氣體行業(yè)月報(bào)：關(guān)注半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)復(fù)蘇回暖看好電子特氣國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程加速

東吳證券研究所內(nèi)容目錄東吳證券研究所工業(yè)氣體價(jià)格復(fù)盤 4近期熱點(diǎn)新聞 42023—2024年穩(wěn)增長(zhǎng)行動(dòng)方案》.............................................................................................................................................................4四部門發(fā)文提高集成電路和工業(yè)母機(jī)企業(yè)研發(fā)費(fèi)用加計(jì)扣除比例 5美國(guó)頒布針對(duì)中國(guó)先進(jìn)計(jì)算集成電路、超算、半導(dǎo)體制造設(shè)備新規(guī) 5制造業(yè)恢復(fù)基礎(chǔ)進(jìn)一步鞏固，半導(dǎo)體行業(yè)復(fù)蘇動(dòng)能正在積蓄 6最新研究 10華特氣體2023年三季度點(diǎn)評(píng)：業(yè)績(jī)環(huán)比持續(xù)改善，下游需求復(fù)蘇日趨明朗 凱美特氣2023年中報(bào)點(diǎn)評(píng)：上半年業(yè)績(jī)暫時(shí)承壓，下半年有望走出陰霾 華特氣體2023年中報(bào)點(diǎn)評(píng)：需求復(fù)蘇日趨明朗，持續(xù)豐富產(chǎn)品結(jié)構(gòu)，培育新業(yè)績(jī)?cè)鲩L(zhǎng)點(diǎn) 華特氣體：特氣領(lǐng)軍者，品類拓展產(chǎn)能擴(kuò)充驅(qū)動(dòng)快速成長(zhǎng) 13凱美特氣：2022業(yè)績(jī)?cè)鲩L(zhǎng)19.25%，特氣表現(xiàn)亮眼貢獻(xiàn)核心增量 14半導(dǎo)體配套治理：剛需&高壁壘鑄就價(jià)值，設(shè)備國(guó)產(chǎn)替代&耗材突破高端制程 15被忽略的強(qiáng)邏輯：雙碳環(huán)保顯著的“安全價(jià)值” 16凱美特氣獲頭部光刻機(jī)激光設(shè)備廠商認(rèn)證，彰顯綜合實(shí)力電子特氣驅(qū)動(dòng)新一輪成長(zhǎng) 18九豐能源：LNG“海陸雙氣源”布局完善，制氫&加氫優(yōu)勢(shì)打開廣東、川渝氫能市場(chǎng) 19氦氣：氣體黃金進(jìn)口依賴97.5%，國(guó)產(chǎn)替代加速，碳中和約束供應(yīng)資源端重估 20投資建議 21風(fēng)險(xiǎn)提示 212/22東吳證券研究所東吳證券研究所圖表目錄圖1：氪、氖、氙氣截至2023年10月價(jià)格走勢(shì)（元/立方米） 4圖2：40L瓶裝高純氦氣截至2023年10月價(jià)格走勢(shì)（元/瓶） 4圖3：我國(guó)制造業(yè)采購(gòu)經(jīng)理指數(shù)（PMI） 6圖4：2015-2020年全球晶圓產(chǎn)能轉(zhuǎn)移情況 7表1：2023年國(guó)內(nèi)主要晶圓廠擴(kuò)產(chǎn)情況 7表2：2023年大陸面板制造商產(chǎn)能（百萬平方米） 8表3：2023年國(guó)內(nèi)主流面板廠擴(kuò)產(chǎn)情況 93/22工業(yè)氣體價(jià)格復(fù)盤20231031日，5N106.0094.10%；5N10650.00元910224.19元/918.62%；40L10元9圖1：氪、氖、氙氣截至2023年10月價(jià)格走勢(shì)（元/立方米）

圖2：40L瓶裝高純氦氣截至2023年10月價(jià)格走勢(shì)（元/瓶） 氖氣（左軸） 氖氣（左軸） 氪氣（左軸） 氙氣（右軸）60000600000500005000004000040000030000300000200002000001000010000000

