TCCGA 30004-2019 電子級(jí)八氟環(huán)丁烷

T/CCGA30004—2019

電子級(jí)八氟環(huán)丁烷

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子級(jí)八氟環(huán)丁烷產(chǎn)品的分類和型號(hào)，技術(shù)要求，試驗(yàn)方法，檢驗(yàn)規(guī)則，標(biāo)志、包裝、

運(yùn)輸、貯存等。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于工業(yè)八氟環(huán)丁烷通過吸附純化、精餾提純生產(chǎn)的電子級(jí)八氟環(huán)丁烷產(chǎn)品。該產(chǎn)品是電

子行業(yè)蝕刻氣體。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，

僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本

文件。

GB190危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志

GB/T3723工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則

GB/T5099鋼質(zhì)無(wú)縫氣瓶

GB/T6678化工產(chǎn)品采樣總則

GB/T6680液體化工產(chǎn)品采樣通則

GB/T6681氣體化工產(chǎn)品采樣通則

GB/T7144氣瓶顏色標(biāo)志

GB/T9722化學(xué)試劑氣相色譜法通則

GB/T11640鋁合金無(wú)縫氣瓶

GB/T13004鋼質(zhì)無(wú)縫氣瓶定期檢驗(yàn)與評(píng)定

GB/T14193液化氣體氣瓶充裝規(guī)定

GB/T14601-2009電子工業(yè)用氣體氨

GB15258化學(xué)品安全標(biāo)簽編寫規(guī)定

GB/T16483化學(xué)品安全技術(shù)說明書內(nèi)容和項(xiàng)目順序

GB/T16804氣瓶警示標(biāo)簽

JT/T617危險(xiǎn)貨物道路運(yùn)輸規(guī)則

氣瓶安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程

3技術(shù)要求

電子級(jí)八氟環(huán)丁烷產(chǎn)品的質(zhì)量應(yīng)符合表1的要求。

表1電子級(jí)八氟環(huán)丁烷產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)

項(xiàng)目指標(biāo)

-2

八氟環(huán)丁烷（C4F8）純度（體積分?jǐn)?shù)）/10≥99.99999.9995

-6

氧+氬（O2+Ar）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10＜1.00.5

-6

氮（N2）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10＜2.01.0

一氧化碳（CO）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6＜0.50.5

-6

二氧化碳（CO2）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10＜0.50.5

-6

烴（C1～C5）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10＜1.00.5

1

T/CCGA30004—2019

表1電子級(jí)八氟環(huán)丁烷產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)（續(xù)）

-6

其他碳氟化合物含量（CF4/C3F6）（體積分?jǐn)?shù)）/10＜1.00.5

酸度（以HF計(jì)）含量（質(zhì)量分?jǐn)?shù)）/10-6＜0.50.1

-6

水分(H2O)含量（體積分?jǐn)?shù)）/10＜3.01.0

總雜質(zhì)含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6≤10.05.0

4試驗(yàn)方法

4.1抽樣、判定和復(fù)驗(yàn)

4.1.1表1中所有要求應(yīng)逐一檢驗(yàn)并驗(yàn)收，當(dāng)檢驗(yàn)結(jié)果有任何一項(xiàng)指標(biāo)不符合表1的技術(shù)要求時(shí)，則判該

產(chǎn)品不合格。

4.1.2八氟環(huán)丁烷采樣安全應(yīng)符合GB/T3723的規(guī)定。

4.2八氟環(huán)丁烷的純度

產(chǎn)品純度按式（1）計(jì)算：

-4

Φ=100-（Φ1+Φ2+Φ3+Φ4+Φ5+Φ6+Φ7+Φ8）×10…(1)

式中：

Φ——八氟環(huán)丁烷純度（體積分?jǐn)?shù)），10-2；

-6

Φ1——氧含量（體積分?jǐn)?shù)），10；

-6

Φ2——氮含量（體積分?jǐn)?shù)），10；

-6

Φ3——一氧化碳含量（體積分?jǐn)?shù)），10；

-6

Φ4——二氧化碳含量（體積分?jǐn)?shù)），10；

-6

Φ5——烴（C1～C5）含量（體積分?jǐn)?shù)），10；

-6

Φ6——酸度含量（體積分?jǐn)?shù)），10；

-6

Φ7——水分含量（體積分?jǐn)?shù)），10；

-6

Φ8——其他碳氟化合物含量（體積分?jǐn)?shù)），10。

4.3氧（氬）、氮、一氧化碳、二氧化碳、烴（C1～C5）和其他碳氟化合物含量的測(cè)定

按GB/T14601-2009中4.4的規(guī)定執(zhí)行，允許采用其它等效方法測(cè)定。當(dāng)測(cè)定結(jié)果有異議，以GB/T

