電子特氣行業(yè)專題報(bào)告：電子氣體國(guó)產(chǎn)進(jìn)程有望加速

電子特氣行業(yè)專題報(bào)告：電子氣體國(guó)產(chǎn)進(jìn)程有望加速1.電子特種氣體行業(yè)概述1.1.電子特氣屬于工業(yè)氣體中高純度細(xì)分市場(chǎng)（1）18世紀(jì)末空氣分離技術(shù)開(kāi)啟了工業(yè)氣體行業(yè)的發(fā)展，隨著氣體純度與品質(zhì)的需求不斷提升，特種氣體細(xì)分市場(chǎng)逐步形成。電子特氣技術(shù)延續(xù)于工業(yè)氣體的發(fā)展進(jìn)步，18世紀(jì)末，工業(yè)氣體主要被應(yīng)用于醫(yī)用領(lǐng)域，后逐步應(yīng)用于商業(yè)領(lǐng)域；20世紀(jì)中期，分餾加工方法的發(fā)明和使用，大大降低了工業(yè)氣體的生產(chǎn)成本，加速了工業(yè)氣體的產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程；20世紀(jì)末，電子產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展，運(yùn)用于集成電路、顯示面板等電子設(shè)備的高品質(zhì)、高純度電子特氣需求增大，從而誕生了特種氣體行業(yè)。至今，隨著電子信息等高新技術(shù)的迅速發(fā)展，特種氣體規(guī)模不斷擴(kuò)張、技術(shù)壁壘不斷提升。海外企業(yè)具備多年的技術(shù)、渠道、資源、人才的積累，在特種氣體市場(chǎng)占據(jù)領(lǐng)先優(yōu)勢(shì)，近些年國(guó)內(nèi)部分領(lǐng)先龍頭企業(yè)實(shí)現(xiàn)了技術(shù)突破，打破了海外產(chǎn)品壟斷，逐步在市場(chǎng)嶄露頭角。（2）工業(yè)氣體主要依據(jù)純度不同可分為大宗氣體和特種氣體，而電子特種氣體屬于特種氣體中對(duì)純度要求更高的一類應(yīng)用氣體。大宗氣體主要包括空分氣體（氧、氮、氬等）以及合成氣體（乙炔、二氧化碳等），此類氣體一般對(duì)純度要求在4N（99.99%，一個(gè)N代表1個(gè)9）以下，主要用于冶金、化工、機(jī)械、電力、造船等傳統(tǒng)領(lǐng)域。特種氣體指在部分特定領(lǐng)域應(yīng)用的氣體產(chǎn)品，根據(jù)純度和用途又可以細(xì)分為標(biāo)準(zhǔn)氣體、高純氣體和電子特種氣體。特種氣體純度一般要求在5N以上，電子特種氣體一般要求在6N以上。特種氣體下游主要應(yīng)用于集成電路、液晶面板、LED、光伏、生物醫(yī)藥、新能源等新興產(chǎn)業(yè)。（3）整個(gè)工業(yè)氣體的產(chǎn)業(yè)鏈上下游較為相似，一般來(lái)說(shuō)設(shè)備與原材料對(duì)氣體公司的成本以及產(chǎn)品質(zhì)量影響顯著。整個(gè)工業(yè)氣體產(chǎn)業(yè)鏈上游主要包括原料、設(shè)備、相關(guān)能源三個(gè)部分。其一，在原材料選擇上，空分氣體的原料主要為空氣或者工業(yè)廢氣，成本較低；合成氣體的原料主要為化學(xué)產(chǎn)品，成本較高。一般來(lái)說(shuō)，特種氣體的原料主要為外購(gòu)的工業(yè)氣體和化學(xué)原材料，成本相對(duì)較高。其二，設(shè)備主要分為氣體生產(chǎn)設(shè)備、氣體儲(chǔ)存設(shè)備和氣體運(yùn)輸設(shè)備。氣體生產(chǎn)設(shè)備主要有空分設(shè)備和氣體提純?cè)O(shè)備，氣體儲(chǔ)存設(shè)備主要有鋼瓶和儲(chǔ)槽，氣體運(yùn)輸設(shè)備主要有用液化氣槽車和管道。生產(chǎn)、存儲(chǔ)、運(yùn)輸設(shè)備決定了氣體公司的品質(zhì)與服務(wù)，很多電子特氣企業(yè)與上游形成了長(zhǎng)期、定制的合作關(guān)系，也是電子特氣企業(yè)的核心壁壘之一。其三，工業(yè)氣體生產(chǎn)過(guò)程中需要消耗大量的水電能源和燃油資源，相關(guān)成本占據(jù)氣體生產(chǎn)公司的1/3左右。產(chǎn)業(yè)鏈的中游為大宗氣體和特種氣體的制造、運(yùn)輸和儲(chǔ)存。中游根據(jù)空氣的制備方式不同、應(yīng)用領(lǐng)域不同、純度不同等屬性影響大致分為大宗氣體和特種氣體。其中的電子特種氣體屬于專注應(yīng)用在集成電路、顯示面板等電子產(chǎn)業(yè)的細(xì)分種類，占據(jù)電子特氣的較大比例。產(chǎn)業(yè)鏈下游根據(jù)用氣量規(guī)模和品種大致分為大宗客戶和零售客戶，大宗客戶用氣量大，一般來(lái)自于鋼鐵、冶金、有色金屬、石油化工、煤化工、化肥等傳統(tǒng)行業(yè)；零售客戶有著小批量、多品種以及多頻次的特點(diǎn)，一般應(yīng)用于電子半導(dǎo)體、醫(yī)藥、面板、環(huán)保新能源、高端設(shè)備、光伏等領(lǐng)域。