傳感器技術(shù)及應(yīng)用（第二版）電感式傳感器

電感式傳感器本章內(nèi)容

3.1自感式傳感器

3.2差動(dòng)變壓器式傳感器

3.3電渦流式傳感器

學(xué)習(xí)目標(biāo)

了解三種電感式傳感器（自感式傳感器、差動(dòng)變壓器、電渦流傳感器）的結(jié)構(gòu)、工作原理和測量電路。掌握三類電感式傳感器的各自特點(diǎn)、應(yīng)用范圍和典型應(yīng)用。3.1自感式傳感器

3.1.1工作原理

自感式傳感器由線圈、鐵芯和銜鐵3部分組成。在鐵芯和銜鐵之間有氣隙，氣隙厚度為

，傳感器的運(yùn)動(dòng)部分與銜鐵相連。當(dāng)銜鐵移動(dòng)時(shí)，氣隙厚度

發(fā)生改變，導(dǎo)致電感線圈的電感值變化，只要能測出這種電感量的變化，就能確定銜鐵位移量的大小和方向。

電感傳感器原理演示F氣隙變小，電感變大，電流變小。圖3-1變磁阻式傳感器1—線圈；2—鐵芯（定鐵芯）；3—銜鐵（動(dòng)鐵芯）

線圈中電感量為:式中：ψ——線圈總磁鏈；I——通過線圈的電流；W——線圈的匝數(shù)；

——穿過線圈的磁通。

通常氣隙磁阻遠(yuǎn)大于鐵芯和銜鐵的磁阻，即

因此，線圈的電感值可近似地表示為當(dāng)線圈匝數(shù)為常數(shù)時(shí)，只要改變

或S0均可導(dǎo)致電感變化，因此變磁阻式傳感器又可分為變氣隙型電感式傳感器和變面積型電感式傳感器。

在實(shí)際使用中，常采用兩個(gè)相同的傳感器線圈共用一個(gè)銜鐵，構(gòu)成差動(dòng)式電感傳感器。測量時(shí)，銜鐵通過導(dǎo)桿與被測位移量相連，當(dāng)被測體移動(dòng)時(shí)，導(dǎo)桿帶動(dòng)銜鐵也以相同的位移上下移動(dòng)，使兩個(gè)磁回路中磁阻發(fā)生大小相等，方向相反的變化，導(dǎo)致一個(gè)線圈的電感量增加，另一個(gè)線圈的電感量減小，形成差動(dòng)形式。差動(dòng)式結(jié)構(gòu)除了可以改善線性、提高靈敏度外，對溫度變化、電源頻率變化等影響也可以進(jìn)行補(bǔ)償，從而減少了外界影響造成的誤差。（a）（b）（c）圖3-4差動(dòng)式電感傳感器（a）變氣隙型；（b）變面積型；（c）螺管型1—線圈；2—鐵芯；3—銜鐵；4—導(dǎo)桿

3.1.2測量電路變磁阻式傳感器的測量電路有交流電橋式、交流變壓器式以及諧振式等幾種形式。1．交流電橋式測量電路把傳感器的兩個(gè)線圈作為電橋的兩個(gè)橋臂Z1和Z2，另外兩個(gè)相鄰的橋臂用純電阻代替，設(shè)Z1=Z+ΔZ1，Z2=Z－ΔZ2，Z是銜鐵在中間位置時(shí)單個(gè)線圈的復(fù)阻抗，ΔZ1，ΔZ2分別是銜鐵偏離中心位置時(shí)兩線圈阻抗的變化量。

圖3-5交流電橋式測量電路 圖3-6變壓器式交流電橋

其輸出電壓為:

式中：L0——銜鐵在中間位置時(shí)單個(gè)線圈的電感；

ΔL——單線圈電感的變化量。

2．變壓器式交流電橋電橋兩臂Z1、Z2為傳感器線圈阻抗，另外兩橋臂為交流變壓器次級線圈的1/2阻抗。當(dāng)負(fù)載阻抗為無窮大時(shí)，橋路輸出電壓為

當(dāng)傳感器的銜鐵處于中間位置，即Z1=Z2=Z時(shí)，有U0=0，電橋平衡。當(dāng)傳感器銜鐵上移時(shí)，即Z1=Z+ΔZ，Z2=Z?ΔZ，此時(shí)

