數(shù)控機床幾何精度檢測工具及使用方法課件

精度檢測工量具及使用1數(shù)控機床幾何精度檢測工具及使用方法課件5/8/2024

數(shù)控機床幾何精度檢驗具有重要的實際意義，不僅需要精密水平儀、平尺、角尺、檢驗棒、指示表（如千分表、百分表、杠桿表）和激光干涉儀等，還需要一些調整工具。為完成數(shù)控機床調平和幾何精度檢驗，現(xiàn)介紹常用的工具、量具和檢具。

2數(shù)控機床幾何精度檢測工具及使用方法課件5/8/2024

常用工具有扳手類、螺釘旋具、鉗子、錘子、銅棒、鋁棒、千斤頂、油壺、油槍、撬棍等，其中扳手包括活扳手、呆扳手、梅花扳手、內六角扳手、扭力扳手、成套手動套筒扳手和鉤型扳手等，常用的螺釘旋具有一字槽螺釘旋具和十字槽螺釘旋具，其實物和功能見表1-1。一、常用工具3數(shù)控機床幾何精度檢測工具及使用方法課件5/8/2024

表1-1常用工具的實物和功能

1）活扳手2）呆扳手3）梅花扳手開口寬度可以調節(jié)，能緊固或松開一定尺寸范圍內的六角頭或方頭螺栓、螺釘和螺母GB/T4440-2008活扳手雙頭呆扳手用于緊固、拆卸兩種尺寸的六角頭、方頭螺栓和螺母GB/T4393-2008呆扳手、梅花扳手、兩用扳手技術規(guī)范用于擰緊和松開兩種尺寸的六角頭螺栓、螺母，扳手可以從多種角度套入六角頭，特別適于工作空間狹小、位于凹處的場合4）內六角扳手5）扭力扳手6）手動套筒扳手供緊固或拆卸內六角螺釘用GB/T5356-2008內六角扳手與套筒扳手的套筒頭相配，緊固六角頭螺栓、螺母，用于對擰緊扭矩有明確規(guī)定的場合GB/T15729-2008手用扭力扳手通用技術條件除具有一般扳手功能外，特別適用旋轉空間狹窄或深凹的地方4數(shù)控機床幾何精度檢測工具及使用方法課件5/8/20247）鉤形扳手8）一字槽螺釘旋具9）十字槽螺釘旋具專用于扳動在圓周方向上開有直槽或孔的圓螺母用于緊固或拆卸一字槽形的螺釘，GB/T10635-2003螺釘旋具通用技術條件用來緊固或拆卸十字槽形的螺釘和旋桿，GB/T10635-2003螺釘旋具通用技術條件10）鋼絲鉗和尖嘴鉗11）錘子12）銅棒和鋁棒用于夾持或彎折薄形片及金屬絲材；在較窄小的工作空間夾持工件，用于夾持小零件和扭轉細金屬絲用于一般錘擊，也可平整部件或零件用銅棒主要用于敲擊機床部件，銅棒較軟，不會損壞零件；鋁棒比銅棒輕，敲起來力量小13）液壓千斤頂14）油壺和油槍15）撬棍利用油液的靜壓力來頂舉重物，是數(shù)控機床安裝常用的一種起重或頂壓的手工工具，其行程有限具有操作簡單，攜帶方便，使用范圍廣的優(yōu)點是調整機床水平的輔助工具，本撬棍是搭配組合爪式起重裝置表1-1常用工具實物和功能

