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杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目杭州天川環(huán)??萍加邢薰緡h(huán)評證乙字第2039號2017年7月杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目 1 1 2 3 4 5 6 7 7 11 18 21 24 26 26 28 44 47 53 58 58 59 61 61 72 824.4技改前后企業(yè)污染物排放變化情況匯總 90 94 95 95 97 98 109 111 111 117 117 119 122 123 123 128杭州天川環(huán)保科技有限公司I杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目 128 130 133 133 134 1367.7《光伏制造行業(yè)規(guī)范條件(2015 141 142 142 142 144 144 144 148 149 150 151 151 151 155 159 159 162 162 163杭州天川環(huán)??萍加邢薰綢I杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目杭州天川環(huán)保科技有限公司III杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目第一章概述杭州天川環(huán)保科技有限公司1杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目濟(jì)局出具的浙江省工業(yè)企業(yè)“零土地”技術(shù)改造項(xiàng)目備案通知書(濱發(fā)改技備),控制”和“污染物達(dá)標(biāo)排放”原則等,掌握技改前企業(yè)污染物產(chǎn)生、處理及排放情(2)在進(jìn)行工程分析及環(huán)境影響預(yù)測的基礎(chǔ)上,進(jìn)行污染防治對策研究,(4)從項(xiàng)目所在區(qū)域環(huán)境功能區(qū)劃要求、產(chǎn)業(yè)政策相符性、總量控制和清杭州天川環(huán)??萍加邢薰?杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目①按照《建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響評價技術(shù)導(dǎo)則總綱》(HJ2.1-2016)要求,在杭州天川環(huán)??萍加邢薰?杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目2、土地利用規(guī)劃和城鄉(xiāng)總體規(guī)劃符合性判定杭州天川環(huán)??萍加邢薰?杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目技改項(xiàng)目主要從事太陽能光伏電池片的生產(chǎn),轉(zhuǎn)換效率可由16.5%提高至勵類”第十九條“輕工”第十八款“先進(jìn)的各類太陽能光伏電池及高純晶體硅材料),另外,根據(jù)《關(guān)于發(fā)布<環(huán)境保護(hù)部審批環(huán)境影響評1.5評價關(guān)注的主要環(huán)境問題及環(huán)境影響杭州天川環(huán)保科技有限公司5杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目杭州天川環(huán)??萍加邢薰?杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目第二章總則2.1.1法律、法規(guī)及部門規(guī)章杭州天川環(huán)??萍加邢薰?杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目部門規(guī)范性文件(3)《關(guān)于印發(fā)<企業(yè)事業(yè)單位突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案備案管理辦法(試杭州天川環(huán)??萍加邢薰?杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目省規(guī)章及規(guī)范性文件(6)《轉(zhuǎn)發(fā)環(huán)境保護(hù)部關(guān)于切實(shí)加強(qiáng)風(fēng)險防范嚴(yán)格環(huán)境影響評價管(9)《關(guān)于進(jìn)一步加強(qiáng)建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境保護(hù)“三同時”管理的意見》,浙環(huán)發(fā)杭州天川環(huán)??萍加邢薰?杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目(15)《關(guān)于印發(fā)<浙江省揮發(fā)性有機(jī)物污染整治方案>的通知》,浙環(huán)發(fā)(16)杭州市人民政府辦公廳關(guān)于印發(fā)杭州市能源發(fā)展“十三五”規(guī)劃的通地方技術(shù)規(guī)范杭州天川環(huán)??萍加邢薰?0杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目地方產(chǎn)業(yè)政策(4)《杭州市2013年產(chǎn)業(yè)發(fā)展導(dǎo)向目錄和空間布局指引》(杭政辦函2.1.4其他相關(guān)技術(shù)文件(2)杭州大和熱磁電子有限公司委托杭州天川環(huán)保科技有限公司編制項(xiàng)目2.2評價因子和評價標(biāo)準(zhǔn)杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目水pH▲CODCr▲▲▲▲▲▲▲SS▲▲氣▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲聲▲▲?!鴓H、CODCr、BOD5、NH3-N、SS、石油類、總磷、氟pH、SS、氟化物、NH3-NK+、Na+、Ca2+、Mg2+、CO32-、HCO3-、Cl-、SO42-、pH、CODMnSO2、NO2、PM10、非甲烷總烴、氯化氫、氟化物、氮/杭州天川環(huán)保科技有限公司12杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目/顆粒物(PM10)//NH3pHNH3-NBOD5類物pHCODMn杭州天川環(huán)??萍加邢薰?3杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目NH3-N2根據(jù)環(huán)保部有關(guān)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)的有關(guān)規(guī)定,技改項(xiàng)目污染物排放標(biāo)準(zhǔn)的情況杭州天川環(huán)保科技有限公司14杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目//////////氨杭州天川環(huán)??