硅片過程檢驗培訓(xùn)

硅片過程檢驗培訓(xùn)

目錄：

1.引言2.電池片過程檢驗標(biāo)準(zhǔn)

3.過程檢驗作業(yè)指導(dǎo)書硅片檢驗主要分為三類：1.硅片來料檢驗2.電池片生產(chǎn)過程檢驗3.電池片出貨檢驗引言硅片來料檢驗設(shè)備：引言硅片來料檢驗設(shè)備：引言硅片來料檢驗?zāi)康模?/p>

保證進(jìn)貨的原材料滿足規(guī)定的要求，防止不合格品流入生產(chǎn)流程造成不必要的損失。(確保合格的產(chǎn)品提供給生產(chǎn)部門)引言硅片來料檢驗主要工程：1.電學(xué)局部：厚度/電阻率測試

少子壽命測試引言2.光學(xué)局部：幾何尺寸垂直性硅片破裂〔包括崩邊、裂痕、V型缺口〕外表臟污空洞和隱裂引言相關(guān)硅片實例：引言電池片生產(chǎn)過程檢驗?zāi)康模?/p>

防止過程中出現(xiàn)批次性問題，防止不合格品流入下道工序。保證電池片生產(chǎn)工藝過程、操作過程均滿足標(biāo)準(zhǔn)要求，保證生產(chǎn)的穩(wěn)定性及標(biāo)準(zhǔn)性，保證產(chǎn)品效率及成品率。引言電池片生產(chǎn)主要過程介紹：

引言電池片生產(chǎn)過程檢驗主要相關(guān)設(shè)備：引言主要分為以下幾個控制點：1.前期準(zhǔn)備工作檢查2.制絨清洗后；3.擴(kuò)散后；4.等離子刻蝕后；5.去磷硅玻璃清洗后；6.PECVD后；7.絲網(wǎng)燒結(jié)后；8.電池片性能測試分檔后。電池片過程檢驗標(biāo)準(zhǔn)前期準(zhǔn)備工作檢查：設(shè)備開機(jī)檢查，填寫?巡檢記錄單?；工藝參數(shù)監(jiān)控：設(shè)備各參數(shù)到達(dá)工藝要求后進(jìn)行生產(chǎn)。電池片過程檢驗標(biāo)準(zhǔn)各工序關(guān)鍵工藝參數(shù)：制絨清洗：NaOH、Na2O3、HF、HCL溶液濃度，溶液溫度等。擴(kuò)散：擴(kuò)散溫度，氣體流量等。等離子刻蝕：射頻功率，氣體流量等。電池片過程檢驗標(biāo)準(zhǔn)去磷硅玻璃：HF溶液濃度等。PECVD：氣體流量，微波源功率，沉積壓力，工藝溫度等。絲網(wǎng)燒結(jié)：印刷壓力，印刷速度，印刷網(wǎng)板間距，印刷方式，燒結(jié)各加熱區(qū)溫度等。電池片過程檢驗標(biāo)準(zhǔn)制絨清洗后：制絨后硅片外觀：硅片外表制絨均勻，無點狀亮點硅片稱重：清洗前后重量差在0.6～0.7g電池片過程檢驗標(biāo)準(zhǔn)擴(kuò)散后：方塊電阻：測量范圍在40±5Ω/□方阻均勻性：均勻性誤差不大于±5%電池片過程檢驗標(biāo)準(zhǔn)等離子刻蝕后：邊緣電阻測量：測量范圍在30±10kΩ刻蝕痕跡〔目測〕電池片過程檢驗標(biāo)準(zhǔn)去磷硅玻璃清洗后：電池片外觀：擴(kuò)散面無明顯發(fā)暗擴(kuò)散面疏水性〔目測〕電池片過程檢驗標(biāo)準(zhǔn)PECVD后：工藝后外觀檢測：硅片鍍膜面呈均勻藍(lán)色〔目測〕氮化硅膜的厚度、反射率、折射率片內(nèi)均勻性、片間均勻性、批間均勻性：不大于±5%電池片過程檢驗標(biāo)準(zhǔn)絲網(wǎng)燒結(jié)后：印刷重量：正銀為0.10g±0.02g；背銀為0.12g±0.02g；背鋁為0.8g±0.2g；電池片外觀：滿足?成品電池片外觀分選標(biāo)準(zhǔn)?要求。電池片過程檢驗標(biāo)準(zhǔn)電池片性能測試分檔后：標(biāo)準(zhǔn)片校準(zhǔn)碎片記錄電池片過程檢驗標(biāo)準(zhǔn)一、目的：防止制程中出現(xiàn)批次性問題，防止不合格品流入下道工序。二、范圍：適用于產(chǎn)品生產(chǎn)過程有關(guān)的工序。過程檢驗作業(yè)指導(dǎo)書三、職責(zé)：品控員負(fù)責(zé)對生產(chǎn)過程的監(jiān)控，對生產(chǎn)工序的巡查，將遇到的問題反響給PQC工程師。PQC工程師負(fù)責(zé)品控員監(jiān)督、巡檢統(tǒng)計表的匯總報告，以及協(xié)調(diào)生產(chǎn)部，工藝部和設(shè)備部解決相關(guān)問題。過程檢驗作業(yè)指導(dǎo)書四、工作內(nèi)容:品控員在每班開始生產(chǎn)前完成對各種測試設(shè)備的校準(zhǔn)工作，并填寫?測試設(shè)備校準(zhǔn)記錄單?。品控員每隔一小時檢查各工序使用?作業(yè)指導(dǎo)書?是否正確，操作員是否按照要求進(jìn)行操作，并填寫?巡檢記錄單?。如發(fā)現(xiàn)問題需立即告知帶班班長及PQC工程師，不允許擅自處理。過程檢驗作業(yè)指導(dǎo)書品控員每隔一小時檢查產(chǎn)品流轉(zhuǎn)情況，并填寫?巡檢記錄單?。如發(fā)現(xiàn)問題需立即告知帶班班長及PQC工程師，不允許擅自處理。品控員每隔一小時檢查各工序使用的設(shè)備和工裝是否符合?作業(yè)指導(dǎo)書?和?設(shè)備操作規(guī)程?，并填寫?巡檢記錄單?。如發(fā)現(xiàn)問題需立即告知帶班班長及PQC工程師，不允許擅自處理。過程檢驗作業(yè)指導(dǎo)書過程檢驗作業(yè)指導(dǎo)書過程檢驗作業(yè)指導(dǎo)書過程檢驗作業(yè)指導(dǎo)書品控員每隔一小時需對各生產(chǎn)工序的成品監(jiān)控點進(jìn)行抽檢，并填寫相關(guān)?巡檢記錄單?。過程檢驗作業(yè)指導(dǎo)書生產(chǎn)各工序員工負(fù)責(zé)對制絨、擴(kuò)散、刻蝕、