氦氣（左軸）東吳證券研究所東吳證券研究所00數(shù)據(jù)來源：卓創(chuàng)資訊， 數(shù)據(jù)來源：卓創(chuàng)資訊，近期熱點(diǎn)新聞2023—2024增長(zhǎng)行動(dòng)方案》2023952023—20242023—2024平均增速左右242024年，5G85%，754504/22東吳證券研究所東吳證券研究所四部門發(fā)文提高集成電路和工業(yè)母機(jī)企業(yè)研發(fā)費(fèi)用加計(jì)扣除比例202392023年1月1日至2027年12月31120%（一）（財(cái)政202045）（（202045號(hào)9美國(guó)頒布針對(duì)中國(guó)先進(jìn)計(jì)算集成電路、超算、半導(dǎo)體制造設(shè)備新規(guī)2023101713家實(shí)體單（202210月17新增（1.5-2.4nm）。5/22東吳證券研究所東吳證券研究所制造業(yè)恢復(fù)基礎(chǔ)進(jìn)一步鞏固，半導(dǎo)體行業(yè)復(fù)蘇動(dòng)能正在積蓄10月PMI23年10（為9%，0.7業(yè)PMI1.055.6%0.1進(jìn)一步鞏固，經(jīng)濟(jì)向好回升勢(shì)頭保持不變。隨著自主可控、自主研發(fā)進(jìn)程加速，同時(shí)圖3：我國(guó)制造業(yè)采購(gòu)經(jīng)理指數(shù)（PMI）PMI指數(shù)（%）52.651.952.651.950.150.250.250.150.150.249.5 49.64949.449.249.248.84949.349.749.54847.447535251504948474645442022-01 2022-03 2022-05 2022-07 2022-09 2022-11 2023-01 2023-03 2023-05 2023-07 2023-09數(shù)據(jù)來源：國(guó)家統(tǒng)計(jì)局，利好事件持續(xù)落地晶圓廠逆周期擴(kuò)產(chǎn)積極推進(jìn)，半導(dǎo)體行業(yè)周期有望觸底復(fù)蘇。近期國(guó)外政策限令加碼而國(guó)內(nèi)政策積極推進(jìn)，自主可控、自主開發(fā)進(jìn)程不斷加速:1）美國(guó)更新芯片和半導(dǎo)體設(shè)備出口禁令，針對(duì)中國(guó)的先進(jìn)制程、高性能算力等技術(shù)，將加速我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主開發(fā)進(jìn)程。2）《電子信息制造業(yè)2023—2024年穩(wěn)增長(zhǎng)行動(dòng)方案》，提出2023—2024年計(jì)算機(jī)、通信和其他電子設(shè)備制造業(yè)增加值平均增速5%左右，電子信息制造業(yè)規(guī)模以上企業(yè)營(yíng)業(yè)收入突破24萬億元。同時(shí)，方案提出落實(shí)《新時(shí)期促進(jìn)集6/22東吳證券研究所材料、封裝、測(cè)試企業(yè)。東吳證券研究所據(jù)2020-2024818%，1248%圖4：2015-2020年全球晶圓產(chǎn)能轉(zhuǎn)移情況數(shù)據(jù)來源：宏芯氣體官網(wǎng)，根據(jù)4&56812215/233/593/786)8()，20222%/5%/23%/70%JWInsights23座12104.2Insighsts25座12160萬片。截至2026年底，中國(guó)12英寸晶圓廠的總月產(chǎn)能有望超過276.32022CAGR為28.8%表1：2023年國(guó)內(nèi)主要晶圓廠擴(kuò)產(chǎn)情況7/22東吳證券研究所東吳證券研究所數(shù)據(jù)來源：各公司公告及官網(wǎng)，據(jù)omdia2022216.82025255.44.18%，國(guó)內(nèi)主流面板制造商表2：2023年大陸面板制造商TFT-LCD產(chǎn)能（百萬平方米）8/22東吳證券研究所東吳證券研究所數(shù)據(jù)來源：Omdia，各公司公告及官網(wǎng)，國(guó)內(nèi)主流面板廠大力投入項(xiàng)目擴(kuò)產(chǎn)，以求在未來半導(dǎo)體市場(chǎng)搶占先機(jī)。