基于金屬基板的分立柵極FED器件研制的任務(wù)書

基于金屬基板的分立柵極FED器件研制的任務(wù)書任務(wù)書一、研究背景分立柵極場(chǎng)發(fā)射顯示器（FED）器件是一種新型的平板顯示器件，廣泛應(yīng)用于大尺寸高清晰度電視、電腦顯示器等領(lǐng)域。該器件采用了微納米級(jí)微細(xì)加工技術(shù)，制造工藝復(fù)雜，成本較高，生產(chǎn)周期長(zhǎng)，但由于其具有對(duì)比度高、刷新快等優(yōu)點(diǎn)，備受關(guān)注。在FED器件的發(fā)展過程中，分立柵極結(jié)構(gòu)的FED器件是一類常見的器件，該結(jié)構(gòu)主要是指在金屬基板上通過微細(xì)加工，將柵電極與陰極和陽極分離開來，以減小柵電極的尺寸，提高器件的分辨率。此類分立柵極結(jié)構(gòu)FED器件的研發(fā)，對(duì)于完善FED器件的性能、降低制造成本具有重要的意義。二、研究目標(biāo)1.研究分立柵極FED器件的基本原理、結(jié)構(gòu)特點(diǎn)，了解國(guó)內(nèi)外的研究現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢(shì)。2.研究分立柵極FED器件的制造工藝，包括金屬基板的制備、微細(xì)加工工藝、電極材料的選擇以及器件封裝等相關(guān)工藝。3.設(shè)計(jì)、制備分立柵極FED器件的樣品，并對(duì)其進(jìn)行性能測(cè)試，包括亮度、對(duì)比度、分辨率、刷新率等性能指標(biāo)的測(cè)試，以評(píng)估器件的性能。4.對(duì)分立柵極FED器件的結(jié)構(gòu)和工藝進(jìn)行探索和優(yōu)化，提高其性能并降低制造成本。三、研究?jī)?nèi)容1.分立柵極FED器件的基本原理、結(jié)構(gòu)特點(diǎn)的研究。2.分立柵極FED器件的制造工藝研究。（1）金屬基板的制備。（2）微細(xì)加工工藝，包括光刻、蒸鍍等技術(shù)的應(yīng)用。（3）電極材料的選擇和制備。（4）器件的封裝和測(cè)試。3.分立柵極FED器件制備樣品的設(shè)計(jì)、制備及性能測(cè)試。4.分立柵極FED器件的結(jié)構(gòu)和工藝優(yōu)化研究。四、研究方法1.文獻(xiàn)資料收集法。2.實(shí)驗(yàn)研究法。3.計(jì)算機(jī)仿真分析法。四、預(yù)期成果1.分立柵極FED器件的制造工藝完整，先進(jìn)。2.試制出一定性能水平的分立柵極FED器件樣品，性能測(cè)試結(jié)果跟蹤、服務(wù)于相應(yīng)應(yīng)用領(lǐng)域。3.對(duì)分立柵極FED器件的結(jié)構(gòu)和工藝進(jìn)行探索和優(yōu)化，性能和成本均有改善。五、研究計(jì)劃（1）前期調(diào)研：收集參考文獻(xiàn)，了解分立柵極FED器件的基本原理、結(jié)構(gòu)特點(diǎn)，掌握國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢(shì)。（2）器件結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)：根據(jù)市場(chǎng)需求以及研究背景和要求，將FED器件柵電極與陰陽極進(jìn)行分立，設(shè)計(jì)出適合的器件結(jié)構(gòu)。（3）器件制造工藝研究：主要研究金屬基板的制備、微細(xì)加工工藝、電極材料選擇和器件封裝等相關(guān)工藝。（4）制備樣品并測(cè)試：根據(jù)器件結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)方案，采用工藝方法制備一定性能水平的FED器件樣品，并對(duì)其性能進(jìn)行測(cè)試。（5）結(jié)構(gòu)和工藝優(yōu)化研究：對(duì)樣品中存在的FED結(jié)構(gòu)或制造工藝問題進(jìn)行定位和改善，提高器件的性能并降低制造成本。（6）撰寫研究報(bào)告：撰寫研究報(bào)告