續(xù)5數(shù)控機床幾何精度檢測工具及使用方法課件5/8/2024二、量具、檢具及工裝

（一）常用量具、檢具及工裝的簡介1.指示表

檢驗數(shù)控機床幾何精度的指示器有百分表、千分表和杠桿表。百分表可檢驗數(shù)控機床幾何精度，其分度值為0.01mm。百分表的測量范圍一般有0-3mm、0-5mm、0-10mm，特殊情況下有0-20mm、0-30mm，甚至還有0-50、0-100mm大量程的百分表，在檢驗數(shù)控機床幾何精度中常用0-5和0-10mm規(guī)格的百分表。還有數(shù)顯百分表，常用規(guī)格是0-12.7mm。千分表的讀數(shù)值為0.001mm，常用測量范圍為0-1mm。數(shù)顯千分表的規(guī)格是0-12.7mm，示值分辨力0.001mm。杠桿表有機械式和電子數(shù)顯式，其規(guī)格有杠桿百分表和杠桿千分表，杠桿百分表的分度值為0.01mm，杠桿千分表的分度值為0.001mm和0.002mm。常用量具的實物和功能見表1-2。6數(shù)控機床幾何精度檢測工具及使用方法課件5/8/2024表1-2常用量具的實物和功能1）百分表2）數(shù)顯百分表3）千分表百分表的外形和內部結構見上，主要用于直接或比較測量工件的長度尺寸、幾何形狀偏差，也用于檢驗機床幾何精度或調整加工工件裝夾位置偏差

高清晰度顯示，任意位置測量、米制和英制單位轉換、任意位置清零，具有精度高、讀數(shù)直觀和可靠等特點千分表組成部件有：主指針1、轉數(shù)指示盤2、防塵帽3、表盤4、轉數(shù)指針5、表圈6、套筒7、量桿8、測頭97數(shù)控機床幾何精度檢測工具及使用方法課件5/8/20244）數(shù)顯千分表5）杠桿表6）數(shù)顯杠桿表以數(shù)字方式顯示的千分表，可以任意位置設置、起始值設置可滿足特殊要求、公差值設置可進行公差判斷、公英制轉換適用于測量百分表難以測量的小孔、凹槽、孔距和坐標尺寸等。杠桿百分表是一種借助于杠桿-齒輪或杠桿-螺旋傳動機構，將測桿擺動變?yōu)橹羔樆剞D運動的指示式量具，其測量范圍一般為0-0.8mm模擬及數(shù)字雙重顯示，數(shù)字分辨率為0.01mm/0.001mm，可選標尺分度值為0、20、50μm/1、2、5μm，公英制制式轉換，標稱、最小、最大、最大-最小的模式顯示和存儲，自動關閉電源表1-2常用量具續(xù)8數(shù)控機床幾何精度檢測工具及使用方法課件5/8/20247）平頭測量頭8）平頭千分表9）平頭數(shù)顯百分表安裝在百分表或者千分表測量頭上，方便找到主軸檢驗棒的測量位置用于檢驗數(shù)控機床主軸徑向跳動用于檢驗數(shù)控機床主軸徑向跳動表1-2常用量具續(xù)9數(shù)控機床幾何精度檢測工具及使用方法課件5/8/20242.常用檢具

檢驗數(shù)控機床幾何精度的常用檢具有平尺、方尺、角尺、等高塊、方筒、檢驗棒、自準直儀，水平儀等，還有檢驗零件幾何精度的刀口角尺等，以及檢驗數(shù)控機床性能的點溫計等。常用檢具的實物和功能見表1-3。10數(shù)控機床幾何精度檢測工具及使用方法課件5/8/2024

