傳感器與檢測(cè)技術(shù)第2章 傳感器概述

第2章傳感器概述 2.1傳感器的根本概念

2.1.1傳感器的定義與組成

1.傳感器的定義

傳感器的英文是“Sensor〞,來(lái)源于拉丁語(yǔ)“Sense〞,意思是“感覺(jué)〞、“知覺(jué)〞等。傳感器的通俗定義可表述為“信息拾取的器件或裝置〞。其嚴(yán)格定義在國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB7665—87中的表述是“能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定的規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用信號(hào)的器件或裝置,通常由敏感元件和轉(zhuǎn)換元件組成〞,包含以下幾方面的意思:

(1)傳感器首先是一種測(cè)量器件或裝置,它的作用表達(dá)在測(cè)量上。2.傳感器的組成

傳感器的種類(lèi)繁多,其工作原理、性能特點(diǎn)和應(yīng)用領(lǐng)域各不相同,故結(jié)構(gòu)、組成差異很大。由于電量具有便于傳輸、轉(zhuǎn)換、處理、顯示等特點(diǎn),因此傳感器輸出信號(hào)通常是電信

號(hào)形式(如:電壓、電流等各種電參數(shù)),即傳感器將非電量轉(zhuǎn)換成電量輸出。所以傳感器通常由敏感元件、轉(zhuǎn)換元件及根本轉(zhuǎn)換電路三局部組成,如圖2－1所示。圖2－1傳感器組成框圖2.1.2傳感器的分類(lèi)

1.按被測(cè)物理量分類(lèi)

按被測(cè)量的性質(zhì)進(jìn)行分類(lèi),有利于準(zhǔn)確表達(dá)傳感器的用途,對(duì)人們系統(tǒng)地使用傳感器很有幫助。如位移傳感器用于測(cè)量位移等。本書(shū)主要就是按這一分類(lèi)方法作為編寫(xiě)體系來(lái)

介紹各種類(lèi)型的傳感器的。

2.按傳感器工作原理分類(lèi)

按工作原理分類(lèi)是傳感器最常見(jiàn)的分類(lèi)方法,這種分類(lèi)方法將物理、化學(xué)、生物等學(xué)科的原理、規(guī)律和效應(yīng)作為分類(lèi)的依據(jù),有利于對(duì)傳感器工作原理的闡述和對(duì)傳感器的深

入研究與分析。如電感式傳感器、電容式傳感器等。

3.按傳感器轉(zhuǎn)換能量的情況分類(lèi)

按照傳感器的能量轉(zhuǎn)換情況,傳感器可分為能量控制型和能量轉(zhuǎn)換型傳感器兩大類(lèi)。

①能量轉(zhuǎn)換型:又稱發(fā)電型,不需外加電源而將被測(cè)能量轉(zhuǎn)換成電能輸出,這類(lèi)傳感器有壓電式、熱電偶、光電池等。

②能量控制型:又稱參量型,需外加電源才能輸出電能量。這類(lèi)傳感器有電阻、電感、霍爾式等傳感器以及熱敏電阻、光敏電阻、濕敏電阻等。4.按傳感器結(jié)構(gòu)分類(lèi)

按傳感器的結(jié)構(gòu)構(gòu)成可分為結(jié)構(gòu)型、物性型和復(fù)合型傳感器。

(1)結(jié)構(gòu)型:被測(cè)參數(shù)變化引起傳感器的結(jié)構(gòu)變化,使輸出電量變化,利用物理學(xué)中場(chǎng)的定律和運(yùn)動(dòng)定律等構(gòu)成,如電感式、電容式。這類(lèi)傳感器的特點(diǎn)是其性能以傳感器中元件相對(duì)結(jié)構(gòu)(位置)的變化為根底,而與其材料特性關(guān)系不大。

(2)物性型:利用某些物質(zhì)的某種性質(zhì)隨被測(cè)參數(shù)變化的原理構(gòu)成。傳感器的性能與材料密切相關(guān),如壓電傳感器、各種半導(dǎo)體傳感器等。這類(lèi)傳感器的“敏感元件〞就是材料

本身,無(wú)所謂“結(jié)構(gòu)變化〞,因此,通常具有響應(yīng)速度快的特點(diǎn),而且易于實(shí)現(xiàn)小型化、集成化和智能化。

