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文檔簡介
全球市場研究報告全球市場研究報告半導體用陶瓷靜電卡盤是一種在半導體制造過程中用來固定和支撐硅片或其他半導體材料基板的裝置。它通過靜電吸引力將晶圓等基板牢牢地吸附在其表面上,確保在進行薄膜沉積、蝕刻、光刻等高精度工藝時基板能夠保持穩(wěn)定不動。與平板顯示器用電靜電卡盤類似,但針對的是更小尺寸且對清潔度要求極高的半導體晶圓。主要特點:1.高精度定位:提供極其穩(wěn)定的基板固定能力,保證了加工過程中的精確定位。2.耐高溫性能:由于許多半導體加工步驟需要在高溫環(huán)境下進行,因此這些卡盤通常具有良好的熱穩(wěn)定性。3.低污染特性:為了防止對敏感的半導體材料造成污染,這類卡盤采用特殊材料制成,如氧化鋁或氮化鋁陶瓷,它們不僅耐腐蝕而且能有效減少顆粒物產生。4.溫度控制:部分高級型號還集成了加熱或冷卻系統(tǒng),以滿足特定工藝對溫度控制的需求。5.適用于多種環(huán)境:能夠在高真空條件及不同氣體氛圍下正常工作。工作原理:1.當施加一定電壓于卡盤表面與被固定的晶圓之間時,會產生靜電力從而吸引并緊緊握住晶圓。2.釋放晶圓時只需移除電場即可輕松取下。半導體用陶瓷靜電卡盤產品圖片資料來源:第三方資料及QYResearch整理研究,2024年陶瓷型靜電吸盤(ESCs)在半導體市場近年來見證了顯著的增長和演變,這一趨勢是由半導體器件和先進制造工藝需求的不斷增長所推動的。靜電吸盤在半導體制造中發(fā)揮著關鍵作用,提供了精確可靠的晶圓處理能力,這對于實現高生產力和良率至關重要。根據QYResearch發(fā)布的新的市場研究報告《2024-2030年全球半導體市場陶瓷型靜電吸盤(ESCs)報告》,全球半導體市場陶瓷型靜電吸盤(ESCs)的市場規(guī)模預計將在2030年達到16.4億美元,預測期間復合年增長率為5.5%。目前,陶瓷型靜電吸盤(ESCs)在半導體行業(yè)由日本公司主導。日本公司掌握了成熟的技術。許多國家需要從日本進口,如中國、臺灣、美國等。中國在半導體靜電吸盤(ESCs)領域已經實現了某些技術突破。中國企業(yè)北京華卓精科和河北中瓷電子科技的靜電吸盤技術更新已達到標準和客戶接受要求。在2023年,SHINKO、NGKInsulators和NTKCERATEC占據了陶瓷型靜電吸盤(ESCs)在半導體市場的收入份額前三名。SHINKO以21.70%的市場收入份額占據主導地位,其次是NGKInsulators,收入份額為19.63%,NTKCERATEC的收入份額為14.82%??傊S著半導體行業(yè)的擴張、技術進步和先進材料的日益采用,陶瓷型靜電吸盤(ESCs)在半導體市場有望繼續(xù)增長。隨著制造商專注于提高晶圓處理能力和良率,半導體制造設備中的靜電吸盤(ESCs)將仍然是關鍵組件,將在未來幾年內維持市場的勢頭。半導體制造設備行業(yè)對靜電吸盤的需求有更大的影響。隨著半導體行業(yè)的大量投資,我們對靜電吸盤行業(yè)的未來持樂觀態(tài)度。半導體用陶瓷靜電卡盤,全球市場總體規(guī)模7.3%來源:QYResearch電子研究中心7.3%全球半導體用陶瓷靜電卡盤市場前18強生產商排名及市場占有率(基于2023年調研數據;目前最新數據以本公司最新調研數據為準)來源:QYResearch電子研究中心。行業(yè)處于不斷變動之中,最新數據請聯系QYResearch咨詢。根據QYResearch頭部企業(yè)研究中心調研,全球范圍內半導體用陶瓷型靜電卡盤生產商主要包括SHINKO、NGKInsulators、NTKCERATEC、TOTO、SumitomoOsakaCement、Entegris、LKENGINEERING、Kyocera、TechneticsGroup、CreativeTechnologyCorporation等。2022年,全球前十強廠商占有大約92.0%的市場份額。半導體用陶瓷靜電卡盤,全球市場規(guī)模,按產品類型細分,庫倫型處于主導地位來源:QYResearch電子研究中心就產品類型而言,目前庫侖型是最主要的細分產品,占據大約69.0%的份額。半導體用陶瓷靜電卡盤,全球市場規(guī)模,按應用細分,300毫米晶圓是最大的下游市場,占有80.4%的份額。來源:QYResearch電子研究中心就產品應用而言,目前300毫米晶圓是最主要的需求來源,占據大約80.4%的份額。全球主要市場半導體用陶瓷靜電卡盤規(guī)
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