京東方2023210.5TCLt3HKCMiniLED智慧物聯(lián)項(xiàng)目及OxideOLED面表3：2023年國(guó)內(nèi)主流面板廠擴(kuò)產(chǎn)情況9/22東吳證券研究所東吳證券研究所數(shù)據(jù)來源：各公司公告及官網(wǎng)，政策引導(dǎo)自主開發(fā)，期待潛力充分釋放。2017年1月，工信部等四部委首次提出，201912（2019202112（2021版198業(yè)鏈供應(yīng)鏈安全，強(qiáng)化資源等安全保障體系建設(shè)。電子特氣自主開發(fā)迫切，保障半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈安全。電子特氣為晶圓制造中第二大耗材，占晶圓制造材料成本13%。根據(jù)億渡數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2020年我國(guó)電子特氣企業(yè)市占率已提升至15%。受下游產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展和國(guó)家政策的雙重驅(qū)動(dòng)，助推行業(yè)景氣度進(jìn)一步提振。最新研究10/22東吳證券研究所華特氣體2023年三季度點(diǎn)評(píng)：業(yè)績(jī)環(huán)比持續(xù)改善，下游需求復(fù)蘇日趨明朗東吳證券研究所事件20232023Q33.8925.14%0.4730.77%0.44億元，同比減少34.05%，業(yè)績(jī)符合預(yù)期。2023Q33954%180707%，35.84%0.4434.05%48.06%。2023Q1-Q31.221.1337.19%原因?yàn)?022SIA，2381.9%6進(jìn)一步豐富產(chǎn)品結(jié)構(gòu)，培育新業(yè)績(jī)?cè)鲩L(zhǎng)點(diǎn)。公司積極向全品類氣體供應(yīng)商進(jìn)軍，已成為國(guó)內(nèi)經(jīng)營(yíng)氣體品種最多的企業(yè)之一，實(shí)現(xiàn)近50種產(chǎn)品自主開發(fā)。為深化在高端半17641285%SKASMLGIGAPHOTON分子激光氣體產(chǎn)品通過ExciStar193nm5nm盈利預(yù)測(cè)與投資評(píng)級(jí)：考慮到前三季度稀有氣體價(jià)格維持低位且需求端較為疲軟，2023-20252.36/2.83/3.522.06/2.48/3.09億元，2023-20250%/20%/25%40/33/27風(fēng)險(xiǎn)提示：下游需求不及預(yù)期、項(xiàng)目研發(fā)不及預(yù)期、價(jià)格波動(dòng)風(fēng)險(xiǎn)凱美特氣2023年中報(bào)點(diǎn)評(píng)：上半年業(yè)績(jī)暫時(shí)承壓，下半年有望走出陰11/22東吳證券研究所霾東吳證券研究所事件：公司發(fā)布2023年半年度報(bào)告，2023年上半年公司實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入2.94億元，同比減少18.97%；歸母凈利潤(rùn)892.45萬元，同比減少89.21%；扣非歸母凈利潤(rùn)166.07萬元，同比減少97.84%。2023H12.94-89%2589132155-421374532431增加27523H10.98-14.03%33.44%0.25-62.19%,8.45%。1）2）12022勵(lì)計(jì)劃導(dǎo)致2023年半年度計(jì)提股份支付減少凈利潤(rùn)。隨半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)周期逐步走出下行低谷，公司二季度業(yè)績(jī)環(huán)比修復(fù)，未來業(yè)績(jī)有望進(jìn)一步環(huán)比提升。