當(dāng)傳感器銜鐵下移時(shí)，則Z1=Z?ΔZ，Z2=Z+ΔZ，此時(shí)

3.1.3自感式傳感器的應(yīng)用

滾柱直徑分選裝置的結(jié)構(gòu)和工作原理示意圖如圖3-7

所示。從

振動(dòng)料斗送來的滾柱按順序進(jìn)入落

料管

5。電感測微器6的測桿在電磁

鐵（圖中未畫出）的控制下，先提

升到一固定高度，汽缸推桿

3

將滾

柱推入電感測微器測頭正下方（電

磁限位擋板

8

決定滾柱的前后位

置），電磁鐵釋放，鎢鋼測頭

7

向下

壓住滾柱。滾珠直徑的微小尺寸變化經(jīng)電感測微器6的測頭帶動(dòng)兩線圈內(nèi)銜鐵移動(dòng)，使兩線圈內(nèi)的電感量發(fā)生相對的變化。當(dāng)銜鐵處于兩線圈的中間位置時(shí)，兩線圈的電感量相等，電橋平衡。當(dāng)測頭帶動(dòng)銜鐵上下移動(dòng)時(shí)，若上線圈的電感量增加，下線圈的電感量則減少；若上線圈的電感量減少，下線圈的電感量則增加。電感測微器的輸出信號經(jīng)相敏檢波電路和電壓放大電

路處理后送入計(jì)算機(jī)，計(jì)算出直徑的偏差值。測

量完成后，電磁鐵再將測桿提升，限位擋板

8

在

其電磁鐵的控制下移開，測量好滾柱在推桿

3

的

再次推動(dòng)下離開測量區(qū)域。這時(shí)相應(yīng)的電磁翻板

9

打開，滾柱落入與其直徑偏差值相對應(yīng)的容器

10

中。同時(shí)，推桿

3

和限位擋板

8

復(fù)位。

圖3-7滾柱直徑自動(dòng)分選裝置圖1—?dú)飧?/p>

2—活塞

3—推桿

4—被測滾柱

5—落料管

6—電感測微器

7—鎢鋼測頭

8—限位擋板

9—電磁翻板

10—容器（料斗）電感式滾柱直徑分選裝置（外形）

滑道分選倉位軸承滾子外形（參考中原量儀股份有限公司資料）3.2差動(dòng)變壓器式傳感器

3.2.1差動(dòng)變壓器式傳感器的工作原理差動(dòng)變壓器是把被測的非電量變化轉(zhuǎn)換成繞組互感量的變化。差動(dòng)變壓器結(jié)構(gòu)形式較多，有變隙式、變面積式和螺線管式等，應(yīng)用最多的是螺線管式差動(dòng)變壓器，它可以測量1～100mm機(jī)械位移，并具有測量精度高、靈敏度高、結(jié)構(gòu)簡單、性能可靠等優(yōu)點(diǎn)。圖3-8螺線管式差動(dòng)變壓器結(jié)構(gòu)1—鐵芯；2—導(dǎo)磁外殼；3—骨架；5—初級繞組；4、6—次級繞組

圖3-9螺線管式差動(dòng)變壓器的等效電路 圖3-10差動(dòng)變壓器輸出電壓特性曲線

1—實(shí)際特性曲線；2—理論特性曲線

差動(dòng)變壓器傳感器中的兩個(gè)次級繞組反相串聯(lián)，當(dāng)初級繞組加以激勵(lì)電壓U時(shí)，在兩個(gè)次級繞組W2a和W2b中便會產(chǎn)生感應(yīng)電勢e2a和e2b。當(dāng)活動(dòng)銜鐵處于初始平衡位置時(shí)，必然會使兩互感系數(shù)M1=M2，將有e2a=e2b，因而有Uo=e2a?e2b=0，即差動(dòng)變壓器輸出電壓為零。

當(dāng)活動(dòng)銜鐵向上移動(dòng)時(shí)，由于磁阻的影響，W2a中磁通將大于W2b，使M1>M2，因而e2a增加，而e2b減小。反之，e2b增加，e2a減小。因?yàn)閁o=e2a?e2b，所以當(dāng)e2a、e2b