表1-3常用檢具的實物和功能

1）平尺2）矩形角尺（鑄鐵和花崗石）3）三角形角尺檢驗直線度或平面度用作基準的量尺具有垂直平行的框式組合，檢驗2個坐標軸線的垂直度誤差與平尺和等高塊共同檢驗坐標軸垂直度誤差4）柱形角尺5）等高塊6）可調等高塊圓柱角尺是檢測垂直度的專用檢具，常用規(guī)格：80mm*400mm和100mm*500mm等高塊是六個工作面的正方體或長方體，通常三塊為一組，對面工作面互相平行，相鄰工作面互相垂直，用于機床調整水平用于檢驗加工中心直線度誤差或者平面度誤差等11數(shù)控機床幾何精度檢測工具及使用方法課件5/8/20247）方筒8）數(shù)控車床主軸用莫氏錐柄檢驗棒9）數(shù)控車床用長檢驗棒檢驗坐標軸線的直線度或者垂直度誤差檢驗數(shù)控車床主軸和尾座部件的跳動及同軸度誤差、平行度誤差檢驗數(shù)控車床主軸和尾座部件的等高度10）銑床或加工中心主軸用檢驗棒（帶拉釘）11）磁性鋼球（中心處）12）平盤（飛機胎）檢驗數(shù)控銑床或加工中心主軸徑向跳動、主軸軸線與Z軸軸線的平行度誤差等裝入主軸短檢驗棒的中心孔中，檢驗主軸軸向竄動用于數(shù)控車床刀架X向移動對主軸軸線的垂直度誤差

表1-3常用檢具

續(xù)12數(shù)控機床幾何精度檢測工具及使用方法課件5/8/202413）自準直儀14）水平儀（框式、條狀15）刀口尺用于測量數(shù)控機床導軌的直線度誤差，與多面棱鏡聯(lián)用可以測量圓分度誤差檢驗數(shù)控機床水平、加工中心工作臺面的平面度誤差主要用于以光隙法進行直線度測量和平面度測量，也可與量塊一起16)刀口角尺17）步距規(guī)18）點溫計刀口角尺是精確檢驗工件垂直度誤差的一種測量工具，也可以對工件進行垂直劃線檢驗定位精度和重復定位精度的量具

精度高，響應時間迅速，可以測量機床部件表面溫度表1-3常用檢具

續(xù)13數(shù)控機床幾何精度檢測工具及使用方法課件5/8/202419）聲級計20）量塊在聲頻范圍內，測量聲級的儀器量塊是由兩個相互平行的測量面之間的距離來確定其工作長度的高精度量具，其長度為計量器具的長度標準表1-3常用檢具

續(xù)14數(shù)控機床幾何精度檢測工具及使用方法課件5/8/20243.常用工裝

（1）綜合橋板

如圖1-1所示，綜合橋板用于數(shù)控車床幾何精度檢驗。例如檢驗數(shù)控車床主軸跳動誤差時，橋板上放置磁力表座及百分表；檢驗數(shù)控車床導軌精度時，橋板上放置精密水平儀。15數(shù)控機床幾何精度檢測工具及使用方法課件5/8/2024圖1-1綜合橋板16數(shù)控機床幾何精度檢測工具及使用方法課件5/8/2024

（2）激光干涉儀

如圖1-2所示，激光干涉儀的主要組成部件有激光頭、直線度測量組件、垂直度測量組件和安裝附件等。圖1-2激光干涉儀的主要組成部件17數(shù)控機床幾何精度檢測工具及使用方法課件5/8/2024（二）常用量具、檢具和工裝的使用方法1.使用百分表和千分表的注意事項（1）使用前，應檢查測量桿活動的靈活性，即輕推測量桿時，測量桿在套筒內的移動要靈活，沒有卡死現(xiàn)象，每次手松開后，指針能回到原來的刻度位置。（2）使用時，必須把百分表或千分表固定在磁力表座上，否則容易造成測量結果不準確，或摔壞百分表，但是夾緊力不能過大，以免因套筒變形而使測量桿活動不靈活。（3）測量時，用0-5mm規(guī)格的百分表要有0.3-1mm的預壓縮量，用0-1mm規(guī)格的千分表要有0.2-0.4mm的預壓縮量，保持一定的初始測力，以免無法測出負偏差。（4）測量時，不要使測量桿的行程超過它的測量范圍，不要使表頭突然撞到工件上，也不能用百分表/千分表測量粗糙度大的表面或有顯著凹凸不平的工作面。（5）測量平面時，百分表/千分表的測量桿要與平面垂直，測量圓柱形工件時，測量桿要與工件的中心線垂直，否則會使測量桿活動不靈或測量結果不準確。（6）為方便讀數(shù)，在測量前一般都讓大指針指到刻度盤的零位。18數(shù)控機床幾何精度檢測工具及使用方法課件5/8/20242.數(shù)顯千分表的使用方法（1）準備