1.2.純度與混配精度是電子特氣的兩個(gè)關(guān)鍵指標(biāo)（1）電子氣體是晶圓制造過(guò)程中占比第二大的半導(dǎo)體耗材，也被稱為晶圓的“血液”。根據(jù)SEMI的數(shù)據(jù)，2020年全球晶圓制造材料中，電子氣體占比約為13%，是占比僅次于硅片的半導(dǎo)體材料。廣義的“電子氣體”指可用于電子工業(yè)生產(chǎn)中使用的氣體，是最重要原材料之一；狹義的“電子氣體”特指可用于電子半導(dǎo)體領(lǐng)域生產(chǎn)的特種氣體，依據(jù)《戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)分類（2018）》在電子專用材料制造的重點(diǎn)產(chǎn)品分類，將電子氣體分為了電子特種氣體和電子大宗氣體。（2）電子特氣是貫穿晶圓制造工藝流程的關(guān)鍵耗材，其中在刻蝕和摻雜中使用占比較高。細(xì)分至晶圓制造的整套工藝生產(chǎn)過(guò)程中，使用到的電子特種氣體涉及上百種，核心工段涉及40-50種，貫穿外延，成膜，離子注入，摻雜、刻蝕、沉積等工藝流程。其中在刻蝕、摻雜、外延沉積以及光刻工藝中使用占比較高，分別為36%、34%、24%和18%。（3）電子特氣有純度和混配精度兩個(gè)核心指標(biāo)，通過(guò)氣體純化和氣體合成兩項(xiàng)生產(chǎn)技術(shù)來(lái)滿足要求。通常電子特氣的純度要求5N以上，晶圓制造環(huán)節(jié)中對(duì)電子特氣的純度要求更為嚴(yán)格，一般在6N以上；而混配精度是混配氣體的核心參數(shù)，即精準(zhǔn)控制不同氣體的混配比額，行業(yè)內(nèi)一般以ppm（百萬(wàn)分之一，10-6）、ppb（十億分之一，10-9）、ppt（萬(wàn)億分之一，10-12）以及百分?jǐn)?shù)來(lái)表示組分配比。隨著集成電路制造工藝的迭代升級(jí)，線寬越來(lái)越窄，晶體管密度越來(lái)越高，對(duì)電子特氣的純度、穩(wěn)定性等指標(biāo)的要求也越來(lái)越高。（4）特種氣體的生產(chǎn)技術(shù)種類較多，相對(duì)來(lái)說(shuō)合成技術(shù)與純化技術(shù)是氣體產(chǎn)品的純度與混配精度的關(guān)鍵技術(shù)。特種氣體行業(yè)的主要生產(chǎn)技術(shù)包括氣體純化、氣體合成、空氣分離、氣體充裝、氣體混配、氣體檢測(cè)、鋼瓶處理等。其中合成技術(shù)和純化技術(shù)兩個(gè)關(guān)鍵技術(shù)，保證了電子特氣的純度和潔凈度。（5）根據(jù)氣體的特征不同，純化與合成技術(shù)又有多種不同種類的制作方法常見(jiàn)的氣體純化技術(shù)主要有吸附法、精餾法、吸收法、膜分離法等，氣體合成技術(shù)主要分為電解法、化學(xué)法和電解化學(xué)法等。1.3.電子特氣的多重行業(yè)壁壘（1）電子氣體從生產(chǎn)技術(shù)角度來(lái)看是有著多壁壘的技術(shù)密集型行業(yè)。特種氣體具有較高的技術(shù)壁壘、營(yíng)銷網(wǎng)絡(luò)與服務(wù)壁壘、客戶認(rèn)證壁壘、資質(zhì)壁壘和人才壁壘。①技術(shù)壁壘：特種氣體在生產(chǎn)過(guò)程中設(shè)計(jì)氣體合成、純化、混配、充裝、檢測(cè)、分離、氣瓶處理等多項(xiàng)工藝技術(shù)，客戶對(duì)純度和精度等指標(biāo)的高要求，對(duì)行業(yè)進(jìn)入者形成了較高的技術(shù)壁壘。②客戶認(rèn)證壁壘：因?yàn)樘胤N氣體的產(chǎn)品質(zhì)量對(duì)下游產(chǎn)業(yè)產(chǎn)品質(zhì)量影響巨大，集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜等高端領(lǐng)域客戶對(duì)氣體供應(yīng)商的選擇均需經(jīng)過(guò)審廠、產(chǎn)品認(rèn)證2輪嚴(yán)格的審核認(rèn)證，其中光伏能源、光纖光纜領(lǐng)域的審核認(rèn)證周期通常為0.5-1年，顯示面板通常為1-2年，集成電路領(lǐng)域的審核認(rèn)證周期長(zhǎng)達(dá)2-3年。③營(yíng)銷網(wǎng)絡(luò)與服務(wù)壁壘：因客戶對(duì)氣體種類、響應(yīng)速度、服務(wù)質(zhì)量的高要求，氣體公司需要投入大量人力物力進(jìn)行鋪點(diǎn)建設(shè)，不斷擴(kuò)大營(yíng)銷服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，并隨著營(yíng)銷服務(wù)網(wǎng)絡(luò)的完善不斷促進(jìn)市場(chǎng)開(kāi)拓與客戶挖掘。