《鎳鉻合金蒸發(fā)料》編制說明（送審稿）

一、工作簡況1.1任務(wù)來源本標(biāo)準(zhǔn)項(xiàng)目中：計劃批準(zhǔn)文件名稱、文號及項(xiàng)目編號、項(xiàng)目名稱、計劃完成年限、項(xiàng)目名稱更改（原則上不允許更改）說明、編制組成員（單位）等相關(guān)情況，項(xiàng)目編制組單位變化情況。根據(jù)全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會“關(guān)于召開國家標(biāo)準(zhǔn)《鉛錠》修訂解讀會議暨《再生鉛及鉛”（有色標(biāo)委[2020]47號）及相關(guān)會議紀(jì)要的文件精神，《鎳鉻合金蒸發(fā)料》由有研億金新材料有限公司起草。項(xiàng)目計劃編號（2022-0105T-YS），完成年限2024年。行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《鎳鉻合金蒸發(fā)料》主要起草單位由：有研億金新材料有限公司、北京翠鉑林有色金屬技術(shù)開發(fā)中心。1.2立項(xiàng)目的和意義近年來，鎳鉻合金蒸發(fā)料作為一種重要的半導(dǎo)體電子器件制造用材料等方面得到廣泛的應(yīng)用。隨著我國集成電路產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，此種蒸發(fā)鍍膜材料的消耗量逐年增加，市場廣闊。目前我國已有多家企業(yè)可提供該類產(chǎn)品，但由于未對鎳鉻合金蒸發(fā)料制定相應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)，也未檢索到相應(yīng)的國際標(biāo)準(zhǔn)或國外先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，市場上的鎳鉻蒸發(fā)料質(zhì)量、規(guī)格多樣，驗(yàn)收規(guī)則也千差萬別，因此需要建立我國鈀蒸發(fā)料的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，可促進(jìn)現(xiàn)有產(chǎn)品質(zhì)量的提高，確保產(chǎn)品生產(chǎn)、檢驗(yàn)和驗(yàn)收的規(guī)范及統(tǒng)一。目前美國材料協(xié)會標(biāo)準(zhǔn)、日本電子協(xié)會標(biāo)準(zhǔn)、歐盟標(biāo)準(zhǔn)中均沒有鎳鉻蒸發(fā)料的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，因此鎳鉻蒸發(fā)料產(chǎn)品國家標(biāo)準(zhǔn)的制定對該產(chǎn)品技術(shù)水平的不斷提高將起到一定的推動作用。1.3主要參加單位和工作成員所作的工作標(biāo)準(zhǔn)主編單位有研億金新材料有限公司（簡稱有研億金隸屬于北京有色金屬研究總院。有研億金擁有30多年專業(yè)從事稀有和貴金屬材料研究、開發(fā)和生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)，獲得并積累了一大批國家和部級科研成果，培養(yǎng)造就了大批科研、生產(chǎn)人才。有研億金在半導(dǎo)體封裝材料領(lǐng)域具有國內(nèi)領(lǐng)先的優(yōu)勢，多年來從事貴金屬焊料、電接觸材料研發(fā)、生產(chǎn)，具備一大批對金屬材料制備加工技術(shù)具有較堅實(shí)理論基礎(chǔ)和豐富實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)的專家和技術(shù)人員，具備材料加工、檢驗(yàn)全流程生產(chǎn)能力。有研億金歷年承擔(dān)國家軍工配套項(xiàng)目和軍工新產(chǎn)品試制項(xiàng)目近百項(xiàng)，獲部級獎56項(xiàng)，國家專利38項(xiàng)，國家科技進(jìn)步獎3項(xiàng)，國家發(fā)明獎9項(xiàng)，全國科學(xué)大會獎2項(xiàng)，國家科技進(jìn)步獎特等獎子項(xiàng)獎1項(xiàng)。