(3)復(fù)合型傳感器那么是結(jié)構(gòu)型和物性型傳感器的組合,同時(shí)兼有二者的特征。

5.按傳感器輸出信號(hào)的形式分類(lèi)

(1)模擬式:傳感器輸出為模擬量。

(2)數(shù)字式:傳感器輸出為數(shù)字量,如編碼器式傳感器。

下面列出根據(jù)被測(cè)量、測(cè)量原理、傳感基理、輸出形式和電源形式等進(jìn)行的分類(lèi)表,如表2－1所示。2.1.3傳感器的命名與代號(hào)

1.傳感器的命名2.傳感器的代號(hào)圖2－2傳感器產(chǎn)品代號(hào)及格式

(1)主稱:傳感器代號(hào)C。

(2)被測(cè)量:用一個(gè)或兩個(gè)漢語(yǔ)拼音的第一個(gè)大寫(xiě)字母標(biāo)記。常用的被測(cè)量代碼如表2－3所示。

表2－3被測(cè)量代號(hào)舉例

(3)轉(zhuǎn)換原理:用一個(gè)或兩個(gè)漢語(yǔ)拼音的第一個(gè)大寫(xiě)字母標(biāo)記。轉(zhuǎn)換原理代碼如表2－4所示。

(4)序號(hào):用一個(gè)阿拉伯?dāng)?shù)字標(biāo)記,廠家自定,用來(lái)表征產(chǎn)品設(shè)計(jì)特性、性能參數(shù)、產(chǎn)品系列等。當(dāng)產(chǎn)品性能參數(shù)不變,僅在局部有改動(dòng)或變動(dòng)時(shí),其序號(hào)可在原序號(hào)后面順序地加注大寫(xiě)字母A、B、C等(其中I、Q不用)。

例如:應(yīng)變式位移傳感器:CWYYB20;光纖壓力傳感器:CYGX2。表2－4轉(zhuǎn)換原理代號(hào)舉例圖2－3傳感器的圖形符號(hào)在使用這種圖形符號(hào)時(shí)應(yīng)注意以下幾個(gè)問(wèn)題:

(1)表示轉(zhuǎn)換原理的限定符號(hào)應(yīng)寫(xiě)進(jìn)正方形內(nèi),表示被測(cè)量的限定符號(hào)應(yīng)寫(xiě)進(jìn)三角形內(nèi),如圖2－4(a)所示。

(2)無(wú)須強(qiáng)調(diào)具體的轉(zhuǎn)換原理時(shí),傳感器的圖形符號(hào)可以簡(jiǎn)化,如圖2－4(b)所示。

(3)對(duì)于傳感器的電氣引線,應(yīng)根據(jù)接線圖設(shè)計(jì)需要,從正方形的三條邊線垂直引出。

如果引線需要接地或接殼體、接線板,應(yīng)按照GB4728.

2中的規(guī)定繪制,如圖2－5所示。圖2－4傳感器的圖形符號(hào)說(shuō)明圖2－5傳感器的電氣引線圖2－6用文字符號(hào)表示方式圖2－7典型傳感器的圖形符號(hào)

(2)石英晶體材料。石英晶體材料包括壓電石英晶體和熔凝石英晶體(又稱石英玻璃),它具有極高的機(jī)械品質(zhì)因數(shù)和非常好的溫度穩(wěn)定性。同時(shí),天然的石英晶體還具有良好的壓電特性。因此,可采用石英晶體材料來(lái)研制一些微型化的高精密傳感器。3)傳感器的多功能化開(kāi)展

一般的傳感器多為單個(gè)參數(shù)測(cè)量的傳感器,近年來(lái),出現(xiàn)了利用一個(gè)傳感器實(shí)現(xiàn)多參數(shù)測(cè)量的多功能傳感器。如一種同時(shí)檢測(cè)Na+、K+和H+離子的傳感器,可檢測(cè)血液中的鈉、鉀和氫離子的濃度,對(duì)診斷心血管疾患非常有意義。該傳感器的尺寸為2.5mm×0.5mm×0.5mm,可直接用導(dǎo)管送到心臟內(nèi)進(jìn)行檢測(cè)。