萍加邢薰?5杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目間間華陽通工廠間度D=45LD50/1000,式中LD50---大鼠經(jīng)口給毒的半數(shù)致死劑量,醋酸LD503530mg/kg(大鼠經(jīng)口)。杭州天川環(huán)??萍加邢薰?6杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目表2.2-8一工廠和華陽通工廠廢水排放執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)單位:除pH外均pHCODCrBOD5氨氮氟化物總磷石油類口 涉及太陽能電池產(chǎn)品和硅產(chǎn)品生產(chǎn)線的改造,技改后二工廠總排放口廢水執(zhí)行表2.2-9二工廠廢水排放執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)單位:除ppHCODCr物總氮準(zhǔn)表2.2-10蕭山錢江污水處理廠排放執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)單位:除pH外pHCODCrBOD5總磷類 8/3 杭州天川環(huán)??萍加邢薰?7杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目24處置場污染控制標(biāo)準(zhǔn)》(GB18599-2001)、《危險廢物貯存污染控制標(biāo)準(zhǔn)》2.3評價等級和評價范圍根據(jù)《環(huán)境影響評價技術(shù)導(dǎo)則》(HJ2.1-2011、HJ2.2-2008、HJ/T2.3-93、3。杭州天川環(huán)??萍加邢薰?8杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目2.3-1評價工作等級評價工作等級一級Pi≥80且D10%≥5km二級三級Pi<10%或D10%<污染源距廠界最近距離根據(jù)工程分析,項(xiàng)目廢水主要為廢氣處理裝置中噴淋廢水和硅產(chǎn)品清洗廢表2.3-2項(xiàng)目地下水評價工作等級劃分一一二一二三二三三杭州天川環(huán)??萍加邢薰?9杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目劃分標(biāo)準(zhǔn),見表2.3-4。根據(jù)《危險化學(xué)品重大危險源辨一二一一二二二二一一一一表2.3-4生態(tài)影響評價工作等級劃分表僅對項(xiàng)目所在地質(zhì)單元地下水環(huán)境現(xiàn)狀和環(huán)境影響進(jìn)行分析杭州天川環(huán)??萍加邢薰?0杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目2.4相關(guān)規(guī)劃及環(huán)境功能區(qū)劃2.4.1杭州高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)總體規(guī)劃概況杭州天川環(huán)??萍加邢薰?1杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目“六片”六個居住片,即西興居住片、中興居住片、之江居住片、長河居住“三基地”三個研發(fā)基地,即高新研發(fā)基地(以現(xiàn)狀高新軟件園為基礎(chǔ)),西興2.4.2環(huán)境功能區(qū)劃杭州天川環(huán)保科技有限公司22杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目表2.4-1水功能區(qū)、水環(huán)境功能區(qū)劃分表Ⅲ根據(jù)《杭州市主城區(qū)聲環(huán)境功能區(qū)劃分方案的批復(fù)》(杭政函[2014]51號)杭州天川環(huán)??萍加邢薰?3杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目1、禁止新建、擴(kuò)建三類工業(yè)項(xiàng)目,鼓勵對三造。除經(jīng)批準(zhǔn)專門用于三類工業(yè)集聚的開發(fā)區(qū)(工業(yè)區(qū))外,禁止新建、擴(kuò)建4、優(yōu)化居住區(qū)與工業(yè)功能區(qū)布局,在居住區(qū)和工業(yè)功能區(qū)、工業(yè)企業(yè)之間2.5主要環(huán)境保護(hù)目標(biāo)杭州天川環(huán)??萍加邢薰?4杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目表2.5-1廠區(qū)周邊主要環(huán)境保護(hù)目標(biāo)及敏感因素序號環(huán)境要素1環(huán)境空氣及聲環(huán)境濱盛社區(qū)北級北北北北北北濱文社區(qū)南南之江社區(qū)六合社區(qū)西西西南南南2水環(huán)境北/杭州天川環(huán)??萍加邢薰?5杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目第三章現(xiàn)有工程概況3.1現(xiàn)有工程基本情況杭州天川環(huán)??萍加邢薰?6杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目序號產(chǎn)品名稱規(guī)模位置環(huán)評名及環(huán)評日期環(huán)評批復(fù)及時間驗(yàn)收批復(fù)及時間1石英管/年一工廠杭州大和熱磁電子有限公司擴(kuò)建項(xiàng)目環(huán)境影響評價報告表(1998批文遺失1998/11/16杭環(huán)保設(shè)驗(yàn)(2002)152號2002/11/212磁性流體真空傳動裝置年一工廠3鋰電池二工廠杭州大和熱磁電子有限公司二期鋰電池擴(kuò)建項(xiàng)目環(huán)境影響及TE、GD、SMT項(xiàng)目后環(huán)境評價報告環(huán)評批復(fù)[2003]036號2003/01/23杭環(huán)濱環(huán)保設(shè)竣驗(yàn)(2003)020號2003/11/184/5/6/7二工廠D1樓杭州大和熱磁電子有限公司新建生產(chǎn)廠房環(huán)境影響評價報告表環(huán)評批復(fù)[2003]030號2003/11/18杭環(huán)濱環(huán)保設(shè)竣驗(yàn)(2005)46號2005/11/789枚半山和源工廠鈑金年產(chǎn)二工廠D1樓年產(chǎn)值2.1億元一工廠杭州大和熱磁電子有限公司新增環(huán)評批復(fù)2007/10/8濱環(huán)驗(yàn)[2009]074號2009/11/24MTM年產(chǎn)值2.7億元二工廠機(jī)電產(chǎn)品年產(chǎn)值2.0億元二工廠B1樓太陽能二工廠A3樓杭州大和熱磁電子有限公司新增年產(chǎn)100MW晶體硅太陽能電池生產(chǎn)線和25MW晶體硅太陽能組件生產(chǎn)線項(xiàng)目環(huán)境影響評價報告濱環(huán)評批2010/4/15濱環(huán)驗(yàn)[2013]104號2013/10/28大型真空設(shè)備二工廠D1樓杭州大和熱磁電子有限公司大型真空設(shè)備加工組裝生產(chǎn)線及擴(kuò)產(chǎn)備用廠房擴(kuò)建項(xiàng)目環(huán)境影響環(huán)評報告表(2010年07月)濱環(huán)評批[2010]120號2010/7/19濱環(huán)驗(yàn)2013/11/26特種陶瓷產(chǎn)品50000套華陽通杭州大和熱磁電子有限公司年產(chǎn)特種陶瓷產(chǎn)品50000套擴(kuò)建項(xiàng)目環(huán)境影響環(huán)評報告表(2011年01濱環(huán)評批2011/1/18濱環(huán)驗(yàn)[2016]30號2016/6/6大規(guī)格石英玻璃制品一工廠新增年產(chǎn)電子級大規(guī)格石英玻璃制品42000枚及擴(kuò)建廠房項(xiàng)目環(huán)境影響報告表(2011年08月)濱環(huán)評批[2011]181號2011/8/7項(xiàng)目未實(shí)施太陽能用多晶M-TEC枚二工廠濱環(huán)評批[2011]182號2011/8/7濱環(huán)驗(yàn)[2016]29號2016/6/3杭州天川環(huán)保科技有限公司27杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目壓力容器二工廠D1樓杭州大和熱磁電子有限公司年產(chǎn)100臺壓力容器建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響環(huán)評報告表(2016年03月)濱環(huán)評批[2016]100號2016/3/2220光伏發(fā)電0.9MWp二工廠 杭州大和熱磁電子有限公司年產(chǎn)0.9MWp分布式光伏發(fā)電項(xiàng)目環(huán)濱環(huán)評批[2016]102號2016/3/28現(xiàn)有項(xiàng)目中一工廠和華陽通工廠生活污水經(jīng)各自廠區(qū)生活污水處理裝置預(yù)廢水經(jīng)廠區(qū)生產(chǎn)污水處理裝置預(yù)處理達(dá)到《電池工業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》3.2企業(yè)現(xiàn)有產(chǎn)品及其主要原輔材料和設(shè)備情況杭州天川環(huán)??萍加邢薰?8杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目焊接組裝(火加工)石英材料切割洗凈包裝純水洗凈化學(xué)洗凈最終檢查刻蝕洗凈焊接組裝(火加工)石英材料切割洗凈包裝純水洗凈化學(xué)洗凈最終檢查刻蝕洗凈機(jī)械加工(冷加工)石英錠切割平面加工研磨洗凈加工中心洗凈尺寸檢查噪聲、固廢噪聲、固廢噪聲、固廢噪聲、固廢廢水尺寸檢查噪聲、固廢噪聲、固廢廢水廢氣廢水表3.2-1企業(yè)現(xiàn)有QZ項(xiàng)目主要原輔材料消耗匯總序號物料名稱重要組成、規(guī)格、指標(biāo)年平均1石英棒/根97532石英管/根3石英錠/kg4研磨粉C360#kg5洗凈劑/kg6石榴砂t57研磨粉E-30kg870%t32.9936%t45.1氫氟酸t(yī)嘉士多24#L400乳化液CL-5Lkg990水/t21900杭州天川環(huán)保科技有限公司29杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目精加工超聲波清洗精加工超聲波清洗序號設(shè)備名稱1外圓磨床個62平面磨床個83LAP研削機(jī)臺44PLLISH研削機(jī)臺65無心磨床個26臺27激光切割機(jī)臺48水切割機(jī)臺29超聲波清洗機(jī)臺化學(xué)洗凈機(jī)臺純水洗凈機(jī)臺6旋盤機(jī)臺21臺溝切機(jī)臺8鋸床個2圓筒研削機(jī)臺2晶錠切割機(jī)臺5晶錠鉆孔機(jī)臺2三次元檢測機(jī)臺4 粗加工特殊形狀加工特殊工藝加工噪聲、廢水噪聲、廢水噪聲、固廢廢氣杭州天川環(huán)保科技有限公司30杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目表3.2-3企業(yè)現(xiàn)有VF項(xiàng)目主要原輔材料消耗匯總一覽表序號物料名稱年平均1鋼材kg80802銅材kg3乳化液kg4玻璃砂t5氬氣m36氧氣m32887m32888水t36000表3.2-4企業(yè)現(xiàn)有VF項(xiàng)目主要設(shè)備序號設(shè)備名稱1NC車床臺442CNC車床臺3臺4銑床臺15普通車床臺46儀表車床臺37攻絲機(jī)臺18CNC外圓磨床臺29無心磨床臺1平面磨床臺1數(shù)顯鏜床臺1NC鏜床臺1臥式車床臺2搖臂鉆床臺1杭州天川環(huán)保科技有限公司31杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目純水廢氣FH-M廢水過濾水廢表面清理固廢(危廢)廢水錫膏印刷廢水純水廢氣FH-M廢水過濾水廢表面清理固廢(危廢)廢水錫膏印刷廢水晶棒切割檢查噴砂噴鎳上錫上蠟切割噪聲、廢水粉塵粉塵廢氣噪聲、廢水粉塵粉塵廢氣檢查入庫廢氣廢水廢氣次品洗蠟 封膠清洗砂洗焊線研磨組立選別烘干領(lǐng)料組裝檢測包裝噪聲噪聲、固廢煙塵噪聲、固廢粉塵、噪聲廢水廢水、噪聲材料準(zhǔn)備機(jī)械加工焊接機(jī)械加工打磨拋光清洗真空檢漏水壓測試包裝入庫過濾水過濾水廢氣水水成品入庫杭州天川環(huán)??萍加邢薰?2杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目表3.2-5企業(yè)現(xiàn)有熱電產(chǎn)品項(xiàng)目主要原輔材料消耗匯總一覽表序號物料名稱年平均1t2基板22003去污粉kg4蠟kg5鎳粉t7.26錫t67焊劑(松香型)加侖4808氧化鋁粉t249個MTMTED個2425059機(jī)殼個3018874風(fēng)管個615911個2921650套管1米516276套管2根441985個12324309分流片個241873隔熱扎帶個2283427膠帶卷7000蘑菇貼個322457個504419標(biāo)簽張2574592接插件個2791759過濾網(wǎng)個簧銅鉚釘個600029彈簧夾個298570密封墊個900093傳感器個膠粘紙張298865銅翅片個299108其它個L/a太陽能多晶爐無塵紗布包/a海棉棒支/a6000杭州天川環(huán)保科技有限公司33杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目手套雙/a3600氦氣主材不銹鋼t/a焊條t/a半導(dǎo)體材料kg/a4320M-TEC微型制基板萬片/a2880錫膏kg/a密封膠kg/a720清洗劑(FH-M)kg/a3000表3.2-6企業(yè)現(xiàn)有熱電產(chǎn)品項(xiàng)目主要設(shè)備一覽表序號設(shè)備名稱1晶棒切割機(jī)臺82晶片噴砂機(jī)臺23DICE切割機(jī)臺264銑床臺45研磨機(jī)臺36噴鎳機(jī)臺17砂洗機(jī)臺38超聲波清洗機(jī)臺49臺3噴碼機(jī)臺1錫膏印刷機(jī)臺1鉚釘機(jī)臺1MTM加工中心套6太陽能用多晶爐普車臺研磨、研削機(jī)臺數(shù)控車床、機(jī)床臺車削設(shè)備臺澆鑄機(jī)臺6千分尺等量具套各項(xiàng)檢測/測量儀器套內(nèi)圓切割機(jī)臺4M-TEC微型制冷DICE切割機(jī)臺超聲清洗機(jī)臺4臺2貼片機(jī)臺8杭州天川環(huán)保科技有限公司34杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目廢氣擦凈真空和水壓檢漏成品包裝清下水廢氣擦凈真空和水壓檢漏成品包裝清下水老化儀臺焊接設(shè)備臺切割泥回收設(shè)備臺4傳動系統(tǒng)精度測試采購機(jī)械加工組裝檢測包裝減板沖壓精工折彎焊接拋光整形終檢入庫噪聲噪聲噪聲廢氣噪聲杭州天川環(huán)??