電子特氣行業(yè)專題報告：電子氣體國產(chǎn)進程有望加速

電子特氣行業(yè)專題報告：電子氣體國產(chǎn)進程有望加速1.電子特種氣體行業(yè)概述1.1.電子特氣屬于工業(yè)氣體中高純度細分市場（1）18世紀末空氣分離技術開啟了工業(yè)氣體行業(yè)的發(fā)展，隨著氣體純度與品質(zhì)的需求不斷提升，特種氣體細分市場逐步形成。電子特氣技術延續(xù)于工業(yè)氣體的發(fā)展進步，18世紀末，工業(yè)氣體主要被應用于醫(yī)用領域，后逐步應用于商業(yè)領域；20世紀中期，分餾加工方法的發(fā)明和使用，大大降低了工業(yè)氣體的生產(chǎn)成本，加速了工業(yè)氣體的產(chǎn)業(yè)化進程；20世紀末，電子產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展，運用于集成電路、顯示面板等電子設備的高品質(zhì)、高純度電子特氣需求增大，從而誕生了特種氣體行業(yè)。至今，隨著電子信息等高新技術的迅速發(fā)展，特種氣體規(guī)模不斷擴張、技術壁壘不斷提升。海外企業(yè)具備多年的技術、渠道、資源、人才的積累，在特種氣體市場占據(jù)領先優(yōu)勢，近些年國內(nèi)部分領先龍頭企業(yè)實現(xiàn)了技術突破，打破了海外產(chǎn)品壟斷，逐步在市場嶄露頭角。（2）工業(yè)氣體主要依據(jù)純度不同可分為大宗氣體和特種氣體，而電子特種氣體屬于特種氣體中對純度要求更高的一類應用氣體。大宗氣體主要包括空分氣體（氧、氮、氬等）以及合成氣體（乙炔、二氧化碳等），此類氣體一般對純度要求在4N（99.99%，一個N代表1個9）以下，主要用于冶金、化工、機械、電力、造船等傳統(tǒng)領域。特種氣體指在部分特定領域應用的氣體產(chǎn)品，根據(jù)純度和用途又可以細分為標準氣體、高純氣體和電子特種氣體。特種氣體純度一般要求在5N以上，電子特種氣體一般要求在6N以上。特種氣體下游主要應用于集成電路、液晶面板、LED、光伏、生物醫(yī)藥、新能源等新興產(chǎn)業(yè)。（3）整個工業(yè)氣體的產(chǎn)業(yè)鏈上下游較為相似，一般來說設備與原材料對氣體公司的成本以及產(chǎn)品質(zhì)量影響顯著。整個工業(yè)氣體產(chǎn)業(yè)鏈上游主要包括原料、設備、相關能源三個部分。其一，在原材料選擇上，空分氣體的原料主要為空氣或者工業(yè)廢氣，成本較低；合成氣體的原料主要為化學產(chǎn)品，成本較高。一般來說，特種氣體的原料主要為外購的工業(yè)氣體和化學原材料，成本相對較高。其二，設備主要分為氣體生產(chǎn)設備、氣體儲存設備和氣體運輸設備。氣體生產(chǎn)設備主要有空分設備和氣體提純設備，氣體儲存設備主要有鋼瓶和儲槽，氣體運輸設備主要有用液化氣槽車和管道。生產(chǎn)、存儲、運輸設備決定了氣體公司的品質(zhì)與服務，很多電子特氣企業(yè)與上游形成了長期、定制的合作關系，也是電子特氣企業(yè)的核心壁壘之一。其三，工業(yè)氣體生產(chǎn)過程中需要消耗大量的水電能源和燃油資源，相關成本占據(jù)氣體生產(chǎn)公司的1/3左右。產(chǎn)業(yè)鏈的中游為大宗氣體和特種氣體的制造、運輸和儲存。中游根據(jù)空氣的制備方式不同、應用領域不同、純度不同等屬性影響大致分為大宗氣體和特種氣體。其中的電子特種氣體屬于專注應用在集成電路、顯示面板等電子產(chǎn)業(yè)的細分種類，占據(jù)電子特氣的較大比例。產(chǎn)業(yè)鏈下游根據(jù)用氣量規(guī)模和品種大致分為大宗客戶和零售客戶，大宗客戶用氣量大，一般來自于鋼鐵、冶金、有色金屬、石油化工、煤化工、化肥等傳統(tǒng)行業(yè)；零售客戶有著小批量、多品種以及多頻次的特點，一般應用于電子半導體、醫(yī)藥、面板、環(huán)保新能源、高端設備、光伏等領域。