有研億金新材料有限公司在編制過程中積極主動收集國內(nèi)外相關(guān)資料，對鎳鉻合金蒸發(fā)料的使用情況、客戶要求、制備技術(shù)等方面做了詳細(xì)的評估。根據(jù)各單位實(shí)際使用情況和要求進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)的編寫。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人及工作職責(zé)見表1。起草人工作職責(zé)侯智超、宋瑤、王鵬、李凱麗、高巖負(fù)責(zé)標(biāo)準(zhǔn)的工作指導(dǎo)、標(biāo)準(zhǔn)的編寫、客戶調(diào)研、修改及組織協(xié)調(diào)何金江、呂保國、李海濱、朱洪磊負(fù)責(zé)對標(biāo)準(zhǔn)的調(diào)研及標(biāo)準(zhǔn)方法文本規(guī)范化編寫提出修改意見1.4主要工作過程【指的是從項(xiàng)目開始預(yù)研，直至完成標(biāo)準(zhǔn)報批稿期間的所有工作，應(yīng)體現(xiàn)出編制工作組的工作量和征求意見的充分程度。以下條款固定，不應(yīng)隨意更改】【不同階段未到的可以先空著，條款保留?！?.4.1預(yù)研階段2021年2月，有研億金新材料有限公司接到標(biāo)準(zhǔn)制定任務(wù)后，針對鎳鉻合金蒸發(fā)料查閱和檢索了國內(nèi)外有關(guān)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)和資料，國內(nèi)沒有相關(guān)產(chǎn)品的標(biāo)準(zhǔn)，國內(nèi)外包括美國材料協(xié)會標(biāo)準(zhǔn)、日本電子協(xié)會標(biāo)準(zhǔn)、歐盟標(biāo)準(zhǔn)中均沒有鎳鉻合金蒸發(fā)料的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。有研億金牽頭成立了標(biāo)準(zhǔn)編制小組，并落實(shí)起草任務(wù)，確定標(biāo)準(zhǔn)的主要起草人，擬定該標(biāo)準(zhǔn)的工作計劃。具體分工為：有研億金新材料有限公司總負(fù)責(zé)、市場和同行業(yè)信息收集、資料匯總及執(zhí)筆；翠鉑林有色金屬技術(shù)有限公司負(fù)責(zé)補(bǔ)充市場信息和標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)的驗(yàn)證。各企業(yè)分工明確，緊密合作，共同完成標(biāo)準(zhǔn)的制訂工作。1.4.2標(biāo)準(zhǔn)立項(xiàng)2022年5月，有研億金新材料有限公司向全體委員會議提交了《鎳鉻合金蒸發(fā)料》標(biāo)準(zhǔn)項(xiàng)目建議書、標(biāo)準(zhǔn)草案及標(biāo)準(zhǔn)立項(xiàng)說明等材料，全體委員會議論證結(jié)論為統(tǒng)一行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)立項(xiàng)。由秘書處組織委員網(wǎng)上投票，投票通過后轉(zhuǎn)報國標(biāo)委，并掛網(wǎng)向社會公開征求意見。2023年3月，國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會下達(dá)了制定《鎳鉻合金蒸發(fā)料》企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的任務(wù)，計劃號為2022-0105T-YS，項(xiàng)目周期為24個月，完成年限為2024年4月。技術(shù)歸口單位為全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會。1.4.3起草階段2022年6月-2022年7月，查閱和檢索了國內(nèi)外有關(guān)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)和資料，包括GB/T26016-2010高純鎳、GBT28908-2012高純金屬鉻、有研億金等企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)等；鎳鉻合金蒸發(fā)料使用客戶中電十三所、無錫好達(dá)電子等技術(shù)要求。