萍加邢薰?5杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目表3.2-7企業(yè)現(xiàn)有真空產(chǎn)品項(xiàng)目主要原輔材料消耗匯總一覽表序號1真空腔體套/年2700大型真空設(shè)備2真空法蘭套/年27003真空管道套/年27004其它真空零件套/年27005丙酮(濃度99.8%以t/a0.706t/a0.357金屬板材t鈑金8氬氣m39二氧化碳m324不銹鋼板材t/a壓力容器氬氣m324不銹鋼焊絲t/a切削液t/a磨光片3600鋁t機(jī)電產(chǎn)品不銹鋼t鋼t473銅t4切削液t2.43表3.2-8企業(yè)現(xiàn)有真空產(chǎn)品項(xiàng)目主要設(shè)備一覽表序號1組裝流水線條8大型真空設(shè)備2檢漏設(shè)備套43五金工具套若干套4測試臺臺25水平測試儀套2杭州天川環(huán)??萍加邢薰?6杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目6空壓設(shè)備套17擺式減板機(jī)臺18數(shù)控車床臺29數(shù)控折彎機(jī)臺4壓鉚機(jī)臺1臺1鉆床臺5剪板機(jī)臺1卷板機(jī)臺1等離子切割機(jī)臺1鉆床臺1坡口機(jī)臺1氬弧焊機(jī)臺2起保焊機(jī)臺5滾焊臺臺2半自動焊機(jī)套1焊材烘干箱臺1焊材保溫箱臺1焊條保溫筒只6臺1臺1角向磨光機(jī)臺5耐壓試驗(yàn)設(shè)備臺1氣密性試驗(yàn)設(shè)備臺1超聲波探傷儀臺1超聲波測厚儀臺1光譜分析儀臺11空氣壓縮機(jī)臺12檢驗(yàn)工具(游標(biāo)卡尺、直尺、放大鏡等)套若干3東芝鏜銑床臺14化學(xué)洗凈線條15HASSVF6車床臺26東芝龍門機(jī)床臺1杭州天川環(huán)??萍加邢薰?7杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目N2N2CF4N2N22NaOH+2Si+H2O=2NaSiO3+杭州天川環(huán)保科技有限公司38杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目料板焊接材料剪裁測試包裝料板焊接材料剪裁測試包裝入庫組件鋪設(shè)組件壓層裝框裝框性能測試寸進(jìn)行切割,切割所用的設(shè)備為裁紙刀和剪刀,無需用到乳化液(油d表3.2-9太陽能電池及組件產(chǎn)品主要原輔材料消耗一覽表序號物料名稱重要組成、規(guī)格、指標(biāo)年耗量形態(tài)、儲存方式運(yùn)輸方案1硅片純度99.99999%固態(tài)、箱裝購買/汽運(yùn)2正銀漿33-462進(jìn)口7.68t固態(tài)、瓶裝購買/汽運(yùn)3背銀漿3347進(jìn)口8.64t固態(tài)、瓶裝購買/汽運(yùn)4鋁漿46.08t固態(tài)、瓶裝購買/汽運(yùn)5氫氧化鈉48%EL級123.84m3液態(tài)、瓶裝購買/汽運(yùn)6VL級249.6m3液態(tài)、瓶裝購買/汽運(yùn)7氫氟酸49%VL級349.44m3液態(tài)、瓶裝購買/汽運(yùn)8異丙醇99.9%EL級488t液態(tài)、瓶裝購買/汽運(yùn)9/3840m氣態(tài)、儲罐購買/汽運(yùn)三氯氧磷MOS級液態(tài)、瓶裝購買/汽運(yùn)硅烷99.9999%3.36t氣態(tài)、罐裝購買/汽運(yùn)高純氮?dú)?40瓶氣態(tài)、罐裝購買/汽運(yùn)高純氨氣99.999%(200kg/瓶)720瓶氣態(tài)、罐裝購買/汽運(yùn)氧氣6000瓶氣態(tài)、罐裝購買/汽運(yùn)氣態(tài)、罐裝購買/汽運(yùn)組件板/25MW//杭州天川環(huán)保科技有限公司39杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目表3.2-10晶體硅太陽能電池和晶體硅太陽能組件主要設(shè)備一覽表14套21臺/3管/44臺/54臺62臺/72臺/84臺/91臺4臺4臺1套/1套/1臺1臺/1臺1臺/1臺/1臺1套/1套/1套/1套/1套/1套/1套/1套/1套/1套/1條/杭州天川環(huán)??萍加邢薰?0杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目表3.2-11企業(yè)現(xiàn)有光伏發(fā)電項(xiàng)目主要原輔材料消耗和設(shè)備匯總一覽表1塊/2只4/3只/4只2/5/臺2/6米/7米/8米/9米/個/個/個/個/個/個/個//套1/杭州天川環(huán)??萍加邢薰?1杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目機(jī)加工氧化廢氣、廢水成品入庫廢水機(jī)加工氧化廢氣、廢水成品入庫廢水粉塵、廢水、廢液、固廢、噪聲廢水 石英柱切斷加工平面加工尺寸加工脫脂洗凈成品包裝廢水廢氣廢切削液退火超聲波清洗退火超聲波清洗化學(xué)清洗化學(xué)清洗超聲波清洗化學(xué)清洗噪聲、粉塵、廢砂噴砂產(chǎn)品組裝超聲波清洗化學(xué)清洗噪聲、粉塵、廢砂杭州天川環(huán)??萍加邢薰?2杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目表3.2-12特種陶瓷產(chǎn)品主要原輔材料消耗一覽表1523456175液態(tài)、瓶裝8液態(tài)、瓶裝94液態(tài)、瓶裝液態(tài)、瓶裝液態(tài)、瓶裝液態(tài)、瓶裝液態(tài)、瓶裝kg/a3液態(tài)、瓶裝m3/a2液態(tài)、瓶裝——表3.2-13特種陶瓷產(chǎn)品主要設(shè)備一覽表1套2臺43臺44/臺25/臺26/臺27/臺8/臺19/臺3/臺4/臺3/臺臺1臺3臺3臺2臺2 / 1杭州天川環(huán)??萍加邢薰?3杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目3.3現(xiàn)有企業(yè)污染物排放情況匯總量物CODCrNH3-N物物氣475kg/aVOCsVOCsNH3NH3杭州天川環(huán)??萍加邢薰?4杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目立有機(jī)廢氣*VOCs錫有機(jī)廢氣*VOCs有機(jī)廢氣*VOCsVOCs氣40.287t/aNH3生產(chǎn)廢水間CODCrNH3-NCODCrNH3-NCODCrNH3-NCODCr杭州天川環(huán)??萍加邢薰?5杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目NH3-N物物456kg/aNH3NOx生產(chǎn)廢水CODCrNH3-N2748m3/aCODCrNH3-NCODCrNH3-NCODCrNH3-N物量是在廢氣處理設(shè)備已改進(jìn)的基礎(chǔ)上計算的結(jié)果。