提純鑄錠爐使用說明書

使用說明書名稱：多晶硅提純鑄錠爐 型號：WZL-460 吳江億泰光伏設(shè)備1、平安1.1平安標(biāo)志在設(shè)備的右上方設(shè)有常規(guī)報警警燈，高危報警警燈，操作人員對警燈的響起必須引起高度的重視，并認(rèn)識其嚴(yán)重性。對此警燈的不同顏色的閃爍操作人員必須充分理解。紅色高危報警鈴表示及其危險，如果不注意會導(dǎo)致人身嚴(yán)重傷害或死亡。紅色警燈亮起表示設(shè)備正處在停止運行狀態(tài)。黃色報警燈亮起并報警表示設(shè)備出現(xiàn)故障，需要及時排除，否那么將導(dǎo)致危險的發(fā)生。綠色報警燈亮起表示設(shè)備正處在正常運行狀態(tài)。注意平安操作，防范事故發(fā)生。電力高壓局部，非專業(yè)工作人員禁止觸摸。高溫狀態(tài)禁止翻開爐門，否那么有爆炸的危險。高溫狀態(tài)爐內(nèi)禁止放入大氣，否那么有爆炸的危險。1.2平安考前須知1〕設(shè)備的腔體在真空狀態(tài)下，原那么上真空度不會大于1.33mba,如出現(xiàn)低于該真空度的現(xiàn)象說明設(shè)備可能出現(xiàn)泄漏，必須停爐請專業(yè)人員檢查修復(fù)，否那么將引起設(shè)備損壞或出現(xiàn)爆炸的危險。2〕設(shè)備在充氣狀態(tài)下，原那么上腔體內(nèi)部的壓力不會大于900mba，如果大于以上的壓力，說明爐內(nèi)出現(xiàn)異常，或充氣閥損壞，或爐內(nèi)出現(xiàn)漏硅等，也應(yīng)及時請專業(yè)人員檢查修復(fù)否那么有爆炸的危險。3〕在生產(chǎn)過程中由于斷電等原因在高溫狀態(tài)下出現(xiàn)急冷，該爐內(nèi)的硅料不可重復(fù)加熱，以防坩堝破裂在高溫狀態(tài)下出現(xiàn)漏硅產(chǎn)生爆炸。4〕在翻開爐門時，爐內(nèi)的溫度必須低于在200度以下，爐內(nèi)爐外的壓力必須保持根本平衡，否那么將帶來損壞設(shè)備的危險。5〕維修人員必須穿戴維修專用服裝，穿上絕緣性比擬好的橡膠鞋，防止觸電發(fā)生。6〕中頻電容的電容柜、電控柜，是高壓產(chǎn)生的地方，嚴(yán)禁在有高壓狀態(tài)下接近和觸摸，出現(xiàn)故障應(yīng)由專業(yè)及時人員進行維修。7〕電器維修人員必須由兩人以上操作人員，方能進行維修，確保正確操作，以防意外發(fā)生。8〕遇到設(shè)備故障，不能想當(dāng)然的做一些沒有根據(jù)事實的操作，任何事情都必須在有依據(jù)的情況下進行操作，當(dāng)問題無法解決時，應(yīng)請專業(yè)技術(shù)人員來維修。9〕設(shè)備在自動運行過程中，不可隨意切換到手動，必須具備專業(yè)操作水平的人員方可操作，操作人員必須了解手動操作后的運行后果，確保設(shè)備運行平安。10〕當(dāng)設(shè)備發(fā)生常規(guī)報警或高危報警時，必須頭腦清醒冷靜對待，切不可慌亂，確定報警產(chǎn)生的原因，謹(jǐn)慎地處理問題，因設(shè)備殼體裝有兩個大口徑防爆裝置，爆炸前必然會有泄壓過程的產(chǎn)生。11〕設(shè)備在安裝時必須配有備用電源和備用水源，以防止設(shè)備高溫狀態(tài)突然斷電，爐內(nèi)冷卻腔體和中頻線圈無法供水，爐內(nèi)無法實現(xiàn)抽真空，而導(dǎo)致設(shè)備損壞，發(fā)生爆炸危害人生平安。