④資質(zhì)壁壘：因?yàn)楣I(yè)氣體屬于危險(xiǎn)化學(xué)品，資質(zhì)獲取作為工業(yè)氣體行業(yè)生產(chǎn)經(jīng)營(yíng)的前置程序，資質(zhì)審核過(guò)程嚴(yán)格，不僅需對(duì)企業(yè)的生產(chǎn)環(huán)境、工藝、設(shè)備等進(jìn)行多次現(xiàn)場(chǎng)評(píng)估，還要求生產(chǎn)人員、管理人員均需通過(guò)相應(yīng)測(cè)試并取得個(gè)人資質(zhì)，嚴(yán)格的資質(zhì)審核對(duì)行業(yè)新進(jìn)入者形成了較高的資質(zhì)壁壘。（2）電子特氣的運(yùn)輸與供氣方式也是與下游客戶關(guān)系綁定的重要特征之一，在晶圓廠建廠時(shí)打入客戶供應(yīng)鏈會(huì)占據(jù)較強(qiáng)粘性。電子特氣分為零售供氣與現(xiàn)場(chǎng)制氣兩種，零售供氣又分為采用瓶裝供氣和儲(chǔ)槽供氣兩種方式。特種氣體的銷售存在多品種、小批量、高頻次的特點(diǎn)，因此對(duì)于特種氣體，根據(jù)客戶的需求多采用瓶裝供氣模式和儲(chǔ)槽供氣兩種方式。瓶裝供氣模式會(huì)根據(jù)客戶需求隨時(shí)運(yùn)送產(chǎn)品，因?yàn)樘胤N氣體單位價(jià)值較高，基本不受運(yùn)輸半徑影響，客戶更看重產(chǎn)品的質(zhì)量以及配送交付的穩(wěn)定性。儲(chǔ)槽供氣通過(guò)低溫槽車運(yùn)送至客戶端，將低溫液體產(chǎn)品儲(chǔ)存在客戶現(xiàn)場(chǎng)的儲(chǔ)槽中，根據(jù)客戶規(guī)模要求可自行氣化使用，運(yùn)輸半徑一般在200km左右，合同期在3-5年，相對(duì)于瓶裝氣模式更要求客戶關(guān)系和配送能力。而現(xiàn)場(chǎng)制氣一般是滿足大規(guī)模用氣的運(yùn)輸方式，只有規(guī)模較大的晶圓廠與電子特氣企業(yè)才會(huì)建立這種周期長(zhǎng)達(dá)5-20年的供氣方式?，F(xiàn)場(chǎng)制氣又分為晶圓廠近端建設(shè)供氣工廠、遠(yuǎn)程管道輸送供氣兩種方式。（3）TGCM模式是針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)的一種專業(yè)化供氣服務(wù)模式，對(duì)于國(guó)內(nèi)氣體公司而言尚處于探索階段。TGCM全稱為TotalGasandChemicalManagement（全面氣體及化學(xué)品運(yùn)維管理服務(wù)），由于氣體屬于危險(xiǎn)化學(xué)品，氣體供應(yīng)及運(yùn)維服務(wù)需要較強(qiáng)的專業(yè)性和安全管控能力，而半導(dǎo)體廠商對(duì)氣體質(zhì)量和及時(shí)性的要求極高，因此大型半導(dǎo)體廠商通常將整套氣體及化學(xué)品的運(yùn)維管理服務(wù)外包給富有經(jīng)驗(yàn)的專業(yè)氣體公司，由氣體公司承擔(dān)其全套氣體及危險(xiǎn)化學(xué)品的調(diào)配、檢測(cè)、庫(kù)存管理及設(shè)備運(yùn)維管理等服務(wù)。目前半導(dǎo)體領(lǐng)域的TGCM服務(wù)絕大部分由世界排名前幾位的大型氣體公司承接，如林德集團(tuán)、液化空氣、空氣化工、大陽(yáng)日酸等，國(guó)內(nèi)大部分公司目前處于起步階段，未來(lái)還有很大成長(zhǎng)空間。2.國(guó)產(chǎn)企業(yè)逐步打破全球寡頭壟斷局面2.1.中國(guó)電子特種氣體需求高速增長(zhǎng)（1）全球工業(yè)氣體行業(yè)逐年穩(wěn)步增長(zhǎng)，中國(guó)工業(yè)氣體行業(yè)起步較晚，但復(fù)合增速快于全球2pct左右。根據(jù)億渡數(shù)據(jù)的統(tǒng)計(jì)，2017年全球工業(yè)氣體市場(chǎng)規(guī)模為7202億元，2021年增長(zhǎng)至9432億元，復(fù)合增長(zhǎng)率為6.97%，在工業(yè)穩(wěn)定發(fā)展的背景下，預(yù)計(jì)到2026年市場(chǎng)規(guī)模將增長(zhǎng)至13299億元，2021年到2026年復(fù)合增長(zhǎng)率為7.11%。中國(guó)工業(yè)氣體行業(yè)盡管起步較晚，但在國(guó)家政策的大力推動(dòng)下以及以電子特種氣體為代表的半導(dǎo)體領(lǐng)域新需求增長(zhǎng)，中國(guó)工業(yè)氣體市場(chǎng)規(guī)模將保持高增長(zhǎng)，預(yù)計(jì)到2026年中國(guó)工業(yè)氣體市場(chǎng)規(guī)模將增長(zhǎng)至2842億元，2021年到2026年復(fù)合增長(zhǎng)率為9.63%，未來(lái)中國(guó)工業(yè)氣體市場(chǎng)發(fā)展空間巨大。（2）大宗氣體市場(chǎng)規(guī)模約占工業(yè)氣體市場(chǎng)規(guī)模的80%，在鋼鐵、石油化工等傳統(tǒng)行業(yè)發(fā)揮重要作用，很多電子特氣公司發(fā)家于大宗氣體業(yè)務(wù)。