14601-2009中4.4規(guī)定的方法為仲裁方法。

4.4水分含量的測(cè)定

4.4.1方法原理

八氟環(huán)丁烷中水分的測(cè)定方法采用電容法。電容法水分分析儀的檢測(cè)原理是以鋁和能滲透水的黃

金膜為極板，兩極間填充氧化鋁微孔介質(zhì)。當(dāng)氣體樣品通過檢測(cè)器時(shí)，樣品中的水分子透過黃金膜進(jìn)入

氧化鋁微孔，從而引起介質(zhì)介電系數(shù)的改變，相應(yīng)地電容敏感元件的電容量也會(huì)改變，而且其變化與介

質(zhì)的含水量有一定的線性關(guān)系。因此，測(cè)得電容量的變化即可測(cè)出樣品氣中的水分含量。

4.4.2儀器

4.4.2.1采用本安型氣體中微量水份分析儀。量程范圍為0～50×10-6（體積分?jǐn)?shù)），最低檢測(cè)限為0.1

×10-6（體積分?jǐn)?shù)）。

4.4.2.2連接采樣管路的管線選用EP級(jí)316L不銹鋼管。連接方式采用VCR或卡套連接，選用金屬膜片和

沒有死角的減壓器。從氣源到分析儀入口采用最短的管線連接。

4.4.2.3測(cè)定步驟包括以下內(nèi)容：

——連接采樣氣體管線至吹掃氣源（高純氮?dú)猓?，通過減壓器將壓力調(diào)至40psi。保證管線正壓正

流量。用扳手緊固接頭，保證接頭處用VCR和新金屬墊片擰緊，連接到水分分析儀之前吹掃至

少15分鐘。

——保證正壓正流量，拿掉采樣入口上的堵頭，迅速用新的VCR墊片連接吹掃過的采樣管線至采樣

入口確保吹掃起源正流量，拿掉采樣出口的堵頭，調(diào)整儀器測(cè)試流量至規(guī)定值。

——打開儀器電源，儀器顯示至穩(wěn)定值時(shí)，關(guān)閉吹掃氣源，待壓力降至微正壓時(shí)開啟采樣氣源八氟

環(huán)丁烷，壓力調(diào)至40psi。調(diào)整儀器測(cè)試流量至規(guī)定值，儀器顯示值穩(wěn)定后，記錄測(cè)試結(jié)果。

2

T/CCGA30004—2019

4.5酸度（以HF計(jì)）的測(cè)定

4.5.1方法提要

試樣中的酸和酸性物質(zhì)與過量的氫氧化鈉標(biāo)準(zhǔn)溶液發(fā)生中和反應(yīng)，以甲基紅-溴甲酚綠為指示劑，

用硫酸標(biāo)準(zhǔn)溶液滴定過量的堿，從而測(cè)定出試樣的酸度。

4.5.2試劑、溶液

4.5.2.1氫氧化鈉標(biāo)準(zhǔn)溶液：c（NaOH）約0.01mol／L標(biāo)準(zhǔn)溶液稀釋制取；

4.5.2.2硫酸標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液：c（1/2H?SO?）約0.01mol／L標(biāo)準(zhǔn)溶液稀釋制取；

4.5.2.3混合指示劑：甲基紅乙醇溶液與溴甲酚綠乙醇溶液按1:3體積比混合。

4.5.3儀器、設(shè)備

4.5.3.1微量滴定管：5ml，分度值為0.02ml，或0.01ml；

4.5.3.2孔氣體分布管：空度為2號(hào)；

4.5.3.3濕式氣體流量計(jì)。

4.5.4測(cè)定步驟

酸度測(cè)定的吸收裝置參見圖1。緩沖瓶、吸收瓶均為300ml錐形瓶，吸收瓶?jī)?nèi)各裝入100ml新煮沸過

的蒸餾水和4.00ml氫氧化鈉標(biāo)準(zhǔn)溶液。氣體分布?xì)夤芸诰嗥康?mm，試樣氣體流速500ml/min，通氣量約

15L，由濕氣氣體流量計(jì)計(jì)量。通氣完畢，從系統(tǒng)中取下吸收瓶，分別加入（4～5）滴混合指示劑，用

硫酸標(biāo)準(zhǔn)溶液滴定，溶液由藍(lán)綠色變?yōu)榧t色為終點(diǎn)。

說明：

1——緩沖瓶；

2、3——吸收瓶；

4——濕式氣體流量計(jì)；

5——多孔氣體分布管；

6——開口氣體分布管。

圖1酸度測(cè)定的吸收裝置

4.5.5試樣體積的計(jì)算

試樣體積按公式（2）計(jì)算：

()×，

V=1×（V2-V1）…………（2）

.×[.（）]