1.2.純度與混配精度是電子特氣的兩個關鍵指標（1）電子氣體是晶圓制造過程中占比第二大的半導體耗材，也被稱為晶圓的“血液”。根據(jù)SEMI的數(shù)據(jù)，2020年全球晶圓制造材料中，電子氣體占比約為13%，是占比僅次于硅片的半導體材料。廣義的“電子氣體”指可用于電子工業(yè)生產(chǎn)中使用的氣體，是最重要原材料之一；狹義的“電子氣體”特指可用于電子半導體領域生產(chǎn)的特種氣體，依據(jù)《戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)分類（2018）》在電子專用材料制造的重點產(chǎn)品分類，將電子氣體分為了電子特種氣體和電子大宗氣體。（2）電子特氣是貫穿晶圓制造工藝流程的關鍵耗材，其中在刻蝕和摻雜中使用占比較高。細分至晶圓制造的整套工藝生產(chǎn)過程中，使用到的電子特種氣體涉及上百種，核心工段涉及40-50種，貫穿外延，成膜，離子注入，摻雜、刻蝕、沉積等工藝流程。其中在刻蝕、摻雜、外延沉積以及光刻工藝中使用占比較高，分別為36%、34%、24%和18%。（3）電子特氣有純度和混配精度兩個核心指標，通過氣體純化和氣體合成兩項生產(chǎn)技術來滿足要求。通常電子特氣的純度要求5N以上，晶圓制造環(huán)節(jié)中對電子特氣的純度要求更為嚴格，一般在6N以上；而混配精度是混配氣體的核心參數(shù)，即精準控制不同氣體的混配比額，行業(yè)內(nèi)一般以ppm（百萬分之一，10-6）、ppb（十億分之一，10-9）、ppt（萬億分之一，10-12）以及百分數(shù)來表示組分配比。隨著集成電路制造工藝的迭代升級，線寬越來越窄，晶體管密度越來越高，對電子特氣的純度、穩(wěn)定性等指標的要求也越來越高。（4）特種氣體的生產(chǎn)技術種類較多，相對來說合成技術與純化技術是氣體產(chǎn)品的純度與混配精度的關鍵技術。特種氣體行業(yè)的主要生產(chǎn)技術包括氣體純化、氣體合成、空氣分離、氣體充裝、氣體混配、氣體檢測、鋼瓶處理等。其中合成技術和純化技術兩個關鍵技術，保證了電子特氣的純度和潔凈度。（5）根據(jù)氣體的特征不同，純化與合成技術又有多種不同種類的制作方法常見的氣體純化技術主要有吸附法、精餾法、吸收法、膜分離法等，氣體合成技術主要分為電解法、化學法和電解化學法等。1.3.電子特氣的多重行業(yè)壁壘（1）電子氣體從生產(chǎn)技術角度來看是有著多壁壘的技術密集型行業(yè)。特種氣體具有較高的技術壁壘、營銷網(wǎng)絡與服務壁壘、客戶認證壁壘、資質(zhì)壁壘和人才壁壘。①技術壁壘：特種氣體在生產(chǎn)過程中設計氣體合成、純化、混配、充裝、檢測、分離、氣瓶處理等多項工藝技術，客戶對純度和精度等指標的高要求，對行業(yè)進入者形成了較高的技術壁壘。②客戶認證壁壘：因為特種氣體的產(chǎn)品質(zhì)量對下游產(chǎn)業(yè)產(chǎn)品質(zhì)量影響巨大，集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜等高端領域客戶對氣體供應商的選擇均需經(jīng)過審廠、產(chǎn)品認證2輪嚴格的審核認證，其中光伏能源、光纖光纜領域的審核認證周期通常為0.5-1年，顯示面板通常為1-2年，集成電路領域的審核認證周期長達2-3年。③營銷網(wǎng)絡與服務壁壘：因客戶對氣體種類、響應速度、服務質(zhì)量的高要求，氣體公司需要投入大量人力物力進行鋪點建設，不斷擴大營銷服務網(wǎng)絡，并隨著營銷服務網(wǎng)絡的完善不斷促進市場開拓與客戶挖掘。