半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)系列報告之七：自主可控方興未艾設(shè)備成長仍在途中

1476.31147.62.520222023年113，2024年131%，2023227.63.4pcts。圖1：中國大陸半導(dǎo)體銷售額占比回升至全球30%以上60 40%50 35%30%40 25%30 20%20 15%10%10 5%2015-032015-072015-112015-032015-072015-112016-032016-072016-112017-032017-072017-112018-032018-072018-112019-032019-072019-112020-032020-072020-112021-032021-072021-112022-032022-072022-112023-032023-072023-11全球半導(dǎo)體銷售額（十億美元） 中國大陸銷售額（十億美元中國大陸占比（右）資料來源：美國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會，研究圖3年1回正

圖3：2023年11月以來中國大陸半導(dǎo)體銷售額同比增速回正且回升幅度高于全球（十億美元）60 30% 20（十億美元）50 20% 1540 10%30 0% 1020 -10% 510 -20%2017-012017-072017-012017-072018-012018-072019-012019-072020-012020-072021-012021-072022-012022-072023-012023-072024-01

40%（十億美元）30%（十億美元）20%10%0%-10%-20%-30%2017-012017-072017-012017-072018-012018-072019-012019-072020-012020-072021-012021-072022-012022-072023-012023-072024-01全球半導(dǎo)體銷售額 同比增速（右環(huán)比增速（右）

中國大陸銷售額 同比增速（右環(huán)比增速（右）資料來源：美國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會，研究 資料來源：美國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會，研究EI20（20246.43160/（8對應(yīng)2024年全球擴(kuò)產(chǎn)規(guī)模達(dá)到200萬片/月。其中中國大陸晶圓產(chǎn)能2024年將增長至860萬片/月，對應(yīng)擴(kuò)產(chǎn)規(guī)模為100萬片/月，較2023年擴(kuò)產(chǎn)規(guī)模81萬片/月增長23%。圖4：預(yù)計中國大陸晶圓產(chǎn)能（折算8英寸）2024年將提升至860萬片/月

圖4折算8）將達(dá)到100萬片/月，擴(kuò)產(chǎn)規(guī)模同比增速超20%（萬片/月）1000（萬片/月）9008007006005004003002001000

120100806040200

（萬片/月）（萬片/月）中國大陸 中國臺灣 其他地區(qū)2022 2023 2024 2023 2024資料來源：國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會，研究 資料來源：國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會，研究202322023億美元，同比增長120.9%。其中2H23236.8%、環(huán)比增長120.5%。2024年1月至22月同比仍增長151.5920002023年8月至12月均價均超1000萬美元，增長明顯。圖6：2023年下半年中國大陸光刻設(shè)備進(jìn)口金額明顯高增16 600%14 500%12 400%10 300%86 200%4 100%2 0%2020-012020-032020-012020-032020-052020-072020-092020-112021-012021-032021-052021-072021-092021-112022-012022-032022-052022-072022-092022-112023-012023-032023-052023-072023-092023-112024-01中國大陸光刻設(shè)備進(jìn)口金額（億美元） 同比增速（右） 環(huán)比增速（右）資料來源：海關(guān)總署，研究圖7：2023年6月以來中國大陸光刻設(shè)備進(jìn)口均價提升明顯25002000150010005000

1200%1000%800%600%400%200%0%2020-012020-032020-012020-032020-052020-072020-092020-112021-012021-032021-052021-072021-092021-112022-012022-032022-052022-072022-092022-112023-012023-032023-052023-072023-092023-112024-01中國大陸光刻設(shè)備進(jìn)口均價（萬美元） 同比增速（右） 環(huán)比增速（右）資料來源：海關(guān)總署，研究2H2330.467.6123.1%，2023年9395200萬2023圖8：2023年9月至12月中國大陸刻蝕設(shè)備進(jìn)口金額明顯增高7 250%6 200%5 150%4 100%3 50%2 0%1 -50%2020-012020-032020-012020-032020-052020-072020-092020-112021-012021-032021-052021-072021-092021-112022-012022-032022-052022-072022-092022-112023-012023-032023-052023-072023-092023-112024-01中國大陸刻蝕設(shè)備進(jìn)口金額（億美元） 同比增速（右） 環(huán)比增速（右）資料來源：海關(guān)總署，研究圖9：2023年下半年中國大陸刻蝕設(shè)備進(jìn)口均價亦呈提升趨勢6005003002001000