12)設(shè)備配有充氣系統(tǒng)，保證爐內(nèi)在長晶或退火或冷卻過程中的熱傳導(dǎo)和熱交換，所以氬氣必須有保障性地提供，當(dāng)出現(xiàn)管道泄露或者一些其他情況時，應(yīng)及時關(guān)閉充氣閥門，以防止外部大氣進入爐內(nèi)，發(fā)生爆炸，并請專業(yè)人員及時修復(fù)。13〕設(shè)備配有壓縮空氣供氣系統(tǒng)，供氣壓力在0.4-0.8mpa,主要應(yīng)用于一些氣動閥門的開啟和關(guān)閉，供氣中斷會影響設(shè)備的正常運行，設(shè)備在運行過程中必須保證壓縮空氣的正常供給。壓縮空氣設(shè)備是一個專業(yè)設(shè)備，必須由專業(yè)人員維修保養(yǎng)。14〕設(shè)備在抽真空管路上開設(shè)有平安人孔，以防止被提煉物高溫狀態(tài)下垃圾進入擴散泵，需經(jīng)常翻開人孔蓋及時檢查或清洗。在進入人孔時必須兩人配合操作，以防意外發(fā)生。15〕該設(shè)備共有三套升降機構(gòu)，即爐蓋升降機構(gòu)、坩堝升降機構(gòu)、隔熱門升降機構(gòu)，各升降機構(gòu)在運行過程中嚴(yán)禁觸摸運行局部，以防止對人體造成傷害。16〕當(dāng)硅錠從爐內(nèi)出爐時，由于是急速冷卻的作用，坩堝會出現(xiàn)爆裂的現(xiàn)象，所以在硅錠還沒有完全冷卻的狀態(tài)下不要靠近，以免飛濺的陶瓷片傷害人體，在必要時可帶眼鏡或防護罩造作。加熱系統(tǒng)是設(shè)備運行的主要局部，爐內(nèi)的發(fā)熱是通過中頻線圈通電形成電磁場致使石墨發(fā)熱導(dǎo)體發(fā)熱，再通過真空輻射的方式使硅料預(yù)加熱，當(dāng)硅料加熱到導(dǎo)磁后再自身產(chǎn)生發(fā)熱。我們在開爐前必須檢查中頻線圈和碳復(fù)合氈及爐體的絕緣性，測量的絕緣電阻必須大于2千歐姆以上。硅液溢流保護真空機組的檢查和真空泵出現(xiàn)故障應(yīng)急措施3、WZL-460型多晶硅提純鑄錠爐概述3.1工作原理和設(shè)備硬件。3.1.1WZL-460型多晶硅提純鑄錠爐原理3.1.2WZL-460型多晶硅提純鑄錠爐的組成監(jiān)控界面簡介運行狀態(tài)運行模式：該步運行所處的階段當(dāng)前步驟：此時程序運行的步號剩余時間：該步的剩余時間加熱控制SV溫度：設(shè)定溫度PIDSV溫度：設(shè)定溫度的當(dāng)前值控制輸出：當(dāng)前輸出功率輸出頻率：當(dāng)前輸出頻率真空度顯示設(shè)定：腔室氣氛設(shè)定值溫度顯示T1溫度：上部熱電偶實際溫度T2溫度：下部熱電偶實際溫度水溫：總管回水溫度擴散泵溫度：擴散泵加熱實際溫度充氣質(zhì)量流量計設(shè)定值：設(shè)定進氣的流量當(dāng)前值:實際的進氣的流量微抽比例閥設(shè)定值：設(shè)定排氣的流量當(dāng)前值:實際的排氣的流量隔熱門升降設(shè)定位移:該步設(shè)定的目標(biāo)位置當(dāng)前位移：隔熱層的實際位置速度：PV:電機的運轉(zhuǎn)速度坩堝升降設(shè)定位移:該步設(shè)定的目標(biāo)位置當(dāng)前位移：隔熱層的實際位置速度：電機的運轉(zhuǎn)速度水流量顯示F1；各個冷卻水管的水流量顯示。F2；各個冷卻水管的水流量顯示。