學產(chǎn)品的設計、開發(fā)與制造服務。公司深耕高端微納光學材料及反光材料制品多年，已發(fā)展形成了公共安全和新型印材、消費電子新材料、反光材料、高端智能裝備四大事業(yè)群，并憑借強大的技術(shù)研發(fā)實力，在納米波導光場鏡片（AR/AR-HUD）、裸眼3D顯示、無掩膜光刻等領域持續(xù)研發(fā)，進行技術(shù)與專利布局，不斷開發(fā)新產(chǎn)品，拓展新領域，致力于將公司打造成具備持續(xù)創(chuàng)新能力，行業(yè)影響力大，產(chǎn)品豐富，服務優(yōu)質(zhì)的微納結(jié)構(gòu)產(chǎn)品領先企業(yè)。公司收入保持穩(wěn)定，凈利潤恢復中。公司2022年實現(xiàn)收入17.16億元，同比減少1.21%，2023Q1季度實現(xiàn)收入3.93億元，同比減少1.05%，收入基本維持穩(wěn)定，有一定下降，凈利潤2021年大幅下降，主要系因子公司華日升業(yè)績未達預期計提長期資產(chǎn)減值損失所致，2023Q1扭虧為盈。公司2022年毛利率為15.33%，凈利率為-16.26%，2023Q1季度毛利率為18.35%，凈利率為0.25%，相較于2021年開始逐漸恢復，但仍低于2020年水平。公司5月12日在互動平臺表示，公司自行開發(fā)的光伏銅電鍍曝光設備采用了掩模投影曝光的方式，有利于協(xié)助下游廠商的降本增效。目前，公司正在積極與光伏廠商進行深度對接和測試，在曝光均勻度、槽型形貌、分辨率等方面均有較好的效果。（六）芯碁微裝：微納直寫光刻龍頭，產(chǎn)品應用場景不斷擴展芯碁微裝成立于2015年，是光刻技術(shù)領域里擁有關(guān)鍵核心技術(shù)PCB直接成像設備及泛半導體直寫光刻設備的國產(chǎn)供應商之一，是國內(nèi)最早從事直寫光刻設備開發(fā)的企業(yè)之一和首家光刻設備上市公司。核心技術(shù)團隊成員具備三十多年的高端裝備開發(fā)經(jīng)驗，深耕行業(yè)多年。憑借著產(chǎn)品技術(shù)、服務及品牌優(yōu)勢，公司在泛半導體領域打破了國際壟斷，產(chǎn)品性能已比肩國際廠商，產(chǎn)品技術(shù)及市場份額國內(nèi)領先。公司主營業(yè)務為以微納直寫光刻為技術(shù)核心的直接成像設備及直寫光刻設備的研發(fā)、制造、銷售以及相應的維保服務，主要產(chǎn)品及服務包括PCB直接成像設備及自動線系統(tǒng)、泛半導體直寫光刻設備及自動線系統(tǒng)、其他激光直接成像設備以及上述產(chǎn)品的售后維保服務，產(chǎn)品功能涵蓋微米到納米的多領域光刻環(huán)節(jié)。公司收入、利潤均保持高速增長。公司2022年實現(xiàn)收入6.52億元，同比增長50.29