匯總各家的標(biāo)準(zhǔn)及意見，作為建立本技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)的技術(shù)依據(jù)。2022年8月-2022年10月，對鎳鉻合金蒸發(fā)料的國內(nèi)外生產(chǎn)和使用狀況進(jìn)行了相關(guān)資料的收集和調(diào)研，對技術(shù)資料進(jìn)行了對比分析。2022年11月-2022年12月通過鎳鉻合金蒸發(fā)料試驗(yàn)方法等技術(shù)資料的總結(jié)分析，經(jīng)過多次研究論證，形成了《鎳鉻合金蒸發(fā)料》的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《討論稿》及《編制說明》。1.4.4征求意見階段2022年11月-2023年5月將《討論稿》及《編制說明》以及《征求意見稿》發(fā)送中電科集團(tuán)55所、中電科集團(tuán)13所、武漢敏芯半導(dǎo)體股份有限公司、合肥彩虹藍(lán)光科技有限公司、中芯國際等7家單位，其中用戶單位6家，科研單位1家。2023年5月-2023年8月完成送審稿的編制工作，并根據(jù)編制組意見，對標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行修改和完善，形成了標(biāo)準(zhǔn)《送審稿》及《編制說明》。1.4.5審查階段2023年8月-2024年3月完成審定稿的編制工作，并根據(jù)編制組意見，對標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行修改和完善，形成了標(biāo)準(zhǔn)《審定稿》及《編制說明》。1.4.6報批階段二、編制原則本標(biāo)準(zhǔn)起草單位自接受起草任務(wù)后，本標(biāo)準(zhǔn)編制組收集了國內(nèi)外客戶要求、國內(nèi)廠家實(shí)際生產(chǎn)水平等信息，初步確定了《鎳鉻合金蒸發(fā)料》標(biāo)準(zhǔn)研究的預(yù)期目標(biāo)為規(guī)范該類產(chǎn)品成分、尺寸規(guī)格、包裝等基本要求，統(tǒng)一市場上流通產(chǎn)品的質(zhì)量。起草所遵循的基本原則和編制依據(jù)：1）查閱相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和國內(nèi)外客戶的相關(guān)技術(shù)要求；2）根據(jù)國內(nèi)外鎳鉻合金蒸發(fā)料用戶、制造商及原料供應(yīng)商具體情況，力求做到標(biāo)準(zhǔn)的合理性與實(shí)用性；3）廣泛適用，操作可行的原則；4）有利于創(chuàng)新發(fā)展與國際接軌的原則。本標(biāo)準(zhǔn)完全按按照GB/T1.1-2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》及《有色金屬加工產(chǎn)品國家標(biāo)準(zhǔn)、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)編寫示例》規(guī)定的格式進(jìn)行編制，以范圍——規(guī)范性引用文件——術(shù)語和定義——要求——試驗(yàn)方法——檢驗(yàn)規(guī)則——標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存——訂貨單（或合同）內(nèi)容的順序進(jìn)行編制，內(nèi)容完整全面。三、標(biāo)準(zhǔn)主要技術(shù)內(nèi)容的確定依據(jù)及主要試驗(yàn)和驗(yàn)證情況分析本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了鎳鉻合金蒸發(fā)料的分類和標(biāo)記、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸存貯、訂貨單內(nèi)容。