F3；各個冷卻水管的水流量顯示。F4；各個冷卻水管的水流量顯示。F5；各個冷卻水管的水流量顯示。F6；各個冷卻水管的水流量顯示。各氣動閥門綠色表示開啟狀態(tài)。4.2模式界面跳轉(zhuǎn)配方階段顯示：顯示當(dāng)前的階段步號步號顯示：顯示當(dāng)前的步號跳步序號設(shè)定：在自動運行過程中要實現(xiàn)跳步，必須先點擊“程序暫停”按鈕，使程序處于暫停模式，再在“跳步設(shè)定序號”欄輸入所需步號對應(yīng)的序號，再按“跳步運行開始”，設(shè)備即開始進入自動運行狀態(tài)。提醒當(dāng)前步是否要延時?！爱?dāng)前步延時”按鈕是在配方運行階段，時間不夠用時的延時功能，例如：熔化階段，硅料沒有完全熔化需要加時間，可以使用該按鈕延長該步的時間。操作時只要輸入想要延時的時間，按“延時運行開始”即可。如不需要延時，按“進入下一步”，設(shè)備即按原程序進入下一步的運行。自動運行按“自動運行”按鈕設(shè)備即進入預(yù)設(shè)程序的自動運行啟動。程序暫停按“程序暫?！卑粹o，設(shè)備運行處于暫停狀態(tài)，設(shè)備的各系統(tǒng)運行保持在當(dāng)前狀態(tài)。程序退出運行按“程序退出運行”，設(shè)備處在退出自動運行狀態(tài)，設(shè)備的各系統(tǒng)運行保持在當(dāng)前狀態(tài)，可實現(xiàn)完全的手動操作。加熱控制模式點擊暫停按鈕，使程序處于暫停模式下，點擊“加熱模式”按鈕，控制模式即由溫度控制模式轉(zhuǎn)換為功率控制模式，在點擊“加熱模式”按鈕，控制模式即由功率控制模式返回為溫度控制模式進入/退出急冷程序。點擊暫停按鈕，在模式界面中點擊進入急冷，確認(rèn)即可。進入急冷后，點擊結(jié)束急冷，確認(rèn)后，即可結(jié)束緊急冷卻程序。加熱設(shè)定PID調(diào)節(jié)：調(diào)節(jié)P、I、D三個加熱溫度控制參數(shù)，使升溫速率更接近預(yù)設(shè)的工藝曲線。SV溫度：設(shè)定溫度PID-SV溫度：設(shè)定溫度的當(dāng)前值T1PV溫度：當(dāng)前的實際溫度功率限制設(shè)備在自動運行或手動運行時的最大功率顯示，需要限制是只要點擊佰分比對話框輸入控制值按確定即可。手動功率設(shè)備在手動運行狀態(tài)所需要的加熱功率，只要點擊佰分比對話框輸入控制值按確定即可。實際功率設(shè)備當(dāng)前輸出的實際功率顯示。4.3配方界面配方界面的操作介紹配方界面顯示了各個階段控制的方式，當(dāng)工藝需要改良時，我們可以通過更改配方以到達改良工藝的要求。在整個配方界面，參數(shù)可以人為設(shè)置，以到達進一步完善生產(chǎn)工藝的要求?！皬奈募虞d”按鈕，程序運行前，點擊從文件加載按鈕，可加載需要的配方。“保存到文件”按鈕，配方修改后，點擊該按鈕可保存修改后的配方?！皬腜LC讀取”按鈕，如需要加載配方，也可點擊該按鈕，那么加載的配方為保存在PLC中的配方。“寫入PLC”按鈕，修改后的配方，點擊寫入PLC，那么PLC中保存的是你修改后的配方。在設(shè)備自動運行過程中，如出現(xiàn)異常的情況需要修改配方，按“編輯本階段配方”可以進入修改當(dāng)前配方，在已運行的當(dāng)前步不能再作修改，但當(dāng)前步以下的配方局部可以進行修改，修改完畢后按“F7-存盤”即可運行所修改的配方。