④資質(zhì)壁壘：因為工業(yè)氣體屬于危險化學品，資質(zhì)獲取作為工業(yè)氣體行業(yè)生產(chǎn)經(jīng)營的前置程序，資質(zhì)審核過程嚴格，不僅需對企業(yè)的生產(chǎn)環(huán)境、工藝、設備等進行多次現(xiàn)場評估，還要求生產(chǎn)人員、管理人員均需通過相應測試并取得個人資質(zhì)，嚴格的資質(zhì)審核對行業(yè)新進入者形成了較高的資質(zhì)壁壘。（2）電子特氣的運輸與供氣方式也是與下游客戶關系綁定的重要特征之一，在晶圓廠建廠時打入客戶供應鏈會占據(jù)較強粘性。電子特氣分為零售供氣與現(xiàn)場制氣兩種，零售供氣又分為采用瓶裝供氣和儲槽供氣兩種方式。特種氣體的銷售存在多品種、小批量、高頻次的特點，因此對于特種氣體，根據(jù)客戶的需求多采用瓶裝供氣模式和儲槽供氣兩種方式。瓶裝供氣模式會根據(jù)客戶需求隨時運送產(chǎn)品，因為特種氣體單位價值較高，基本不受運輸半徑影響，客戶更看重產(chǎn)品的質(zhì)量以及配送交付的穩(wěn)定性。儲槽供氣通過低溫槽車運送至客戶端，將低溫液體產(chǎn)品儲存在客戶現(xiàn)場的儲槽中，根據(jù)客戶規(guī)模要求可自行氣化使用，運輸半徑一般在200km左右，合同期在3-5年，相對于瓶裝氣模式更要求客戶關系和配送能力。而現(xiàn)場制氣一般是滿足大規(guī)模用氣的運輸方式，只有規(guī)模較大的晶圓廠與電子特氣企業(yè)才會建立這種周期長達5-20年的供氣方式?，F(xiàn)場制氣又分為晶圓廠近端建設供氣工廠、遠程管道輸送供氣兩種方式。（3）TGCM模式是針對半導體行業(yè)的一種專業(yè)化供氣服務模式，對于國內(nèi)氣體公司而言尚處于探索階段。TGCM全稱為TotalGasandChemicalManagement（全面氣體及化學品運維管理服務），由于氣體屬于危險化學品，氣體供應及運維服務需要較強的專業(yè)性和安全管控能力，而半導體廠商對氣體質(zhì)量和及時性的要求極高，因此大型半導體廠商通常將整套氣體及化學品的運維管理服務外包給富有經(jīng)驗的專業(yè)氣體公司，由氣體公司承擔其全套氣體及危險化學品的調(diào)配、檢測、庫存管理及設備運維管理等服務。目前半導體領域的TGCM服務絕大部分由世界排名前幾位的大型氣體公司承接，如林德集團、液化空氣、空氣化工、大陽日酸等，國內(nèi)大部分公司目前處于起步階段，未來還有很大成長空間。2.國產(chǎn)企業(yè)逐步打破全球寡頭壟斷局面2.1.中國電子特種氣體需求高速增長（1）全球工業(yè)氣體行業(yè)逐年穩(wěn)步增長，中國工業(yè)氣體行業(yè)起步較晚，但復合增速快于全球2pct左右。根據(jù)億渡數(shù)據(jù)的統(tǒng)計，2017年全球工業(yè)氣體市場規(guī)模為7202億元，2021年增長至9432億元，復合增長率為6.97%，在工業(yè)穩(wěn)定發(fā)展的背景下，預計到2026年市場規(guī)模將增長至13299億元，2021年到2026年復合增長率為7.11%。中國工業(yè)氣體行業(yè)盡管起步較晚，但在國家政策的大力推動下以及以電子特種氣體為代表的半導體領域新需求增長，中國工業(yè)氣體市場規(guī)模將保持高增長，預計到2026年中國工業(yè)氣體市場規(guī)模將增長至2842億元，2021年到2026年復合增長率為9.63%，未來中國工業(yè)氣體市場發(fā)展空間巨大。（2）大宗氣體市場規(guī)模約占工業(yè)氣體市場規(guī)模的80%，在鋼鐵、石油化工等傳統(tǒng)行業(yè)發(fā)揮重要作用，很多電子特氣公司發(fā)家于大宗氣體業(yè)務。