杭州天川環(huán)保科技有限公司46杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目3.4現(xiàn)有企業(yè)污染物防治措施現(xiàn)狀杭州天川環(huán)??萍加邢薰?7杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目表3.4-1企業(yè)污染物防治措施工廠水污染物經(jīng)收集后匯入污水處理站,調(diào)節(jié)pH、絮凝沉淀處理后納管排放準(zhǔn)》中的三級納管標(biāo)準(zhǔn)達(dá)標(biāo)經(jīng)隔油、絮凝沉淀處理后納管排放經(jīng)化糞池、生化處理后納管排放大氣污染物由密閉的引風(fēng)柜引出,再送入堿液淋洗塔進(jìn)行噴淋,最后由15m高排氣筒高空排放。淋洗塔最低處理效率按90%計,淋洗后的廢水進(jìn)廠區(qū)污水處理站處理。一工廠共設(shè)5個堿液噴淋塔,其中VF車間1個(1#排氣筒,設(shè)計風(fēng)量8000m3/hQZ車間4個(2#~5#排氣筒,單個設(shè)計風(fēng)量10000m3/h)。《大氣污染物綜合排放噪聲合理進(jìn)行布局;所需通風(fēng)換氣風(fēng)機(jī)選用低噪聲型,進(jìn)出風(fēng)口均加裝高效消聲器;加強(qiáng)設(shè)備維護(hù)《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境(GB12348-2008)2類和4a類標(biāo)準(zhǔn)。達(dá)標(biāo)固廢一般固廢收集外售綜合利用不影響當(dāng)?shù)丨h(huán)境,減少二次污染。/危險固廢委托有資質(zhì)的單位處理生活垃圾委托當(dāng)?shù)丨h(huán)衛(wèi)部門統(tǒng)一集中處置水污染物經(jīng)收集后匯入污水處理站,調(diào)節(jié)pH、絮凝沉淀處理后納管排放《電池工業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》表2標(biāo)準(zhǔn)達(dá)標(biāo)水車間內(nèi)沉淀處理后納管杭州天川環(huán)??萍加邢薰?8杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目經(jīng)隔油處理后納管排放直接納管排放經(jīng)化糞池、生化處理后納管排放大氣污染物由密閉的引風(fēng)柜引出,再送入堿液淋洗塔進(jìn)行噴淋,最后由15m高排氣筒高空排放。淋洗塔最低處理效率按90%計,淋洗后的廢水進(jìn)廠區(qū)污水處理站處理(廢水站單獨(dú)設(shè)有一套噴淋塔,排氣筒為1#)。太陽能車間共設(shè)2套噴淋塔,1樓和3樓車間各一套(1樓為2#排氣筒,風(fēng)量為66000m3/h;3樓為3#排氣筒,風(fēng)量為667m3/h)?!峨姵毓I(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》表5標(biāo)準(zhǔn)超標(biāo)采用活性炭吸附,設(shè)置2套有機(jī)廢氣吸附塔(4#排氣筒風(fēng)量51000m3/h、5#排氣筒風(fēng)量300m3/h)《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB16297-1996)二級標(biāo)準(zhǔn)達(dá)標(biāo)先由引風(fēng)機(jī)引出,然后進(jìn)過硅烷燃燒塔燃燒除去SiH4(SiH4燃燒產(chǎn)物為SiO2和H2O再經(jīng)水噴淋除去NH3,最后由15m高排氣筒高空排放。SiH4完全燃燒,水噴淋最低效率93%,淋洗后的廢水進(jìn)廠區(qū)污水處理站處理。共設(shè)兩個硅烷燃燒塔,1樓和3樓車間各設(shè)一個(1樓6#排氣筒風(fēng)量為150m3/h、3樓7#排氣筒風(fēng)量為106m3/h)《電池工業(yè)污染物排作場所有害因素職業(yè)(GBZ2-2002)和《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB14554-93)達(dá)標(biāo)量20000m3/h;10#排氣筒:焊槽上錫工段廢氣,風(fēng)量12000m3/h;11#排氣筒:TED焊線工段廢氣,風(fēng)量為20000m3/h。12#排氣筒:TED組立工段廢氣,風(fēng)量《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB16297-1996)二級標(biāo)準(zhǔn)達(dá)標(biāo)杭州天川環(huán)??萍加邢薰?9杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目4200m3/h,14#排氣筒:5000m3/h)達(dá)標(biāo)噪聲合理進(jìn)行布局;所需通風(fēng)換氣風(fēng)機(jī)選用低噪聲型,進(jìn)出風(fēng)口均加裝高效消聲器;加強(qiáng)設(shè)備維護(hù)《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境(GB12348-2008)2類和4a類標(biāo)準(zhǔn)。達(dá)標(biāo)固廢廢包裝箱、廢硅片、廢石榴砂收集外賣回收利用;廢切削液等危廢與具有危險廢物處理資質(zhì)單位簽定接收處理協(xié)議,并報當(dāng)?shù)丨h(huán)保部門備案,落實(shí)追蹤制度;生活垃圾委托當(dāng)?shù)丨h(huán)衛(wèi)部門統(tǒng)一集中處置不影響當(dāng)?shù)丨h(huán)境,減少二次污染。達(dá)標(biāo)華陽通工廠水污染物準(zhǔn)》中的三級納管標(biāo)準(zhǔn)達(dá)標(biāo)經(jīng)化糞池處理后納管排放大氣污染物《大氣污染物綜合排放達(dá)標(biāo)固廢一般固廢收集外售綜合利用不影響當(dāng)?shù)丨h(huán)境,減少二次污染。達(dá)標(biāo)危險固廢委托有資質(zhì)的單位處理委托當(dāng)?shù)丨h(huán)衛(wèi)部門統(tǒng)一集中處置噪聲合理進(jìn)行布局;所需通風(fēng)換氣風(fēng)機(jī)選用低噪聲型,進(jìn)出風(fēng)口均加裝高效消聲器;加強(qiáng)設(shè)備維護(hù)《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境(GB12348-2008)2類和4a類標(biāo)準(zhǔn)。達(dá)標(biāo)杭州天川環(huán)??