階段：階段號在同一個階段編號是相同的。階段步號：每階段設(shè)有多少步，每步步號由小到大自上而下排列。階段步號結(jié)束時進入下一階段時應(yīng)空格，空格內(nèi)橫向全部填寫為零。序號：序號填寫自上而下，數(shù)字由小到大排列。壓力模式：真空狀態(tài)填0，充氣狀態(tài)填1.進氣設(shè)定：即質(zhì)量流量計的流量設(shè)定。單位：升/分鐘壓力設(shè)定：爐內(nèi)的壓力設(shè)定。單位：mbar加熱模式：功率模式為1，溫度模式為0.隔熱門位置和坩堝位置：單位為mm＊表示運行到該步。 4.4手動界面在自動運行的過程中，如出現(xiàn)一些緊急的意外，可直接切換到手動頁面操作，但操作人員必須完全明白手動操作的后果，否那么將產(chǎn)生嚴(yán)重的不良后果。為此進入手動界面時需要輸入密碼，才能進入。手動界面是爐子在沒有進入自動運行階段時的各氣路以及各閥門和真空泵組的操作界面，在這個界面我們可以手動測試每個閥門的好壞，以及泵組的正常運行情況。大流量充氣：此按鈕是當(dāng)每次運行完之后，程序會自動翻開大口徑氬氣充氣閥向腔室里面充氣，當(dāng)充氣到達990時會關(guān)閉該閥門停止充氣，此時就可以翻開下腔室了。在手動狀態(tài)下也可實現(xiàn)手動充氣，到達內(nèi)外氣壓平衡，翻開爐門。抽真空與撿漏點擊“自動檢漏開始”執(zhí)行按鈕，即可按照設(shè)定的抽真空步驟一步步自動執(zhí)行程序，如果想要停止抽真空，點擊關(guān)閉按鈕即可。檢漏過程，判定檢漏合格，反之不合格。升降系統(tǒng)運行圖：點擊改按鈕，可以進入隔熱層運動屏幕位置測量值：當(dāng)前的隔熱層位置實際值。位置設(shè)定值：想要設(shè)定的隔熱層的目標(biāo)值。速度測量值：電機此時的運轉(zhuǎn)速度。高速度設(shè)定值：想要的設(shè)定的隔熱層的運行速度。低速設(shè)定值：隔熱層要到目標(biāo)值后會減速，低速即為減速后的慢速度。加速時間設(shè)定：從高速到低速的轉(zhuǎn)化時間。檢測零點：點擊該按鈕可以將隔熱層降到零限位。注意：當(dāng)手動升降隔熱層時，設(shè)定位置目標(biāo)值與速度必須合理，隔熱層才能運動，例如當(dāng)你設(shè)定的目標(biāo)位置很小，而速度很大時，隔熱層是不能夠運行的。下腔室升降屏幕高速設(shè)定值：下腔室的運行速度。低速設(shè)定值：下腔室減速后的速度。加速時間：下腔室升降過程中，從高速度到低速〔或從低速到高速〕的轉(zhuǎn)換時間。溫度控制屏幕PID參數(shù)調(diào)節(jié)：調(diào)節(jié)P、I、D三個加熱溫度控制參數(shù)，使升溫速率更接近預(yù)設(shè)的工藝曲線，減少波動。SV溫度：設(shè)定目標(biāo)溫度PID-SV溫度：設(shè)定溫度的當(dāng)前值T1PV溫度：當(dāng)前的實際溫度功率限制：輸出最大功率限制手動功率：手動加熱時所需要的輸出功率實際功率：顯示當(dāng)前的輸出功率加熱控制方式：加熱控制可以手動切換功率控制或溫度控制。加熱啟動/停止：按鈕指單獨手動進行溫度控制時進行操作控制的按鈕。4.5曲線界面曲線界面是整個爐子運行時的曲線觀察界面，通過觀察曲線的變化我們能直觀系統(tǒng)的了解設(shè)備的運行情況，曲線界面包括腔室壓力，隔熱門位置、輸出功率、T1溫度、T2溫度、坩堝曲線等。