1）用潔凈柔軟的不脫落棉織物清潔測量表面各部位。2）檢查各按鍵是否靈活、有效，示值是否清楚穩(wěn)定，筆劃有無缺斷現(xiàn)象。（2）操作1）打開電源（按“ZERO/ON”鍵可打開電源）。2）按“In/mm”鍵選擇單位制（米制時有“mm”字符出現(xiàn)，英制時有“In”字符出現(xiàn)）。3）按“ABS/PRESET”鍵使數(shù)值置零，即可開始測量。4）長按“ZERO/ON”鍵斷電。19數(shù)控機床幾何精度檢測工具及使用方法課件5/8/2024

3.杠桿表

杠桿百分表體積較小，適合檢驗數(shù)控車床主軸孔的徑向圓跳動誤差、檢驗加工中心中央T形槽的直線度誤差等。如圖1-3所示，杠桿千分表的測量桿軸線與被測工件表面的夾角愈小，誤差就愈小。如果由于測量需要，α角無法調小時(當α>15°)，應對其測量結果應進行修正。20數(shù)控機床幾何精度檢測工具及使用方法課件5/8/2024圖1-3杠桿千分表測桿軸線位置引起的測量誤差當平面上升距離為a時，杠桿千分表擺動的距離為b，也就是杠桿千分表的讀數(shù)為b，因為b>a，所以指示讀數(shù)增大。具體修正計算式如下：例如，用杠桿千分表測量機床工作臺平面時，測量桿軸線與工作臺表面夾角α為30°，測量讀數(shù)為0.048mm，求正確測量值。

解：

21數(shù)控機床幾何精度檢測工具及使用方法課件5/8/20244.自準直儀

利用自準直儀可以精確地測量機床或儀器導軌的直線度誤差，也可以測量平板等的平面度誤差，再配上光學直角器和帶磁性座的反射鏡等附件，還可以測量垂直導軌的直線度誤差，以及垂直導軌和水平導軌之間的垂直度誤差，與多面體聯(lián)用可以測量圓分度誤差。22數(shù)控機床幾何精度檢測工具及使用方法課件5/8/2024（1）檢測原理

自準直儀原理如圖1-4所示，光線通過位于物鏡焦平面的分劃板后，經(jīng)物鏡形成平行光。平行光被垂直于光軸的反射鏡反射回來，再通過物鏡后在焦平面上形成分劃板標線像與標線重合。當反射鏡傾斜一個微小角度α角時，反射回來的光束就傾斜2α角。圖1-4自準直儀原理圖1-5十字標線自準直儀的光學系統(tǒng)是由光源發(fā)出的光經(jīng)分劃板、半透反射鏡和物鏡后射到反射鏡上。如反射鏡傾斜，則反射回來的十字標線像偏離分劃板上的零位，如圖1-5所示。23數(shù)控機床幾何精度檢測工具及使用方法課件5/8/2024（2）使用方法

以自準直儀與多面棱鏡聯(lián)合使用檢驗數(shù)控轉臺分度誤差為例，說明其使用方法，見圖1-6。檢驗數(shù)控轉臺分度誤差時，先清潔數(shù)控轉臺和多面棱鏡座相關部位，安裝多面棱鏡座并對其打表找正，使其與轉臺同軸（0.005mm內），將多面棱鏡安裝在鏡座上，并對其進行緊固，然后安裝自準直儀支架，將自準直儀置于支架上，并且將自準直儀電源線接好，調整水平和角度，完成對光。轉動數(shù)控轉臺，通過目鏡轉動手輪，使其指示的黑線在亮十字像中間，依次記錄數(shù)據(jù)，用公式計算出數(shù)控轉臺分度誤差。圖1-6自準直儀檢驗數(shù)控轉臺分度誤差24數(shù)控機床幾何精度檢測工具及使用方法課件5/8/20245.水平儀（1）工作原理