1）尾氣回收工藝綁定大型央企，2）高質(zhì)量產(chǎn)品獲食品飲料及工業(yè)客戶廣56萬噸揭陽(yáng)新建二氧化碳回收裝置，一期建成規(guī)模30萬噸/年，深度布局南方區(qū)域。定增募資71）持續(xù)充30（27.5%計(jì)提升原料自給保障，90,000Nm33）多項(xiàng)電子特氣產(chǎn)品已獲ASMLCOHERENT后2023-2025年公司歸母凈利潤(rùn)預(yù)測(cè)從2.45/3.41/3.96億元下調(diào)至1.74/2.26/3.01（估值日期：23930553%31//4倍風(fēng)險(xiǎn)提示：下游需求不及預(yù)期，項(xiàng)目研發(fā)不及預(yù)期，市場(chǎng)價(jià)格波動(dòng)風(fēng)險(xiǎn)華特氣體2023年中報(bào)點(diǎn)評(píng)：需求復(fù)蘇日趨明朗，持續(xù)豐富產(chǎn)品結(jié)構(gòu)，12/22東吳證券研究所培育新業(yè)績(jī)?cè)鲩L(zhǎng)點(diǎn)東吳證券研究所事件：公司發(fā)布2023年半年度報(bào)告，2023年上半年公司實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入7.41億元，16.21%0.7536.85%0.69億39.05%。2023H17.4116.21%；0.7536.85%2023Q23.8223.71%；0.3556.20%戶稼動(dòng)率走低，對(duì)上游特氣等原料需求減少。根據(jù)美國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)(SIA)數(shù)據(jù)，2023Q1同比下降毛利率進(jìn)一步優(yōu)化，2023H1經(jīng)營(yíng)現(xiàn)金流同增18967%，改善顯著。2023H1實(shí)現(xiàn)毛利率29.2%，同增1.0pct，通過延伸產(chǎn)業(yè)鏈、業(yè)務(wù)模式調(diào)整等毛利率優(yōu)化戰(zhàn)略，促盈利2249.872310597，進(jìn)一步豐富產(chǎn)品結(jié)構(gòu)，培育新業(yè)績(jī)?cè)鲩L(zhǎng)點(diǎn)。公司積極向全品類氣體供應(yīng)商進(jìn)軍，已成為國(guó)內(nèi)經(jīng)營(yíng)氣體品種最多的企業(yè)之一，實(shí)現(xiàn)近50種產(chǎn)品自主開發(fā)。為深化在高端半1764890%SK2023-20252.65/3.54/4.61億26233220122515%/20%/25%，對(duì)應(yīng)30/25/20倍PE，維持“買入”評(píng)級(jí)。風(fēng)險(xiǎn)提示：下游需求不及預(yù)期、項(xiàng)目研發(fā)不及預(yù)期、價(jià)格波動(dòng)風(fēng)險(xiǎn)華特氣體：特氣領(lǐng)軍者，品類拓展產(chǎn)能擴(kuò)充驅(qū)動(dòng)快速成長(zhǎng)1）特種氣體為晶圓13/22東吳證券研究所13%耗材，占IC5%-6%2）半導(dǎo)體東吳證券研究所202520252021296.9/月82021-202516.6%。關(guān)注供應(yīng)鏈安全，電子特氣國(guó)產(chǎn)率僅15%，自主可控強(qiáng)邏輯。二十大報(bào)告強(qiáng)調(diào)產(chǎn)業(yè)鏈關(guān)鍵環(huán)節(jié)自主可控，關(guān)注核心技術(shù)攻堅(jiān)&材料自主研發(fā)，2020年電子特氣國(guó)產(chǎn)化率僅15%，自主開發(fā)迫切。我國(guó)特氣企業(yè)不斷強(qiáng)化核心技術(shù)、提升產(chǎn)品品質(zhì)、擴(kuò)產(chǎn)氣體品類，逐步打破國(guó)外廠商壟斷，自主開發(fā)浪潮涌起。