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文檔簡(jiǎn)介

在半導(dǎo)體制造工藝中,化學(xué)機(jī)械拋光——Chemical-mechanicalpolishing,CMP技術(shù)在單晶硅襯底和多層金屬互連結(jié)構(gòu)的層間全局平坦化等方面得到了廣泛應(yīng)用,成為制造主流芯片的關(guān)鍵技術(shù)之一。CMP是目前最佳也是唯一能夠?qū)崿F(xiàn)全局平坦化的技術(shù),但是在CMP過(guò)程中,往往在材料的表面引入一些缺陷,如碟型凹陷,腐蝕,刮痕和各種污染等。為了解決這些存在的問(wèn)題,各種新技術(shù),如固體磨料拋光墊,無(wú)磨料化學(xué)機(jī)械拋光,電化學(xué)拋光等已成為CMP主要的研究方向。因此,拋光液在CMP過(guò)程中得到了廣泛的應(yīng)用。拋光液混合分配系統(tǒng)又稱為“拋光液供應(yīng)系統(tǒng)”,是一種用于輸送CMP拋光液的設(shè)備或系統(tǒng)。它通常由多個(gè)組件組成,包括泵、管道、閥門(mén)、過(guò)濾器、傳感器等,用于將CMP拋光液從存儲(chǔ)容器輸送到CMP拋光機(jī),并確保液體的流量和壓力穩(wěn)定,以滿足CMP拋光工藝的需求。如上圖表/數(shù)據(jù),摘自QYResearch最新報(bào)告“全球拋光液混合分配系統(tǒng)市場(chǎng)研究報(bào)告2023-2029.據(jù)調(diào)研團(tuán)隊(duì)最新報(bào)告“全球拋光液混合分配系統(tǒng)市場(chǎng)報(bào)告2023-2029”顯示,預(yù)計(jì)2029年全球拋光液混合分配系統(tǒng)市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到12.1億美元,未來(lái)幾年年復(fù)合增長(zhǎng)率CAGR為4.9%。拋光液混合分配系統(tǒng),全球市場(chǎng)總體規(guī)模如上圖表/數(shù)據(jù),摘自QYResearch最新報(bào)告“全球拋光液混合分配系統(tǒng)市場(chǎng)研究報(bào)告2023-2029.全球拋光液混合分配系統(tǒng)市場(chǎng)前20強(qiáng)生產(chǎn)商排名及市場(chǎng)占有率(基于2022年調(diào)研數(shù)據(jù);目前最新數(shù)據(jù)以本公司最新調(diào)研數(shù)據(jù)為準(zhǔn))如上圖表/數(shù)據(jù),摘自QYResearch報(bào)告“全球拋光液混合分配系統(tǒng)市場(chǎng)研究報(bào)告2023-2029,排名基于2022數(shù)據(jù)。目前最新數(shù)據(jù),以本公司最新調(diào)研數(shù)據(jù)為準(zhǔn)。全球范圍內(nèi)拋光液混合分配系統(tǒng)生產(chǎn)商主要包括Merck、Kinetics、STICO.,LTD、Mitsubishi、ToyokoKagaku、吉姆西半導(dǎo)體、DFS(Exyte)、Oceanbridge、AIRWATER、FathGroup等。2022年,全球前十強(qiáng)廠商占有大約70.0%的市場(chǎng)份額。目前,全球核心廠商主要分布在北美、歐洲、中國(guó)、日本等拋光液混合分配系統(tǒng),全球市場(chǎng)規(guī)模,按產(chǎn)品類型細(xì)分,集中式拋光液供給系統(tǒng)處于主導(dǎo)地位如上圖表/數(shù)據(jù),摘自QYResearch最新報(bào)告“全球拋光液混合分配系統(tǒng)市場(chǎng)研究報(bào)告2023-2029.就產(chǎn)品類型而言,目前集中式拋光液供給系統(tǒng)是最主要的細(xì)分產(chǎn)品,占據(jù)大約54.2%的份額。拋光液混合分配系統(tǒng),全球市場(chǎng)規(guī)模,按應(yīng)用細(xì)分,半導(dǎo)體是最大的下游市場(chǎng),占有58.2%份額。如上圖表/數(shù)據(jù),摘自QYResearch最新報(bào)告“全球拋光液混合分配系統(tǒng)市場(chǎng)研究報(bào)告2023-2029.就產(chǎn)品應(yīng)用而言,目前半導(dǎo)體是最主要的需求來(lái)源,占據(jù)大約58.2%的份額。全球拋光液混合分配系統(tǒng)規(guī)模,主要生產(chǎn)地區(qū)份額(按產(chǎn)值)如上圖表/數(shù)據(jù),摘自QYResearch最新報(bào)告“全球拋光液混合分配系統(tǒng)市場(chǎng)研究報(bào)告2023-2029.全球主要市場(chǎng)拋光液混合分配系統(tǒng)規(guī)模如上圖表/數(shù)據(jù),摘自QYResearch最新報(bào)告“全球拋光液混合分配系統(tǒng)市場(chǎng)研究報(bào)告2023-2029.主要驅(qū)動(dòng)因素:一方面,我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率尚有較大提升空間。我國(guó)的半導(dǎo)體設(shè)備起步較晚且大多依賴進(jìn)口,國(guó)產(chǎn)自給率仍然較低。伴隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)形勢(shì)變化以及中美貿(mào)易摩擦的影響,在美國(guó)、荷蘭和日本對(duì)我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備出口施加管制的背景下,為了降低出口管制帶來(lái)的風(fēng)險(xiǎn)、保障我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈安全,提高半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率及實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)替代的需求較為迫切。另一方面,全球半導(dǎo)體制造產(chǎn)能東移過(guò)程將提升國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備的需求。全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展經(jīng)歷了從美國(guó)到日本,再到韓國(guó)和中國(guó)臺(tái)灣,然后到中國(guó)大陸的產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移過(guò)程。