氣體傳感器在多功能方面的進(jìn)步最具代表性。如一種多功能氣體傳感器能夠同時(shí)測(cè)量H2S、C8H18、C10H20O、NH3四種氣體。該傳感器的敏感結(jié)構(gòu)共有6個(gè)用不同敏感材料制成的局部,其敏感材料分別是ZnO、SnO2、WO3、ZnO(Pt)、WO3(Pt)、SnO2(Pb),它們分別對(duì)上述四種被測(cè)氣體均有響應(yīng),但其相應(yīng)的靈敏度差異很大,利用其從不同敏感局部輸出的差異,即可測(cè)出被測(cè)氣體的濃度。

2.2傳感器的一般特性

2.2.1傳感器的靜態(tài)特性

當(dāng)被測(cè)對(duì)象處于靜態(tài),也即傳感器的輸入量為常量或隨時(shí)間作緩慢變化時(shí),傳感器輸出與輸入之間呈現(xiàn)的關(guān)系稱為靜態(tài)特性。靜態(tài)特性是通過(guò)在使用前對(duì)傳感器進(jìn)行標(biāo)定或定期校驗(yàn)獲得的。靜態(tài)標(biāo)準(zhǔn)工作條件規(guī)定是指沒(méi)有加速度、振動(dòng)、沖擊(除非這些參數(shù)本身就是被測(cè)量);環(huán)境溫度一般為室溫

(20±5)℃;相對(duì)濕度不大于85%;大氣壓力為(10137±7800)Pa((760±60)mmHg)的情況。

由高精度輸入量發(fā)生器給出一系列數(shù)值的、準(zhǔn)確的、不隨時(shí)間變化的輸入量xi(i=1,2,…,n),用高精度測(cè)量系統(tǒng)測(cè)定被校傳感器對(duì)應(yīng)輸出量yi(i=1,2,…,n),從而得出

(yi,xi)系列值得出的數(shù)表、曲線或所求得的數(shù)學(xué)表達(dá)式表征的被校傳感器的輸入輸出關(guān)系。1.靈敏度(Sensitivity)

傳感器靈敏度是傳感器輸出變化量與引起此變化的輸入變化量之比,表示傳感器對(duì)被測(cè)量變化的反響能力,如圖2－8所示。圖2－8靈敏度從圖2－8(a)可以看出,線性傳感器的特性曲線是一條直線,其靈敏度是該直線的斜率,為一個(gè)常數(shù)。直線的斜率越大,線性傳感器的靈敏度K

越高,即(2－1)從如圖2－8(b)可以看出,對(duì)于非線性傳感器,其靈敏度K

是一個(gè)隨工作點(diǎn)而變的變量,不是常數(shù),即(2－2)從靈敏度定義可知,靈敏度是一個(gè)有量綱的數(shù)。當(dāng)討論某一靈敏度時(shí),必須確切地說(shuō)明它的單位。例如,壓力傳感器的靈敏度用KP表示,單位是mV/Pa。假設(shè)輸入與輸出量的量綱相同,那么靈敏度無(wú)量綱,此時(shí)常用“放大倍數(shù)〞一詞代替靈敏度。當(dāng)某檢測(cè)系統(tǒng)是由靈敏度分別為K1、K2、K3等多個(gè)相互獨(dú)立的環(huán)節(jié)組成時(shí),系統(tǒng)的總靈敏度K為(2－3)式(2-3)說(shuō)明某檢測(cè)系統(tǒng)的總靈敏度等于各個(gè)環(huán)節(jié)靈敏度的乘積。2.線性度(Linearity)

傳感器的線性度是指?jìng)鞲衅鞯妮敵雠c輸入之間數(shù)量關(guān)系的線性程度。從傳感器的性能來(lái)看,希望其輸出與輸入的關(guān)系具有線性特性,這樣可以使顯示儀表刻度均勻,在整個(gè)測(cè)量范圍內(nèi)具有相同的靈敏度,并且不必采用線性化環(huán)節(jié),從而簡(jiǎn)化傳感器的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。但實(shí)際的傳感器由于存在著遲滯、蠕變、摩擦等因數(shù)的影響,使輸出與輸入的對(duì)應(yīng)關(guān)系為非線性,為了標(biāo)定和數(shù)據(jù)處理方便,要對(duì)傳感器的輸出與輸入的關(guān)系曲線進(jìn)行線性化處理。

