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文檔簡介

羥基重要意義：影響石英玻璃光譜透過、激光閾值、耐溫性能；對玻璃抗輻照性能是有益的3.3.1光學石英玻璃：羥基含量第三章：光學石英玻璃關鍵性能探索結構形式吸收位置（cm-1）備注OH3750表面自由羥基SiOH3672、3663羥基伸縮振動OH--OSi3550氫鍵羥基H2O3225自由水SiH2250硅氫鍵H-H4142氫分子1#、3#：富氫2#、4#：富氧355nm：富氫沉積閾值較高248nm：富氧沉積閾值較高3.3.2羥基含量對激光閾值的影響第三章：光學石英玻璃關鍵性能探索3.3.3羥基含量對激光閾值的影響機理分析第三章：光學石英玻璃關鍵性能探索700-800ppm損傷閾值較高>900ppm孤立羥基在輻照下移動，降低閾值在采用工藝手段調節(jié)熔石英羥基等，進一步提高損傷閾值方面，熱處理是一種可行的方法3.3.3羥基含量對激光閾值的影響機理分析3.3.4光學石英玻璃的羥基含量對弱吸收影響第三章：光學石英玻璃關鍵性能探索OH-羥基降低石英玻璃的耐溫性能高OH-材料在高溫下會形成R-羥基，能有效地包裹堿金屬，防止芯片污染Si-O-Si+H2O---Si-OH+Si-OH3.3.5光學石英玻璃的羥基對耐溫性能影響第三章：光學石英玻璃關鍵性能探索3.3.5光學石英玻璃的羥基的產生第三章：光學石英玻璃關鍵性能探索羥基一部分來源：

石英原料

石英玻璃的熔制工藝

控制羥基：控制原料+選擇工藝羥基存在狀態(tài)：

孤立羥基

相鄰羥基對羥基

強氫鍵羥基石英玻璃總結石英玻璃基本概述石英玻璃的制備工藝。一代工藝、一代裝備、一代產品通過均化處理可以提高石英玻璃光學均勻性通過摻雜降

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