萍加邢薰?0杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目表3.4-2企業(yè)現(xiàn)有廢氣排氣筒設(shè)置情況見表率施號廠VF車間含酸100%堿液噴淋塔90%8000m3/hE120.16022N30.17918排氣筒高空排放100%堿液噴淋塔90%10000m3/hE120.16002N30.17908排氣筒高空排放2#100%堿液噴淋塔90%10000m3/hE120.15993N30.17909排氣筒高空排放3#100%堿液噴淋塔90%10000m3/hE120.15983N30.17908排氣筒高空排放4#100%堿液噴淋塔90%10000m3/hE120.15972N30.17907排氣筒高空排放5#廠90%堿液噴淋塔90%5000m3/hE120.16437N30.18184排氣筒高空排放100%堿液噴淋塔90%66000m3/hE120.16474N30.18157排氣筒高空排放2#100%堿液噴淋塔90%667m3/hE120.16520N30.18167排氣筒高空排放3#100%活性炭吸附裝置90%51000m3/hE120.16494N30.18158排氣筒高空排放4#100%活性炭吸附裝置90%300m3/hE120.16515N30.18172排氣筒高空排放5#100%硅烷燃燒塔+水噴淋93%150m3/hE120.16518N30.18181排氣筒高空排放6#100%硅烷燃燒塔+水噴淋93%106m3/hE120.16531N30.18175排氣筒高空排放7#氣氧化+20000m3/hN30.18214放杭州天川環(huán)保科技有限公司51杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目氣氧化+20000m3/hN30.18215放氧化+20000m3/hN30.18230放氣氧化+20000m3/hN30.18233放14200m3/hN30.18199放2N30.18240放廠100%堿液噴淋塔90%10000m3/hN30.17835排氣筒高空排放杭州天川環(huán)??萍加邢薰?2杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目3.5污染物排放達(dá)標(biāo)情況表3.5-1技改前一工廠有組織廢氣檢測結(jié)果序號1//2/3m4℃56量m3/h7N.d.m3/h8mg/m39 kg/h-2-2-2-3-3表3.5-2技改前二工廠有組織廢氣檢測結(jié)果序號1/樓(3#)樓(4#)/2/3m4℃56m3/h447N.d.m3/h448mg/m3//杭州天川環(huán)??萍加邢薰?3杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目9kg/h-2-2///mg/m3//kg/h//-4-4序號1//2/3m4℃56m3/h43347N.d.m3/h43348VOCs排放濃度mg/m3-2-29VOCs排放速率kg/h-3-3-4-4mg/m3kg/h-2-2-2序號1/錫出口001(11#)/2/3m4℃56m3/h44337N.d.m3/h43338mg/m3//9kg/h//-2-2VOCs排放濃度mg/m3-2//VOCs排放速率kg/h-3-4//mg/m3//kg/h-2/杭州天川環(huán)??萍加邢薰?4杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目表3.5-3技改前華陽通工廠有組織廢氣檢測結(jié)果序號13-4表3.5-4技改前一工廠廢水污染物排放情況//表3.5-5技改前二工廠廢水污染物排放情況//8/杭州天川環(huán)保科技有限公司55杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目表3.5-6技改前華陽通工廠廢水污染物排放情況98/pH口口杭州天川環(huán)??萍加邢薰?6杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目pHLeqL10L50L90LmaxLmin廠區(qū)二廠區(qū)杭州天川環(huán)??萍加邢薰?7杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目3.6企業(yè)現(xiàn)有污染物總量控制情況廠統(tǒng)一處理,廢水經(jīng)處理達(dá)到《城鎮(zhèn)污水處理廠污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》3.7企業(yè)現(xiàn)有環(huán)境管理機(jī)構(gòu)及制度情況3.7.1現(xiàn)有環(huán)境保護(hù)管理機(jī)構(gòu)(3)建立健全環(huán)保檔案,包括環(huán)評報告、環(huán)保工程驗(yàn)收報告、污染源監(jiān)測杭州天川環(huán)??萍加邢薰?8杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目(8)負(fù)責(zé)各車間環(huán)保工作及環(huán)境監(jiān)測的組織協(xié)調(diào),根據(jù)地方環(huán)保部門提出3.7.2現(xiàn)有環(huán)保管理制度3.8企業(yè)目前存在的主要環(huán)境問題及整改措施杭州天川環(huán)??萍加邢薰?9杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目(3)根據(jù)技改前二工廠廢水在線監(jiān)測數(shù)據(jù)及水樣采集檢測分析結(jié)果可知,(GB30484-2013)限值要求,需要加強(qiáng)對二工廠廢水站運(yùn)營的監(jiān)督和管理,密(4)企業(yè)現(xiàn)有已審批項(xiàng)目中壓力容器和光伏發(fā)電項(xiàng)目尚未申請驗(yàn)收,需加企業(yè)對現(xiàn)有的太陽能晶硅電池片進(jìn)行技術(shù)提升對于光伏產(chǎn)業(yè)的發(fā)展具有重杭州天川環(huán)保科技有限公司60杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目第四章建設(shè)項(xiàng)目工程分析4.1.2建設(shè)內(nèi)容主要內(nèi)容備注PECVD尾氣處理裝置及配套管路、激光開杭州天川環(huán)??萍加邢薰?1杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目硅反射膜、銀電氮化硅鍍層、背銀電極、鋁電場// 4.1.4原輔材料及能源消耗序號量10/20/30/446.08t046.08t/50/6VL級249.6m30249.6m3/749%VL級m30/80用 /0/杭州天川環(huán)??萍加邢薰?2杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目0/0/0/0////0/0用0 /0表4.1-4硅產(chǎn)品搬遷后項(xiàng)目主要原輔材料消耗一覽表序號10致210350液態(tài)、瓶裝40液態(tài)、瓶裝540液態(tài)、瓶裝60液態(tài)、瓶裝70液態(tài)、瓶裝80液態(tài)、瓶裝90液態(tài)、瓶裝kg/a30液態(tài)、瓶裝m3/a020液態(tài)、瓶裝0——杭州天川環(huán)??萍加邢薰?3杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目1分子量:72.08;熔點(diǎn)(101.325kPa):15.28℃;沸點(diǎn)烷2笑氣N2O34509600ppm/4小時(大鼠吸入)杭州天川環(huán)保科技有限公司64杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目5氨NH3678一般實(shí)驗(yàn)室使用的鹽酸為0.1mol/L,pH=1。由于濃LC50:4600mg/m3,3124杭州天川環(huán)??