在被測(cè)量處于穩(wěn)定狀態(tài)時(shí),假設(shè)傳感器的非線性不嚴(yán)重,輸入量變化范圍較小時(shí),可用一條直線(切線或割線)近似地代表實(shí)際曲線的一段,使傳感器的輸入輸出特性線性化,這種方法叫擬合直線法。傳感器的線性度也稱為非線性誤差γ

L,其表示方法是在全量程范圍內(nèi)實(shí)際特性曲線與擬合直線之間的最大偏差值ΔLmax與滿量程輸出值Y

FS(FS是FullScale滿量程的縮寫(xiě))之比的百分?jǐn)?shù)來(lái)表示,即(2－4)顯然,選取的擬合直線不同,所得的線性度值也不同。選擇擬合直線應(yīng)保證獲得盡量小的非線性誤差,并考慮使用與計(jì)算方便。常用的擬合直線方法有以下幾種:(1)理論直線法。通常取零點(diǎn)(0%)為起始點(diǎn),滿量程輸出(100%)為終止點(diǎn),連接這兩點(diǎn)的直線(y

=kx)即為理論直線。如圖29(a)所示,以傳感器的理論特性線作為擬合直線,它與實(shí)際測(cè)試值無(wú)關(guān)。該方法的優(yōu)點(diǎn)是簡(jiǎn)單、方便,但通常ΔLmax很大。

(2)端點(diǎn)線法。取傳感器標(biāo)定出的零點(diǎn)輸出平均值為起始點(diǎn),滿量程輸出平均值為終止點(diǎn),連接這兩點(diǎn)的直線(y=a0

+kx)為端基擬合直線。如圖2-9(b)所示,以此直線為基準(zhǔn)可計(jì)算出實(shí)際曲線與擬合曲線的偏差程度。這種方法很簡(jiǎn)便,但ΔLmax也很大。

(3)端點(diǎn)平移法。以傳感器校準(zhǔn)曲線兩端點(diǎn)間的連線平移所得的直線作擬合直線,該直線能保證傳感器正反行程校準(zhǔn)曲線對(duì)它的正、負(fù)偏差相等并且最小,如圖2-9(c)所示。

(4)最小二乘法。這種方法按最小二乘原理求取擬合直線,該直線能保證傳感器校準(zhǔn)數(shù)的殘差平方和最小。雖然最小二乘法的擬合精度很高,但校準(zhǔn)曲線相對(duì)擬合直線的最大

偏差絕對(duì)值并不一定最小,最大正、負(fù)偏差的絕對(duì)值也不一定相等。圖2－9不同的擬合方法

3.遲滯(Hysteresis)

傳感器的遲滯特性是在輸入量由小到大(正行程)及輸

入量由大到小(反行程)變化期間其輸入輸出特性曲線出現(xiàn)

的不重合程度。也就是說(shuō),盡管輸入為同一輸入量,但輸出

信號(hào)的大小卻不相等,這個(gè)差值稱為遲滯誤差γH,如圖

2－10所示。

傳感器的遲滯誤差的表示方法是用正、反向輸出量的最

大偏差ΔHmax與滿量程輸出YFS的之比的百分?jǐn)?shù)來(lái)表示,即(2－5)4.重復(fù)性(Repeatability)

重復(fù)性是指?jìng)鞲衅髟谳斎肓堪赐环较蜃魅砍踢B續(xù)屢次變化時(shí),所得特性曲線不一致的程度。各條特性曲線越靠近,那么說(shuō)明重復(fù)性越好。

傳感器輸出特性曲線的重復(fù)特性如圖2－11所示。

圖2－11中,正行程的最大重復(fù)性偏差為ΔRmax1,反行程的最大重復(fù)性偏差為ΔRmax2。傳感器的重復(fù)性也稱為重復(fù)誤差γR,其表示方法是重復(fù)性偏差(取這兩個(gè)最大偏差中之較大者為ΔRmax)與滿量程輸出YFS之比的百分?jǐn)?shù),即(2－6)2.2.2傳感器的動(dòng)態(tài)特性

1.傳感器的頻率響應(yīng)特性

由控制理論可知,在初始條件為零時(shí),傳感器輸出的傅里葉變換和輸入的傅里葉變換之比,即為頻率響應(yīng)函數(shù)。這樣傳感器的頻率響應(yīng)函數(shù)為(2－7)式中,a0