240程打破外資壟斷，實(shí)現(xiàn)近50種產(chǎn)品自主開發(fā)。國(guó)內(nèi)首家打破高純六氟乙烷、高純?nèi)淄?、高純八氟丙烷、高純二氧化碳、高純一氧化碳、高純一氧化氮、以及光刻氣等產(chǎn)品進(jìn)口制約的氣體公司。布局前端產(chǎn)業(yè)鏈純化環(huán)節(jié)，打造閉環(huán)生產(chǎn)模式。ASML20231Coherent德國(guó)公司ExciStar193nm測(cè)81290%15141075中國(guó)等中國(guó)、SK（2023-20252.65/3.54/4.6129%/33%/30%PE36/27/21”風(fēng)險(xiǎn)提示：下游需求不及預(yù)期、項(xiàng)目研發(fā)不及預(yù)期、價(jià)格波動(dòng)風(fēng)險(xiǎn)凱美特氣：2022業(yè)績(jī)?cè)鲩L(zhǎng)19.25%，特氣表現(xiàn)亮眼貢獻(xiàn)核心增量282+7166（95E為46%+6pt2119（07-09-562022年?duì)I收1305.83%202214/22東吳證券研究所毛利率9（21c90+14t1258（353101p225東吳證券研究所（88436（8c)）11（862503p4148+325（60cROE6.10pct202214.36%202226.99%1.851）56建成規(guī)模30萬噸/年，深度布局南方區(qū)域。特氣業(yè)務(wù)增速迅猛，多重保障驅(qū)動(dòng)公司新一輪成長(zhǎng)期。1）持續(xù)充盈特氣品類，岳陽(yáng)電子特氣項(xiàng)目包括高純二氧化碳、氦氖氪氙稀有氣體、激光混配氣等，宜章項(xiàng)目包含2）90,000Nm32023Q2&ASMLCOHERENT20222.572021132023-20243.64/5.072.45/3.4120253.96億33/23/20評(píng)級(jí)。風(fēng)險(xiǎn)提示：下游需求不及預(yù)期，項(xiàng)目研發(fā)不及預(yù)期，市場(chǎng)價(jià)格波動(dòng)風(fēng)險(xiǎn)半導(dǎo)體配套治理：剛需&高壁壘鑄就價(jià)值，設(shè)備自主開發(fā)&耗材突破高端制程/&清潔度&自動(dòng)化程度&15/22東吳證券研究所東吳證券研究所自主開發(fā)&耗材模式化&高端制程突破，半導(dǎo)體配套治理空間廣闊。中國(guó)IC自給率僅16.7%，舉國(guó)體制發(fā)展保障國(guó)家、產(chǎn)業(yè)鏈安全。產(chǎn)業(yè)東移&自主開發(fā)加速，中國(guó)半導(dǎo)體資本開支依然強(qiáng)勁，我們預(yù)計(jì)2021-2025年中國(guó)大陸晶圓/面板產(chǎn)能復(fù)合增速16.6%/8.0%。設(shè)備：國(guó)產(chǎn)設(shè)備技術(shù)突破，廢氣治理&臭氧自主開發(fā)加速。①泛半導(dǎo)體廢氣治理：龍頭引領(lǐng)自主開發(fā)，國(guó)產(chǎn)化率快速提升市場(chǎng)釋放。我們測(cè)算2023年國(guó)內(nèi)廢氣治理/附屬制程設(shè)備市場(chǎng)空間29億元/34億元。梳理中國(guó)大陸核心供應(yīng)商，測(cè)算2021年晶圓廠廢氣治理國(guó)產(chǎn)化率約24%，制程附屬設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率約23%。行業(yè)已具備自主開發(fā)基礎(chǔ)，國(guó)產(chǎn)化率有望快速提升，促行業(yè)翻倍成長(zhǎng)。②半導(dǎo)體臭氧：即將實(shí)現(xiàn)突破。我們測(cè)算2023年國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體臭氧設(shè)備市場(chǎng)空間約54億元，2021年國(guó)產(chǎn)化率僅10%，本土龍頭公司已進(jìn)入下游主機(jī)廠穩(wěn)定性測(cè)試即將出貨。