JJF(浙) 1194-2022 閃影像測(cè)量?jī)x校準(zhǔn)規(guī)范

2022-11-14發(fā)布2023-02-14實(shí)施浙江省市場(chǎng)監(jiān)督管理局發(fā)布JJF（浙）1194-2022閃測(cè)影像測(cè)量?jī)x校準(zhǔn)規(guī)范閃測(cè)影像測(cè)量?jī)x校準(zhǔn)規(guī)范JJF（浙）1194-2022I 2 2 2 2 2 4 6 11JJF（浙）1194-2022JJF1094-2002《測(cè)量?jī)x器特性評(píng)定求和試驗(yàn)方法。JJF(浙)1194-20221本規(guī)范適用于閃測(cè)影像測(cè)量?jī)x的校準(zhǔn)。本規(guī)范引用下列文件：JJF1071-2010國(guó)家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫(xiě)規(guī)則凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本規(guī)范；凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用于本規(guī)范。二維探測(cè)誤差2Dprobingerror用閃測(cè)影像測(cè)量?jī)x測(cè)定平面圓形實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)器的半徑變化范圍。4概述閃測(cè)影像測(cè)量?jī)x又稱一鍵式影像測(cè)量?jī)x，簡(jiǎn)稱閃測(cè)儀，是由上下光源、高像素CCD/CMOS相機(jī)、大視角大景深遠(yuǎn)心鏡頭、不可移動(dòng)工作臺(tái)或可移動(dòng)工作臺(tái)組成，包括廣JJF（浙）1194-20222），表1計(jì)量特性序號(hào)計(jì)量特性測(cè)量設(shè)備1二維探測(cè)誤差（PM，PS）圓形靶標(biāo)2尺寸測(cè)量誤差（EXY）線紋尺，一維點(diǎn)陣掩膜版，二維點(diǎn)陣掩膜版3測(cè)量重復(fù)性注：以上測(cè)量設(shè)備可在滿足閃測(cè)影像測(cè)量?jī)x校準(zhǔn)要求的前提下選擇使用。6.1.3儀器測(cè)量室內(nèi)應(yīng)無(wú)影響測(cè)量的灰塵、噪音、振動(dòng)表2測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)及其他設(shè)備序號(hào)設(shè)備名稱技術(shù)要求1圓形靶標(biāo)圓度不超過(guò)1/4MPEPS2線紋尺不確定度不大于1/4MPEEXY3一維點(diǎn)陣掩膜版不確定度不大于1/4MPEEXY4二維點(diǎn)陣掩膜版不確定度不大于1/4MPEEXYJJF(浙)1194-202237.1二維探測(cè)誤差測(cè)量示例見(jiàn)圖2。用所有25個(gè)測(cè)量點(diǎn)的數(shù)據(jù)擬合最小二乘圓，得到圓心，25個(gè)測(cè)量點(diǎn)到圓心的距離即為半徑R,Rm-R.即7.1.2二維探測(cè)誤差Ps選擇適當(dāng)尺寸的圓形靶標(biāo)(標(biāo)靶影像直徑約為視場(chǎng)范圍的10%~30%),將圓形靶標(biāo)水平不同點(diǎn)對(duì)圓形靶標(biāo)的圓周進(jìn)行測(cè)量，測(cè)量示例見(jiàn)圖3。A圓靶標(biāo)AJJF(浙)1194-20224當(dāng)使用線紋尺作為測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，在工作臺(tái)面上應(yīng)選擇4個(gè)位置進(jìn)行測(cè)量。其中兩個(gè)位置應(yīng)是沿測(cè)量范圍內(nèi)兩條對(duì)角線X+Y與X-Y方向，另兩個(gè)位置應(yīng)是平行于X軸和Y軸方向，測(cè)量示例見(jiàn)圖4。YYX每個(gè)位置測(cè)量不少于3個(gè)間隔，最小測(cè)量間隔不大于該測(cè)量位置測(cè)量行程的10%,X軸與Y軸方向最大測(cè)量間隔不小于該測(cè)量位置測(cè)量行程的90%,對(duì)角線X+Y與X-Y方向當(dāng)使用線紋尺做測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，按7.2.1的要求選擇測(cè)量位置。在各測(cè)量位置上依次對(duì)規(guī)定的線紋間隔進(jìn)行測(cè)量。三次測(cè)得值的平均值與標(biāo)準(zhǔn)器實(shí)際值的差值為尺寸測(cè)量誤差。