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文檔簡(jiǎn)介
LCD
清洗技術(shù)簡(jiǎn)介漢高股份有限公司電子產(chǎn)品的發(fā)展方向TFT-LCDLCD的結(jié)構(gòu)透明電極
玻璃基板
導(dǎo)向膜
液晶光源
集成電路反射片反射片ColorFilterBlackMatrixArrayBoardITO玻璃制造流程和玻璃清洗劑CeO
研磨研磨后清洗涂膜前清洗母板ITO涂膜切割后清洗切割P3silironAPP3silironHSP3silironLP3silironEP3silironTKP3silironTKAP3silironSP3silironSA最新產(chǎn)品:P3silironAP去除研磨劑P3silironSA去除顆粒,紙屑,玻璃屑,油污彩色濾光片的制造過(guò)程玻璃基板黑色矩陣彩色層保護(hù)層ITO導(dǎo)電膜光阻涂布BM基板清洗ITO制程去除邊緣顯影后段烘烤前段預(yù)烤紫外線曝光重復(fù)三次(R,G,B)P3poleveHPP3disperseH印框膠貼偏振片檢測(cè)下一道工序
去除殘留液晶注射液晶清洗面板組合Arrayboard
基板玻璃清洗去除研磨和切割殘留物清洗金屬鉻BM制程
刻蝕Arrayboard光刻制程
ColorFilter曝光去除邊緣曝光
檢測(cè)檢測(cè)ColorFilter
基板玻璃去除邊緣,顯影
去除光阻顯影光阻BM制程去除光阻
TFT-LCD制造流程LCD基板玻璃表面的污染物污染物分類(lèi)污染物來(lái)源清洗方法有機(jī)污染物包裝紙中的有機(jī)物、指印、油脂等玻璃清洗劑清洗堿液清洗UV光照射(O3)清洗無(wú)機(jī)污染物灰塵、玻璃屑或研磨劑等微粒子(particle)超音波清洗噴淋加毛刷清洗配合溢流與過(guò)濾基板預(yù)清洗一.目的:對(duì)PI投入前之基板做清洗工作,確保基板之清潔狀態(tài)。二.原理:利用洗劑、毛刷、超音波、IR、UV等裝置,將基板上的微粒及油污清除。LCD基板清洗P3silironHS(2槽)1-5%,45-60℃,5-10min.
浸漬+超聲波P3silironLS(2槽)
1-3%,45-60℃,5-10min.
噴淋+刷洗去離子水
(4-5槽)
RT-60℃,5-10min.浸漬+超聲波去離子水(4-5槽)RT-60℃,5-10min.
噴淋+刷洗清洗漂洗PI前強(qiáng)堿清洗的特點(diǎn) 強(qiáng)堿與玻璃有一定的親合力,容易在玻璃表面形成堿性覆蓋膜,不易被漂洗除去。為解決堿液吸附殘留表面問(wèn)題,需采取增加沖洗次數(shù)的方法改善,一般清洗設(shè)備會(huì)設(shè)計(jì)更多的清洗和漂洗槽,但這也增加了設(shè)備費(fèi)用成本。
P3siliron系列玻璃清洗劑的特點(diǎn)表面活性劑和助洗劑的協(xié)同作用,顯示出卓越的清洗性能采用了漂洗助劑,殘留物極易漂洗干凈。助洗劑濃度: 2.0%表面活性劑濃度: 0.1%清洗溫度: 60°C處理時(shí)間(min)清洗能力(%)水表面活性劑助洗劑助洗劑+表面活性劑100013020406080510Lit.from:Oberfl?che-Surface1984,Rossmann:ReinigungstarrerOberfl?chen助洗劑/表面活性劑的協(xié)同作用水洗水123脫脂水洗
舉例:
m=10ml/m2表面
Co=25g/l
Cx=0.01g/l
稀釋比例=1:2500消耗量:1個(gè)水洗槽 25.00l/m2表面2個(gè)水洗槽 0.50l/m2表面3個(gè)水洗槽 0.14l/m2表面水洗水計(jì)算方程式(簡(jiǎn)化式)L=nCoCx
L=水洗水的消耗(l/m2表面)
m=帶出量(l/m2表面)n=水洗區(qū)的水洗槽數(shù)量Co=最后脫脂槽的濃度(g/l)Cx=最后水洗槽的濃度(g/l)mLCD基板玻璃清洗條件控制項(xiàng)目清洗劑濃度測(cè)定:每天進(jìn)行一次電導(dǎo)率法酸堿滴定-
總堿定期添加
約5g/m2LCD基板玻璃清洗條件測(cè)試方法水膜浸潤(rùn)度掃描式電子顯微鏡(SEM)X光能量分散光譜儀(EDS)顆粒殘留以X光能量分散光譜儀(EnergyDispersiveSpectrometer)分析微粒子污染物,確認(rèn)該微粒子為玻璃屑泄漏液晶清洗一.目的:對(duì)封口、裂片、磨邊后之液晶片作清洗工作,主要目的是去除狹隘中的殘留液晶。二.原理:利用液晶清洗劑、超音波等裝置,配合溢流(overflow)與過(guò)濾(filtration)將狹隘中的殘留液晶以及表面的微粒清除干凈。由于STN-LCD工藝是先將液晶盒裁切(裂片)之后才進(jìn)行清洗,可以預(yù)知液晶盒的玻璃面板邊緣與表面,除了沾附液晶分子,亦將附著許多玻璃屑(微粒子),所以清洗槽的溢流與過(guò)濾功能就顯得非常重要。
LCD清洗條件P3kaltfin20(2槽)45-60℃,5-10min.
超聲波+攪拌P3kaltfin20+P3EtarapES(2槽)45-60℃,5-10min.
超聲波+攪拌P3allpass7000/7750(2槽)45-60℃,5-10min.
超聲波+攪拌
IPA(3槽)RT-45℃,15-20min.
超聲波+攪拌PureWater(4槽或以上)40-60℃,15-20min.
超聲波+攪拌PureWater(4槽或以上)40-60℃,15-20min.
超聲波+攪拌清洗漂洗泄漏液晶清洗LCD清洗工藝
P3kaltfin20+P3EtarapES清洗貯油槽漂洗漂洗過(guò)濾器(純水)1活性炭離子交換塔自來(lái)水廢水處理系統(tǒng)油水分離器烘箱烘
干85-100℃漂洗2
不損害玻璃。
對(duì)封口膠無(wú)害。
環(huán)氧樹(shù)脂,丙烯酸樹(shù)脂
不損害金屬。
鋁,銀,銅
不含離子。
表面張
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