隨著銜鐵位移x變化時(shí)，Uo也必將隨x而變化。

由圖可以看出，當(dāng)銜鐵位于中心位置時(shí)，差動(dòng)變壓器輸出電壓并不等于零，我們把差動(dòng)變壓器在零位移時(shí)的輸出電壓稱為零點(diǎn)殘余電壓，記作ΔUo，它的存在使傳感器的輸出特性不經(jīng)過零點(diǎn)，造成實(shí)際特性與理論特性不完全一致。

零點(diǎn)殘余電壓一般在幾十毫伏以下，在實(shí)際使用時(shí)，應(yīng)設(shè)法減小Ux，否則將會影響傳感器的測量結(jié)果。

零點(diǎn)殘余電壓產(chǎn)生原因：主要是由傳感器的兩次級繞組的電氣參數(shù)和幾何尺寸不對稱，以及磁性材料的非線性等引起的。靈敏度與線性度

差動(dòng)變壓器的靈敏度一般可達(dá)0.5~5V/mm，行程越小，靈敏度越高。為了提高靈敏度，勵(lì)磁電壓在10V左右為宜。電源頻率以1~10kHz為好。差動(dòng)變壓器線性范圍約為線圈骨架長度的1/10左右。

例：欲測量20mm2mm軸的直徑誤差，應(yīng)選擇線圈骨架長度為多少的差動(dòng)變壓器（或電感傳感器）為宜？

3.2.2差動(dòng)變壓器式傳感器的測量電

1．差動(dòng)整流電路

差動(dòng)整流電路還可以接成全波電壓輸出和全波電流輸出的形式。差動(dòng)整流電路具有結(jié)構(gòu)簡單，根據(jù)差動(dòng)輸出電壓的大小和方向就可以判斷出被測量（如位移）的大小和方向，不需要考慮相位調(diào)整和零點(diǎn)殘余電壓的影響，分布電容影響小，便于遠(yuǎn)距離傳輸，因而獲得廣泛的應(yīng)用。

圖3-11差動(dòng)整流電路（a）全波電流輸出；（b）全波電壓輸出；（c）半波電流輸出；（d）半波電壓輸出2．相敏檢波電路相敏檢波電路要求比較電壓與差動(dòng)變壓器二次輸出電壓頻率相同，相位相同或相反。為了保證這一點(diǎn)，通常在電路中接入移相電路。另外，由于比較電壓在檢波電路中起開關(guān)作用，因此其幅值應(yīng)盡可能大，一般應(yīng)為信號電壓的3～5倍。圖3-12相敏檢波電路

3.2.3差動(dòng)變壓器式傳感器的應(yīng)用差動(dòng)變壓器式傳感器可以直接用于位移測量，也可以測量與位移有關(guān)的任何機(jī)械量，如振動(dòng)、加速度、應(yīng)變、比重、張力和厚度等。

差動(dòng)變壓器式加速度傳感器的原理。它由懸臂梁和差動(dòng)變壓器構(gòu)成。測量時(shí)，將懸臂梁底座及差動(dòng)變壓器的繞組骨架固定，而將銜鐵的A端與被測振動(dòng)體相連，此時(shí)傳感器作為加速度測量中的慣性元件，它的位移與被測加速度成正比，使加速度測量轉(zhuǎn)變?yōu)槲灰频臏y量。當(dāng)被測體帶動(dòng)銜鐵以Δx(t)振動(dòng)時(shí)，導(dǎo)致差動(dòng)變壓器的輸出電壓也按相同規(guī)律變化。圖3-13差動(dòng)變壓器式加速度傳感器1—差動(dòng)變壓器；2—懸臂梁3.3電渦流式傳感器3.3.1電渦流式傳感器的工作原理塊狀金屬導(dǎo)體置于變化磁場中或在磁場中作切割磁力線運(yùn)動(dòng)時(shí)，金屬導(dǎo)體內(nèi)將會產(chǎn)生旋渦狀的感應(yīng)電流，該現(xiàn)象稱為電渦流效應(yīng)。

將一個(gè)通以正弦交變電流I1的扁平線圈置于金屬導(dǎo)體附近，則線圈周圍空間將產(chǎn)生一個(gè)正弦交變磁場H1，使金屬導(dǎo)體中感應(yīng)電渦流I2，I2又產(chǎn)生一個(gè)與H1方向相反的交變磁場H2，導(dǎo)致傳感器線圈的等效阻抗發(fā)生變化。它與被測體的電阻率