當(dāng)使用二維掩膜板做測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，將二維掩膜板放置在工作臺(tái)面上，依次按規(guī)定的間隔對(duì)二維圖形標(biāo)記的坐標(biāo)進(jìn)行測(cè)量，得到各標(biāo)記點(diǎn)的二維坐標(biāo)。三次測(cè)得值的平均值與標(biāo)準(zhǔn)器上對(duì)應(yīng)點(diǎn)實(shí)際值的差值為尺寸測(cè)量誤差。JJF（浙）1194-202251如閃測(cè)影像測(cè)量?jī)x具有廣視野與高精度兩種測(cè)量模式，則需校準(zhǔn)兩種測(cè)量模式的尺寸測(cè)量誤差。2當(dāng)閃測(cè)影像測(cè)量?jī)x工作臺(tái)可移動(dòng)時(shí)，按7.2.3的方法測(cè)量拼接模式下尺寸測(cè)量誤差。 s=s——重復(fù)性,mm；Li——第i次的讀數(shù)值，mm； n——測(cè)量次數(shù)，n=10。1如閃測(cè)影像測(cè)量?jī)x具有廣視野與高精度兩種測(cè)量模式，則需校準(zhǔn)兩種測(cè)量模式的測(cè)量重復(fù)性。2當(dāng)閃測(cè)影像測(cè)量?jī)x工作臺(tái)可移動(dòng)時(shí)，按7.3的方法測(cè)量拼接模式下測(cè)量重復(fù)性。準(zhǔn)證書(shū)至少應(yīng)包括JJF1071-2010《國(guó)家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫(xiě)規(guī)則》5.12條款中的信息。校準(zhǔn)JJF（浙）1194-2022A.1二維探測(cè)誤差RRmin（mm）1PM2PSA.2測(cè)量平面內(nèi)的尺寸測(cè)量誤差A(yù).2.1廣視野模式：EXY測(cè)量值（mm）測(cè)量值平均值標(biāo)稱值示值誤差123XYX+YX-YA.2.2廣視野模式拼接：EXY測(cè)量值（mm）測(cè)量值平均值標(biāo)稱值示值誤差123X7YX+YX-YA.2.3高精度模式：EXY測(cè)量值（mm）測(cè)量值平均值標(biāo)稱值示值誤差123XYX+YX-YA.2.4高精度模式拼接：EXY測(cè)量值（mm）測(cè)量值平均值標(biāo)稱值示值誤差123XYX+YX-YA.3測(cè)量重復(fù)性A.3.1廣視野模式：序號(hào)12345測(cè)量值（mm）序號(hào)6789測(cè)量值（mm）A.3.2廣視野模式拼接：序號(hào)12345測(cè)量值（mm）序號(hào)6789測(cè)量值（mm）9A.3.3高精度模式：序號(hào)12345測(cè)量值（mm）序號(hào)6789測(cè)量值（mm）A.3.4高精度模式拼接：序號(hào)12345測(cè)量值（mm）序號(hào)6789測(cè)量值（mm）JJF1194-2022B.1二維探測(cè)誤差1PM2PSB.2尺寸測(cè)量誤差EXY廣視野模式廣視野模式拼接高精度模式高精度模式拼接測(cè)量值平均值示值誤差測(cè)量值平均值示值誤差測(cè)量值平均值示值誤差測(cè)量值平均值示值誤差XYX+YX-YB.3測(cè)量重復(fù)性測(cè)量重復(fù)性（mm）1廣視野模式2廣視野模式拼接3高精度模式4高精度模式拼接式中：--------閃測(cè)影像測(cè)量?jī)x測(cè)量平面內(nèi)的尺寸示值誤差；u()c(L)u2(L)c(l)u2(l)（C.2）(l)1a)測(cè)量重復(fù)性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u1；b)閃測(cè)影像測(cè)量?jī)x分辨力引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u2；c)標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u3；d)閃測(cè)影像測(cè)量?jī)x光柵尺與標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺線膨脹系數(shù)差引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u4；JJF1194-2022 (xix)2實(shí)驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)偏差s0.33μm依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺的證書(shū)，其測(cè)量不確定度為U=(0.20+1.5L)μm，(L-m)k=3，取JJF1194-2022表C.1標(biāo)準(zhǔn)不確定度一覽表輸入標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u(xi)不確定度分量來(lái)源不確定度分量值ciu(xi)(μm）u(