160%140%120%100%80%60%40%20%0%-20%-40%2020-012020-032020-012020-032020-052020-072020-092020-112021-012021-032021-052021-072021-092021-112022-012022-032022-052022-072022-092022-112023-012023-032023-052023-072023-092023-112024-01中國大陸刻蝕設(shè)備進(jìn)口均價（萬美元） 同比增速（右） 環(huán)比增速（右）資料來源：海關(guān)總署，研究ASML2023根據(jù)ASML陸2021~202258億歐中國大陸購買ASML13.53Q234Q2324.422.2ASML20231~48%、2446%、3920232年擴(kuò)產(chǎn)圖10：2023年二季度以來ASML中國大陸營收規(guī)模爆發(fā)式提升（百萬歐元）3,0002,5002,0001,5001,000500-1Q212Q213Q214Q211Q222Q223Q224Q221Q232Q233Q234Q23中國大陸 中國臺灣 韓國 美歐洲中東非洲 日本 亞洲其余地區(qū)資料來源：ASML財報，研究圖11：2023年三季度ASML中國大陸營收占比最高升至46%100%90%80%70%60%50%40%30%20%10%0%

1Q212Q213Q214Q211Q222Q223Q224Q221Q232Q233Q234Q23中國大陸 中國臺灣 韓國 美國 歐洲中東非洲 日本 亞洲其余地區(qū)資料來源：ASML財報，研究中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備市場快速擴(kuò)張，占全球市場比例明顯提升。根據(jù)日本半導(dǎo)體制造裝置協(xié)會，2023年前三季度全球半導(dǎo)體設(shè)備銷售額782.1億美元，同比下滑2.1%，其中中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備銷售額244.7億美元，同比增長11.7%，其中單三季度中國大陸銷售額達(dá)110.6億美元，創(chuàng)歷史新高。中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備市場增速持續(xù)好于全球，印證中國大陸晶圓廠擴(kuò)產(chǎn)增速更高。圖12：中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備銷售額占全球比例呈持續(xù)提升趨勢35 50%（十億美元）30 45%（十億美元）40%25 35%20 30%25%15 20%10 15%10%5 5%2015-032015-062015-092015-032015-062015-092015-122016-032016-062016-092016-122017-032017-062017-092017-122018-032018-062018-092018-122019-032019-062019-092019-122020-032020-062020-092020-122021-032021-062021-092021-122022-032022-062022-092022-122023-032023-062023-09全球半導(dǎo)體設(shè)備銷售額 中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備銷售額 中國大陸占比（右）資料來源：日本半導(dǎo)體制造裝置協(xié)會，研究圖位下降

圖14：中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備銷售額持續(xù)增長，3Q23超100億美元（十億美元）35 80% 12（十億美元）30 60% 1025 40% 820 20% 61510 0% 45 -20% 22015-032015-092016-032015-032015-092016-032016-092017-032017-092018-032018-092019-032019-092020-032020-092021-032021-092022-032022-092023-032023-09

140%（十億美元）120%（十億美元）100%80%60%40%20%0%-20%-40%2015-032015-092015-032015-092016-032016-092017-032017-092018-032018-092019-032019-092020-032020-092021-032021-092022-032022-092023-032023-09全球半導(dǎo)體設(shè)備銷售額 同比增速（右環(huán)比增速（右）

中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備銷售額 同比增速（右環(huán)比增速（右）資料來源：日本半導(dǎo)體制造裝置協(xié)會，研究 資料來源：日本半導(dǎo)體制造裝置協(xié)會，研究預(yù)計2024300（民幣約2170億元）22（）占比約%，清洗占比6）占比4%，根據(jù)47726013087圖15：前道導(dǎo)體設(shè)價值量比 圖16：測算工藝環(huán)仍具有闊市場間械拋光

離子注入2火

刻蝕設(shè)備,

600（億元）500（億元）400300顯影洗像,4%成批清洗,6%工藝控制

光刻機(jī)