水平儀原理是利用氣泡在玻璃管內，氣泡保持在最高位置，如圖1-7所示，表明該平面左端高于右端。圖1-7精密水平儀氣泡25數(shù)控機床幾何精度檢測工具及使用方法課件5/8/20241）水平儀刻度示值。實訓室的水平儀靈敏度是0.02mm/m，此刻度示值是以1米為基長的傾斜值為0.02mm/1000mm，如圖1-8所示。圖1-8水平儀刻度示值為0.02/10002）測量時使水平儀工作面緊貼在被測表面，待氣泡完全靜止后方可進行讀數(shù)。如需測量長度為L的實際傾斜值，則可通過下式進行計算：

實際傾斜值＝刻度示值×L×偏差格數(shù)

例如：刻度示值為0.02mm/m，L＝200mm，偏差格數(shù)為2格。

則：實際傾斜值＝0.02mm/1000mm×200mm×2＝0.008mm。

為避免由于水平儀零位不準而引起的測量誤差，必須在使用前對水平儀的零位進行檢查或調整。26數(shù)控機床幾何精度檢測工具及使用方法課件5/8/2024（2）使用方法

在使用水平儀時要注意下列事項。1）使用前，必須先將被測量面和水平儀的工作面擦試干凈，并進行零位檢查。圖1-9調整工具和調整孔2）測量時必須待氣泡完全靜止后方可讀數(shù)。3）讀數(shù)時，應垂直觀察，以免產(chǎn)生視差。4）使用完畢，應進行防銹處理，放置時，注意防振、防潮。27數(shù)控機床幾何精度檢測工具及使用方法課件5/8/20246.量塊量塊是一種精密的標準量具，它主要用于調整、校正或檢驗量儀、量具及各種精密工件。其精度等級分為K級、0級、1級、2級和3級。量塊的外形一般為長方體，它具有兩個經(jīng)精密加工、表面粗糙度值極小的平行測量面，兩測量面之間的距離為測量尺寸，也就是量塊的尺寸。

量塊的使用方法如下：（1）為了工作方便和減少測量積累誤差，應盡量選最少的塊數(shù)。83塊一套的量塊，選用一般不超過4塊；46塊一套的量塊，選用一般不超過5塊。（2）計算時，第一塊應根據(jù)組合尺寸的最后一位數(shù)字選取，以后各塊以此類推。例如，所需要測量的尺寸為48.245mm（組合尺寸），從87塊一套的盒中選?。?.005mm、1.24mm、6mm和40mm四塊。（3）可利用量塊附件和量塊調整尺寸，測量外徑、內徑和高度。（4）為了保持量塊的精度，延長其使用壽命，一般不允許用量塊直接測量工件。28數(shù)控機床幾何精度檢測工具及使用方法課件5/8/20247.平尺平尺是具有一定精度的平直基準線的實體，參照它可測定表面的直線度或平面度誤差。平尺通常是水平使用，或依靠其側面使工作面垂直，或依靠支承使其工作面水平。使用平尺時，支承位置選擇應使自然撓度最小。如圖1-10a所示，對均勻橫截面的平尺，其支承應相隔5L/9，并位于距兩端2L/9處。如圖1-10b所示，如果平尺工作長度是500mm，最佳支承距離是300mm。當平尺不在最佳支承位置時，特別是在兩端時，應考慮自然撓度。