通過這些曲線的變化情況，進行設(shè)備的處理和記錄和分析。數(shù)據(jù)庫里只保存一個月的曲線，超過一個月，程序?qū)⒆詣觿h除一個月前的曲線。4.6報警界面設(shè)備在運行情況下，會遇到一些正常和非正常的報警，這些報警都能夠在報警界面表達出來，相對應(yīng)的報警按鈕會變紅，我們遇到報警首先應(yīng)先消除報警聲音，防止急促的報警影響操作人員處理問題。如果復(fù)位不成功，應(yīng)進行緊急處理。問題嚴(yán)重的可進入急停程序確保設(shè)備及人身平安。4.7退出按鈕退出按鈕是當(dāng)操作人員想重啟本程序時之用。5設(shè)備的操作5.1概述WZL-460型多晶硅提純鑄錠爐除手動裝料和擺放坩堝外，根本實現(xiàn)全自動運行，設(shè)備的運行過程如下：手動裝料入爐→設(shè)備平安檢查和性能檢查→設(shè)備檢漏→自動運行階段確認(rèn)→出爐。從檢漏開始是工作在全自動模式下的。操作人員只需負(fù)責(zé)一些長晶，熔化等報警確實認(rèn)，檢查參數(shù)和工藝要求是否正確，觀察機組、閥門、供水、供氣等輔助的是否符合要求即可。5.2裝料裝料是在無塵的車間內(nèi)，操作人員小心的把純潔的硅料裝在噴有氮化硅涂層得坩堝內(nèi)，一般坩堝的四周和底部要用碎料或者外表光滑的片料，來保護石英坩堝外表的涂層，裝料應(yīng)遵循大塊料中間碎料片料四邊和底面。然后用手慢慢鋪平或者擺好，以防止涂層被破壞。如下列圖所示。碎料鋪底硅片貼邊，以免坩堝涂層被損壞大料之間留有空隙，四個角留有一定的空隙,防止受熱后膨脹擠壞坩堝，且大料和小料搭配開來裝。裝料完畢后，將裝好料的坩堝再裝上石墨護板，是坩堝處在石墨護板的中間，是四周留有一定的間隙。將觸摸屏計算機切換到手動界面，按“升降機構(gòu)運行”，在按爐蓋降，此時計算時機提示注意翻開下腔室的4個夾子。如圖：且壓力在980mbar以上，也不可以翻開腔室。點擊向上箭頭，下腔室開始以高速設(shè)定值向上運動；點擊向下箭頭按鈕，下腔室開始以高速設(shè)定值向下運動；如下列圖設(shè)有4個接近開關(guān)，當(dāng)以高速設(shè)定值運行碰到上減速接近開關(guān)時，自動降為低速設(shè)定值運行，碰到上停止限位，停止運行；同理向下運行時，當(dāng)碰到下減速開關(guān)時自動以低速設(shè)定值運行，遇到下停止限位時，停止運行。翻開腔室后，用叉車將裝好的坩堝放入爐內(nèi)5.3爐子運行前的檢查。爐子檢查包括工藝配方，主參數(shù)、溢流線、隔熱層與加熱器絕緣性、泵組檢查以及循環(huán)水和氣源的檢查。下列圖為檢查工藝檢查主參數(shù)設(shè)置隔熱門和坩堝手動置0位我們把隔熱門的閉合和坩堝的加熱位置設(shè)置為0位，所以在加熱之前必須將坩堝和隔熱門升至0位。將界面切換到手動界面，按“升降系統(tǒng)運行”再按坩堝升、隔熱門升，直至手動界面坩堝和隔熱門的高位指示燈亮起。5.4抽真空檢漏設(shè)備必須在檢漏合格的狀態(tài)下方可運行，否那么必須先進性檢漏處理。檢修時可進入手動頁面進行操作。真空檢漏，先由微抽管路按正常程序進行抽真空，當(dāng)真空度到達20mbar時，再啟動大流量抽氣閥進行抽真空〔這樣可以減少粉塵的飛揚損耗和污染腔體和機組〕并啟動羅茨泵，當(dāng)極限真空抽到0.008mbar時即可進行真空檢漏，檢漏時會自動關(guān)閉所有閥門保壓，機組處在開啟狀態(tài)，300S后，如真空度高于0.015mbar時檢漏通過，反之檢漏未通過。