、磁導(dǎo)率

以及幾何形狀有關(guān)，還與線圈的幾何參數(shù)、線圈中激磁電流頻率f、與線圈與導(dǎo)體間的距離x有關(guān)。

圖3-14電渦流式傳感器原理圖1—金屬導(dǎo)體；2—線圈

函數(shù)關(guān)系式為：Z=F(

,

,r,f,x)

如果保持上式中其他參數(shù)不變，而只使其中一個(gè)參數(shù)發(fā)生變化，則傳感器線圈的阻抗Z就僅僅是這個(gè)參數(shù)的單值函數(shù)，即可實(shí)現(xiàn)對該參數(shù)的測量。

電渦流傳感器的工作原理原線圈的等效阻抗Z變化：

3.3.2電渦流式傳感器的結(jié)構(gòu)電渦流式傳感器的結(jié)構(gòu)主要是一個(gè)繞制在框架上的扁平繞組，繞組的導(dǎo)線應(yīng)選用電阻率小的材料，一般采用高強(qiáng)度漆包銅線，圖3-16所示為CZF1型電渦流式傳感器的結(jié)構(gòu)圖，電渦流是采用把導(dǎo)線繞制在框架上形成的，框架采用聚四氟乙烯。

這種傳感器的線圈與被測金屬之間是磁性耦合的，并利用這種耦合程度的變化作為測量值，它的尺寸和形狀都與測量裝置的特性有關(guān)。所以作為傳感器的線圈裝置僅為實(shí)際傳感器的一半，而另一半是被測體，所以，在電渦流式傳感器的設(shè)計(jì)和使用中，必須同時(shí)考慮被測物體的物理性質(zhì)和幾何形狀及尺寸。圖3-15電渦流探頭結(jié)構(gòu)1—電渦流線圈；2—探頭殼體；3—?dú)んw上的位置調(diào)節(jié)螺紋；4-印制電路板；5—夾持螺母；6—電源指示燈；7—閾值指示燈；8—輸出屏蔽電纜線；9—電纜插頭

電渦流探頭外形交變磁場CZF-1系列傳感器的性能

分析上表請得出結(jié)論：探頭的直徑與測量范圍及分辨力之間有何關(guān)系？

部分常用材料對振蕩器振幅的衰減系數(shù)

人的手、泥土或裝滿水的玻璃杯能對振蕩器的振幅產(chǎn)生明顯的衰減嗎？為什么？

3.3.3電渦流式傳感器的測量電路用于電渦流傳感器的測量電路主要有調(diào)頻式、調(diào)幅式電路兩種。

1．調(diào)頻式電路傳感器線圈接入LC振蕩回路，當(dāng)傳感器與被測導(dǎo)體距離x改變時(shí)，在渦流影響下，傳感器的電感變化，將導(dǎo)致振蕩頻率的變化，該變化的頻率是距離x的函數(shù)，即f

=L(x)，該頻率可由數(shù)字頻率計(jì)直接測量，或者通過f?U變換，用數(shù)字電壓表測量對應(yīng)的電壓。

振蕩頻率為：

為了避免輸出電纜的分布電容的影響，通常將L、C裝在傳感器內(nèi)。此時(shí)電纜分布電容并聯(lián)在大電容C2、C3上，因而對振蕩頻率f的影響將大大減小。（a）（b）圖3-16調(diào)頻式測量電路（a）測量電路框圖；（b）振蕩電路

2．調(diào)幅式電路由傳感器線圈L、電容器C和石英晶體組成的石英晶體振蕩電路。石英晶體振蕩器起恒流源的作用，給諧振回路提供一個(gè)頻率（f0）穩(wěn)定的激勵(lì)電流i0，LC回路輸出電壓為

U0=i0f

(Z)

式中：Z——LC回路的阻抗。當(dāng)金屬導(dǎo)體遠(yuǎn)離或去掉時(shí)，LC并聯(lián)諧振回路諧振頻率即為石英振蕩頻率f0，回路呈現(xiàn)的阻抗最大，諧振回路上的輸出電壓也最大；當(dāng)金屬導(dǎo)體靠近傳感器線圈時(shí)，線圈的等效電感L發(fā)生變化，導(dǎo)致回路失諧，從而使輸出電壓降低，L的數(shù)值隨距離x的變化而變化。圖3-17調(diào)幅式測量電路示意圖3.3.4電渦流式傳感器的應(yīng)用1．低頻透射式電渦流厚度傳感器在被測金屬板的上方設(shè)有發(fā)射傳感器線圈L1，在被測金屬板下方設(shè)有接收傳感器線圈L2。當(dāng)在L1上加低頻電壓U1時(shí)，L1上產(chǎn)生交變磁通

