光學(xué)分式干涉掃描儀考核試卷

光學(xué)分式干涉掃描儀考核試卷考生姓名：________________答題日期：________________得分：_________________判卷人：_________________

一、單項(xiàng)選擇題（本題共20小題，每小題1分，共20分，在每小題給出的四個(gè)選項(xiàng)中，只有一項(xiàng)是符合題目要求的）

1.光學(xué)分式干涉掃描儀的主要原理是利用光的（）。

A.干涉

B.散射

C.反射

D.折射

2.下列哪種光學(xué)元件是光學(xué)分式干涉掃描儀中必須的？（）

A.反射鏡

B.分光鏡

C.透鏡

D.濾光片

3.在光學(xué)分式干涉掃描儀中，干涉條紋的間距與下列哪個(gè)因素有關(guān)？（）

A.光源波長(zhǎng)

B.掃描速度

C.目鏡倍率

D.光柵常數(shù)

4.光學(xué)分式干涉掃描儀中，分光鏡的主要作用是（）。

A.分離光束

B.調(diào)整光束方向

C.聚焦光束

D.消除雜散光

5.下列哪種光源適合用于光學(xué)分式干涉掃描儀？（）

A.太陽(yáng)光

B.白熾燈

C.氦氖激光

D.紅外線

6.在光學(xué)分式干涉掃描儀中，為了獲得清晰的干涉條紋，需要保證兩束光的（）。

A.頻率相同

B.相位相反

C.光程差為零

D.波前形狀相同

7.下列哪個(gè)部件不是光學(xué)分式干涉掃描儀的光學(xué)系統(tǒng)組成部分？（）

A.分光鏡

B.反射鏡

C.透鏡

D.光柵

8.光學(xué)分式干涉掃描儀在測(cè)量物體表面形貌時(shí)，通常以（）作為參考面。

A.分光鏡表面

B.反射鏡表面

C.物體表面

D.透鏡表面

9.下列哪種情況下，光學(xué)分式干涉掃描儀不能正常工作？（）

A.光源不穩(wěn)定

B.分光鏡損壞

C.反射鏡角度調(diào)整不當(dāng)

D.掃描速度過(guò)快

10.光學(xué)分式干涉掃描儀的分辨率取決于（）。

A.光源波長(zhǎng)

B.分光鏡質(zhì)量

C.掃描速度

D.目鏡倍率

11.在光學(xué)分式干涉掃描儀中，如何調(diào)整干涉條紋的對(duì)比度？（）

A.改變光源強(qiáng)度

B.調(diào)整反射鏡角度

C.更換分光鏡

D.調(diào)整透鏡位置

12.下列哪種因素會(huì)影響光學(xué)分式干涉掃描儀的測(cè)量精度？（）

A.環(huán)境溫度

B.光源波長(zhǎng)

C.掃描速度

D.反射鏡質(zhì)量

13.光學(xué)分式干涉掃描儀在測(cè)量過(guò)程中，如何判斷物體表面的凹凸情況？（）

A.觀察干涉條紋的方向

B.觀察干涉條紋的間距

C.觀察干涉條紋的對(duì)比度

D.觀察干涉條紋的亮度

14.下列哪種情況下，光學(xué)分式干涉掃描儀的測(cè)量誤差會(huì)增大？（）

A.光源穩(wěn)定性提高

B.分光鏡反射率提高

C.環(huán)境振動(dòng)減小

D.物體表面反射率降低

15.在光學(xué)分式干涉掃描儀中，如何消除系統(tǒng)誤差？（）

A.選用高質(zhì)量的光學(xué)元件

B.提高光源穩(wěn)定性

C.進(jìn)行系統(tǒng)標(biāo)定

D.減小掃描速度

16.下列哪種方法不適合用于提高光學(xué)分式干涉掃描儀的測(cè)量精度？（）

A.選用高分辨率探測(cè)器

B.提高光源穩(wěn)定性

C.增加掃描速度

D.減小環(huán)境振動(dòng)

17.光學(xué)分式干涉掃描儀在測(cè)量過(guò)程中，若物體表面出現(xiàn)缺陷，會(huì)對(duì)干涉條紋產(chǎn)生（）。

A.位置偏移

B.間距變化

C.對(duì)比度降低

D.亮度變化

18.下列哪種光學(xué)元件在光學(xué)分式干涉掃描儀中起到消除雜散光的作用？（）

A.分光鏡

B.反射鏡

C.透鏡

D.濾光片

19.光學(xué)分式干涉掃描儀在測(cè)量過(guò)程中，若干涉條紋出現(xiàn)模糊現(xiàn)象，可能是由于（）。

A.光源不穩(wěn)定

B.分光鏡損壞

C.透鏡污染

D.掃描速度過(guò)快

20.下列哪種因素會(huì)影響光學(xué)分式干涉掃描儀的測(cè)量范圍？（）

A.光源波長(zhǎng)