檢漏通過后設(shè)備即可進入自動運行狀態(tài)。5.5自動運行在撿漏通過的情況下，點擊模式界面中的“自動運行”按鈕，設(shè)備即進入自動運行狀態(tài)。設(shè)備的自動運行要經(jīng)過預(yù)熱階段、熔化階段、提純階段、長晶階段、退火階段、和冷卻階段六個階段。各個階段的運行工藝配方可依據(jù)工藝的要求在配方中設(shè)定。各階段說明如下：加熱階段加熱階段是在功率控制模式下進行的，通過功率輸出的逐漸增大從而提升溫度，當(dāng)溫度到達1175時即進入溫度控制模式也就是熔化的第一步。熔化階段熔化階段是整個爐子溫度最高的階段，在這個階段最高溫度到達了1560度，為的就是使硅料全部熔化，該過程大概需要10多個小時。熔化階段會出現(xiàn)熔化結(jié)束報警，告訴操作人員熔化結(jié)束，操作人員一方面可觀察T1溫度和T2溫度，確認(rèn)是否熔化。也可以到爐頂觀察孔觀察是否熔化結(jié)束，當(dāng)看到硅液呈規(guī)那么的圓形形狀，沒有很大的晃動，說明熔化結(jié)束。提純階段：提純階段是在高溫和高真空狀態(tài)下保溫的過程，在這過程中一般溫度要保持在1500以上，真空度能到達0.00067mbar以上，具體的時間要根據(jù)我們的材料的雜質(zhì)含量來確定。長晶階段硅料提純結(jié)束后，降低加熱功率，使石英坩堝的溫度降至1440以下，然后逐步下降坩堝和翻開隔熱門，與周圍形成熱交換，使熔體的溫度自底部開始降低，晶體硅首先在底部形成，并呈柱狀向上生長，直至晶體生長結(jié)束，該過程大概需要20幾個小時左右。長晶階段會有長晶報警提醒操作工確認(rèn)長晶結(jié)束。退火階段晶體生長完成后，由于底部和上部存在較大的溫度梯度，硅錠中可能存在熱應(yīng)力或者如果直接進入冷卻會造成裂痕，所以晶體生長完成后，晶體保持在熔點左右2到3小時，使其溫度均勻，減少內(nèi)部應(yīng)力。冷卻階段硅錠在爐內(nèi)退火后，通過慢慢減小功率，翻開隔熱門，通入氬氣，同時在第三步，腔室壓力逐漸上升，當(dāng)溫度降到300度以下時即可出爐。緊急冷卻緊急冷卻是為了應(yīng)對一些故障時編制的工藝，當(dāng)爐子出現(xiàn)硅液溢流等緊急情況時為了人身平安，我們可以手動進入急冷程序，此時加熱器斷開，功率為零，使硅錠快速凝固。確保設(shè)備及人身平安。5.6出爐當(dāng)溫度低于300度時，操作人員即可觀察爐內(nèi)的壓力，并將界面切換到手動界面，翻開放氣閥，使?fàn)t內(nèi)的壓力和外部的大氣壓力保持平衡，即可翻開爐門出爐。6，設(shè)定主參數(shù)設(shè)定界面檢漏時間：真空到達檢漏值后，所需的檢漏時間。在這里設(shè)定為300S。檢漏真空度：檢漏時所需到達的真空極限值。在這里設(shè)定為0.008mbar.最高報警溫度：這是爐子所允許的最高溫度，由熱偶測得，如果超過所允許的最高溫度限定設(shè)備將報警，設(shè)備將斷電。在這里設(shè)定為1600度。最高溫度自動斷電時間:最高溫度到達后,會出現(xiàn)自動斷電.在這里設(shè)定的時間是10分鐘.允許的溫度誤差：允許的溫度誤差是設(shè)定溫度和熱偶測得的溫度間最大偏差，如果超過了允許的溫度誤差，就會發(fā)出這個報警。