中國(guó)大宗氣體市場(chǎng)規(guī)模從2017年的1036億元增長(zhǎng)至2021年的1456億元，年復(fù)合增長(zhǎng)率為8.89%。在下游鋼鐵、石油化工等行業(yè)需求穩(wěn)定增長(zhǎng)以及工業(yè)氣體設(shè)備技術(shù)提升等供需兩端的推動(dòng)下，預(yù)計(jì)2026年中國(guó)大宗氣體市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)2034億元。（3）中國(guó)特種氣體行業(yè)發(fā)展迅速，其中63%約為電子特種氣體，下游應(yīng)用主要集中在電子半導(dǎo)體領(lǐng)域。根據(jù)億渡數(shù)據(jù)，特種氣體中電子特種氣體占比約為63%。2017年到2021年中國(guó)特種氣體行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模從175億元增長(zhǎng)至342億元，年復(fù)合增長(zhǎng)率為18%，在電子半導(dǎo)體下游需求持續(xù)增長(zhǎng)和國(guó)家政策的鼓勵(lì)推動(dòng)下，預(yù)計(jì)2026年中國(guó)特種氣體行業(yè)的市場(chǎng)規(guī)模將增長(zhǎng)至808億元，2021年到2026年復(fù)合增長(zhǎng)率為18.76%。（4）在集成電路以及相關(guān)下游行業(yè)需求增長(zhǎng)的帶動(dòng)下，全球電子特種氣體市場(chǎng)規(guī)模呈現(xiàn)逐年穩(wěn)步增長(zhǎng)態(tài)勢(shì)。根據(jù)TECHCET數(shù)據(jù)，2017年全球電子特種氣體市場(chǎng)規(guī)模約為36.91億美元，2021年增長(zhǎng)至45.38億美元，2017年到2021年的CAGR為5.30%，預(yù)計(jì)2025年市場(chǎng)規(guī)模將超過(guò)60億美元，2021年到2025年年復(fù)合增長(zhǎng)率預(yù)計(jì)達(dá)到7.33%。（5）中國(guó)電子特氣市場(chǎng)規(guī)模逐年增長(zhǎng)，預(yù)計(jì)2025年有望突破300億元，四年CAGR約為9.43%。根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)預(yù)測(cè)，2016年中國(guó)電子特氣市場(chǎng)規(guī)模為98億元，2022年市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到220.8億元，預(yù)計(jì)2025年中國(guó)電子特氣市場(chǎng)規(guī)模有望突破至316.6億元，2022年到2025年復(fù)合增長(zhǎng)率為9.43%，增長(zhǎng)率顯著高于全球電子氣體增長(zhǎng)率，未來(lái)成長(zhǎng)空間大。2.2.國(guó)內(nèi)部分產(chǎn)品逐步打破國(guó)外寡頭壟斷（1）全球電子氣體行業(yè)整體呈現(xiàn)壟斷格局，林德、液化空氣、大陽(yáng)日酸和空氣化工四大國(guó)際巨頭總計(jì)占據(jù)91%以上的市場(chǎng)份額。根據(jù)觀研天下數(shù)據(jù)，全球和中國(guó)電子特氣市場(chǎng)均主要被海外公司占據(jù)。2021年全球主要生產(chǎn)商以及占有率分別是，美國(guó)空氣化工（25%）、德國(guó)林德集團(tuán)（25%，林德集團(tuán)和普萊克斯合并）、法國(guó)液化空氣（23%）和日本酸素（18%，原名大陽(yáng)日酸），TOP4大企業(yè)合計(jì)占據(jù)全球電子特氣91%的市場(chǎng)份額。同樣，四大巨頭在中國(guó)占據(jù)主導(dǎo)地位，據(jù)TECHCET的數(shù)據(jù)2020年外資在中國(guó)電子特氣市場(chǎng)的合計(jì)市占率約85%，據(jù)前瞻產(chǎn)業(yè)研究院預(yù)測(cè)，到2025年中國(guó)電子特氣市場(chǎng)的國(guó)產(chǎn)化占比將提高到25%。（2）由于電子特種氣體高達(dá)100多種類，在某些細(xì)分種類上也有一些知名的海外與國(guó)內(nèi)企業(yè)供應(yīng)商。全球其他知名生產(chǎn)企業(yè)還有SKMaterials、關(guān)東電化、昭和電工、中船特氣等，這些企業(yè)在總體規(guī)模上與林德、液化空氣、大陽(yáng)日酸和空氣化工四大國(guó)際巨頭存在差距，但在電子特氣部分細(xì)分產(chǎn)品領(lǐng)域具備較強(qiáng)競(jìng)爭(zhēng)力。國(guó)內(nèi)部分企業(yè)專注少數(shù)幾個(gè)產(chǎn)品，不斷深耕市場(chǎng)，也逐步走入全球市場(chǎng)。