熱敏打印用碳-碳化硅靶材-審定稿

1熱敏打印用碳-碳化硅靶材本文件規(guī)定了熱敏打印用碳-碳化硅靶材的分類和標(biāo)記、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存及隨行文件和訂貨單內(nèi)容。本文件適用于熱敏打印用碳-碳化硅靶材。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。GB/T3850致密燒結(jié)金屬材料與硬質(zhì)合金密度測定方法GB/T16555含碳、碳化硅、氮化物耐火材料化學(xué)分析方法GB/T37254高純碳化硅微量元素的測定YS/T837濺射靶材-背板結(jié)合質(zhì)量超聲波檢驗(yàn)方法YS/T1509.3硅碳復(fù)合負(fù)極材料化學(xué)分析方法第3部分：鐵、鎳、鋯、鈣、鉛、鋁、鉿含量的測定電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法3術(shù)語和定義下列術(shù)語和定義適用于本文件。3.1靶材target在濺射沉積技術(shù)中的陰極材料。該陰極材料在帶正電荷的陽離子撞擊下以分子、原子或離子的形式脫離陰極而在襯底面沉積。3.2靶坯targetblank陰極上用作濺射的材料。3.3背板backingplate用來支撐或固定靶材的材料。4分類和標(biāo)記24.1產(chǎn)品形狀通常為方形，或由需方提供圖紙。產(chǎn)品按照結(jié)構(gòu)形式分為復(fù)合體靶材和單體靶材，復(fù)合體靶材的靶坯與背板可以通過焊接（如釬焊、電子束焊、擴(kuò)散焊等）、機(jī)械復(fù)合、粘接等方式連接。結(jié)構(gòu)示意圖如圖1所示。a）復(fù)合體靶材圖1靶材結(jié)構(gòu)示意圖4.2標(biāo)記產(chǎn)品標(biāo)記按產(chǎn)品名稱、結(jié)構(gòu)的順序表示。標(biāo)記示例如下：如某一碳-碳化硅靶材,結(jié)構(gòu)為復(fù)合體靶材,其標(biāo)記為：C-SiC-復(fù)合5技術(shù)要求5.1化學(xué)成分5.1.1產(chǎn)品的化學(xué)成分應(yīng)符合表1的規(guī)定。表1化學(xué)成分（質(zhì)量分?jǐn)?shù)）NiNaSNO注：產(chǎn)品以質(zhì)量比為標(biāo)準(zhǔn)，若需方需求原子比數(shù)據(jù)，則使用質(zhì)量比轉(zhuǎn)5.2相對密度產(chǎn)品的相對密度應(yīng)不小于98%。5.3焊接質(zhì)量3復(fù)合體靶材通常采用釬焊方式，焊接結(jié)合率應(yīng)不小于95%，單個(gè)未焊合間隙面積應(yīng)不大于總面積的2.5%。5.4外形尺寸及允許偏差產(chǎn)品的尺寸、規(guī)格及結(jié)構(gòu)方式由供需雙方協(xié)商確定。5.5外觀質(zhì)量產(chǎn)品表面應(yīng)清潔光滑，無油污銹蝕，無顆粒附加物和其他沾污，無凹坑、劃傷、裂紋、凸起等缺陷。6試驗(yàn)方法6.1化學(xué)成分產(chǎn)品Si含量的測定按照供需雙方約定的方法進(jìn)行；Fe、Al、Ni、Na、Cu和S含量的測定按照GB/T37254的規(guī)定進(jìn)行；Zr含量的測定按照YS/T1509.3的規(guī)定進(jìn)行；N和O含量的測定按照GB/T16555的規(guī)定進(jìn)行。6.2相對密度相對密度檢驗(yàn)按照GB/T3850的規(guī)定進(jìn)行。6.3焊接質(zhì)量焊接質(zhì)量檢驗(yàn)按照YS/T837的規(guī)定進(jìn)行。