一般來說，設(shè)定的升溫速度過快，就會出現(xiàn)輸出功率不夠的現(xiàn)象，這時一是減緩升溫速度，二是進一步加大功率輸出。在這里設(shè)定為40度。允許的最大功率：這是運行過程中，所允許輸出的最大功率。在這里設(shè)定為100%。最大功率持續(xù)時間：輸出功率的最大極限值報警。在這里設(shè)定為20分鐘。加熱階段轉(zhuǎn)換到溫度控制模式的溫度：在加熱期間，當(dāng)熱偶測量的溫度到達這個溫度時，程序?qū)墓β士刂颇Ｊ睫D(zhuǎn)換到溫度控制模式，然后進入熔化階段。在這里設(shè)定為1175度。冷卻結(jié)束翻開爐門時的溫度：冷卻結(jié)束，翻開爐門爐內(nèi)溫度。在這里我們設(shè)置為300℃。硅液溢流與電源斷開的時間間隔：發(fā)生硅液溢流報警后，開始計時，如果復(fù)位不成功，到達該時間，程序自動轉(zhuǎn)入緊急冷卻程序。在這里設(shè)置為60S.氬氣缺乏報警：氬氣的供氣壓力有一個最低值，低于該壓力即報警。在這里設(shè)置為0.2MPA.壓縮空氣供氣缺乏報警：壓縮空氣的供氣壓力有一個最低值，低于該壓力即報警。在這里設(shè)置為0.5MPA.羅茨泵開啟真空度：羅茨泵需在一定的真空范圍內(nèi)方能開啟。在這里設(shè)定為8mbar.擴散泵翻開需要到達的真空度：翻開擴散泵時所需的真空度，在這里設(shè)置為0.05mbar.擴散泵翻開，擴散泵所需溫度：擴散泵開啟時，擴散泵體加熱到達的溫度。在這里設(shè)置為170℃。擴散泵加熱開所需的爐內(nèi)溫度：在這里設(shè)置為1200℃。轉(zhuǎn)化到大流量抽氣時的壓力：抽氣降壓階段，當(dāng)?shù)竭_這個壓力，檔板閥開啟，比例閥關(guān)閉。在這里設(shè)置為20mbar.氣體模式下超壓報警：這個壓力是爐子能保持正常運行的最大壓力，如果超過了設(shè)定的最大允許值，將會斷開電源，轉(zhuǎn)入抽真空模式。在這里設(shè)置為900mbar.氣體模式下警告壓力：這是一個警告值，說明爐內(nèi)壓力過大，如果超過了警告壓力允許值，將會發(fā)出報警，在實際壓力超過最大壓力之前，它警告操作人員立即查明原因并解決問題。在這里設(shè)置為700mbar.真空模式下最大壓力：在真空模式下，用這個值監(jiān)控爐內(nèi)的最大壓力，超過該壓力，將會出現(xiàn)報警，說明漏氣或者因為硅料排氣太多造成過壓。在這里設(shè)置為1.33mbar.氬氣流量允許最大誤差：這是流量控制器允許的最大誤差，指實際流量與設(shè)定流量之間的最大誤差。在這里設(shè)置為總進水管水壓報警參數(shù)：主管路設(shè)有電接點水壓力表,水壓低于該值會發(fā)出報警,說明總管進水水壓缺乏.在這里設(shè)置為0.35MPA.分水管水流報警值：分水管路設(shè)有水流量表,水流量低于設(shè)定值會發(fā)出報警,說明分水管進水水流量缺乏.在這里設(shè)置為升/秒.7、報警功能說明報警界面最高溫度報警：爐內(nèi)到達最高溫度后,如未能及時處理,設(shè)備會自動進入加熱斷電狀態(tài).爐內(nèi)超壓報警：爐內(nèi)的超壓報警分為兩級,一級為預(yù)警,提示操作人員引起警覺,及時排查出現(xiàn)的問題,指示燈顯黃色,另一級為超壓報警,提醒操作人員設(shè)備存在平安危險性,必須及時處理,如無人為及時處理,設(shè)備會自動進入抽真空模式.