中國(guó)大陸半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)經(jīng)歷了較長(zhǎng)的發(fā)展周期,在國(guó)家戰(zhàn)略及產(chǎn)業(yè)政策的大力支持下,半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈高速發(fā)展,為國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的生產(chǎn)和銷售創(chuàng)造了良好的市場(chǎng)環(huán)境。國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體廠商產(chǎn)能持續(xù)擴(kuò)張,進(jìn)而帶動(dòng)對(duì)上游設(shè)備廠商的需求。隨著5G、物聯(lián)網(wǎng)、新能源汽車、云計(jì)算及大數(shù)據(jù)等新興領(lǐng)域的快速發(fā)展,新型芯片創(chuàng)造的增量需求為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的增長(zhǎng)注入了新活力,國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體廠商的產(chǎn)能保持?jǐn)U張趨勢(shì),資本開(kāi)支規(guī)模將繼續(xù)增長(zhǎng),因此未來(lái)中國(guó)大陸半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模仍有望保持在較高水平。主要阻礙因素:半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的關(guān)鍵支撐行業(yè),其需求受下游半導(dǎo)體廠商資本支出及終端消費(fèi)市場(chǎng)需求波動(dòng)的影響較大。如果未來(lái)宏觀經(jīng)濟(jì)發(fā)生劇烈波動(dòng),導(dǎo)致計(jì)算機(jī)、消費(fèi)電子、網(wǎng)絡(luò)通信、汽車電子、物聯(lián)網(wǎng)等終端市場(chǎng)需求下降,則可能導(dǎo)致半導(dǎo)體制造廠商面臨產(chǎn)能過(guò)剩的局面。當(dāng)前世界政治經(jīng)濟(jì)形勢(shì)劇烈變化,國(guó)際貿(mào)易摩擦不斷加劇,若西方國(guó)家進(jìn)一步提高對(duì)國(guó)內(nèi)重點(diǎn)半導(dǎo)體設(shè)備或下游應(yīng)用產(chǎn)業(yè)的貿(mào)易壁壘,可能導(dǎo)致國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體下游企業(yè)降低資本開(kāi)支預(yù)算并減少對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備的需求,從而對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)產(chǎn)生負(fù)面影響。半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)的快速增長(zhǎng)以及我國(guó)巨大的市場(chǎng)規(guī)模和進(jìn)口替代預(yù)期,還將吸引更多的潛在進(jìn)入者,因此可能面臨市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)加劇的風(fēng)險(xiǎn)?;瘜W(xué)機(jī)械拋光設(shè)備行業(yè)屬于典型的技術(shù)密集型行業(yè),涉及集成電路、機(jī)械、材料、物理、力學(xué)、化學(xué)、化工、電子、計(jì)算機(jī)、儀器、光學(xué)、控制、軟件工程等多學(xué)科領(lǐng)域,是多門(mén)類跨學(xué)科知識(shí)的綜合應(yīng)用,研發(fā)制造難度大。。如果不能緊跟國(guó)內(nèi)外半導(dǎo)體設(shè)備制造技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì),充分關(guān)注客戶多樣化、獨(dú)特的工藝需求,或者后續(xù)研發(fā)投入不足,將面臨因無(wú)法保持持續(xù)創(chuàng)新能力而導(dǎo)致市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力下降的風(fēng)險(xiǎn)。作為高新技術(shù)企業(yè),核心技術(shù)優(yōu)勢(shì)以及持續(xù)研發(fā)能力是公司的核心競(jìng)爭(zhēng)力,也是保持技術(shù)領(lǐng)先和市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)的關(guān)鍵因素。擁有多項(xiàng)核心技術(shù),為保護(hù)核心技術(shù),通過(guò)與核心技術(shù)人員簽訂相關(guān)協(xié)議、規(guī)范研發(fā)過(guò)程管理、申請(qǐng)專利等保護(hù)措施防止核心技術(shù)泄露,但上述措施并不能完全保證核心技術(shù)不會(huì)泄露。若在經(jīng)營(yíng)過(guò)程中因核心技術(shù)信息保管不善、核心技術(shù)人員流失等原因?qū)е潞诵募夹g(shù)泄露,將對(duì)業(yè)務(wù)發(fā)展和研發(fā)進(jìn)程造成不利影響。為滿足客戶工藝需求,半導(dǎo)體設(shè)備中各核心模塊的技術(shù)和控制系統(tǒng)會(huì)不斷升級(jí)。在下游半導(dǎo)體制造廠商技術(shù)快速發(fā)展的背景下,半導(dǎo)體設(shè)備廠商的技術(shù)迭代升級(jí)也面臨著巨大挑戰(zhàn)。行業(yè)發(fā)展機(jī)遇:近年來(lái),我國(guó)陸續(xù)推出了多項(xiàng)產(chǎn)業(yè)支持政策,推動(dòng)了半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展并加速了半導(dǎo)體設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程。《國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》明確指出:鼓勵(lì)企業(yè)在集成電路關(guān)鍵裝備和材料領(lǐng)域進(jìn)行技術(shù)突破;《首臺(tái)(套)重大技術(shù)裝備推廣應(yīng)用指導(dǎo)目錄(2019年版)》中將化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)作為集成電路生產(chǎn)裝備之一列入目錄;《中華人民共和國(guó)國(guó)民經(jīng)濟(jì)和社會(huì)發(fā)展第十四個(gè)五年規(guī)劃和2035年遠(yuǎn)

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