圖1-10平尺最佳支承位置a）均勻橫截面的平尺最佳支撐位置b）工作長度為500mm的平尺最佳支撐距離a）b）29數(shù)控機床幾何精度檢測工具及使用方法課件5/8/20248.檢驗棒檢驗棒代表在規(guī)定范圍內所要檢查的軸線，用它檢查軸線的實際徑向跳動或檢查軸線相對機床其他部件的位置。（1）帶錐柄檢驗棒1）規(guī)格如圖1-11所示，均有間隔90°的4條基準線r（1、2、3和4），每根檢驗棒應提供一個拔出螺母。圖1-11帶錐柄檢驗棒2）使用注意事項

檢驗棒的錐柄和機床主軸的錐孔必須擦凈，以保證接觸良好；測量徑向跳動時，檢驗棒應在相應90°的4個位置依次插入主軸，誤差以4次結果的平均值計；檢查零部件側向位置精度或平行度誤差時，應將檢驗棒和主軸旋轉180°,依次在檢驗棒圓柱表面兩條相對的母線上進行檢測；檢驗棒插入主軸后，應稍等一些時間，以消除操作者手傳來的熱量，使溫度穩(wěn)定。30數(shù)控機床幾何精度檢測工具及使用方法課件5/8/2024（2）頂尖間的檢驗棒1）說明

如圖1-12所示，安裝在兩頂尖之間的圓柱檢驗棒則代表通過兩點間的一條直線。每端有4個位于兩垂直的軸向平面的標記和帶保護錐的中心孔。圖1-12安裝在兩頂尖之間的檢驗棒2）使用注意事項為檢查平行度，在檢驗棒圓柱體表面上的一條素線上測得讀數(shù)，然后將檢驗棒旋轉180°，在相對的素線上測得讀數(shù)，將檢驗棒調頭后在同樣的那條素線上再重復檢驗一遍。平行度誤差以4次讀數(shù)的平均值計。這種測量力法可以消除因檢驗棒本身不精確而引起的大部分誤差。31數(shù)控機床幾何精度檢測工具及使用方法課件5/8/20249.直角尺直角尺的基本型式有三角形、圓柱形和矩形（也稱方尺），如圖1-13所示，其尺寸一般不超過500mm。直角尺能方便測量機床垂直度公差從0.03mm/1000mm至0.05mm/1000mm的機床垂直度誤差，對于更小公差要求的垂直度，則應考慮所用直角尺帶來的誤差。圖1-13角尺的基本型式a）三角直角尺b）圓柱直角尺c）棱柱直角尺d）矩形直角尺32數(shù)控機床幾何精度檢測工具及使用方法課件5/8/202410.數(shù)控機床墊鐵數(shù)控機床墊鐵有小型數(shù)控機床墊鐵和大型數(shù)控機床墊鐵，如圖1-14a所示小型數(shù)控機床墊鐵是用于小型機床的支承安裝和調整水平，見圖1-14b所示大型數(shù)控機床墊鐵多為三層結構，用于大型機床的支承安裝和調整水平。a)b)圖1-14數(shù)控機床墊鐵33數(shù)控機床幾何精度檢測工具及使用方法課件5/8/202410墊鐵

數(shù)控機床調整墊鐵是按JB/T6607-2007標準制造，用于數(shù)控機床支承安裝和調整水平。數(shù)控機床墊鐵的使用方法如下。（1）根據(jù)數(shù)控機床重量選好墊鐵型號和數(shù)量。（2）將所需墊鐵放入數(shù)控機床地腳孔下，穿入螺栓，旋至和數(shù)控機床床身底面接實。（3）安裝調平規(guī)范進行數(shù)控機床水平調整，螺栓順時針旋轉，數(shù)控機床抬起。（4）調好數(shù)控機床水平后，旋緊螺母。（5）因為墊鐵的橡膠存在蠕變現(xiàn)象，第一次使用的兩星期后，需要再調整數(shù)控機床水平。34數(shù)控機床幾何精度檢測工具及使用方法課件5/8/202411.磁力表座磁性表座如圖1-15所示。磁性表座有兩個光面，一個是帶V形槽，使用磁力表座時用其吸附在圓柱面或平面上。a)b)圖1-15磁力表座實物圖和原理圖35數(shù)控機床幾何精度檢測工具及使用方法課件5/8/2024（三）量具的維護和保養(yǎng)（1）在數(shù)控機床上檢驗幾何精度時，數(shù)控機床部件運行要低速，保護量具的精度，且避免事故。