中國大宗氣體市場規(guī)模從2017年的1036億元增長至2021年的1456億元，年復合增長率為8.89%。在下游鋼鐵、石油化工等行業(yè)需求穩(wěn)定增長以及工業(yè)氣體設備技術提升等供需兩端的推動下，預計2026年中國大宗氣體市場規(guī)模將達2034億元。（3）中國特種氣體行業(yè)發(fā)展迅速，其中63%約為電子特種氣體，下游應用主要集中在電子半導體領域。根據(jù)億渡數(shù)據(jù)，特種氣體中電子特種氣體占比約為63%。2017年到2021年中國特種氣體行業(yè)市場規(guī)模從175億元增長至342億元，年復合增長率為18%，在電子半導體下游需求持續(xù)增長和國家政策的鼓勵推動下，預計2026年中國特種氣體行業(yè)的市場規(guī)模將增長至808億元，2021年到2026年復合增長率為18.76%。（4）在集成電路以及相關下游行業(yè)需求增長的帶動下，全球電子特種氣體市場規(guī)模呈現(xiàn)逐年穩(wěn)步增長態(tài)勢。根據(jù)TECHCET數(shù)據(jù)，2017年全球電子特種氣體市場規(guī)模約為36.91億美元，2021年增長至45.38億美元，2017年到2021年的CAGR為5.30%，預計2025年市場規(guī)模將超過60億美元，2021年到2025年年復合增長率預計達到7.33%。（5）中國電子特氣市場規(guī)模逐年增長，預計2025年有望突破300億元，四年CAGR約為9.43%。根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)預測，2016年中國電子特氣市場規(guī)模為98億元，2022年市場規(guī)模達到220.8億元，預計2025年中國電子特氣市場規(guī)模有望突破至316.6億元，2022年到2025年復合增長率為9.43%，增長率顯著高于全球電子氣體增長率，未來成長空間大。2.2.國內(nèi)部分產(chǎn)品逐步打破國外寡頭壟斷（1）全球電子氣體行業(yè)整體呈現(xiàn)壟斷格局，林德、液化空氣、大陽日酸和空氣化工四大國際巨頭總計占據(jù)91%以上的市場份額。根據(jù)觀研天下數(shù)據(jù)，全球和中國電子特氣市場均主要被海外公司占據(jù)。2021年全球主要生產(chǎn)商以及占有率分別是，美國空氣化工（25%）、德國林德集團（25%，林德集團和普萊克斯合并）、法國液化空氣（23%）和日本酸素（18%，原名大陽日酸），TOP4大企業(yè)合計占據(jù)全球電子特氣91%的市場份額。同樣，四大巨頭在中國占據(jù)主導地位，據(jù)TECHCET的數(shù)據(jù)2020年外資在中國電子特氣市場的合計市占率約85%，據(jù)前瞻產(chǎn)業(yè)研究院預測，到2025年中國電子特氣市場的國產(chǎn)化占比將提高到25%。（2）由于電子特種氣體高達100多種類，在某些細分種類上也有一些知名的海外與國內(nèi)企業(yè)供應商。全球其他知名生產(chǎn)企業(yè)還有SKMaterials、關東電化、昭和電工、中船特氣等，這些企業(yè)在總體規(guī)模上與林德、液化空氣、大陽日酸和空氣化工四大國際巨頭存在差距，但在電子特氣部分細分產(chǎn)品領域具備較強競爭力。國內(nèi)部分企業(yè)專注少數(shù)幾個產(chǎn)品，不斷深耕市場，也逐步走入全球市場。根據(jù)LinxConsulting數(shù)據(jù)，2021年全球電子特氣收入排名中，國內(nèi)電子特種氣體龍頭企業(yè)中船特氣位列第九，具備了一定的市場規(guī)模與影響力。（3）將100多種電子特氣規(guī)模排列，前十大品種市場份額約為58%，是電子特氣的主要組成部分。