B.分光鏡角度

C.掃描速度

D.目鏡倍率

二、多選題（本題共20小題，每小題1.5分，共30分，在每小題給出的四個(gè)選項(xiàng)中，至少有一項(xiàng)是符合題目要求的）

1.光學(xué)分式干涉掃描儀可以用于以下哪些方面的測(cè)量？（）

A.表面形貌

B.光學(xué)元件質(zhì)量

C.材料厚度

D.光源強(qiáng)度

2.以下哪些因素會(huì)影響光學(xué)分式干涉掃描儀的干涉條紋質(zhì)量？（）

A.光源穩(wěn)定性

B.環(huán)境振動(dòng)

C.分光鏡質(zhì)量

D.掃描速度

3.在光學(xué)分式干涉掃描儀中，以下哪些措施可以減少測(cè)量誤差？（）

A.系統(tǒng)標(biāo)定

B.使用高質(zhì)量光學(xué)元件

C.提高掃描速度

D.減小環(huán)境溫度變化

4.以下哪些情況可能導(dǎo)致光學(xué)分式干涉掃描儀無(wú)法獲得清晰的干涉條紋？（）

A.光源波長(zhǎng)變化

B.分光鏡損壞

C.反射鏡角度不當(dāng)

D.目鏡倍率不合適

5.光學(xué)分式干涉掃描儀中，哪些部件需要定期清潔和維護(hù)？（）

A.分光鏡

B.反射鏡

C.透鏡

D.光源

6.以下哪些技術(shù)可以用于提高光學(xué)分式干涉掃描儀的測(cè)量分辨率？（）

A.增加光源波長(zhǎng)

B.使用高分辨率探測(cè)器

C.減小掃描速度

D.調(diào)整分光鏡角度

7.在使用光學(xué)分式干涉掃描儀時(shí)，以下哪些做法是正確的？（）

A.確保光源穩(wěn)定

B.定期進(jìn)行系統(tǒng)標(biāo)定

C.隨意調(diào)整反射鏡角度

D.忽視環(huán)境振動(dòng)的影響

8.光學(xué)分式干涉掃描儀的測(cè)量結(jié)果可能受到以下哪些因素的影響？（）

A.物體表面的反射率

B.環(huán)境溫度

C.光源波長(zhǎng)

D.分光鏡的反射率

9.以下哪些情況下，光學(xué)分式干涉掃描儀的測(cè)量范圍可能受限？（）

A.光源波長(zhǎng)固定

B.分光鏡角度有限

C.掃描速度過(guò)快

D.目鏡倍率低

10.在光學(xué)分式干涉掃描儀中，以下哪些部件對(duì)于保證光束的平行性至關(guān)重要？（）

A.分光鏡

B.反射鏡

C.透鏡

D.光柵

11.以下哪些因素可能導(dǎo)致光學(xué)分式干涉掃描儀的測(cè)量數(shù)據(jù)出現(xiàn)偏差？（）

A.光源的不穩(wěn)定性

B.分光鏡的污染

C.反射鏡的磨損

D.掃描速度的波動(dòng)

12.光學(xué)分式干涉掃描儀在測(cè)量透明材料時(shí)，以下哪些措施有助于提高測(cè)量精度？（）

A.使用濾光片去除雜散光

B.適當(dāng)調(diào)整光源強(qiáng)度

C.增加透鏡數(shù)量以聚焦光束

D.減小分光鏡角度

13.以下哪些條件有助于獲得更寬測(cè)量范圍的光學(xué)分式干涉掃描儀？（）

A.較寬的光源波長(zhǎng)范圍

B.可調(diào)節(jié)的分光鏡角度

C.較高的掃描速度

D.較低的光學(xué)系統(tǒng)分辨率

14.在光學(xué)分式干涉掃描儀中，以下哪些部件可能會(huì)引起光束的偏折或失真？（）

A.分光鏡

B.反射鏡

C.透鏡

D.光柵

15.以下哪些方法可以用于檢測(cè)光學(xué)分式干涉掃描儀的系統(tǒng)誤差？（）

A.使用標(biāo)準(zhǔn)樣品進(jìn)行校準(zhǔn)

