鈮酸鋰晶圓內(nèi)部脈理?xiàng)l紋觀測及分級方法（征求意見稿）-編制說明_第1頁
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文檔簡介

I 1 1 1 1 2 2 2 2 2 2 3 3 3 3 3 3 4 4 4 4 5 7 71一、工作簡況（一）任務(wù)來源（二）立項(xiàng)目的和意義（三）起草單位2（四）主要工作過程二、標(biāo)準(zhǔn)化對象簡要情況及制修訂標(biāo)準(zhǔn)的原則（一）標(biāo)準(zhǔn)化對象簡要情況3（二）制定原則三、主要技術(shù)內(nèi)容（一）標(biāo)準(zhǔn)名稱和適用范圍（二）儀器設(shè)備（三）觀測條件4（四）觀測方法5（五）晶圓分級6X≤5%5%<X≤20%20%<X≤40%X＞40%四、采用國際標(biāo)準(zhǔn)和國外先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)的程度及理由，以及與國際、國外同類標(biāo)準(zhǔn)水平對比情況，或與測試的國外樣品的有關(guān)數(shù)據(jù)對比情況五、與現(xiàn)行法律、法規(guī)、強(qiáng)制性國家標(biāo)準(zhǔn)及相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)協(xié)調(diào)配套情況六、重大分歧意見的處理經(jīng)過和依據(jù)七、貫徹標(biāo)準(zhǔn)的要求及建議7八

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