藍(lán)寶石晶體生長隔熱用氧化鋯纖維屏

Q/LB.□XXXXX-XXXX前言本文件按照GB/T1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。本文件由全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)（SAC/TC243）、全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)材料分技術(shù)委員會(huì)（SAC/TC203/SC2）提出并歸口。本文件起草單位：南京理工宇龍新材料科技股份有限公司、南京理工大學(xué)、通遼精工藍(lán)寶石有限公司、天通銀廈新材料有限公司、湖北菲利華石英玻璃股份有限公司、貴州昕安科技有限公司。本文件主要起草人：晶體生長用氧化鋯纖維屏范圍本文件規(guī)定了具有半導(dǎo)體性質(zhì)的晶體生長隔熱用氧化鋯纖維屏（以下簡稱“產(chǎn)品”）的分類與標(biāo)記、要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存、隨行文件及訂貨單內(nèi)容。本文件適用于晶相為全穩(wěn)定立方相的氧化鋯纖維屏的生產(chǎn)制備、測試檢驗(yàn)及質(zhì)量評價(jià)。規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。GB/T191包裝儲運(yùn)圖示標(biāo)志GB/T3003—2017耐火纖維及制品GB/T4132絕熱材料及相關(guān)術(shù)語GB/T4984含鋯耐火材料化學(xué)分析方法GB/T5486無機(jī)硬質(zhì)絕熱制品試驗(yàn)方法GB/T10325定形耐火制品驗(yàn)收抽樣檢驗(yàn)規(guī)則GB/T14264半導(dǎo)體材料術(shù)語GB/T17911耐火材料陶瓷纖維制品試驗(yàn)方法GB/T26563電熔氧化鋯術(shù)語和定義GB/T14264和GB/T4132界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件。

氧化鋯纖維屏zirconiafiberscreen一種由氧化鋯纖維粘合而成的塊狀超高溫隔熱保溫部件。氧化鋯纖維以Y2O3為穩(wěn)定劑，其晶相為全穩(wěn)定立方相。分類和標(biāo)記分類氧化鋯纖維屏按體積密度的不同分為：1000kg/m3（用Ⅰ表示）；1500kg/m3（用Ⅱ表示）；2000kg/m3（用Ⅲ表示）。氧化鋯纖維屏按使用溫度分為：1800℃（用A表示）；2000℃（用B表示）；2200℃（用C表示）。標(biāo)記產(chǎn)品型號的標(biāo)記方式表示如下：其中，“×”表示大寫英文字母，“□”表示羅馬數(shù)字。使用溫度為2000℃、體積密度為1000kg/m3的產(chǎn)品表示為：YZS-B-Ⅰ。技術(shù)要求物理性能產(chǎn)品的物理性能見表1。氧化鋯纖維屏的物理性能型號YZS-×-ⅠYZS-×-ⅡYZS-×-Ⅲ使用溫度℃180020002200180020002200180020002200密度kg/m31000±2001500±2002000±200抗壓強(qiáng)度MPa≥4≥7≥12加熱永久線性變化（在1600℃下保溫24h）%≤5%≤2%≤1%熱導(dǎo)率（1000℃）W/m·K≤0.1≤0.13≤0.16晶相立方相立方相立方相化學(xué)成分產(chǎn)品的化學(xué)成分見表2。氧化鋯纖維屏的化學(xué)成分序號化學(xué)成分Wt%要求1ZrO2+Y2O3≥99.72Y2O315-193SiO2≤0.163K2O≤0.024Na2O≤0.045Fe2O3≤0.01外觀表面質(zhì)量產(chǎn)品的表面質(zhì)量要求如下：表面性狀：硬質(zhì)、表面平整、無破損；外形樣貌：白色纖維狀、白色塊狀。尺寸偏差產(chǎn)品的尺寸偏差由供需雙方協(xié)商確定。試驗(yàn)方法物理性能密度按GB/T5486中規(guī)定的方法進(jìn)行?？箟簭?qiáng)度按GB/T5486中規(guī)定的方法進(jìn)行。加熱永久線性變化按GB/T17911中規(guī)定的方法進(jìn)行。熱導(dǎo)率按GB/T17911中規(guī)定的方法進(jìn)行。晶相采用X-射線粉末衍射儀測量。測量步驟如下：制樣：將樣品除去表皮，取料；用四分法縮分樣品。稱取樣品5g～10g，研磨至粒徑不大于30μm，用偏光望遠(yuǎn)鏡觀察其細(xì)度是否達(dá)到要求；將研磨好的粉末導(dǎo)入樣品框架內(nèi)，垂直壓緊成型。檢測：將制備好的試樣放入X射線衍射儀試樣臺；掃描：靶材選用Cu靶或Co靶；掃描速度：掃描速度應(yīng)不大于3°/min；掃描圖譜如果出現(xiàn)擇優(yōu)取向應(yīng)重新制樣掃描。圖譜分析：測定出的合格圖譜用衍射儀半定量軟件分析。晶相分析：根據(jù)圖譜分析結(jié)果推測出樣品的晶體結(jié)構(gòu)?；瘜W(xué)成分產(chǎn)品的化學(xué)成分按GB/T4984中規(guī)定的方法進(jìn)行，其中Y2O3含量的測定按照GB/T26563中規(guī)定的方法進(jìn)行，ZrO2+Y2O3的總含量是分別測得ZrO2和Y2O3的質(zhì)量分?jǐn)?shù)的總和。外觀表面質(zhì)量產(chǎn)品的表面質(zhì)量用目視檢查的方法進(jìn)行。尺寸偏差按GB/T5486中規(guī)定的方法進(jìn)行，主要采用鋼直尺、鋼卷尺測量。檢驗(yàn)規(guī)則檢驗(yàn)類型產(chǎn)品采用型式檢驗(yàn)和出廠檢驗(yàn)。檢驗(yàn)項(xiàng)目產(chǎn)品型式檢驗(yàn)的檢驗(yàn)項(xiàng)目見表3。產(chǎn)品型式檢驗(yàn)的檢驗(yàn)項(xiàng)目序號檢驗(yàn)項(xiàng)目要求的章條號試驗(yàn)方法的章條號1物理性能密度5.1的表16.1.12抗壓強(qiáng)度6.1.2表3產(chǎn)品型式檢驗(yàn)的檢驗(yàn)項(xiàng)目(續(xù))3熱導(dǎo)率6.1.44化學(xué)成分5.26.25外觀表面質(zhì)量5.3.16.3.16尺寸偏差5.3.26.3.2產(chǎn)品出廠檢驗(yàn)的檢驗(yàn)項(xiàng)目見表4。產(chǎn)品出廠檢驗(yàn)的檢驗(yàn)項(xiàng)目序號檢驗(yàn)項(xiàng)目要求的章條號試驗(yàn)方法的章條號1物理性能密度5.1的表16.1.12外觀表面質(zhì)量5.3.16.3.13尺寸偏差5.3.26.3.2組批規(guī)則產(chǎn)品應(yīng)成批檢驗(yàn)，一個(gè)檢驗(yàn)批可由一個(gè)生產(chǎn)批組成，或由符合下列條件的幾個(gè)生產(chǎn)批組成：以同一原料、同一生產(chǎn)工藝、同一型號穩(wěn)定連續(xù)生產(chǎn)的產(chǎn)品組成；幾個(gè)生產(chǎn)批間隔的時(shí)間通常不超過一周，除非另有規(guī)定，但也不超過一個(gè)月；每批數(shù)量不超過100件。抽樣方案型式檢驗(yàn)的抽樣可由每生產(chǎn)批產(chǎn)品中隨機(jī)抽取≥3件；出廠檢驗(yàn)的樣應(yīng)從每檢驗(yàn)批產(chǎn)品中隨機(jī)抽取≥3件。具體抽樣方案按照GB/T10325中規(guī)定的方法執(zhí)行。檢驗(yàn)結(jié)果的判定規(guī)則產(chǎn)品應(yīng)由供方進(jìn)行檢驗(yàn)，保證產(chǎn)品質(zhì)量符合本文件的規(guī)定。每批產(chǎn)品應(yīng)在濕度低于50%的環(huán)境中由經(jīng)制造單位檢驗(yàn)部門檢查合格并出具合格證后方可出廠。