根據(jù)LinxConsulting數(shù)據(jù)，2021年全球電子特氣收入排名中，國(guó)內(nèi)電子特種氣體龍頭企業(yè)中船特氣位列第九，具備了一定的市場(chǎng)規(guī)模與影響力。（3）將100多種電子特氣規(guī)模排列，前十大品種市場(chǎng)份額約為58%，是電子特氣的主要組成部分。根據(jù)LinxConsulting數(shù)據(jù)，在2021年全球電子特種氣體市場(chǎng)中，三氟化氮市場(chǎng)規(guī)模排名第一，占比約20%，六氟化鎢市場(chǎng)規(guī)模排名第二，占比約8%，六氟丁二烯市場(chǎng)規(guī)模排名第三，占比約為7%，三者合計(jì)占比35%，為市場(chǎng)空間大、發(fā)展前景好的產(chǎn)品，前十大電子特氣市場(chǎng)規(guī)模合計(jì)約25.37億美元，約占全球電子特氣市場(chǎng)份額的58%。（4）在電子特氣市場(chǎng)規(guī)模最大的三氟化氮和六氟化鎢產(chǎn)品市場(chǎng)，我國(guó)中船特氣已成為全球龍頭供應(yīng)商，具備一定的市場(chǎng)影響力。2020年中船特氣的三氟化氮和六氟化鎢產(chǎn)品分別在占據(jù)全球市場(chǎng)份額的24%和16%，實(shí)現(xiàn)了國(guó)產(chǎn)替代，在全球范圍內(nèi)都具備較強(qiáng)競(jìng)爭(zhēng)力。2.3.我國(guó)電子特氣企業(yè)規(guī)模與產(chǎn)能具備較大空間（1）國(guó)內(nèi)各廠商拓展策略略有不同，產(chǎn)品整體呈現(xiàn)錯(cuò)位競(jìng)爭(zhēng)格局。從我國(guó)主要的上市企業(yè)數(shù)據(jù)來(lái)看，其一，我國(guó)上市企業(yè)的電子特氣2022年收入規(guī)模均在15億元以下，與海外企業(yè)存在較大差距；其二，我國(guó)上市企業(yè)的總營(yíng)收結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜，多數(shù)企業(yè)經(jīng)營(yíng)電子特氣外，還生產(chǎn)關(guān)聯(lián)性較強(qiáng)的工業(yè)氣體、航空材料、半導(dǎo)體材料、化工材料等，企業(yè)的多元化經(jīng)營(yíng)是行業(yè)特征決定的；其三，整體電子特氣的毛利率在27%-55%之間，相對(duì)較高，電子特氣屬于高價(jià)值業(yè)務(wù)板塊。通過(guò)我們對(duì)部分上市公司的梳理，國(guó)內(nèi)目前廠商們的主打產(chǎn)品并不重疊，整體呈現(xiàn)多點(diǎn)開(kāi)花錯(cuò)位競(jìng)爭(zhēng)的格局。（2）我國(guó)龍頭企業(yè)現(xiàn)有產(chǎn)能布局各有所長(zhǎng)，未來(lái)規(guī)劃布局來(lái)看也少有重疊。從我國(guó)企業(yè)現(xiàn)有產(chǎn)能與規(guī)劃產(chǎn)能來(lái)看，各家企業(yè)的布局均由自己的特色，各家企業(yè)沒(méi)有形成鮮明的企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)局面，這也說(shuō)明我國(guó)的電子特氣國(guó)產(chǎn)化空間巨大、電子特氣種類繁多、長(zhǎng)期空間發(fā)展良好。3.政策和需求雙輪驅(qū)動(dòng)我國(guó)電子特氣市場(chǎng)發(fā)展3.1.集成電路發(fā)展迅速成為電子特氣主要驅(qū)動(dòng)力（1）電子特種氣體下游應(yīng)用廣泛，集成電路、顯示面板、半導(dǎo)體照明、光伏等泛半導(dǎo)體領(lǐng)域均由應(yīng)用。在集成電路行業(yè)中，電子特氣主要用于成膜、光刻、刻蝕、清洗、離子注入等環(huán)節(jié)；在面板行業(yè)中應(yīng)用于成膜、清洗等環(huán)節(jié)；在光伏行業(yè)中應(yīng)用于沉積、刻蝕、擴(kuò)散等環(huán)節(jié)。（2）全球集成電路占據(jù)電子特氣的71%下游應(yīng)用，而我國(guó)集成電路用電子特氣占比只有42%，主要是我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展落后于全球水平。根據(jù)前瞻產(chǎn)業(yè)研究院數(shù)據(jù)顯示，從全球來(lái)看，電子特種氣體應(yīng)用于集成電路行業(yè)的需求占市場(chǎng)總需求的71%，應(yīng)用于顯示面板行業(yè)的需求占市場(chǎng)總需求的18%；從我國(guó)來(lái)看，電子特種氣體應(yīng)用于集成電路行業(yè)的需求占市場(chǎng)總需求的42%，應(yīng)用于顯示面板行業(yè)的需求占市場(chǎng)總需求的37%。