真空模式下最大壓力報警：當(dāng)發(fā)出這個報警時，說明爐內(nèi)過壓，可能存在泄露?；蛘吖枇吓艢膺^多。氬氣流量誤差：這個報警說明質(zhì)量流量控制器氬氣流量誤差已經(jīng)超過了主參數(shù)屏幕上規(guī)定的誤差。氬氣流量誤差與主參數(shù)屏幕上的氬氣流量最大誤差限定時間同時作用，當(dāng)超過了這個限定時間，就會發(fā)出這個報警，操作工按下復(fù)位按鈕復(fù)位，如果一分鐘后實際誤差仍大于這個參數(shù)，會再次發(fā)出報警，通常情況下，由于斷開氬氣源才會發(fā)出這個報警。加熱器接觸器斷開：發(fā)出這個報警說明沒有接通電源接觸器，只有爐子處于自動狀態(tài)下，才會發(fā)出這個報警。最大功率：超過允許輸出的最大功率，便會發(fā)出報警。溫度誤差：允許的溫度誤差是設(shè)定溫度和熱偶測得的溫度間最大偏差，如果超過了允許的溫度誤差，就會發(fā)出這個報警。一般來說，設(shè)定的升溫速度過快，就會出現(xiàn)輸出功率不夠的現(xiàn)象，這時一是減緩升溫速度，二是進一步加大功率輸出。氣體供給報警：供給的壓縮空氣壓力過小，就會發(fā)出這個報警。熱電偶故障報警：發(fā)出這個報警，說明熱偶已經(jīng)斷開，它會翻開一個報警窗口。可轉(zhuǎn)換到功率模式下繼續(xù)運行。硅液溢流：發(fā)出這個報警說明溢流線斷開，復(fù)位不成功后，轉(zhuǎn)入緊急冷卻程序。需要操作人員的幫助硅液即將結(jié)束熔化：提醒操作人員確認(rèn)熔化是否結(jié)束。需要操作人員的幫助長晶結(jié)束：提醒操作人員確認(rèn)長晶是否結(jié)束。8,報警問題及處理方法8.1，正常報警1)，熔化結(jié)束報警：先消除報警聲音，通過高觀察孔看液面圓形黑影是否較為平靜，如果晃動厲害，那么說明還需要熔化一段時間，如較為平靜,那么說明熔化完全.點擊進入下一步按鈕。2)，長晶報警：在長晶第六步報警，通過高觀察孔看液面是否有固體，確定是否進入延時，如果確定進入延時，那么點擊開始延時按鈕，輸入延時時間那么程序就會走完設(shè)定的延時時間，進入長晶的下一步。8.2，異常報警1〕，溫度誤差報警。設(shè)定溫度和實際溫度兩者偏差太大，超過40度，便會報警。2〕，最高溫度報警。爐子實測溫度到達1600以上，超過允許時間，爐子自動斷電?；蜻M入手動界面斷開加熱.假3〕熱電偶出現(xiàn)故障。點擊“消除報警聲音，復(fù)位”。如果復(fù)位不成功的話，點擊“轉(zhuǎn)入功率模式”，設(shè)備就會沿用最近一次的功率曲線繼續(xù)運行。,最大功率報警。爐子自動運行當(dāng)中，如果發(fā)現(xiàn)功率接近最大功率，那么暫停，可進入模式界面,進行功率限制,功率降低后再繼續(xù)運行。如果溫度上不去，功率一直偏大，點擊急停.進入急冷階段.防止電路和線圈長時間過熱被燒壞。,外部氬氣源出現(xiàn)故障。1，讓爐子處于暫停狀態(tài)下，進輸入手動密碼，進入手動屏幕。2，關(guān)閉小口徑抽氣閥，小口徑充氣閥，讓爐內(nèi)的壓力保持在600mbar。3，對氬氣源進行維修,維修時間不應(yīng)超過半小時。修好后，翻開小口徑抽氣閥,小口徑充氣閥，恢復(fù)運行。,硅液溢流報警。1〕,點擊消除報警聲音，復(fù)位。2〕，如果復(fù)位不了，翻開模式界面，進入緊