1，若兩線圈間無金屬板，則交變磁通直接耦合至L2中，L2產(chǎn)生感應(yīng)電壓U2。

如果將被測金屬板放入兩線圈之間，則L1線圈產(chǎn)生的磁場將導(dǎo)致在金屬板中產(chǎn)生電渦流，并將貫穿金屬板，此時(shí)磁場能量受到損耗，使到達(dá)L2的磁通將減弱為

1

，從而使L2產(chǎn)生的感應(yīng)電壓U2下降。金屬板越厚，渦流損失就越大，電壓U2就越小。因此，可根據(jù)U2電壓的大小得知被測金屬板的厚度。透射式渦流厚度傳感器的檢測范圍可達(dá)1～100mm，分辨率為0.1

m，線性度為1%。

圖3-18透射式渦流厚度傳感器原理圖 圖3-19電渦流式轉(zhuǎn)速傳感器原理圖

2．電渦流式轉(zhuǎn)速傳感器在軟磁材料制成的輸入軸上加工一鍵槽，在距輸入表面d0處設(shè)置電渦流傳感器，輸入軸與被測旋轉(zhuǎn)軸相連。

當(dāng)被測旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，電渦流傳感器與輸出軸的距離變?yōu)閐0+Δd。由于電渦流效應(yīng)，使傳感器線圈阻抗隨Δd的變化而變化，導(dǎo)致振蕩器的電壓幅值和振蕩頻率發(fā)生變化。因此，隨著輸入軸的旋轉(zhuǎn)，從振蕩器輸出的信號中包含有與轉(zhuǎn)速成正比的脈沖頻率信號。

該信號由檢波器檢出電壓幅值的變化量，然后經(jīng)整形電路輸出頻率為fn的脈沖信號。該信號經(jīng)電路處理便可得到被測轉(zhuǎn)速。這種轉(zhuǎn)速傳感器可實(shí)現(xiàn)非接觸式測量，抗污染能力很強(qiáng)，可安裝在旋轉(zhuǎn)軸近旁長期對被測轉(zhuǎn)速進(jìn)行監(jiān)視。最高測量轉(zhuǎn)速可達(dá)600

000r/min。應(yīng)用實(shí)例：轉(zhuǎn)速測量

若轉(zhuǎn)軸上開z個(gè)槽(或齒)，頻率計(jì)的讀數(shù)為f（單位為Hz），則轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)速n（單位為r/min）的計(jì)算公式為：

下圖中，設(shè)齒數(shù)z=48，測得頻率f=120Hz，求該齒輪的轉(zhuǎn)速n

。

3．高頻反射式電渦流厚度傳感器為了克服帶材不夠平整或運(yùn)行過程中上、下波動(dòng)的影響，在帶材的上、下兩側(cè)對稱地設(shè)置了兩個(gè)特性完全相同的渦流傳感器S1和S2。S1和S2與被測帶材表面之間的距離分別為x1和x2。若帶材厚度不變，則被測帶材上、下表面之間的距離總有“x1+x2=常數(shù)”的關(guān)系存在。兩傳感器的輸出電壓之和為2Uo，數(shù)值不變。

圖3-20高頻反射式渦流測厚儀測試系統(tǒng)框圖

如果被測帶材厚度改變量為Δ

，則兩傳感器與帶材之間的距離也改變一個(gè)Δ

，兩傳感器輸出電壓此時(shí)為2Uo±ΔU，ΔU經(jīng)放大器放大后，通過指示儀表即可指示出帶材的厚度變化值。帶材厚度給定值與偏差指示值的代數(shù)和就是被測帶材的厚度。