萍加邢薰?5杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目9NO2-0.43℃,沸點(diǎn)150.2℃,純的過氧化氫其分子構(gòu)型會度比H2O大,所以它的介電常數(shù)和沸點(diǎn)比水高/立方米9杭州天川環(huán)??萍加邢薰?6杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目350273mg/kg(大鼠經(jīng)口)杭州天川環(huán)??萍加邢薰?7杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目PERC電池片技改后在原有的生產(chǎn)設(shè)備基礎(chǔ)上新增背鈍化工藝設(shè)備及配套量量1套402臺10/3管0/4臺40/5臺406臺20/7臺20/8臺40/9臺10臺40臺40套10/套10/臺10臺10/臺10臺10/臺10/臺10套10/套10/套10/套10/套10/套10/套10/套10/套10/套10/條10/套02臺02杭州天川環(huán)??萍加邢薰?8杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目管02臺02臺01臺011/臺22/臺23/臺24/臺5/臺16/臺37/臺48/臺39/臺臺1臺3臺3臺2臺2/臺1本項(xiàng)目太陽能晶硅電池生產(chǎn)過程基本為流水線一批一批生產(chǎn),每批約80012345杭州天川環(huán)??萍加邢薰?9杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目23.523.525.9損耗2.6226.1528.7762.9332.6935.853.92衛(wèi)生綠化等用水59.83.704廢氣淋洗塔3.663.840.450.450.523.523.525.9損耗2.6226.1528.7762.9332.6935.853.92衛(wèi)生綠化等用水59.83.704廢氣淋洗塔3.663.840.450.450.56HCl廢氣7氨89N2O//1253HCl廢氣4456NOx789//損耗2.426.1926.190.216損耗0.0040.0440.046.0損耗損耗0.05華陽通用水杭州天川環(huán)??萍加邢薰?0杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目根據(jù)產(chǎn)品對空氣環(huán)境的要求,在生產(chǎn)區(qū)根據(jù)不同工序?qū)諝猸h(huán)境參數(shù)的要杭州天川環(huán)??萍加邢薰?1杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目N2激光開槽粉塵HF、KOH、純水、H2O2NaOH、純水N2激光開槽粉塵HF、KOH、純水、H2O2NaOH、純水硅片原料清洗制絨擴(kuò)散制結(jié)正面鈍化燒結(jié)濕法刻邊檢測包裝預(yù)清洗堿性廢水含Cl2廢氣工藝尾氣有機(jī)廢氣酸性廢氣(HCl、HF)酸堿廢水、高濃度含氟廢水、4.2環(huán)境影響因素分析4.2.1工藝流程TMA、背面鈍化背面鈍化工藝尾氣尾氣噴淋廢水低濃度含氟廢水酸堿廢水、高濃度含氟廢水、低濃度含氟廢水虛線框?yàn)榧几男略龉に嚨焦杵蠌亩纬蒔-N結(jié),通過氫氟酸腐蝕去除硅片上杭州天川環(huán)??萍加邢薰?2杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目為了更好地得到制絨效果,在制絨前設(shè)計預(yù)清洗工藝,預(yù)清洗使用NaOH和HF的作用是去除硅片表面的氧化層使得硅片表面更加疏水,形成硅的絡(luò)合物杭州天川環(huán)保科技有限公司73杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目技改項(xiàng)目采用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)技術(shù)在硅片背面沉積杭州天川環(huán)??萍加邢薰?4杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目Al(CH3)3+Ar+N2O—→Al2O3+CO2+H2O+N2+Ar此過程中尾氣主要為過量氨、反應(yīng)產(chǎn)生的氣體H2及微量的未反應(yīng)完全的杭州天川環(huán)??萍加邢薰?5杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目絲網(wǎng)印刷是將外購的成品鋁漿、銀漿用絲網(wǎng)印刷機(jī)分別印在硅片背面和正首先在硅片背面印刷鋁漿,構(gòu)成鋁背場以收集正電荷,再經(jīng)烘箱烘干電加過程漿料的烘干溫度均在150℃~200℃左右。層。燒結(jié)爐分為不同的溫度區(qū),預(yù)熱區(qū)(150℃~200℃)、預(yù)燒結(jié)段(300℃~杭州天川環(huán)??萍加邢薰?6杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目退火超聲波清洗氧化廢氣、廢水成品入庫廢水超聲波清洗噴砂產(chǎn)品組裝噪聲、粉塵、廢砂退火超聲波清洗氧化廢氣、廢水成品入庫廢水超聲波清洗噴砂產(chǎn)品組裝噪聲、粉塵、廢砂(3)技改項(xiàng)目增加背面鈍化工藝及激光開槽工藝,引進(jìn)先進(jìn)的氧化鋁鍍膜本次技改項(xiàng)目引進(jìn)設(shè)備為可靠、穩(wěn)定的國內(nèi)外先進(jìn)設(shè)備,整個電池片生產(chǎn)廢水廢氣少量廢氣廢切削液少量廢氣機(jī)加工化學(xué)清洗化學(xué)清洗化學(xué)清洗工藝流程說明:原料多晶硅/單晶硅先經(jīng)過機(jī)加工后,在退火爐中進(jìn)行退火加工,然后對退火后的多晶硅/單晶硅進(jìn)行超聲波清洗,后進(jìn)行化學(xué)清洗,再對行第二次化學(xué)清洗,最后清洗過的多晶硅/單晶硅經(jīng)過氧化后得到成品,包裝入4.2.2生產(chǎn)過程中污染因素識別杭州天川環(huán)??萍加邢薰?7杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目和+沉淀+脫氮”擴(kuò)散廢氣Cl2氣PECVD尾氣先送燃燒塔燃燒,再經(jīng)水噴淋后高空排放N1N2淋洗塔N3燃燒及淋洗器N4N5N6杭州天川環(huán)保科技有限公司78杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目4.2.3儲運(yùn)等其他過程污染因素識別表4.2-2項(xiàng)目儲運(yùn)等其他過程中污染因素識別匯總耗售4.2.4環(huán)境風(fēng)險影響因素識別LD50(大鼠經(jīng)口)mg/kgLD50(大鼠經(jīng)LC50(小鼠吸入,4h)mg/m35<LD50<2525<LD50<20050<LD50<400500<LC50<2000可燃液體:閃點(diǎn)低于55℃,壓力下保持液態(tài),在實(shí)際操作條件下(如高200—2000—杭州天川環(huán)保科技有限公司79杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目表4.2-6運(yùn)輸事故環(huán)境影響識別矩陣染√////√√/√//√√√//√√//√///√√//√√√√/√√√///√邊環(huán)境造成一定的影響。