（2）檢驗幾何精度前，應把量具的測量面和機床部件的測量表面都要擦拭干凈，以免因有臟物存在而影響測量精度。（3）量具在使用過程中，要放在安全位置，不要和工具如扳手、錘子等堆放在一起，以免損壞量具。也不要隨便放在數(shù)控機床上，防止因數(shù)控機床振動而使量具掉下來摔壞。（4）量具是檢驗用具，絕對不能作為其他工具隨意使用。（5）溫度對檢驗結果有影響，盡量保持在20℃左右下進行測量。溫度對量具精度影響很大，量具不應放在陽光下或床頭箱上，避免使量具受熱變形而失去精度。36數(shù)控機床幾何精度檢測工具及使用方法課件5/8/2024（三）量具的維護和保養(yǎng)（6）不要把精密量具放在磁場附近，例如數(shù)控磨床的磁性工作臺上，以免使量具感磁。（7）發(fā)現(xiàn)精密量出現(xiàn)問題時，如量具表面不平、有毛刺、有銹斑以及刻度不準、尺身彎曲變形、表桿活動不靈活等，使用者不應當自行拆修，更不允許自行用錘子敲、銼刀銼、砂紙打光等辦法修理，以免增大量具的誤差，應該主動送計量站檢修，并經(jīng)檢定量具精度后再繼續(xù)使用。（8）量具使用后，應及時擦拭干凈，除不銹鋼量具或有保護鍍層者外，金屬表面應涂上一層防銹油，放在專用的盒子里，保存在干燥的地方，以免生銹。（9）百分表、千分表、杠桿表在使用后，要擦凈裝盒，絕對不能任意涂擦油類，以防粘上灰塵影響靈活性。（10）精密量具應實行定期檢定和保養(yǎng)，長期使用的精密量具，要定期送計量站進行保養(yǎng)和檢定精度，以免因量具的示值誤差而造成檢驗超差。37數(shù)控機床幾何精度檢測工具及使用方法課件5/8/2024三、激光干涉儀激光干涉儀是利用激光的波長作為長度最小單位，對數(shù)控設備(加工中心、數(shù)控車床、數(shù)控銑床等）的位置精度（反向間隙、定位精度、重復定位精度等）、幾何精度（俯仰扭擺角度、直線度、垂直度、平行度等）進行精密測量的精密測量儀器。38數(shù)控機床幾何精度檢測工具及使用方法課件5/8/20241.激光及其重要特性激光輸出光波可視為一束正弦波，例如雷尼紹XL-80激光頭是一氦氖激光器（He、Ne)，其激光波長為0.633μm，如圖1-16所示。圖1-16激光輸出光波激光具有以下三個重要特性：

（1）激光波長非常穩(wěn)定，可以滿足精密測量的要求。

（2）激光波長非常短，可以用于高精度測量。

（3）激光具有干涉特性。39數(shù)控機床幾何精度檢測工具及使用方法課件5/8/20242.激光干涉儀測量距離的原理

測量技術的原理是把兩束波長相同的光波重合在一起形成干涉。其合成結果因兩個光波相位差不同而不同，用該相位差來確定兩個光波的光路差值的變化。當兩個相干光束波形在相同相位時，其合成結果被稱作相長干涉，輸出波的幅值等于兩個輸入波幅值之和，如圖1-17a所示。a）

b）圖1-17光波原理當兩個相干光束波形在相反相位時，其合成結果被稱作相消