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文檔簡介
鐵嶺無塵室方案1.引言無塵室(Cleanroom)是一種采用高效過濾設(shè)備,對氣體流動、溫度、濕度、靜電、塵粒等關(guān)鍵參數(shù)進(jìn)行嚴(yán)格控制的封閉空間。它被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、生物醫(yī)藥、精密儀器等領(lǐng)域,以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。本文將介紹鐵嶺無塵室方案,包括無塵室的設(shè)計要求、結(jié)構(gòu)構(gòu)成、關(guān)鍵設(shè)備選擇等內(nèi)容。2.設(shè)計要求鐵嶺無塵室方案的設(shè)計要求如下:凈化等級:GMP規(guī)范中的100級凈化要求,即1立方米空氣中的顆粒物不大于100萬個。溫度控制:室內(nèi)溫度控制在20°C±2°C。濕度控制:室內(nèi)濕度控制在30%RH±5%RH。靜電控制:采用合適的靜電控制措施,確保靜電放電不超過2kV。通風(fēng)換氣:采用高效過濾設(shè)備進(jìn)行通風(fēng)和換氣,確保室內(nèi)空氣的新陳代謝。3.結(jié)構(gòu)構(gòu)成鐵嶺無塵室的結(jié)構(gòu)構(gòu)成如下:墻體:采用夾芯板墻體結(jié)構(gòu),內(nèi)外層為不銹鋼板,中間填充高密度巖棉,提供良好的隔熱和隔音效果。天花板:采用鋁合金方通天花板,便于安裝和維護,可以隱藏電氣和通風(fēng)系統(tǒng)。地板:選擇耐磨、抗靜電的PVC或Epoxy地板,便于清潔和消毒。門窗:采用不銹鋼門窗,密封性良好,減少外界空氣的進(jìn)入。4.關(guān)鍵設(shè)備選擇鐵嶺無塵室的關(guān)鍵設(shè)備主要包括:過濾器:選擇高效過濾器,按照需要的凈化等級進(jìn)行選擇。常用的過濾器有HEPA過濾器和ULPA過濾器,其過濾效率達(dá)到99.99%和99.999%。空調(diào)系統(tǒng):選擇適合的空調(diào)系統(tǒng),確保室內(nèi)溫濕度的控制。常用的空調(diào)系統(tǒng)有風(fēng)冷式和水冷式空調(diào)系統(tǒng),根據(jù)實際情況選擇合適的類型。靜電控制設(shè)備:根據(jù)靜電控制的需求,選擇適當(dāng)?shù)撵o電控制設(shè)備,如靜電掃把、離子風(fēng)機等。潔凈工作臺:提供干凈的工作環(huán)境,可選擇垂直流式、水平流式或無震動的潔凈工作臺。環(huán)境監(jiān)測設(shè)備:安裝適當(dāng)?shù)沫h(huán)境監(jiān)測設(shè)備,如溫濕度計、靜電監(jiān)測儀等,用于實時監(jiān)測無塵室內(nèi)的環(huán)境參數(shù)。5.使用與維護鐵嶺無塵室的使用與維護如下:日常清潔:定期清潔室內(nèi)墻壁、地板、工作臺等表面,保持清潔度。過濾器更換:按照過濾器的使用壽命和廠家要求,定期更換過濾器,保證過濾效果。環(huán)境監(jiān)測:定期對無塵室內(nèi)的溫濕度、靜電等環(huán)境參數(shù)進(jìn)行監(jiān)測,及時采取控制措施。預(yù)防靜電放電:使用無塵室內(nèi)的防靜電設(shè)備,如防靜電工作服、防靜電鞋等,預(yù)防靜電放電。定期維護:定期檢查空調(diào)系統(tǒng)、設(shè)備運行情況,及時進(jìn)行維護或更換。6.總結(jié)鐵嶺無塵室方案通過合理的設(shè)計要求、結(jié)構(gòu)構(gòu)成和關(guān)鍵設(shè)備選擇,確保了室內(nèi)的凈化等級、溫濕度控制、靜電控制和通風(fēng)換氣。在使用和維護方面,提供了清潔、環(huán)境
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