我國(guó)集成電路行業(yè)電子特種氣體的需求相對(duì)較低，主要原因?yàn)槲覈?guó)的集成電路產(chǎn)業(yè)技術(shù)水平和產(chǎn)業(yè)規(guī)模與世界先進(jìn)國(guó)家和地區(qū)還存在一定差距，而顯示面板產(chǎn)業(yè)經(jīng)過(guò)多年持續(xù)發(fā)展，我國(guó)已成為全球最大的產(chǎn)業(yè)基地。（3）我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)規(guī)模持續(xù)擴(kuò)大，將引領(lǐng)電子特種氣體市場(chǎng)進(jìn)入快速發(fā)展時(shí)期。根據(jù)ICInsights數(shù)據(jù)，我國(guó)集成電路市場(chǎng)需求2020年為1430億美元，2025年預(yù)計(jì)達(dá)到2230億美元，復(fù)合增長(zhǎng)率9.29%，我國(guó)集成電路市場(chǎng)需求持續(xù)攀升。中國(guó)集成電路制造2020年產(chǎn)值為227億美元，自給率為15.87%，預(yù)計(jì)2025年產(chǎn)值將達(dá)到432億美元，自給率將進(jìn)一步提高到19.37%，復(fù)合增長(zhǎng)率達(dá)到13.73%。（4）中國(guó)晶圓廠近些年不斷擴(kuò)產(chǎn)，電子特氣滲透率有望加速提升。根據(jù)集邦咨詢數(shù)據(jù)，全球晶圓廠不斷擴(kuò)建，近期計(jì)劃的24座晶圓廠分布來(lái)看，中國(guó)占據(jù)了6座，在全球占比第一。一方面，因內(nèi)資晶圓產(chǎn)能增加而新增的半導(dǎo)體材料需求，為國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體材料供給商提供很大的市場(chǎng)開(kāi)拓空間；另一方面，在以美國(guó)、荷蘭、日本為主的經(jīng)濟(jì)體不斷管制中國(guó)大陸半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展背景下，自主可控勢(shì)在必行，新建晶圓廠可以重塑供應(yīng)鏈體系，國(guó)內(nèi)企業(yè)有望獲得更多的訂單份額，加速電子特氣國(guó)產(chǎn)滲透率。3.2.面板和光伏穩(wěn)步增長(zhǎng)助推國(guó)產(chǎn)電子特氣需求增長(zhǎng)（1）我國(guó)顯示面板產(chǎn)能占全球約六成，面板行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模不斷擴(kuò)大將加速帶動(dòng)電子特氣行業(yè)迅速發(fā)展。電子特氣主要用于顯示面板制造過(guò)程中的成膜以及刻蝕工藝，涉及硅烷、氟化物、稀有氣體和氨氣等產(chǎn)品，顯示面板在全球特氣下游需求中占比約為19%，在中國(guó)特氣下游需求中占比約為37%。近年來(lái)全球面板產(chǎn)業(yè)向中國(guó)轉(zhuǎn)移，我國(guó)顯示面板行業(yè)形成了以京東方、TCL科技、深天馬、惠科、維信諾等重點(diǎn)企業(yè)領(lǐng)銜的產(chǎn)業(yè)集群，全球產(chǎn)能占比超過(guò)六成，是全球第一大顯示面板產(chǎn)業(yè)集中地。根據(jù)Forst&Sullivan資料顯示，2020年至2024年中國(guó)顯示面板市場(chǎng)規(guī)模復(fù)合增長(zhǎng)率為6.34%，行業(yè)持續(xù)穩(wěn)定發(fā)展，市場(chǎng)規(guī)模擴(kuò)大將帶進(jìn)一步帶動(dòng)電子特種氣體市場(chǎng)穩(wěn)健發(fā)展。（2）光伏行業(yè)快速發(fā)展，電子特氣市場(chǎng)需求也將進(jìn)一步擴(kuò)大。電子特氣在太陽(yáng)能電池片的生產(chǎn)過(guò)程中主要被應(yīng)用于擴(kuò)散、刻蝕、沉積等工序，涉及氟化物、硅烷、氨氣等產(chǎn)品。根據(jù)集邦咨詢的數(shù)據(jù)，2022年全球新增光伏裝機(jī)量為228.5GW，預(yù)計(jì)2023年全球新增光伏裝機(jī)量為350.6GW，同比增長(zhǎng)53.40%，我國(guó)2022年的新增光伏裝機(jī)量為87.41GW，預(yù)計(jì)2023年新增光伏裝機(jī)量為148.9GW，同比增長(zhǎng)70.35%，增速快于全球。光伏新裝機(jī)量快速增長(zhǎng)也將驅(qū)動(dòng)電子特種氣體需求不斷增長(zhǎng)。3.3.國(guó)家出臺(tái)多項(xiàng)產(chǎn)業(yè)扶持政策，加速推動(dòng)行業(yè)發(fā)展國(guó)家出臺(tái)多項(xiàng)電子特氣產(chǎn)業(yè)扶持政策，加速推動(dòng)特種氣體行業(yè)發(fā)展。