202322/482021/32%/19%20216%501&【華特氣體】產(chǎn)品獲國(guó)際龍頭認(rèn)證，下游領(lǐng)域拓展。風(fēng)險(xiǎn)提示：下游需求不及預(yù)期，項(xiàng)目研發(fā)不及預(yù)期，市場(chǎng)價(jià)格波動(dòng)風(fēng)險(xiǎn)被忽略的強(qiáng)邏輯：雙碳環(huán)保顯著的安全價(jià)值”（16/22東吳證券研究所（&新能源產(chǎn)業(yè)（東吳證券研究所供應(yīng)鏈安全：1）電子特氣自主開發(fā)迫切，保障半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈安全。電子特氣為晶圓制造中第二大耗材，占晶圓制造材料成本13%。2020年我國(guó)電子特氣國(guó)產(chǎn)化率僅15%。9萬2023Q22）具備自主開發(fā)基礎(chǔ)，建議關(guān)注臭氧發(fā)生器龍頭【國(guó)林科技】。3）壓濾機(jī)核心技術(shù)裝備龍頭護(hù)航下游新能源放量，建議關(guān)注【景津裝備】。能源安全2021-203023%重點(diǎn)推薦&能源安全23000-4000能源安全&重點(diǎn)推薦【新奧股份】等。527202114%/7%年國(guó)內(nèi)鋰電回用產(chǎn)生的碳酸鋰貢獻(xiàn)國(guó)內(nèi)動(dòng)力電池碳酸鋰/國(guó)內(nèi)碳酸鋰需求為17/22東吳證券研究所31%/19%203541%/29%東吳證券研究所風(fēng)險(xiǎn)提示：政策風(fēng)險(xiǎn)，項(xiàng)目進(jìn)展不及預(yù)期，原料價(jià)格波動(dòng)，競(jìng)爭(zhēng)加劇等新一輪成長(zhǎng)事件：2023年2月2日,公司控股子公司岳陽(yáng)凱美特電子特種稀有氣體有限公司光刻氣產(chǎn)品獲得ASML子公司Cymer公司合格供應(yīng)商認(rèn)證函。202322ASMLCymerASML子公司CymerCymer是如今半導(dǎo)體制造中最關(guān)鍵的光刻技術(shù)所必需的組成部分。產(chǎn)品組合包括使用氟化氬Cymer認(rèn)證凸顯公司競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)，助力公司鑄就高毛利&高壁壘。1)突破認(rèn)證獲光刻機(jī)設(shè)備Cymer1）90,000Nm32023Q2&ASMLCymer2022M1-92.57202113倍，增速迅猛驅(qū)動(dòng)公司新一輪成長(zhǎng)期。18/22東吳證券研究所考慮稀有氣體價(jià)格下滑因素，我們將2023-2024年公司凈利潤(rùn)預(yù)測(cè)從3.64/5.07億元下調(diào)至2.45/3.41億元，預(yù)計(jì)2025年歸母凈利潤(rùn)東吳證券研究所為3.962023-2025年歸母凈利潤(rùn)增速為48%/39%/16%33/23/20倍PE，維持“買入”評(píng)級(jí)。風(fēng)險(xiǎn)提示：下游需求不及預(yù)期，項(xiàng)目研發(fā)不及預(yù)期，市場(chǎng)價(jià)格波動(dòng)風(fēng)險(xiǎn)九豐能源：LNG“海陸雙氣源”布局完善，制氫渝氫能市場(chǎng)深耕LNG業(yè)務(wù)，布局氫能&氦氣發(fā)展：公司產(chǎn)品包括LPG、LNG、甲醇&二甲醚202020212022100%&28%“”進(jìn)2021+6.23.9202123.5%，未來ROELNG年CAGR10.7%LNGLNG1）量的角度司LNG15060/60萬噸3002021年LNG±20%，陸氣海氣穩(wěn)定成本。3）角度>戶占國(guó)內(nèi)總客戶數(shù)70%，未來比例提升至90%，順價(jià)能力進(jìn)一步增強(qiáng)。川渝加氫20241036738/公司鎖定廣東巨正源2.5萬噸2025（12.7/毛利率達(dá)運(yùn)公司清潔能源主業(yè)穩(wěn)定發(fā)展