、a1

、…、an

及b0

、b1

、…、bm

是與傳感器結(jié)構(gòu)特性有關(guān)的常數(shù)。圖2－12典型對(duì)數(shù)幅頻特性2.傳感器的階躍響應(yīng)特性

當(dāng)給靜止的傳感器輸入一個(gè)單位階躍信號(hào)時(shí),其輸出信號(hào)稱為階躍響應(yīng)。衡量階躍響應(yīng)的指標(biāo)如圖2－13所示,模擬傳感器的動(dòng)態(tài)特性指標(biāo)如表2－5所示。圖2－13一階、二階系統(tǒng)的階躍響應(yīng)曲線 2.3傳感器的性能指標(biāo)

2.3.1傳感器的主要性能指標(biāo)

傳感器的優(yōu)劣一般通過(guò)假設(shè)干主要性能指標(biāo)來(lái)表征。除了前面已介紹的特性參數(shù),如線性度、遲滯、重復(fù)性、靈敏度、頻率特性、階躍響應(yīng)特性外,還常用測(cè)量范圍、量程、零位、

分辨力、閾值、輸入/輸出電阻、穩(wěn)定性、漂移、準(zhǔn)確度、過(guò)載能力、可靠性以及與環(huán)境相關(guān)的參數(shù)、使用條件等。

(1)測(cè)量范圍(MeasuringRange):傳感器所能測(cè)量到的最小輸入量Xmin與最大輸入量Xmax之間的范圍。(2)量程(Span):又稱“滿度值〞,表征傳感器測(cè)量范圍的上限值Xmax與下限值Xmin的代數(shù)差Xmax-Xmin;當(dāng)輸入量在量程范圍以內(nèi)時(shí),傳感器正常工作,并保證預(yù)定的性能。

(3)零位(Zero):當(dāng)輸入量為零時(shí),傳感器的輸出量不為零的數(shù)值。零位值應(yīng)從測(cè)量結(jié)果中設(shè)法消除。(4)分辨力(Resolution):表征傳感器能檢測(cè)到被測(cè)量的最小變化量的能力,是一個(gè)有量綱的數(shù)。即被測(cè)量的變化小于分辨力,那么傳感器無(wú)反響。對(duì)于數(shù)字式傳感器或儀表,一般可以認(rèn)為其指示值的最后一位數(shù)值就是它的分辨力。例如,當(dāng)某位(常稱3位半)數(shù)字式電子溫度計(jì)的示值+180.6℃,該溫度計(jì)的分辨力為0.1℃,那么被測(cè)溫度的變化量小于±0.1℃時(shí),數(shù)字式溫度計(jì)的最后一位數(shù)不變,仍指示原值。將分辨力除以儀表的滿度量程,再以百分?jǐn)?shù)表示時(shí)那么稱為分辨率。(5)閾值(Threshold):表征當(dāng)一個(gè)傳感器的輸入從零開(kāi)始極緩慢地增加,能使傳感器的輸出端產(chǎn)生可測(cè)變化量的最小被測(cè)輸入量值,即零點(diǎn)附近的分辨力。有的傳感器在零位

附近有嚴(yán)重的非線性,形成所謂“死區(qū)〞(DeadBand),那么將死區(qū)的大小作為閾值;更多情況下,閾值主要取決于傳感器噪聲的大小,因而有的傳感器只給出了噪聲電平。閾值大的傳

感器其遲滯誤差一定大,而分辨力未必差。(6)輸入與輸出電阻(InputResistanceandOutputResistance):輸入電阻與輸出電阻

對(duì)于組成檢測(cè)系統(tǒng)的各環(huán)節(jié)甚為重要。前一環(huán)節(jié)的輸出電阻相當(dāng)于后一環(huán)節(jié)的信號(hào)源內(nèi)阻,后一環(huán)節(jié)的輸入電阻相當(dāng)于前面環(huán)節(jié)的負(fù)載。假設(shè)希望前級(jí)輸出信號(hào)無(wú)損失地傳送給后

級(jí),根據(jù)全電路歐姆定律可知信號(hào)源的內(nèi)阻應(yīng)為零,即前級(jí)環(huán)節(jié)對(duì)后級(jí)環(huán)節(jié)而言相當(dāng)于理想電壓源,其內(nèi)阻即輸出電阻應(yīng)為0;后續(xù)輸入電阻承接了全部電壓信號(hào),故輸入電阻理想值為∞。這樣前后環(huán)節(jié)為獨(dú)立環(huán)節(jié),各環(huán)節(jié)之間不需要阻抗變換器。