本文件適用于半導(dǎo)體行業(yè)用的鎳鉻合金蒸發(fā)料。本標(biāo)準(zhǔn)針對客戶對半導(dǎo)體行業(yè)用的鎳鉻合金蒸發(fā)料要求編寫。要求包括：產(chǎn)品分類、牌號、化學(xué)成分、幾何尺寸、外觀質(zhì)量等方面。引用了推薦性國家標(biāo)準(zhǔn)1項(xiàng):GB/T28908-2012高純金屬鉻；推薦性行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)2項(xiàng)：GB/T2828.1計數(shù)抽樣檢驗(yàn)程序第1部分:按接收質(zhì)量限(AQL)檢索的逐批檢驗(yàn)抽樣計劃、GB/T8170數(shù)值修約規(guī)則與極限數(shù)值的表示和判定3術(shù)語和定義本文件沒有需要界定的術(shù)語和定義。4分類和標(biāo)記產(chǎn)品分類是對半導(dǎo)體行業(yè)用鎳鉻合金蒸發(fā)料的牌號、規(guī)格、狀態(tài)應(yīng)符合的規(guī)定。同時規(guī)定了產(chǎn)品標(biāo)記辦法。統(tǒng)計了行業(yè)內(nèi)相關(guān)生產(chǎn)企業(yè)鎳鉻合金蒸發(fā)料片體、柱體的純度、尺寸及誤差控制情況及部分使用客戶對鎳鉻合金蒸發(fā)料片體、柱體的采購需求，統(tǒng)計結(jié)果如表2所示方差差差差2.0~5.0~0.1~>1.0~>2.0~家3.0~ 家3.0~3.0~1.0~現(xiàn)對產(chǎn)品分類和標(biāo)記相關(guān)情況進(jìn)行如下說明：（1）牌號：目前市面上的鎳鉻合金蒸發(fā)料依據(jù)形狀、厚度、長度、寬度、直徑不同，分為片狀、柱狀，本文件中所涉及產(chǎn)品包含片、柱材兩種。通過表2中預(yù)研結(jié)果顯示，國內(nèi)目前在鎳鉻合金蒸發(fā)料片體、柱體的實(shí)際生產(chǎn)應(yīng)用中，合金牌號絕大多數(shù)采用NiCr20-純度為命名規(guī)范，在本文件中將鎳鉻合金蒸發(fā)料命名為NiCr10-99.95、NiCr10-99.99、NiCr20-99.95、NiCr20-99.99?？紤]到鎳鉻合金蒸發(fā)料作為蒸發(fā)材料，無需做退火處理，因此將產(chǎn)品的供貨狀態(tài)規(guī)定為加工態(tài)。（2）規(guī)格：根據(jù)目前市場供需現(xiàn)狀的預(yù)研，確定本標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品的規(guī)格范圍為：直徑2.0~8.0mm,厚度0.1～5.0mm，寬度5.0～10.0mm,片狀長度5.0～10.0mm,柱狀長度3.0～10.0mm。最終確定的產(chǎn)品分類情況如表3所示。（3）產(chǎn)品標(biāo)記方法：按照GB/T1.1-2020的規(guī)定，產(chǎn)品標(biāo)記按產(chǎn)品名稱、文件編號、牌號、狀態(tài)、規(guī)格的順序表示。最終產(chǎn)品標(biāo)記情況如示例1、2。 ——————鎳鉻合金蒸發(fā)料產(chǎn)品標(biāo)記按產(chǎn)品名稱、文件編號、牌號、狀態(tài)、規(guī)格、狀態(tài)的順序表示。標(biāo)記示例如下：產(chǎn)品標(biāo)記按產(chǎn)品名稱、文件編號、牌號、規(guī)格的順序表示。用NiCr10-99.95牌號制造的、厚度為1.0mm、寬度為5.0mm、長度為5.0mm的片狀產(chǎn)品，標(biāo)記為：片YS/T-XXXX-IC-NiCr10-99.95，1×5×5示例2：用NiCr10-99.99牌號制造的、直徑為3.0mm、長度為3.0mm的柱狀產(chǎn)品，標(biāo)記為：柱YS/T-XXXX-IC-NiCr10-99.99，φ3×35技術(shù)要求5.1化學(xué)成分在半導(dǎo)體行業(yè)用鎳鉻合金蒸發(fā)料標(biāo)準(zhǔn)制定過程中，調(diào)研了國內(nèi)外鎳鉻合金蒸發(fā)料客戶、制造商基本要求，參照現(xiàn)有鎳、鉻原料標(biāo)準(zhǔn)，對一些存在危害的雜質(zhì)元素含量給出了明確控制要求見表4，這些雜質(zhì)元素主要包括金屬雜質(zhì)元素Al、Fe、Mg、Mn、Si、Ti、V、Zr等。