根據(jù)LinxConsulting數(shù)據(jù)，在2021年全球電子特種氣體市場中，三氟化氮市場規(guī)模排名第一，占比約20%，六氟化鎢市場規(guī)模排名第二，占比約8%，六氟丁二烯市場規(guī)模排名第三，占比約為7%，三者合計占比35%，為市場空間大、發(fā)展前景好的產(chǎn)品，前十大電子特氣市場規(guī)模合計約25.37億美元，約占全球電子特氣市場份額的58%。（4）在電子特氣市場規(guī)模最大的三氟化氮和六氟化鎢產(chǎn)品市場，我國中船特氣已成為全球龍頭供應商，具備一定的市場影響力。2020年中船特氣的三氟化氮和六氟化鎢產(chǎn)品分別在占據(jù)全球市場份額的24%和16%，實現(xiàn)了國產(chǎn)替代，在全球范圍內(nèi)都具備較強競爭力。2.3.我國電子特氣企業(yè)規(guī)模與產(chǎn)能具備較大空間（1）國內(nèi)各廠商拓展策略略有不同，產(chǎn)品整體呈現(xiàn)錯位競爭格局。從我國主要的上市企業(yè)數(shù)據(jù)來看，其一，我國上市企業(yè)的電子特氣2022年收入規(guī)模均在15億元以下，與海外企業(yè)存在較大差距；其二，我國上市企業(yè)的總營收結(jié)構(gòu)較為復雜，多數(shù)企業(yè)經(jīng)營電子特氣外，還生產(chǎn)關聯(lián)性較強的工業(yè)氣體、航空材料、半導體材料、化工材料等，企業(yè)的多元化經(jīng)營是行業(yè)特征決定的；其三，整體電子特氣的毛利率在27%-55%之間，相對較高，電子特氣屬于高價值業(yè)務板塊。通過我們對部分上市公司的梳理，國內(nèi)目前廠商們的主打產(chǎn)品并不重疊，整體呈現(xiàn)多點開花錯位競爭的格局。（2）我國龍頭企業(yè)現(xiàn)有產(chǎn)能布局各有所長，未來規(guī)劃布局來看也少有重疊。從我國企業(yè)現(xiàn)有產(chǎn)能與規(guī)劃產(chǎn)能來看，各家企業(yè)的布局均由自己的特色，各家企業(yè)沒有形成鮮明的企業(yè)競爭局面，這也說明我國的電子特氣國產(chǎn)化空間巨大、電子特氣種類繁多、長期空間發(fā)展良好。3.政策和需求雙輪驅(qū)動我國電子特氣市場發(fā)展3.1.集成電路發(fā)展迅速成為電子特氣主要驅(qū)動力（1）電子特種氣體下游應用廣泛，集成電路、顯示面板、半導體照明、光伏等泛半導體領域均由應用。在集成電路行業(yè)中，電子特氣主要用于成膜、光刻、刻蝕、清洗、離子注入等環(huán)節(jié)；在面板行業(yè)中應用于成膜、清洗等環(huán)節(jié)；在光伏行業(yè)中應用于沉積、刻蝕、擴散等環(huán)節(jié)。（2）全球集成電路占據(jù)電子特氣的71%下游應用，而我國集成電路用電子特氣占比只有42%，主要是我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展落后于全球水平。根據(jù)前瞻產(chǎn)業(yè)研究院數(shù)據(jù)顯示，從全球來看，電子特種氣體應用于集成電路行業(yè)的需求占市場總需求的71%，應用于顯示面板行業(yè)的需求占市場總需求的18%；從我國來看，電子特種氣體應用于集成電路行業(yè)的需求占市場總需求的42%，應用于顯示面板行業(yè)的需求占市場總需求的37%。我國集成電路行業(yè)電子特種氣體的需求相對較低，主要原因為我國的集成電路產(chǎn)業(yè)技術水平和產(chǎn)業(yè)規(guī)模與世界先進國家和地區(qū)還存在一定差距，而顯示面板產(chǎn)業(yè)經(jīng)過多年持續(xù)發(fā)展，我國已成為全球最大的產(chǎn)業(yè)基地。