2016年以來(lái)，國(guó)家發(fā)改委、科技部、工信部等連續(xù)出臺(tái)了《國(guó)家重點(diǎn)支持的高新技術(shù)領(lǐng)域目錄》（2016）、《戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)重點(diǎn)產(chǎn)品和服務(wù)指導(dǎo)目錄》《新材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展指南》《重點(diǎn)新材料首批次產(chǎn)業(yè)應(yīng)用示范指導(dǎo)目錄（2017年版）》等多部戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)相關(guān)政策，將特種氣體列入新材料產(chǎn)業(yè)，大力支持和推動(dòng)特種氣體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。2022年中又發(fā)布了《“十四五”原材料工業(yè)發(fā)展規(guī)劃》以及《原材料工業(yè)“三品”實(shí)施法案》，在國(guó)家對(duì)“卡脖子”環(huán)節(jié)的持續(xù)出臺(tái)產(chǎn)業(yè)政策大力扶持下，將加速推動(dòng)特種氣體行業(yè)發(fā)展。4.公司介紹4.1.中船特氣（1）中船(邯鄲)派瑞特種氣體股份有限公司位于河北省邯鄲市，是國(guó)內(nèi)領(lǐng)先、世界知名的電子特種氣體和三氟甲磺酸系列產(chǎn)品供應(yīng)商。2000年，七一八所成立特氣工程部，開(kāi)始從事電子特種氣體的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化，是國(guó)內(nèi)最早從事電子特種氣體研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化的經(jīng)營(yíng)主體。2002年，特氣工程部成功研發(fā)出純度高達(dá)99.9%的三氟化氮?dú)怏w，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白，打破了國(guó)外技術(shù)壟斷，標(biāo)志著技術(shù)從0到1的跨越。自此，特氣工程部揭開(kāi)了電子特種氣體國(guó)產(chǎn)化替代的序幕。2007年，特氣工程部首創(chuàng)以三氟化氮為原材料的合成技術(shù)，成功研發(fā)了電子級(jí)六氟化鎢，此后，特氣工程部攻克大批量生產(chǎn)關(guān)鍵工藝，具備了規(guī)模化的生產(chǎn)能力。2008年和2010年，七一八所特氣工程部分別建成了年產(chǎn)300噸高純?nèi)湍戤a(chǎn)30噸高純六氟化鎢生產(chǎn)線，標(biāo)志著規(guī)?；晒D(zhuǎn)化正式落地，開(kāi)啟電子特種氣體國(guó)產(chǎn)化新征程。經(jīng)過(guò)多年發(fā)展和積累，公司目前已經(jīng)具備電子特種氣體及含氟新材料等50余種產(chǎn)品的生產(chǎn)能力，現(xiàn)已成為電子特種氣體收入規(guī)模最大的國(guó)內(nèi)企業(yè)，位列全球第九名，是國(guó)內(nèi)唯一進(jìn)入前十的企業(yè)，國(guó)際影響力逐漸提升。（2）下游客戶需求增加疊加大客戶深度綁定，營(yíng)業(yè)收入逐年穩(wěn)步增長(zhǎng)。2022年公司營(yíng)業(yè)收入19.56億元，較2021年同比增長(zhǎng)了12.90%，主要系下游客戶需求增長(zhǎng)顯著、大客戶深度綁定基礎(chǔ)穩(wěn)固以及在國(guó)家產(chǎn)業(yè)政策的大力推動(dòng)下導(dǎo)致。公司2022年凈利潤(rùn)為3.83億元，較2021年小幅增長(zhǎng)7.87%，盡管受到2022上半年原材料漲價(jià)導(dǎo)致增速有所放緩，但增長(zhǎng)勢(shì)頭良好。（3）公司毛利率呈小幅下降趨勢(shì)，但整體維持在較高水平。報(bào)告期內(nèi)，公司毛利率分別為43.01%、41.64%、40.35%、37.86%、36.86%，主要系公司主要產(chǎn)品三氟化氮、六氟化鎢的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)更加激烈，公司為了提升市占率主動(dòng)調(diào)低產(chǎn)品銷售價(jià)格導(dǎo)致。三氟甲硫酸系列產(chǎn)品的毛利率從2019年的38.75%下降至2022年年中的33.21%。（4）公司期間費(fèi)用率呈下降趨勢(shì)，高度重視技術(shù)研發(fā)投入逐年增加。公司高度重視技術(shù)創(chuàng)新，研發(fā)投入不斷增長(zhǎng)，從2019年的0.52億元擴(kuò)大至2022年的1.57億元，年復(fù)合增長(zhǎng)率為44.53%，研發(fā)投入占比也從2019年的5.02%提升至8.03%。