(7)穩(wěn)定性(Stability):傳感器在相當(dāng)長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)仍保持其性能的能力。測(cè)試時(shí)先將傳感器輸出調(diào)至零點(diǎn)或某一特定點(diǎn),相隔4h、8h或一定的工作次數(shù)后,再讀出輸出值,前后兩

次輸出值之差即為穩(wěn)定性誤差。穩(wěn)定性一般以室溫條件下經(jīng)過(guò)規(guī)定時(shí)間間隔后,傳感器的輸出與起始標(biāo)定時(shí)的輸出之間的差異來(lái)表示,有時(shí)也有用標(biāo)定的有效期來(lái)表示;可用相對(duì)

誤差表示,也可用絕對(duì)誤差表示。(8)漂移(Drift):在外界的干擾下,在一定時(shí)間間隔內(nèi),傳感器輸出量存在著有與被測(cè)輸入量無(wú)關(guān)的、不需要的變化。漂移包括零點(diǎn)漂移(說(shuō)明零點(diǎn)不穩(wěn)定的漂移)與靈敏度漂移(說(shuō)明靈敏度有變化的漂移),如圖2－14所示。

零點(diǎn)漂移或靈敏度漂移又可分為時(shí)間漂移(時(shí)漂)和溫度漂移(溫漂)。時(shí)漂是指在規(guī)定條件下,零點(diǎn)或靈敏度隨時(shí)間的緩慢變化;溫漂為周?chē)鷾囟茸兓鸬牧泓c(diǎn)或靈敏度漂移。測(cè)試時(shí)先將傳感器置于一定的溫度(如室溫)下,將其輸出調(diào)至零點(diǎn)或某一特定點(diǎn),使溫度上升或下降一定的度數(shù)(如5℃或10℃)再讀出輸出值,前后兩次輸出值之差即為溫漂誤差。漂移反映了傳感器工作的穩(wěn)定性,對(duì)于需要長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行的傳感器,這個(gè)指標(biāo)更為重要。圖2－14傳感器的漂移(9)精度(Accuracy):表征傳感器在其全量程內(nèi)任一點(diǎn)的輸出值與其理論輸出值的偏離程度,是評(píng)價(jià)傳感器靜態(tài)性能的綜合性指標(biāo)。測(cè)量誤差越小,傳感器的精度越高。

傳感器的精度S用其量程范圍內(nèi)的最大根本誤差與滿度量程輸出之比的百分?jǐn)?shù)來(lái)表示,根本誤差是傳感器在規(guī)定的正常工作條件下所具有的測(cè)量誤差,由系統(tǒng)誤差和隨機(jī)誤差兩局部組成。其遲滯誤差與線性誤差所表示的誤差為傳感器的系統(tǒng)誤差,重復(fù)性所表示的誤差為隨機(jī)誤差,即(2－8)式中,Δx為測(cè)量范圍內(nèi)允許的最大根本誤差。(2－9)例如,某傳感器在90000h的運(yùn)行中發(fā)生了12次故障,那么MTBF=90000/12=7500h。MTBF說(shuō)明發(fā)生一次故障的平均時(shí)間間隔。單位時(shí)間內(nèi)(一般以小時(shí)計(jì))發(fā)生故障的平均次數(shù)稱為平均故障率,用λ表示:(2－10)根據(jù)傳感器所用元件的各自故障率和元件所處不同工作條件(工作強(qiáng)度)和加權(quán)系數(shù),可以計(jì)算出儀表的故障率λ,從而得到儀表的MTBF。此外,儀表的MTBF也可直接通過(guò)可靠性實(shí)驗(yàn)或現(xiàn)場(chǎng)運(yùn)行等實(shí)驗(yàn)方法來(lái)估計(jì)。在選用傳感器時(shí),不應(yīng)片面追求其線性度要好、靈敏度要高、遲滯要小、重復(fù)性要優(yōu)、分辨力要強(qiáng),而是要根據(jù)檢測(cè)的具體要求,首先保證主要性能指標(biāo)。一般傳感器的工作要求是:高精度、低本錢(qián)、