（3）我國集成電路產(chǎn)業(yè)規(guī)模持續(xù)擴大，將引領電子特種氣體市場進入快速發(fā)展時期。根據(jù)ICInsights數(shù)據(jù)，我國集成電路市場需求2020年為1430億美元，2025年預計達到2230億美元，復合增長率9.29%，我國集成電路市場需求持續(xù)攀升。中國集成電路制造2020年產(chǎn)值為227億美元，自給率為15.87%，預計2025年產(chǎn)值將達到432億美元，自給率將進一步提高到19.37%，復合增長率達到13.73%。（4）中國晶圓廠近些年不斷擴產(chǎn)，電子特氣滲透率有望加速提升。根據(jù)集邦咨詢數(shù)據(jù)，全球晶圓廠不斷擴建，近期計劃的24座晶圓廠分布來看，中國占據(jù)了6座，在全球占比第一。一方面，因內(nèi)資晶圓產(chǎn)能增加而新增的半導體材料需求，為國產(chǎn)半導體材料供給商提供很大的市場開拓空間；另一方面，在以美國、荷蘭、日本為主的經(jīng)濟體不斷管制中國大陸半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展背景下，自主可控勢在必行，新建晶圓廠可以重塑供應鏈體系，國內(nèi)企業(yè)有望獲得更多的訂單份額，加速電子特氣國產(chǎn)滲透率。3.2.面板和光伏穩(wěn)步增長助推國產(chǎn)電子特氣需求增長（1）我國顯示面板產(chǎn)能占全球約六成，面板行業(yè)市場規(guī)模不斷擴大將加速帶動電子特氣行業(yè)迅速發(fā)展。電子特氣主要用于顯示面板制造過程中的成膜以及刻蝕工藝，涉及硅烷、氟化物、稀有氣體和氨氣等產(chǎn)品，顯示面板在全球特氣下游需求中占比約為19%，在中國特氣下游需求中占比約為37%。近年來全球面板產(chǎn)業(yè)向中國轉(zhuǎn)移，我國顯示面板行業(yè)形成了以京東方、TCL科技、深天馬、惠科、維信諾等重點企業(yè)領銜的產(chǎn)業(yè)集群，全球產(chǎn)能占比超過六成，是全球第一大顯示面板產(chǎn)業(yè)集中地。根據(jù)Forst&Sullivan資料顯示，2020年至2024年中國顯示面板市場規(guī)模復合增長率為6.34%，行業(yè)持續(xù)穩(wěn)定發(fā)展，市場規(guī)模擴大將帶進一步帶動電子特種氣體市場穩(wěn)健發(fā)展。（2）光伏行業(yè)快速發(fā)展，電子特氣市場需求也將進一步擴大。電子特氣在太陽能電池片的生產(chǎn)過程中主要被應用于擴散、刻蝕、沉積等工序，涉及氟化物、硅烷、氨氣等產(chǎn)品。根據(jù)集邦咨詢的數(shù)據(jù)，2022年全球新增光伏裝機量為228.5GW，預計2023年全球新增光伏裝機量為350.6GW，同比增長53.40%，我國2022年的新增光伏裝機量為87.41GW，預計2023年新增光伏裝機量為148.9GW，同比增長70.35%，增速快于全球。光伏新裝機量快速增長也將驅(qū)動電子特種氣體需求不斷增長。3.3.國家出臺多項產(chǎn)業(yè)扶持政策，加速推動行業(yè)發(fā)展國家出臺多項電子特氣產(chǎn)業(yè)扶持政策，加速推動特種氣體行業(yè)發(fā)展。