為保證數(shù)據(jù)對制定標(biāo)準(zhǔn)的代表性和可靠性，統(tǒng)計各純度鎳鉻合金蒸發(fā)料最近50組元素數(shù)據(jù)，統(tǒng)計結(jié)果如下表5-8所示。根據(jù)統(tǒng)計結(jié)果，按照標(biāo)準(zhǔn)設(shè)定值評估，數(shù)據(jù)覆蓋率達(dá)到98%以上，符合產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)制定的要求。），V注：需方對某種特定雜質(zhì)元素含量有要求的，由>100ppmV元素≤20ppm20-50ppm（含50ppm）50-80ppm（含80ppm）>100ppm數(shù)據(jù)覆蓋率22（44%）28（56%）0（0%）0（0%）0（0%）7（14%）43（86%）0（0%）1（2%）3（6%）46（92%）0（0%）3（6%）46（92%）1（2%）0（0%）19（38%）31（62%）0（0%）0（0%）1（2%）11（22%）38（76%）0（0%）V16（32%）34（68%）0（0%）0（0%）5（10%）45（90%）0（0%）0（0%）元素≤20ppm20-50ppm（含50ppm）50-80ppm（含80ppm）>80ppm數(shù)據(jù)覆蓋率49（98%）1（2%）0（0%）0（0%）98%4（8%）43（86%）3（6%）0（0%）38（76%）12（24%）0（0%）0（0%）0（0%）49（98%）0（0%）1（2%）98%22（44%）28（56%）0（0%）0（0%）0（0%）7（14%）43（86%）0（0%）V1（2%）3（6%）46（92%）0（0%）3（6%）46（92%）0（0%）1（2%）98%元素≤20ppm20-50ppm（含50ppm）50-80ppm（含80ppm）>80ppm數(shù)據(jù)覆蓋率40（80%）10（20%）0（0%）0（0%）0（0%）50（100%）0（0%）0（0%）42（84%）8（16%）0（0%）0（0%）28（56%）22（44%）0（0%）0（0%）40（80%）10（20%）0（0%）0（0%）2（4%）48（96%）0（0%）0（0%）V5（10%）45（90%）0（0%）0（0%）44（88%）6（12%）0（0%）0（0%）根據(jù)上述統(tǒng)計結(jié)果顯示，按照標(biāo)準(zhǔn)設(shè)定值評估，數(shù)據(jù)覆蓋率達(dá)到98%以上，符合產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)制定的要求。該成分范圍內(nèi)產(chǎn)品可滿足集成電路封裝使用。該標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容達(dá)到國內(nèi)一般水平。5.2外形尺寸及其允許偏差根據(jù)用戶實(shí)際應(yīng)用場景需求，統(tǒng)計了客戶常用規(guī)格及尺寸誤差要求，見下：厚度及其允許偏差>1.0-2.0>2.0-5.0當(dāng)客戶有新的要求時，雙方須進(jìn)行協(xié)商確認(rèn)后，方可生產(chǎn)，鎳鉻合金蒸發(fā)料的幾何尺寸測量需選取合適工具，一般為游標(biāo)卡尺或螺旋測微計，按厚度、寬度范圍選擇合適精度測試工具。5.3外觀質(zhì)量產(chǎn)品表面應(yīng)光亮、潔凈、邊角完整、無夾雜和裂紋等缺陷，應(yīng)清潔、無油污和銹蝕，無顆粒附加物和其他沾污，產(chǎn)品端面或表面允許有輕微的沖、剪、裁等痕跡。6.試驗(yàn)方法6.1化學(xué)成分產(chǎn)品化學(xué)成分的分析方法按YS/T1012的規(guī)定進(jìn)行。6.2外形尺寸及其允許偏差外形尺寸應(yīng)用相應(yīng)精度的測量工具進(jìn)行測量，直徑測量應(yīng)在兩端1mm處分別測量3次，厚度測量應(yīng)在邊緣1mm處測量3次。6.3外觀質(zhì)量外觀質(zhì)量用目視檢查，如發(fā)現(xiàn)異?，F(xiàn)象，用10倍放大鏡鑒別。7.