2????1+????22931

1

式中:10132731+2????1+????2

V——20°C,101.3kPa的試樣體積的數(shù)值，單位為升（L）；

P?——流量計(jì)始態(tài)的大氣壓力的數(shù)值，單位為千帕（kPa）；

P?——流量計(jì)終態(tài)的大氣壓力的數(shù)值，單位為千帕（kPa）；

t?——流量計(jì)始態(tài)的溫度的數(shù)值，單位為攝氏度（℃）；

t?——流量計(jì)終態(tài)的溫度的數(shù)值，單位為攝氏度（℃）；

v?——流量計(jì)始態(tài)的讀數(shù)值，單位為升（L）；

v?——流量計(jì)終態(tài)的讀數(shù)值，單位為升（L）；

4.5.6結(jié)果計(jì)算

酸度（以HF計(jì)）的質(zhì)量分?jǐn)?shù)w，數(shù)值以10-6表示，按公式（3）計(jì)算：

ω=[()()]×××106…………（3）

.

式中：????0?????1+????0?????2Mc10?3

828????

V?——空白試驗(yàn)消耗硫酸標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液的體積，單位為毫升（mL）；

V?——滴定第一個(gè)吸收瓶溶液消耗的硫酸標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液的體積，單位為毫升（mL）；

V?——滴定第二個(gè)吸收瓶溶液消耗的硫酸標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液的體積，單位為毫升（mL）；

M——?dú)浞幔℉F）的摩爾質(zhì)量（M=20.0），單位為克每摩爾（g/mol）；

C——硫酸（1/2H?SO?）標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液的濃度，單位為摩爾每升（mol/L）；

3

T/CCGA30004—2019

V——20℃，101.3kPa時(shí)試樣體積，單位為升（L）；

8.28——20℃，101.3kPa時(shí)三氟甲烷的密度，單位為克每升（g/L）；

取平行測(cè)定結(jié)果的算術(shù)平均值為測(cè)定結(jié)果。兩次平行測(cè)定結(jié)果的相對(duì)偏差應(yīng)不大于40%。

5標(biāo)志、包裝、貯運(yùn)及安全

5.1標(biāo)志、包裝及貯運(yùn)

5.1.1電子級(jí)八氟環(huán)丁烷氣瓶應(yīng)符合GB/T5099、GB/T11640、《氣瓶安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程》的規(guī)定。

5.1.2氣瓶顏色標(biāo)記應(yīng)符合GB/T7144的規(guī)定。電子級(jí)八氟環(huán)丁烷氣瓶的運(yùn)輸標(biāo)志應(yīng)符合GB190、JT/T

617的要求，氣瓶標(biāo)簽應(yīng)符合GB16804、GB15258規(guī)定的要求。

5.1.3電子級(jí)八氟環(huán)丁烷氣瓶瓶閥材質(zhì)應(yīng)為鋼質(zhì)，不得使用銅或銅合金瓶閥，瓶閥宜使用DISS716。

5.1.4電子級(jí)八氟環(huán)丁烷氣瓶應(yīng)經(jīng)過內(nèi)表面處理，且符合《氣瓶安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程》要求，氣瓶?jī)?nèi)表面

粗糙度（Ra）應(yīng)不大于0.4μm并滿足本標(biāo)準(zhǔn)對(duì)水分的要求。依據(jù)《氣瓶安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程》，電子級(jí)

八氟環(huán)丁烷氣瓶定期檢驗(yàn)周期為8年。

5.1.5電子級(jí)八氟環(huán)丁烷的充裝應(yīng)符合GB/T14193以及《氣瓶安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程》的相關(guān)規(guī)定。

5.1.6瓶裝電子級(jí)八氟環(huán)丁烷以液態(tài)形式存在時(shí)，以稱重計(jì)量，充裝系數(shù)為1.31kg/L。

5.1.7返回生產(chǎn)廠的電子級(jí)八氟環(huán)丁烷氣瓶應(yīng)留有不低于0.05MPa的余壓。

5.1.8電子級(jí)八氟環(huán)丁烷出廠時(shí)應(yīng)附有質(zhì)量合格證，其內(nèi)容至少應(yīng)包括：

——產(chǎn)品名稱，生產(chǎn)廠名稱；

——生產(chǎn)日期或批號(hào)，充裝質(zhì)量，產(chǎn)品技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)；

——本標(biāo)準(zhǔn)號(hào)及產(chǎn)品等級(jí)，檢驗(yàn)員號(hào)。

5.1.9產(chǎn)品保質(zhì)期時(shí)間不應(yīng)高于鋼瓶剩余檢驗(yàn)有效期。

5.2安全要求

5.2.1八氟環(huán)丁烷在常溫常壓下是無(wú)色，無(wú)味,無(wú)毒,不燃性氣體，易液化。在正常條件下不與其他物質(zhì)

