《半導(dǎo)體行業(yè)超純水工藝拋光混床用離子交換樹脂產(chǎn)品認(rèn)證技術(shù)要求》

4半導(dǎo)體行業(yè)超純水工藝拋光混床用離子交換樹脂產(chǎn)品認(rèn)證技術(shù)要求本文件適用于半導(dǎo)體行業(yè)超純水制備用的拋光混床用離子交離子交換樹脂粒度分布測(cè)定方法離子交換樹脂粒度、有效粒徑和GB/T12598離子交換樹脂強(qiáng)度半導(dǎo)體行業(yè)超純水ultrapurewaterforsemiconductorin歐姆厘米(Ω·cm純水的理論電阻率為18.3MΩ·cm（25℃)。總有機(jī)碳totalorganic54.1強(qiáng)酸性陽離子交換樹脂4.1.1外觀4.1.3理化性能%%%%%4.2強(qiáng)堿性陰離子交換樹脂4.2.1外觀4.2.3理化性能%%%%%4.3運(yùn)行參數(shù)4.3.1溶出量拋光樹脂的溶出量要求應(yīng)符合表3中的參數(shù)指6總有機(jī)碳/(μg/L）痕量金屬/(μg/L）鋁鈣銅鈷鉻鐵鉀鈦鋰鎂錳鈉鎳鉛錫鋅砷痕量陰離子/(μg/L）氟氯溴4.3.2產(chǎn)水水質(zhì)5.2游離水分測(cè)定測(cè)試除去外層包裝(編織袋或桶)后，將用透明塑料袋包裝的樹脂豎起直立，約10mi7于容器中計(jì)量。應(yīng)從到貨樹脂中至少測(cè)定3件(袋或桶)，以所收集量的平均值計(jì)算整批到貨樹脂游離水5.3試樣預(yù)處理5.4含水量的測(cè)定5.5體積交換容量的測(cè)定5.5.1體積全交換容量按下式進(jìn)行計(jì)算氫型樹脂交換容量用經(jīng)過預(yù)處理的試樣25mL，按GB/T8144-2008標(biāo)鈉型樹脂交換容量按照GB/T8144氫氧型陰樹脂采用GB/T5760-2000氫氧型陰離子交換樹脂交換容量測(cè)定方法中規(guī)定的方法進(jìn)行測(cè)氯型陰樹脂采用GB/T11992-2008氯型強(qiáng)堿性陰離子交換樹脂交換容量測(cè)定方法中規(guī)定的方法進(jìn)Qv=Qwp(1?X)#(1)X——含水量，%。5.6濕視密度的測(cè)定濕視密度按GB/T8331-2008中規(guī)5.7濕真密度的測(cè)定濕真密度測(cè)定按GB/T8330-2008中規(guī)5.8粒度、有效粒徑和均一系數(shù)的測(cè)定粒度、有效粒徑和均一系數(shù)按GB/T5758-2001中規(guī)定5.9運(yùn)行參數(shù)的測(cè)定85.9.2.1試驗(yàn)試劑總有機(jī)碳測(cè)試儀：量程0.03μg/L-50a)將陰陽樹脂按照1:1的比例裝填進(jìn)圖15.9.6計(jì)算T——總有機(jī)碳溶出量，單位為微克每升(μg/LT1——進(jìn)水總有機(jī)碳的濃度，單位為微克每升(μg/LT2——產(chǎn)水總有機(jī)碳的濃度，單位為微克每升(μg/L）。5.10痕量金屬溶出量5.10.1試驗(yàn)試劑5.10.2試驗(yàn)儀器95.10.3試驗(yàn)裝置5.10.4試驗(yàn)步驟5.10.5計(jì)算M——痕量金屬溶出量，單位為微克每升(μg/LM1——進(jìn)水痕量金屬濃度，單位為微克每升(μg/LM2——產(chǎn)水痕量金屬濃度，單位為微克每升(μg/L）。5.11痕量陰離子溶出量5.11.1試驗(yàn)試劑5.11.2試驗(yàn)儀器離子色譜儀：最小檢測(cè)濃度≤0.02μg/L，線性度≥5.11.3試驗(yàn)裝置5.11.4試驗(yàn)步驟d)當(dāng)混床以恒定運(yùn)行流量沖洗5天后，以PP瓶進(jìn)行取樣，收集進(jìn)水和產(chǎn)水5.11.5計(jì)算Y——痕量陰離子溶出量，單位為微克每升(μg/L）；Y1——進(jìn)水痕量陰離子濃度，單位為微克每升(μg/L）；Y2——產(chǎn)水痕量陰離子濃度，單位為微克每升(μg/L）。5.11.6產(chǎn)水測(cè)試5.11.7試驗(yàn)步驟d)當(dāng)混床以恒定運(yùn)行流量沖洗72h后，按照