檢驗(yàn)規(guī)則7.1檢查和驗(yàn)收7.1.1產(chǎn)品由供方或第三方進(jìn)行檢驗(yàn)，產(chǎn)品質(zhì)量應(yīng)符合本文件及訂貨單的規(guī)定。7.1.2需方可對收到的產(chǎn)品按本文件的規(guī)定進(jìn)行檢驗(yàn)。如檢驗(yàn)結(jié)果與本文件及訂貨單的規(guī)定不符時，應(yīng)以書面形式向供方提出，由供需雙方協(xié)商解決。屬于表面質(zhì)量或外形尺寸及化學(xué)成分的異議，應(yīng)在收到產(chǎn)品之日起30日內(nèi)提出。如需仲裁，應(yīng)由供需雙方在需方共同取樣或協(xié)商確定。7.2組批產(chǎn)品應(yīng)成批提交驗(yàn)收，每批應(yīng)由同一爐次、牌號、狀態(tài)、形狀和規(guī)格的產(chǎn)品組成。7.3檢驗(yàn)項(xiàng)目產(chǎn)品出廠前應(yīng)進(jìn)行化學(xué)成分、外形尺寸及其允許偏差、外觀質(zhì)量檢驗(yàn)的檢驗(yàn)。7.4取樣和制樣產(chǎn)品的取樣應(yīng)符合表7規(guī)定，取樣方法按GB/T2828.1規(guī)定進(jìn)行。7.5檢驗(yàn)結(jié)果的判定7.5.1檢驗(yàn)結(jié)果的數(shù)值按照GB/T8170的規(guī)定進(jìn)行修約，并采用修約值比較法判定。7.5.2化學(xué)成分不合格時，則判該批產(chǎn)品不合格。7.5.3外形尺寸及其允許偏差不合格時，按件判不合格。每批中不合格件數(shù)超出接收質(zhì)量限時判整批不合格。7.5.4外觀質(zhì)量不合格時，按件判不合格。每批中不合格件數(shù)超出接收質(zhì)量限時判整批不合格。四、標(biāo)準(zhǔn)中涉及專利的情況本標(biāo)準(zhǔn)不涉及專利問題。五、預(yù)期達(dá)到的社會效益等情況（一）項(xiàng)目的必要性闡述目前國內(nèi)鎳鉻合金蒸發(fā)料產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)體系覆蓋并不完全，對鎳鉻合金蒸發(fā)料產(chǎn)品未進(jìn)行深入、系統(tǒng)的研究，盡管目前市場上有多家企業(yè)可提供該類產(chǎn)品，但由于未對鎳鉻合金蒸發(fā)料制定相應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)，也未檢索到相應(yīng)的國際標(biāo)準(zhǔn)或國外先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)。不同地區(qū)、企業(yè)生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)不一，市場上的鎳鉻合金蒸發(fā)料質(zhì)量、規(guī)格多樣，驗(yàn)收規(guī)則也千差萬別，產(chǎn)品的質(zhì)量無統(tǒng)一的評判依據(jù)，技術(shù)成熟度指標(biāo)等級缺乏統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)，嚴(yán)重制約了國內(nèi)外用戶對產(chǎn)品制造商的產(chǎn)品實(shí)力、技術(shù)成熟度的評判。因此需要建立我國鎳鉻合金蒸發(fā)料統(tǒng)一的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，完善我國蒸發(fā)料標(biāo)準(zhǔn)體系，促進(jìn)現(xiàn)有產(chǎn)品質(zhì)量的提高，確保產(chǎn)品生產(chǎn)、檢驗(yàn)和驗(yàn)收的規(guī)范及統(tǒng)一。項(xiàng)目的可行性闡述高純鎳鉻合金材料由于具有優(yōu)良的導(dǎo)電性、傳熱性等，成為高端電子器件中的核心關(guān)鍵原材料，在集成電路、太陽能電池等方面有廣泛的應(yīng)用。目前國內(nèi)很多企業(yè)及科研院所都有大量的需求，市場年需求量預(yù)計11噸，如中電科集團(tuán)55所、中電科集團(tuán)13所、武漢敏芯半導(dǎo)體股份有限公司、合肥彩虹