反應(yīng),在高溫(600℃)時(shí)會(huì)分解成碳和四氟化碳以及某些有毒化合物。在溫度升高時(shí)，金屬能使其催化分

解。八氟環(huán)丁烷是無(wú)毒氣體,但將其置于火焰溫度下,能分解放出有毒物質(zhì)。

5.2.2電子級(jí)八氟環(huán)丁烷的生產(chǎn)企業(yè)應(yīng)為顧客提供按GB/T16483要求編制的化學(xué)品安全技術(shù)說明書。

4

T/CCGA30004—2019

中國(guó)氣體協(xié)會(huì)官網(wǎng)

5

ICS71.100.20

CCSG86

CCGA

中國(guó)工業(yè)氣體工業(yè)協(xié)會(huì)團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)

T/CCGA30004—2019

電子級(jí)八氟環(huán)丁烷

Electronicgradeperfluorocyclobutane

2019-10-29發(fā)布2020-01-29實(shí)施

中國(guó)工業(yè)氣體工業(yè)協(xié)會(huì)發(fā)布

T/CCGA30004—2019

電子級(jí)八氟環(huán)丁烷

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子級(jí)八氟環(huán)丁烷產(chǎn)品的分類和型號(hào)，技術(shù)要求，試驗(yàn)方法，檢驗(yàn)規(guī)則，標(biāo)志、包裝、

運(yùn)輸、貯存等。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于工業(yè)八氟環(huán)丁烷通過吸附純化、精餾提純生產(chǎn)的電子級(jí)八氟環(huán)丁烷產(chǎn)品。該產(chǎn)品是電

子行業(yè)蝕刻氣體。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，

僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本

文件。

GB190危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志

GB/T3723工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則

GB/T5099鋼質(zhì)無(wú)縫氣瓶

GB/T6678化工產(chǎn)品采樣總則

GB/T6680液體化工產(chǎn)品采樣通則

GB/T6681氣體化工產(chǎn)品采樣通則

GB/T7144氣瓶顏色標(biāo)志

GB/T9722化學(xué)試劑氣相色譜法通則

GB/T11640鋁合金無(wú)縫氣瓶

GB/T13004鋼質(zhì)無(wú)縫氣瓶定期檢驗(yàn)與評(píng)定

GB/T14193液化氣體氣瓶充裝規(guī)定

GB/T14601-2009電子工業(yè)用氣體氨

GB15258化學(xué)品安全標(biāo)簽編寫規(guī)定

GB/T16483化學(xué)品安全技術(shù)說明書內(nèi)容和項(xiàng)目順序

GB/T16804氣瓶警示標(biāo)簽

JT/T617危險(xiǎn)貨物道路運(yùn)輸規(guī)則

氣瓶安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程

3技術(shù)要求

電子級(jí)八氟環(huán)丁烷產(chǎn)品的質(zhì)量應(yīng)符合表1的要求。

表1電子級(jí)八氟環(huán)丁烷產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)

項(xiàng)目指標(biāo)

-2

八氟環(huán)丁烷（C4F8）純度（體積分?jǐn)?shù)）/10≥99.99999.9995

-6

氧+氬（O2+Ar）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10＜1.00.5

-6

氮（N2）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10＜2.01.0

一氧化碳（CO）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6＜0.50.5

-6

二氧化碳（CO2）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10＜0.50.5

-6

烴（C1～C5）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10＜1.00.5

1

T/CCGA30004—2019

表1電子級(jí)八氟環(huán)丁烷產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)（續(xù)）

-6

其他碳氟化合物含量（CF4/C3F6）（體積分?jǐn)?shù)）/10＜1.00.5

酸度（以HF計(jì)）含量（質(zhì)量分?jǐn)?shù)）/10-6＜0.50.1

-6

水分(H2O)含量（體積分?jǐn)?shù)）/10＜3.01.0

總雜質(zhì)含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6≤10.05.0

4試驗(yàn)方法

4.1抽樣、判定和復(fù)驗(yàn)

4.1.1表1中所有要求應(yīng)逐一檢驗(yàn)并驗(yàn)收，當(dāng)檢驗(yàn)結(jié)果有任何一項(xiàng)指標(biāo)不符合表1的技術(shù)要求時(shí)，則判該

產(chǎn)品不合格。

4.1.2八氟環(huán)丁烷采樣安全應(yīng)符合GB/T3723的規(guī)定。

4.2八氟環(huán)丁烷的純度

產(chǎn)品純度按式（1）計(jì)算：

-4

Φ=100-（Φ1+Φ2+Φ3+Φ4+Φ5+Φ6+Φ7+Φ8）×10…(1)

式中：

Φ——八氟環(huán)丁烷純度（體積分?jǐn)?shù)），10-2；

-6

Φ