2016年以來，國家發(fā)改委、科技部、工信部等連續(xù)出臺了《國家重點支持的高新技術領域目錄》（2016）、《戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)重點產(chǎn)品和服務指導目錄》《新材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展指南》《重點新材料首批次產(chǎn)業(yè)應用示范指導目錄（2017年版）》等多部戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)相關政策，將特種氣體列入新材料產(chǎn)業(yè)，大力支持和推動特種氣體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。2022年中又發(fā)布了《“十四五”原材料工業(yè)發(fā)展規(guī)劃》以及《原材料工業(yè)“三品”實施法案》，在國家對“卡脖子”環(huán)節(jié)的持續(xù)出臺產(chǎn)業(yè)政策大力扶持下，將加速推動特種氣體行業(yè)發(fā)展。4.公司介紹4.1.中船特氣（1）中船(邯鄲)派瑞特種氣體股份有限公司位于河北省邯鄲市，是國內(nèi)領先、世界知名的電子特種氣體和三氟甲磺酸系列產(chǎn)品供應商。2000年，七一八所成立特氣工程部，開始從事電子特種氣體的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化，是國內(nèi)最早從事電子特種氣體研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化的經(jīng)營主體。2002年，特氣工程部成功研發(fā)出純度高達99.9%的三氟化氮氣體，填補了國內(nèi)空白，打破了國外技術壟斷，標志著技術從0到1的跨越。自此，特氣工程部揭開了電子特種氣體國產(chǎn)化替代的序幕。2007年，特氣工程部首創(chuàng)以三氟化氮為原材料的合成技術，成功研發(fā)了電子級六氟化鎢，此后，特氣工程部攻克大批量生產(chǎn)關鍵工藝，具備了規(guī)模化的生產(chǎn)能力。2008年和2010年，七一八所特氣工程部分別建成了年產(chǎn)300噸高純?nèi)湍戤a(chǎn)30噸高純六氟化鎢生產(chǎn)線，標志著規(guī)?；晒D(zhuǎn)化正式落地，開啟電子特種氣體國產(chǎn)化新征程。經(jīng)過多年發(fā)展和積累，公司目前已經(jīng)具備電子特種氣體及含氟新材料等50余種產(chǎn)品的生產(chǎn)能力，現(xiàn)已成為電子特種氣體收入規(guī)模最大的國內(nèi)企業(yè)，位列全球第九名，是國內(nèi)唯一進入前十的企業(yè)，國際影響力逐漸提升。（2）下游客戶需求增加疊加大客戶深度綁定，營業(yè)收入逐年穩(wěn)步增長。2022年公司營業(yè)收入19.56億元，較2021年同比增長了12.90%，主要系下游客戶需求增長顯著、大客戶深度綁定基礎穩(wěn)固以及在國家產(chǎn)業(yè)政策的大力推動下導致。公司2022年凈利潤為3.83億元，較2021年小幅增長7.87%，盡管受到2022上半年原材料漲價導致增速有所放緩，但增長勢頭良好。（3）公司毛利率呈小幅下降趨勢，但整體維持在較高水平。報告期內(nèi)，公司毛利率分別為43.01%、41.64%、40.35%、37.86%、36.86%，主要系公司主要產(chǎn)品三氟化氮、六氟化鎢的市場競爭更加激烈，公司為了提升市占率主動調(diào)低產(chǎn)品銷售價格導致。三氟甲硫酸系列產(chǎn)品的毛利率從2019年的38.75%下降至2022年年中的33.21%。（4）公司期間費用率呈下降趨勢，高度重視技術研發(fā)投入逐年增加。公司高度重視技術創(chuàng)新，研發(fā)投入不斷增長，從2019年的0.52億元擴大至2022年的1.57億元，年復合增長率為44.53%，研發(fā)投入占比也從2019年的5.02%提升至8.03%。