費(fèi)用端方面，公司期間費(fèi)用率整體呈現(xiàn)下降趨勢(shì)，從2019年的20.83%下降到2022年的17.59%，其中財(cái)務(wù)費(fèi)用率轉(zhuǎn)正為負(fù)，現(xiàn)金流良好；銷售費(fèi)用率從2019年的9.74%下降至2022年的6.34%，主要系公司營(yíng)業(yè)收入增長(zhǎng)較快導(dǎo)致。（5）公司主要關(guān)注要素：1）預(yù)計(jì)年內(nèi)年產(chǎn)3250噸三氟化氮項(xiàng)目將開(kāi)始投產(chǎn)，緩解公司產(chǎn)能不足的瓶頸，進(jìn)一步鞏固龍頭地位；2）年產(chǎn)500噸雙（三氟甲磺酸）亞胺鋰項(xiàng)目將有助于公司在鋰電池新能源領(lǐng)域的布局，有望成為公司新的增長(zhǎng)點(diǎn)；3）高純電子氣體項(xiàng)目和高純氯化氫項(xiàng)目將豐富公司產(chǎn)品結(jié)構(gòu)有效滿足客戶多樣化需求，未來(lái)市占率有望進(jìn)一步擴(kuò)大，營(yíng)收與凈利潤(rùn)進(jìn)一步增長(zhǎng)。4.2.華特氣體（1）華特氣體成立于1999年，公司的主營(yíng)業(yè)務(wù)以特種氣體的研發(fā)、生產(chǎn)及銷售為核心，輔以普通工業(yè)氣體和相關(guān)氣體設(shè)備與工程業(yè)務(wù)。公司成為國(guó)內(nèi)首家打破高純六氟乙烷、高純?nèi)淄?、高純八氟丙烷、高純二氧化碳、高純一氧化碳、高純一氧化氮、Ar/F/Ne混合氣、Kr/Ne混合氣、Ar/Ne混合氣、Kr/F/Ne混合氣等產(chǎn)品進(jìn)口制約的氣體公司。其中，Ar/F/Ne、Kr/Ne、Ar/Ne和Kr/F/Ne等4種混合氣于2017年通過(guò)全球最大的光刻機(jī)供應(yīng)商ASML公司的產(chǎn)品認(rèn)證。目前，公司是我國(guó)唯一通過(guò)ASML公司認(rèn)證的氣體公司，亦是全球上述4個(gè)產(chǎn)品全部通過(guò)其認(rèn)證的四家氣體公司之一，并實(shí)現(xiàn)了近20個(gè)產(chǎn)品的進(jìn)口替代，是中國(guó)特種氣體國(guó)產(chǎn)化的先行者。（2）特氣業(yè)務(wù)開(kāi)拓發(fā)展迅速，公司業(yè)績(jī)保持高增長(zhǎng)水平。2022年?duì)I業(yè)收入18.03億元，較2021年同比增長(zhǎng)了33.84%，2022年歸母凈利潤(rùn)2.06億元，較2021年同比增長(zhǎng)59.48%，公司業(yè)績(jī)?cè)鲩L(zhǎng)較快，主要系下游應(yīng)用領(lǐng)域市場(chǎng)規(guī)模持續(xù)擴(kuò)大帶來(lái)的需求上升，擁有較高毛利率的特種氣體產(chǎn)品銷售量升高以及客戶端的持續(xù)開(kāi)拓導(dǎo)致。（3）公司銷售凈利率保持上升態(tài)勢(shì)，期間費(fèi)用率呈下降趨勢(shì)。2019到2020年年公司整體毛利率從35.38%降低至25.98%，主要系公司下游客戶對(duì)特種氣體的需求種類多，產(chǎn)品驗(yàn)證周期長(zhǎng)，公司為了快速打入供應(yīng)鏈，采取了積極的市場(chǎng)策略。2021年到2022年毛利率提升了2.69pct，總體呈現(xiàn)出企穩(wěn)回升的態(tài)勢(shì)。公司凈利率總體呈現(xiàn)逐年穩(wěn)步上升的態(tài)勢(shì)，受益于公司有效的成本管控，期間費(fèi)用率也從2019年的25.12%下降到了2022年的12.70%，總體呈現(xiàn)下降趨勢(shì)。（4）公司以特種氣體作為核心收入來(lái)源，研發(fā)投入水平逐年提升。2022年公司特種氣體業(yè)務(wù)實(shí)現(xiàn)營(yíng)收13.22億元，占總營(yíng)收的73%，毛利率達(dá)30.89%，氣體設(shè)備工程和工業(yè)氣體方面表現(xiàn)穩(wěn)定，分別實(shí)現(xiàn)營(yíng)收2.34億元和2.2億元。公司多年來(lái)持續(xù)保證高水平的研發(fā)投入，2022年研發(fā)投入總額達(dá)0.11億元，未來(lái)公司將以高技術(shù)壁壘的特種氣體為發(fā)展核心，隨著技術(shù)和人才的不斷積累，有望形成較強(qiáng)競(jìng)爭(zhēng)力。（5）公司主要關(guān)注要素：1）未來(lái)有望在2-3年陸續(xù)投產(chǎn)年產(chǎn)15噸乙硅烷項(xiàng)目、年產(chǎn)1764噸半導(dǎo)體材料建設(shè)項(xiàng)目、鍺烷擴(kuò)建項(xiàng)目、江蘇如東電子化學(xué)品項(xiàng)目以及四川自貢西南總部建設(shè)項(xiàng)目，預(yù)計(jì)將為公司豐富多種特氣產(chǎn)品；2）公司和邦普合作項(xiàng)目預(yù)計(jì)2023年內(nèi)投產(chǎn)，公司普通工業(yè)氣體業(yè)務(wù)遠(yuǎn)期毛利率有