《基于CSV的測試數(shù)據(jù)文件規(guī)范》

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ZJBDT

團體標(biāo)準(zhǔn)

T/ZJBDTXXXX—XXXX

基于CSV格式的測試數(shù)據(jù)文件規(guī)范

SpecificationoftestdatafilebasedonCSVformat

（本草案完成時間：2024年03月15日）

2024-XX-XX發(fā)布2024-XX-XX實施

浙江省半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會??發(fā)布

T/ZJBDTXXXX—XXXX

目次

前言..................................................................................II

1范圍................................................................................1

2規(guī)范性引用文件......................................................................1

3術(shù)語和定義..........................................................................1

4文件命名規(guī)范........................................................................1

5測試數(shù)據(jù)規(guī)范........................................................................2

5.1標(biāo)題............................................................................2

5.2測試項信息......................................................................3

5.3測試數(shù)據(jù)........................................................................4

參考文獻...............................................................................5

I

T/ZJBDTXXXX—XXXX

基于CSV格式的測試數(shù)據(jù)文件規(guī)范

1范圍

本文件規(guī)定了基于CSV格式的測試數(shù)據(jù)文件的名稱，統(tǒng)一了半導(dǎo)體行業(yè)常用的PCM、CP和FT測試結(jié)果

的數(shù)據(jù)格式，使后續(xù)的數(shù)據(jù)分析變得更為科學(xué)便捷，同時，也為半導(dǎo)體測試的數(shù)據(jù)分析、存檔、應(yīng)用以

及商業(yè)化交互提供了一種通用標(biāo)準(zhǔn)。

本文件適用于半導(dǎo)體行業(yè)內(nèi)所有涉及測試數(shù)據(jù)存儲和交換的環(huán)節(jié)，包括但不限于芯片設(shè)計、生產(chǎn)制

造、測試驗證、設(shè)備供應(yīng)等各個環(huán)節(jié)。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，

僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本

文件。

rfc4180有關(guān)CSV格式的定義

STDFV4specification有關(guān)測試數(shù)據(jù)字段的定義

3術(shù)語和定義

rfc4180、STDFV4specification界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件。