22%薄膜沉積設(shè)備,22%

2001000

2024年中國大陸市場空間預(yù)計資料來源：中微公司財報，研究 資料來源：SEMI，中微公司財報，研究2022低于30%，預(yù)計202310%。表1：2022年國內(nèi)大部分設(shè)備環(huán)節(jié)國產(chǎn)化率低于30%設(shè)備類型國產(chǎn)化率國內(nèi)代表公司清洗＞30%盛美上海、北方華創(chuàng)、芯源微等CMP＞30%華海清科等熱處理＞30%北方華創(chuàng)、屹唐半導(dǎo)體等刻蝕＞20%中微公司、北方華創(chuàng)等薄膜沉積＜20%拓荊科技、北方華創(chuàng)、微導(dǎo)納米等涂膠顯影＜10%芯源微等離子注入＜10%萬業(yè)企業(yè)、中科信等檢測量測＜5%中科飛測、上海精測、上海睿勵等光刻機(jī)＜1%上海微電子等資料來源：遠(yuǎn)川研究所，研究基于國內(nèi)ICA22341441.51141億（824910.620222023圖17：國內(nèi)主要半導(dǎo)體設(shè)備上市公司合計營收近3年維持超40%增速

圖18：國內(nèi)主要半導(dǎo)體設(shè)備上市公司合計凈利潤同比增速2023年接近50%5004003002001000

2019 2020 2021 2022

80%（億元）60%（億元）40%20%0%

9080706050403020100-10

300%（億元）2019（億元）20192020202120222023200%150%100%50%0%北方華創(chuàng) 中微公司 拓荊科技芯源微 中科飛測-U 華海清科盛美上海 京儀裝備 整體營收增速（右）

北方華創(chuàng) 中微公司 拓荊科技芯源微 中科飛測-U 華海清科盛美上海 京儀裝備 凈利潤增速（右）資料來源：各公司財報、公告，研究注：北方華創(chuàng)營收取業(yè)績預(yù)告范圍中值

資料來源：公司財報，研究注：北方華創(chuàng)凈利潤取業(yè)績預(yù)告范圍中值圖19：全球主要半導(dǎo)體設(shè)備公司合計營收增速近2年在20%以下

圖20：全球主要半導(dǎo)體設(shè)備公司合計凈利潤增速近2年與營收增速相近120010008006004002000

2019 2020 2021 2022

30%（億美元）25%（億美元）20%15%10%5%0%

4003002001000

2019 2020 2021 2022

60%（億美元）50%（億美元）40%30%20%10%0%阿斯麥 應(yīng)用材料 東京電子拉姆 科磊 泰瑞達(dá)愛德萬 迪恩士 迪斯整體營收增速（右）

阿斯麥 應(yīng)用材料 東京電子拉姆 科磊 泰瑞達(dá)愛德萬 迪恩士 迪斯凈利潤增速（右）資料來源：各公司財報，研究 資料來源：各公司財報，研究當(dāng)前A股上市半1657國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備公司尚處于成長期，業(yè)績增速整體顯著超越已進(jìn)入成熟期的海外大廠，但當(dāng)前估值水平方面國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備公司與海外公司的差距并未完全體現(xiàn)成長性的差異，因A表2：A股半導(dǎo)體設(shè)備公司及海外公司對比（對應(yīng)2024/3/22收盤）代碼簡稱總市值（億美元）總市值（億人民幣）PE（TTM）2023年報凈利潤增速ASML.O阿斯麥3,86727,4564445%AMAT.O應(yīng)用材料1,74712,404245%8035.T東京電子1,2318,74052-1%LRCX.O拉姆1,2829,10337-2%KLAC.O科磊9616,823362%TER.O泰瑞達(dá)1701,20438-37%6857.T愛德萬3332,3636537%7735.T迪恩士1268973216%6146.T迪斯科3942,7988015%002371.SZ北方華創(chuàng)2331,6574765%688012.SH中微公司1399835553%688072.SH拓荊科技574076180%688037.SH芯源微231656625%688361.SH中科飛測-U302141501113%688120.SH華海清科433034245%688082.SH盛美上海584114536%688652.SH京儀裝備12857229%688200.SH華峰測控2215662-53%資料來源：，研究風(fēng)險提示：12表3：半導(dǎo)體行業(yè)重點公司估值表證券代碼證券簡稱投資評級2024-03-22PB申萬預(yù)測EPSPE收盤價(元)億元2022A2022A2023E2024E2025E2023E2024E2025E002156通富微電增持24.803762.70.330.130.490.831915130002409雅克科技買入58.702794.31.101.462.633.87402215300327中穎電子買入19.06654.40.940.821.131.44231713300613富瀚微買入36.36843.71.731.131.502.03322418600460士蘭微買入21.013504.00.740.430.580.71493630600584長電科技買入28.255052.01.820.911.591.96311814603005晶方科技買入19.271263.20.350.310.430.50624539605111新潔能買入37.671122.42.040.981.261.66383023688012中微公司買入158.819836.31.902.633.264.35604937688037芯源微買入119.571655.32.1