6.4外形尺寸及允許偏差外形尺寸通過三坐標(biāo)測量儀、卡尺、平面度儀、塞規(guī)等，按照加工圖紙標(biāo)識尺寸進(jìn)行測量。6.5外觀質(zhì)量外觀質(zhì)量用目視方法檢驗(yàn)，必要時(shí)用放大鏡或顯微鏡進(jìn)行鑒別。7檢驗(yàn)規(guī)則7.1檢查和驗(yàn)收7.1.1產(chǎn)品應(yīng)由供方或第三方進(jìn)行檢驗(yàn)，保證產(chǎn)品質(zhì)量符合本文件及訂貨單的規(guī)定，并附隨行文件。7.1.2需方可對收到的產(chǎn)品按本文件的規(guī)定進(jìn)行檢驗(yàn)，如檢驗(yàn)結(jié)果與本文件及訂貨單的規(guī)定不符時(shí)，應(yīng)以書面形式向供方提出，由供需雙方協(xié)商解決。屬于外觀質(zhì)量的異議，應(yīng)在收到產(chǎn)品之日起一個(gè)月內(nèi)提出，屬于其他性能的異議，應(yīng)在收到產(chǎn)品之日起三個(gè)月內(nèi)提出。如需仲裁，應(yīng)由供需雙方協(xié)商確定。7.2組批產(chǎn)品應(yīng)成批提交驗(yàn)收。每批應(yīng)由同一生產(chǎn)周期和技術(shù)要求的產(chǎn)品組成。7.3檢驗(yàn)項(xiàng)目及取樣產(chǎn)品均應(yīng)進(jìn)行化學(xué)成分、相對密度、焊接質(zhì)量、外形尺寸、外觀質(zhì)量的檢驗(yàn)。產(chǎn)品的取樣應(yīng)符合表2規(guī)定。表2檢測項(xiàng)目、取樣位置及數(shù)量4隨機(jī)樣品隨機(jī)樣品圖2取樣位置示意圖7.4檢驗(yàn)結(jié)果的判定7.4.1化學(xué)成分檢測不合格時(shí)，從同批的其他2枚不同產(chǎn)品中加倍抽樣，對不合格項(xiàng)目進(jìn)行重復(fù)檢驗(yàn)，若有一個(gè)檢驗(yàn)結(jié)果不合格時(shí)，則判定該批產(chǎn)品不合格。7.4.2相對密度、焊接質(zhì)量、外形尺寸、外觀質(zhì)量檢驗(yàn)不合格時(shí)，判定該件產(chǎn)品不合格。8標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存及隨行文件8.1標(biāo)志8.1.1在每個(gè)外包裝上貼紙質(zhì)標(biāo)貼，內(nèi)容包括：a)生產(chǎn)企業(yè)標(biāo)志；b)產(chǎn)品名稱；c)訂單編號；d)生產(chǎn)批號；e)出廠日期；f)其他。8.2包裝、運(yùn)輸、貯存8.2.1產(chǎn)品的清洗、干燥及內(nèi)包裝應(yīng)在百級潔凈室內(nèi)進(jìn)行。產(chǎn)品經(jīng)過全面清洗，真空干燥后每片單獨(dú)真空包裝，真空袋封口要平整無貫通，真空袋無真空泄露。8.2.2外包裝采用紙盒或中空盒包裝。包裝盒內(nèi)應(yīng)有防碰撞措施。將隨行文件用塑封袋裝好后粘貼于包裝盒內(nèi)。8.2.3包裝產(chǎn)品應(yīng)保存于清潔的環(huán)境中。8.2.4運(yùn)輸及貯存過程中，應(yīng)防震、防潮、防壓、防止二次污染。8.3隨行文件每批產(chǎn)品應(yīng)附有隨行文件，其中除應(yīng)包括供方信息、產(chǎn)品信息、出廠日期或包裝日期外，還宜包括：a)產(chǎn)品合格證，內(nèi)容如下：l檢驗(yàn)項(xiàng)目及其結(jié)果或檢驗(yàn)結(jié)論；l批量或批號；l檢驗(yàn)日期；l檢驗(yàn)員簽名或蓋章。b)產(chǎn)品使用說明：正確搬運(yùn)、使用、貯存方法等；c)其他。9訂貨單內(nèi)容需方可根