費用端方面，公司期間費用率整體呈現(xiàn)下降趨勢，從2019年的20.83%下降到2022年的17.59%，其中財務費用率轉(zhuǎn)正為負，現(xiàn)金流良好；銷售費用率從2019年的9.74%下降至2022年的6.34%，主要系公司營業(yè)收入增長較快導致。（5）公司主要關注要素：1）預計年內(nèi)年產(chǎn)3250噸三氟化氮項目將開始投產(chǎn)，緩解公司產(chǎn)能不足的瓶頸，進一步鞏固龍頭地位；2）年產(chǎn)500噸雙（三氟甲磺酸）亞胺鋰項目將有助于公司在鋰電池新能源領域的布局，有望成為公司新的增長點；3）高純電子氣體項目和高純氯化氫項目將豐富公司產(chǎn)品結(jié)構(gòu)有效滿足客戶多樣化需求，未來市占率有望進一步擴大，營收與凈利潤進一步增長。4.2.華特氣體（1）華特氣體成立于1999年，公司的主營業(yè)務以特種氣體的研發(fā)、生產(chǎn)及銷售為核心，輔以普通工業(yè)氣體和相關氣體設備與工程業(yè)務。公司成為國內(nèi)首家打破高純六氟乙烷、高純?nèi)淄椤⒏呒儼朔?、高純二氧化碳、高純一氧化碳、高純一氧化氮、Ar/F/Ne混合氣、Kr/Ne混合氣、Ar/Ne混合氣、Kr/F/Ne混合氣等產(chǎn)品進口制約的氣體公司。其中，Ar/F/Ne、Kr/Ne、Ar/Ne和Kr/F/Ne等4種混合氣于2017年通過全球最大的光刻機供應商ASML公司的產(chǎn)品認證。目前，公司是我國唯一通過ASML公司認證的氣體公司，亦是全球上述4個產(chǎn)品全部通過其認證的四家氣體公司之一，并實現(xiàn)了近20個產(chǎn)品的進口替代，是中國特種氣體國產(chǎn)化的先行者。（2）特氣業(yè)務開拓發(fā)展迅速，公司業(yè)績保持高增長水平。2022年營業(yè)收入18.03億元，較2021年同比增長了33.84%，2022年歸母凈利潤2.06億元，較2021年同比增長59.48%，公司業(yè)績增長較快，主要系下游應用領域市場規(guī)模持續(xù)擴大帶來的需求上升，擁有較高毛利率的特種氣體產(chǎn)品銷售量升高以及客戶端的持續(xù)開拓導致。（3）公司銷售凈利率保持上升態(tài)勢，期間費用率呈下降趨勢。2019到2020年年公司整體毛利率從35.38%降低至25.98%，主要系公司下游客戶對特種氣體的需求種類多，產(chǎn)品驗證周期長，公司為了快速打入供應鏈，采取了積極的市場策略。2021年到2022年毛利率提升了2.69pct，總體呈現(xiàn)出企穩(wěn)回升的態(tài)勢。公司凈利率總體呈現(xiàn)逐年穩(wěn)步上升的態(tài)勢，受益于公司有效的成本管控，期間費用率也從2019年的25.12%下降到了2022年的12.70%，總體呈現(xiàn)下降趨勢。（4）公司以特種氣體作為核心收入來源，研發(fā)投入水平逐年提升。2022年公司特種氣體業(yè)務實現(xiàn)營收13.22億元，占總營收的73%，毛利率達30.89%，氣體設備工程和工業(yè)氣體方面表現(xiàn)穩(wěn)定，分別實現(xiàn)營收2.34億元和2.2億元。公司多年來持續(xù)保證高水平的研發(fā)投入，2022年研發(fā)投入總額達0.11億元，未來公司將以高技術壁壘的特種氣體為發(fā)展核心，隨著技術和人才的不斷積累，有望形成較強競爭力。（5）公司主要關注要素：1）未來有望在2-3年陸續(xù)投產(chǎn)年產(chǎn)15噸乙硅烷項目、年產(chǎn)1764噸半導體材料建設項目、鍺烷擴建項目、江蘇如東電子化學品項目以及四川自貢西南總部建設項目，預計將為公司豐富多種特氣產(chǎn)品；2）公司和邦普合作項目預計2023年內(nèi)投產(chǎn)，公司普通工業(yè)氣體業(yè)務遠期毛利率有