運(yùn)輸過程環(huán)境風(fēng)險事故不同于廠區(qū)內(nèi)生產(chǎn)過程的風(fēng)險杭州天川環(huán)??萍加邢薰?0杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目4.2.5污染影響因素分析匯總表4.2-7項(xiàng)目主要污染影響因素分析匯總片氮片擴(kuò)散廢氣Cl2氨PECVD尾氣3N1片N2淋洗塔N3燃燒及淋洗器N4N5N6杭州天川環(huán)保科技有限公司81杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目片杭州天川環(huán)??萍加邢薰?2杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目表4.3-1腐蝕、清洗工序廢氣產(chǎn)生NOx杭州天川環(huán)保科技有限公司83杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目氣體主要為硅烷和NH3氣體,由于硅背面鍍AlOx膜工序腔室內(nèi)未反應(yīng)完成的TMAL與笑氣經(jīng)生產(chǎn)設(shè)備后置的燃表4.3-1背面鍍膜工序廢氣計算參數(shù)取值情況h/a氨表4.3-2背面鍍膜工序廢氣產(chǎn)生及排放情況一覽表mg/m3 杭州天川環(huán)??萍加邢薰?4杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目12淋洗塔3燃燒及淋洗器4杭州天川環(huán)??萍加邢薰?5杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目序號1234//序號1是2是3是1否/2否/3否/序號1/2物/3 /杭州天川環(huán)??萍加邢薰?6杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目4.3.2硅產(chǎn)品污染源強(qiáng)分析企業(yè)在太陽能光伏電池片進(jìn)行背鈍化技術(shù)改造及配套設(shè)施自動化升級的同表4.3-8硅產(chǎn)品化學(xué)洗凈工序廢氣產(chǎn)生情況NOx由表5-1可知項(xiàng)目硅產(chǎn)品化學(xué)洗凈工序工序廢氣中HCl的產(chǎn)生速率約為杭州天川環(huán)保科技有限公司87杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目聲波清洗時廢水產(chǎn)生量為1000m3/a;第二次超聲波清洗時廢水產(chǎn)生量為杭州天川環(huán)??萍加邢薰?8杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目硅產(chǎn)品生產(chǎn)線噪聲主要為生產(chǎn)設(shè)備運(yùn)行噪聲,其噪聲源強(qiáng)一般為122232451637481表4.3-10硅產(chǎn)品項(xiàng)目固體廢物分析結(jié)果匯總表1料/2工3/4理/5 //////4.3.3項(xiàng)目污染源匯總杭州天川環(huán)??萍加邢薰?9杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目NOx擴(kuò)散廢氣Cl240.287t/aPECVD廢氣NH3氣氨NH3NOx物CODCrNH3-NCODCrNH3-N 4.4技改前后企業(yè)污染物排放變化情況匯總表4.4-1項(xiàng)目技改前后污染物排放情況對比一覽表廠物 杭州天川環(huán)??萍加邢薰?0杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目CODCrNH3-N物泥廠物氣NOx氣NH3氨+3kg/a氣NH3NOxCODCrNH3-N物泥杭州天川環(huán)保科技有限公司91杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目片廠物NH3NOxCODCrNH3-N物物氣NOx氣NH3氨杭州天川環(huán)??萍加邢薰?2杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目氣NH3NOxNH3CODCrNH3-N物片泥杭州天川環(huán)??萍加邢薰?3杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目4.5污染物排放總量控制根據(jù)上述總量控制要求及工程分析,項(xiàng)目總量控制指標(biāo)為CODCr、NH3-N和揮發(fā)性有機(jī)物。CODCrNH3-N00/由表可知,技改項(xiàng)目報批后總量控制指標(biāo)CODCr、NH3-N無需新增,技改前企業(yè)揮發(fā)性有機(jī)物排放量為28.2t/a,本次技改以新帶老削減量為24.72t/a,技改完成后企業(yè)揮發(fā)性有機(jī)物總排放量為3.48t/a,技改項(xiàng)目報批后VOCs總量指標(biāo)減少。杭州天川環(huán)保科技有限公司94杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目第五章環(huán)境現(xiàn)狀調(diào)查與評價技改項(xiàng)目實(shí)施地址位于杭州市濱江區(qū)濱康路668號杭州大和熱磁電子有限錢塘江是我省最大的河流,全長605km(其中蕭山段為73.5km),流域面積杭州天川環(huán)保科技有限公司95杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目陵山地以松、杉毛竹為主要用材林,市區(qū)常見多為次生或人造植被。生物種類杭州天川環(huán)保科技有限公司97杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目表5.2-1技改項(xiàng)目廠區(qū)環(huán)境保護(hù)目標(biāo)及敏感因素序號環(huán)境要素1環(huán)境空氣及聲環(huán)境濱盛社區(qū)北級北北北北北北濱文社區(qū)南南之江社區(qū)六合社區(qū)西西西南南南2水環(huán)境北/5.3周邊環(huán)境質(zhì)量監(jiān)測結(jié)果5.3.1環(huán)境空氣質(zhì)量現(xiàn)狀評價杭州天川環(huán)??萍加邢薰?8杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目(6)監(jiān)測采樣:環(huán)境空氣監(jiān)測中的采樣點(diǎn)、采樣環(huán)境、采樣高度及采樣頻杭州天川環(huán)??萍加邢薰?9杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目ND(0.02)ND(0.02)ND(0.02)ND(0.02)ND(0.02)ND(0.02)ND(0.02)ND(0.02)ND(0.02)ND(0.02)ND(0.02)ND(0.02)ND(0.02)杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目杭州大和熱磁電子有限公司背鈍化技術(shù)改造及其配套自動化升級項(xiàng)目NDNDNDNDNDNDND
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