開(kāi)關(guān)電弧表面特種涂層制備系統(tǒng)-表面涂層材料沉積系統(tǒng)

開(kāi)關(guān)電弧表面特種涂層制備系統(tǒng)-表面涂層材料沉積系統(tǒng)采購(gòu)需求一、該項(xiàng)目最高限價(jià)為人民幣（60）萬(wàn)元。二、采購(gòu)需求應(yīng)當(dāng)完整、明確，并包括以下內(nèi)容：（一）項(xiàng)目概述（采購(gòu)標(biāo)的需實(shí)現(xiàn)的功能或者目標(biāo)，以及為落實(shí)政府采購(gòu)政策需滿足的要求）：本采購(gòu)項(xiàng)目為表面涂層材料沉積系統(tǒng)1套，該系統(tǒng)擬采用磁控濺射方法，主要包括由濺射真空室、磁控濺射靶、單基片加熱臺(tái)、直流電源、射頻電源、抽氣系統(tǒng)、真空測(cè)量、電控系統(tǒng)級(jí)安裝機(jī)臺(tái)等部分組成。（二）采購(gòu)標(biāo)的的數(shù)量、采購(gòu)項(xiàng)目交付或者實(shí)施的時(shí)間和地點(diǎn)：1.采購(gòu)數(shù)量：1套2.交付時(shí)間：2020-10-303.交付地點(diǎn)：西安交通大學(xué)指定地點(diǎn)；（三）技術(shù)需求（采購(gòu)標(biāo)的需滿足的質(zhì)量、安全、技術(shù)規(guī)格、物理特性等要求）：1.功能性需求：鍍制：Pt、W、W、Au、Ag、Ti、Al、Cu、Ni等金屬膜；氧化物膜、氮化物膜；外延膜、原子層膜；2.技術(shù)性需求：序號(hào)產(chǎn)品名稱指標(biāo)要求：實(shí)現(xiàn)鍍制半導(dǎo)體膜，納米薄膜，金剛石膜，外延膜，超導(dǎo)膜等；1真空系統(tǒng)包括濺射真空室、磁控濺射靶、真空測(cè)量系統(tǒng)1）濺射真空室真空室為矩形手動(dòng)前開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu)，尺寸500mm（長(zhǎng)）×500mm（深）×500mm（高），全不銹鋼結(jié)構(gòu)，進(jìn)行除應(yīng)力處理和變形處理?？蓛?nèi)烘烤到，選用優(yōu)質(zhì)冷軋304不銹鋼，氬弧焊接，表面進(jìn)行電化學(xué)拋光鈍化處理，接口采用金屬墊圈密封或氟橡膠圈密封；靶安裝在上面，基片轉(zhuǎn)臺(tái)在下板。2）磁控濺射靶靶材尺寸：φ75mm；磁控靶可手動(dòng)調(diào)節(jié)共濺射角度（0-25°）；靶頭下可以調(diào)節(jié)高度，靶基距調(diào)節(jié)范圍：40～80mm，調(diào)節(jié)鍍膜密度；靶配有屏蔽罩，以避免靶材之間的交叉污染；內(nèi)部具備水冷道，冷卻靶材，具備保護(hù)磁鋼腐蝕功能；具備每個(gè)靶射頻濺射與直流濺射兼容、共用；靶都配備氣動(dòng)控制擋板組件：兼顧多層膜功能；磁控靶可手動(dòng)調(diào)節(jié)共濺射角度，具備膜系設(shè)計(jì)調(diào)節(jié)；基片尺寸：φ100mm；正反轉(zhuǎn)動(dòng)；轉(zhuǎn)速1～15轉(zhuǎn)/分；樣品加熱100～600°可調(diào)；樣品盤(pán)可以輔助離子驅(qū)動(dòng)；3）真空測(cè)量系統(tǒng)復(fù)合真空計(jì):量程：1.0×105～1.0×10-5Pa；可分為2部分：ZJ-52T一只，量程1.0×105～1.0×10-1Pa；ZJ-27一只，量程4～1.0×10-5Pa；顯示：2路；控制方案：點(diǎn)控或區(qū)域控制；控制點(diǎn)負(fù)載：AC220V/3A；電離外控：通過(guò)PLC開(kāi)關(guān)電離規(guī)，使電離規(guī)不受大氣沖擊。2電源系統(tǒng)包括直流電源、濺射電源1）直流電源數(shù)量：2臺(tái)；功率:每臺(tái)500W；電壓輸入:AC180-240V，50Hz；輸入電流:5A；輸出電壓:0~800V；輸出電流:0.8A；數(shù)字通訊:RS485，標(biāo)準(zhǔn)Modbus協(xié)議；尺寸:440mm（寬）×300mm（長(zhǎng)）×86mm（高）標(biāo)準(zhǔn)2U；面板（含外延及螺釘?shù)龋┏叽纾?80mm（寬）×89mm（高）；針對(duì)磁控濺射和偏壓電源專門(mén)設(shè)計(jì)；功率、電壓、電流三種控制方式任選；抗打火和滅弧設(shè)計(jì)；2）射頻電源功率:500W；功率穩(wěn)定度:≦±1%；頻率:13.56MHz；輸出波形:正弦波；AC電壓:AC180-250V；輸入電流:5A；冷卻:風(fēng)冷；數(shù)字通訊:RS232,RS485；Modebus協(xié)議；模擬口控制:0-10V/DB15；尺寸:440mm（寬）×400mm(深）×89mm（高)標(biāo)準(zhǔn)2U；面板（含外延及螺釘?shù)龋┏叽?480mm（寬）×89mm（高）；重量:10kg。