4．高頻反射式電渦流位移傳感器電渦流位移計(jì)是根據(jù)高頻反射式渦流傳感器的基本原理制作的。電渦流位移計(jì)可以用來測量各種形狀試件的位移量。電渦流位移計(jì)測量位移的范圍可以從0～1mm至0～30mm，個(gè)別產(chǎn)品已達(dá)80mm。一般的分辨率為滿量程的0.1%，也有達(dá)到0.5

m的（其全量程為0～5

m）。

（a）（b）（c）圖3-21電渦流位移計(jì)測量位移舉例（a）汽輪機(jī)主軸的軸向位移；（b）磨床換向閥、先導(dǎo)閥的位移；（c）金屬試件的熱膨脹系數(shù)

例如：CZFI-1000型傳感器與BZF-1、ZZF-5310型配套時(shí)，有0～1mm、0～3mm、0～5mm等幾種主要類型傳感器，其分辨率為0.1%。另外，凡是可變成位移量的參數(shù)，都可以用電渦流式傳感器來測量，如鋼水液位、紗線張力和液體壓力等。應(yīng)用實(shí)例：電渦流式通道安全檢查門

安檢門的內(nèi)部設(shè)置有發(fā)射線圈和接收線圈。當(dāng)有金屬物體通過時(shí)，交變磁場就會在該金屬導(dǎo)體表面產(chǎn)生電渦流，會在接收線圈中感應(yīng)出電壓，計(jì)算機(jī)根據(jù)感應(yīng)電壓的大小、相位來判定金屬物體的大小。在安檢門的側(cè)面還安裝一臺“軟x光”掃描儀，它對人體、膠卷無害，用軟件處理的方法，可合成完整的光學(xué)圖像。

安檢門演示當(dāng)有金屬物體穿越安檢門時(shí)報(bào)警應(yīng)用實(shí)例：電渦流表面探傷

手持式裂紋測量儀油管探傷用掌上型電渦流探傷儀檢測飛機(jī)裂紋案例：無損探傷原理裂紋檢測，缺陷造成渦流變化?；疖囕啓z測油管檢測3.3.5電感式接近開關(guān)電渦流式接近開關(guān)俗稱電感式接近開關(guān)，如圖3-22（a）所示。電感式接近開關(guān)不與被測物體接觸，依靠電磁場變化來檢測，大大提高了檢測的可靠性，也保證了電感式接近開關(guān)的使用壽命，所以，該類型的接近開關(guān)在制造工業(yè)中，比如機(jī)床、汽車等行業(yè)使用廣泛（a）（b）圖3-22

電感式接近開關(guān)（a）電感式接近開關(guān)外形；（b）電感式接近開關(guān)應(yīng)用示意圖1．電感式接近開關(guān)的工作原理

電感式接近開關(guān)的工作原理如圖3-23所示。電感式接近開關(guān)由LC高頻振蕩器和放大處理電路組成，金屬物體在接近辨頭時(shí)，表面產(chǎn)生渦流。這個(gè)渦流反作用于接近開關(guān)，使接近開關(guān)振蕩能力衰減，內(nèi)部電路的參數(shù)發(fā)生變化，由此識別出有無金屬物體接近，進(jìn)而控制開關(guān)的通或斷。這種接近開關(guān)所能檢測的物體必須是導(dǎo)電性能良好的金屬物體。

圖3-23

電感式接近開關(guān)原理框圖2．電感式接近開關(guān)的型號

常見接近開關(guān)的型號說明如圖3-24所示，第一部分文字分別表示接近開關(guān)的類型、外形和尺寸，短線后面的第二部分文字表示接線圖號和輸出類別。

圖3-24

常見接近開關(guān)的型號說明3．電感式接近開關(guān)有關(guān)術(shù)語

動(dòng)作（檢測）距離:被測體按一定方式移動(dòng)時(shí)，從基準(zhǔn)位置（接近開關(guān)的感應(yīng)表面）到開關(guān)動(dòng)作時(shí)測得的基準(zhǔn)位置到檢測面的空間距離的標(biāo)稱值。設(shè)定距離：指整定距離，一般為額定動(dòng)作距離的0.8倍，以保證工作可靠。

復(fù)位距離：接近開關(guān)動(dòng)作后，又再次復(fù)位時(shí)的與被測物的距離，它略大于動(dòng)作距離。兩者的關(guān)系如圖3-25所示?；夭钪?動(dòng)作距離與復(fù)位距離之間的絕對值?；夭钪翟酱?，對外界的干擾以及被測物的抖動(dòng)等的抗干擾能力就越強(qiáng)。圖3-25動(dòng)作