需方可對收到的產(chǎn)品按照本文件的規(guī)定進(jìn)行檢驗(yàn)。如檢驗(yàn)結(jié)果與本文件的規(guī)定不符，應(yīng)以書面形式向供方提出，由供需雙方協(xié)商解決。屬于表面質(zhì)量或尺寸偏差的異議，應(yīng)在收到產(chǎn)品之日起1個(gè)月內(nèi)提出，屬于其他性能的異議，應(yīng)在收到產(chǎn)品之日起3個(gè)月內(nèi)提出。如需仲裁，仲裁取樣應(yīng)由供需雙方共同進(jìn)行。產(chǎn)品的密度檢驗(yàn)結(jié)果不合格時(shí)，判該批次產(chǎn)品不合格。產(chǎn)品的表面質(zhì)量檢驗(yàn)結(jié)果不合格時(shí)，判該批次產(chǎn)品不合格。產(chǎn)品的尺寸偏差檢驗(yàn)結(jié)果不合格時(shí)，判該批次產(chǎn)品不合格。產(chǎn)品的抗壓強(qiáng)度、加熱永久線變化、熱導(dǎo)率、晶相、化學(xué)成分的任一項(xiàng)檢驗(yàn)結(jié)果不合格時(shí)，則再次取樣對該不合格項(xiàng)目進(jìn)行重復(fù)試驗(yàn)。若重復(fù)試驗(yàn)結(jié)果仍不合格，則判定該批次產(chǎn)品不合格。標(biāo)志、標(biāo)簽和隨行文件標(biāo)志和標(biāo)簽產(chǎn)品的外包裝箱上應(yīng)至少注明下列內(nèi)容：供方名稱、地址、電話、傳真；產(chǎn)品名稱和型號；產(chǎn)品規(guī)格、數(shù)量、總凈重；本文件編號；“小心輕放”“防潮”等標(biāo)志或字樣。產(chǎn)品的包裝儲運(yùn)圖示標(biāo)志應(yīng)符合GB/T191的規(guī)定。隨行文件每批產(chǎn)品應(yīng)附有隨行文件，其中除應(yīng)包括供方信息、產(chǎn)品信息、本文件編號、出廠日期或包裝日期外，還宜包括：產(chǎn)品質(zhì)量證明書，內(nèi)容至少包括：產(chǎn)品的主要性能及技術(shù)參數(shù)；產(chǎn)品特點(diǎn)；對產(chǎn)品質(zhì)量所負(fù)的責(zé)任；產(chǎn)品獲得的質(zhì)量認(rèn)證或帶供方技術(shù)監(jiān)督部門檢印的各項(xiàng)分析檢驗(yàn)結(jié)果。成品檢驗(yàn)報(bào)告；產(chǎn)品使用說明：正確搬運(yùn)、使用、貯存方法等。包裝、運(yùn)輸、貯存及訂貨單內(nèi)容包裝將單件產(chǎn)品用包裝紙或塑料袋包裹后排列在木箱內(nèi)，采用軟質(zhì)彈性材料填充保護(hù)，并附上隨行文件。運(yùn)輸產(chǎn)品可采用一般交通工具運(yùn)輸，輕裝、