3電控系統(tǒng)級(jí)安裝機(jī)臺(tái)可以移動(dòng)，承重2噸以上框架結(jié)構(gòu)；控制編程部分：計(jì)算機(jī)屏幕操作；設(shè)定真空度，閥門(mén)會(huì)根據(jù)真空信號(hào)調(diào)節(jié)角度，達(dá)到真空的抽速；濺射電源采集樣品臺(tái)信號(hào)，設(shè)定磁控靶工作功率，功率隨時(shí)調(diào)整；氣體流量設(shè)定，真空度設(shè)定；樣品溫度設(shè)定；樣品轉(zhuǎn)速設(shè)定；4監(jiān)測(cè)系統(tǒng)包含進(jìn)氣系統(tǒng)、抽氣系統(tǒng)、水流檢測(cè)及報(bào)警1）進(jìn)氣系統(tǒng)配置：控制器、充氣閥CF16、進(jìn)氣截止閥、混氣室、管路、接頭等，共4路質(zhì)量流量進(jìn)氣；產(chǎn)品精度：±1.5％；重復(fù)精度：±0.2％；響應(yīng)時(shí)間：≤10sec；輸入信號(hào)：(0-5)VDC；電源頭形式：DB15PIN；工作壓差：（0.1-0.5）MPa；閥類型：常閉；重量：1.1kg；一路直接進(jìn)氣：Dg16手動(dòng)放氣閥、管路、接頭等，共1路。2）抽氣系統(tǒng)分子泵+機(jī)械泵抽氣系統(tǒng)：（1）分子泵：（北京世紀(jì)久泰）；型號(hào)：JTFB-1200；抽速：1200L/S；進(jìn)氣法蘭：CF200；排氣法蘭:KF40；極限壓強(qiáng):6X10-8Pa；啟動(dòng)時(shí)間：5min；額定轉(zhuǎn)速：24000rpm；震動(dòng)值：≤0.1μm；（2）機(jī)械泵：型號(hào)：TRP-48；抽速：14L/S；壓力：4X10-1Pa；進(jìn)氣口徑：40KF；電機(jī)功率：0.75KW；電機(jī)轉(zhuǎn)速：1450rpm；噪音：52dB；重量：39kg；3）水流檢測(cè)及報(bào)警水流報(bào)警器1套；水冷機(jī)，1套；分子泵水套：1個(gè)；靶水套：3個(gè)；5單基片加熱臺(tái)基片尺寸：φ100mm；連續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)；轉(zhuǎn)速1～15轉(zhuǎn)/分；樣品加熱100～600℃可調(diào)；（四）服務(wù)要求（采購(gòu)標(biāo)的需滿足的服務(wù)標(biāo)準(zhǔn)、期限、效率等要求）：1.質(zhì)保期：3年。2.服務(wù)期限：產(chǎn)品終身維修，質(zhì)保期滿后，仍需提供專業(yè)維修服務(wù)，投標(biāo)人在投標(biāo)文件中需注明維修服務(wù)單項(xiàng)報(bào)價(jià)。3.服務(wù)響應(yīng)時(shí)間：接到維修電話后4小時(shí)內(nèi)給予明確答復(fù)，8小時(shí)內(nèi)到達(dá)現(xiàn)場(chǎng)維修。維修人員到現(xiàn)場(chǎng)后若問(wèn)題特殊無(wú)法現(xiàn)場(chǎng)修復(fù)的，供貨方需在24小時(shí)內(nèi)給出合理解決方案。4.其他服務(wù)要求：（五）采購(gòu)標(biāo)的的驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)；（可續(xù)行）采購(gòu)項(xiàng)目最終實(shí)施條件下：現(xiàn)場(chǎng)的檢驗(yàn)指標(biāo)及方法序號(hào)功能或指標(biāo)驗(yàn)收或測(cè)試方法1真空指標(biāo)真空計(jì)+規(guī)2樣品加熱溫度計(jì)3啟輝鍍膜樣品鍍膜4流量計(jì)進(jìn)氣流量計(jì)電源5金剛石膜φ20×5μm(厚)驗(yàn)收時(shí)