B.進(jìn)行重復(fù)測(cè)量

C.分析干涉條紋的形狀

D.觀察光源的穩(wěn)定性

16.在光學(xué)分式干涉掃描儀的維護(hù)中，以下哪些做法是必要的？（）

A.定期清潔光學(xué)元件

B.檢查光源的穩(wěn)定性

C.更換損壞的光學(xué)元件

D.忽視環(huán)境條件的變化

17.以下哪些因素會(huì)影響光學(xué)分式干涉掃描儀的測(cè)量重復(fù)性？（）

A.光源的穩(wěn)定性

B.分光鏡的反射率

C.環(huán)境溫度的變化

D.掃描頭的機(jī)械穩(wěn)定性

18.光學(xué)分式干涉掃描儀在測(cè)量過(guò)程中，以下哪些現(xiàn)象可能是由于物體表面污染引起的？（）

A.干涉條紋對(duì)比度降低

B.干涉條紋位置偏移

C.干涉條紋間距變化

D.干涉條紋亮度降低

19.以下哪些技術(shù)可以用于光學(xué)分式干涉掃描儀的數(shù)據(jù)處理和分析？（）

A.數(shù)字圖像處理

B.三維重建

C.傅里葉變換

D.光譜分析

20.在光學(xué)分式干涉掃描儀的日常操作中，以下哪些做法有助于保證測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性？（）

A.保持光學(xué)元件清潔

B.遵守操作規(guī)程

C.定期進(jìn)行系統(tǒng)校準(zhǔn)

D.避免在強(qiáng)振動(dòng)環(huán)境下操作

三、填空題（本題共10小題，每小題2分，共20分，請(qǐng)將正確答案填到題目空白處）

1.光學(xué)分式干涉掃描儀中，兩束光發(fā)生干涉時(shí)，光程差應(yīng)為_(kāi)_____的整數(shù)倍。

2.在光學(xué)分式干涉掃描儀中，常用的光源是______。

3.光學(xué)分式干涉掃描儀的干涉條紋間距與光源的______成反比。

4.為了獲得清晰的干涉條紋，光學(xué)分式干涉掃描儀中分光鏡的反射率一般應(yīng)控制在______左右。

5.光學(xué)分式干涉掃描儀在測(cè)量時(shí)，若物體表面有缺陷，會(huì)導(dǎo)致干涉條紋的______發(fā)生變化。

6.光學(xué)分式干涉掃描儀的測(cè)量精度受到______、______和______等因素的影響。

7.在光學(xué)分式干涉掃描儀中，系統(tǒng)誤差可以通過(guò)______來(lái)消除或減小。

8.透鏡在光學(xué)分式干涉掃描儀中的作用是______光束。

9.光學(xué)分式干涉掃描儀的測(cè)量范圍受到______和______的限制。

10.光學(xué)分式干涉掃描儀的數(shù)據(jù)處理通常包括______和______等步驟。

四、判斷題（本題共10小題，每題1分，共10分，正確的請(qǐng)?jiān)诖痤}括號(hào)中畫(huà)√，錯(cuò)誤的畫(huà)×）

1.光學(xué)分式干涉掃描儀可以用于非透明物體的表面形貌測(cè)量。（）

2.光源波長(zhǎng)的穩(wěn)定性對(duì)光學(xué)分式干涉掃描儀的測(cè)量結(jié)果沒(méi)有影響。（）

3.在光學(xué)分式干涉掃描儀中，分光鏡的反射率和透射率必須相等。（）

4.光學(xué)分式干涉掃描儀的干涉條紋間距與物體表面的高低起伏成正比。（）

5.環(huán)境溫度的變化不會(huì)影響光學(xué)分式干涉掃描儀的測(cè)量精度。（）

6.在光學(xué)分式干涉掃描儀中，透鏡的污染會(huì)導(dǎo)致干涉條紋對(duì)比度降低。（）

7.光學(xué)分式干涉掃描儀的系統(tǒng)誤差可以通過(guò)多次測(cè)量取平均值來(lái)消除。（）

8.提高掃描速度可以增加光學(xué)分式干涉掃描儀的測(cè)量范圍。（）

9.光學(xué)分式干涉掃描儀在測(cè)量過(guò)程中，若出現(xiàn)干涉條紋模糊，可能是由于光源強(qiáng)度不足。（）

10.光學(xué)分式干涉掃描儀的所有光學(xué)元件都不需要定期清潔和維護(hù)。（）

五、主觀題（本題共4小題，每題10分，共40分）

1.請(qǐng)簡(jiǎn)述光學(xué)分式干涉掃描儀的工作原理，并說(shuō)明其在工業(yè)檢測(cè)中的應(yīng)用。

2.描述光學(xué)分式干涉掃描儀在測(cè)量物體表面形貌時(shí)的主要步驟，并分析可能影響測(cè)量