3.1

PCM測試ProcessControlMonitoring

PCM測試，也叫WAT（WaferAcceptanceTest）測試，是對晶圓劃片槽測試鍵的測試，通過電性參

數(shù)來監(jiān)控各步工藝是否正常和穩(wěn)定。

3.2

CP測試ChipProbing

CP測試也叫“DieSort”，是對整片晶圓的每個Die的基本參數(shù)進行測試，把壞的Die挑出來，用墨

點標(biāo)記或用Map文件記錄，減少封裝和測試的成本。

3.3

FT測試FinalTest

FT測試是對封裝好的芯片進行應(yīng)用方面的測試，把壞的芯片挑出來，用于檢查封裝廠的工藝水平。

3.4

CSV格式Comma-SeparatedValues

CSV格式的文件以純文本形式存儲表格數(shù)據(jù)（數(shù)字和文本）。它由任意數(shù)目的記錄組成，記錄間以

換行符分隔；每條記錄由字段組成，字段間以逗號分隔。

4文件命名規(guī)范

測試數(shù)據(jù)文件的命名規(guī)則如下：

<測試類型>_<產(chǎn)品名>_<LOTID><_SUBLOTID><_WAFERID><_CODE>_<TIMESTAMP>.tdas.csv

其中，

測試類型包含：CP、FT、PCM；

產(chǎn)品名為產(chǎn)品的名稱或者其英文縮寫，可包含大小寫英文字母、數(shù)字、橫杠；

LOTID為晶圓的批次編號；

SUBLOTID為子批次編號，建議采用字母和數(shù)字的組合，不包含“.”,“-”,“_”等特殊符號。僅

當(dāng)測試類型為FT且子批次編號不為空時包含該字段，其它情況時，該字段被省略；

1

T/ZJBDTXXXX—XXXX

WAFERID為晶圓編號，用兩位數(shù)字表示，如01。僅當(dāng)測試類型為CP時包含WAFERID，其它情況時，該

字段被省略；

CODE為測試流程和站點的信息。

a)若測試類型為CP，CODE是測試階段，為CP<正整數(shù)>，如CP1，CP2，CP3…以此類推

b)若測試類型為FT，CODE是<測試階段>-<站點>，其中測試階段為FT<正整數(shù)>，站點為<P|RT><

正整數(shù)>。站點中的P表示首測站點，RT表示復(fù)測站點，RT后面的數(shù)字表示第幾輪復(fù)測，范圍從1～9。FT

的CODE示例FT1-P1，F(xiàn)T1-RT1，F(xiàn)T1-RT2。

c)若測試類型為PCM，CODE字段被省略。

TIMESTAMP為時間戳，采用連續(xù)數(shù)字字符表示年月日時分秒。

示例：

產(chǎn)品abc的CP數(shù)據(jù)文件名CP_abc_FA12345_01_CP1_202201021504.tdas.csv；

產(chǎn)品bcd的FT數(shù)據(jù)文件名FT_bcd_MX23456_FT1-P1_202201031122.tdas.csv；

產(chǎn)品def的PCM數(shù)據(jù)文件名PCM_def_N34567_202201010203.tdas.csv。

5測試數(shù)據(jù)規(guī)范

測試數(shù)據(jù)文件內(nèi)容由三部分組成，分別為標(biāo)題，測試項信息，測試數(shù)據(jù)。采用Excel工具打開文件，

可自動轉(zhuǎn)換為表格方式，如下圖所示：

標(biāo)題

測試項

信息

測試

數(shù)據(jù)

圖1

5.1標(biāo)題

第一部分為標(biāo)題行，也是文本的第一條記錄。該記錄中的每個字段表示下文每一列的標(biāo)題。主要包

含以下字段：

圖2

filename：測試機生成的原始文件名。包含兩種情況：

a)測試機生成的原始文件符合本文規(guī)定的csv格式，則此處的文件名就是測試機生成的原始文件名；

b)測試機生成的原始文件不符合本文規(guī)定的csv格式，然后采用人工或者轉(zhuǎn)換工具轉(zhuǎn)成了本文規(guī)定

的csv格式，則此處的文件名仍是測試機生成的原始文件名，并非格式轉(zhuǎn)換后的文件名。

tdas_ver：測試數(shù)據(jù)文件所采用的格式版本，目前采用v1.2，必填。

test_program：測試程序名稱

revision：測試程序版本號

lot_id：晶圓批次，必填

sublot_id：子批次

wafer_id：晶圓編號，正整數(shù)。對于測試類型CP和PCM，必填。對于FT，該列可被省略。

start_time：測試開始時間，ISO8601日期時間格式，如2022-05-01T13:47:15+0800，必填

finish_time：測試結(jié)束時間，ISO8601日期時間格式

type：測試類型，包含CP、FT、PCM，必填

test_phase：測試階段，CP測試階段包含CP1～CP9，F(xiàn)T測試階段包含F(xiàn)T1～FT9

retest_code：復(fù)測輪次，建議取值0～9，0表示首測，1～9表示第幾輪復(fù)測

2

T/ZJBDTXXXX—XXXX

mode_code：測試模式，P表示量產(chǎn)，D表示調(diào)試，Q表示質(zhì)檢

flow_id：測試流程編號，retest_code為空時，可使用該字段表示復(fù)測，如RT1，RT2等。

setup_id：測試設(shè)置的唯一標(biāo)識符。測試設(shè)置是指在測試過程中使用的硬件和軟件配置，包括測試

設(shè)備、測試程序、測試參數(shù)等。每個測試設(shè)置都可以分配一個唯一的標(biāo)識符

part_type：產(chǎn)品型號或產(chǎn)品編號

facility_id：測試廠或測試實驗室編號

fab_process：流片工藝編碼

tester_type：測試機型號

test_station：測試機編號

probe_card：探針卡，通常用于CP測試。對于FT，該列可被省略。

load_board：測試板卡，通常用于FT測試。對于CP和PCM，該列可被省略。

handler_type：探針臺或分選機型號

handler：探針臺或分選機編號

dib_board：接口板編號。連接被測試芯片和測試設(shè)備之間的接口板。

contactor：分選機連接器。通常是一種具有彈性接觸針或彈簧接觸針的組件。它們使用彈性力來

確保良好的電氣接觸，并在測試過程中穩(wěn)定地傳遞信號和電源。通常具有可調(diào)節(jié)的設(shè)計，以適應(yīng)不同芯

片的要求。

temperature：測試溫度

operator：測試人員

wafer_flat：晶圓缺口，取值Up、Down、Left、Right或其縮寫U、D、L、R，分別表示晶圓缺口方

向上、下、左、右。若測試類型為FT，該列可被省略。

pos_x：X坐標(biāo)自增方向，取值Left、Right或其縮寫L、R，分別表示左、右。若測試類型為FT，該

列可被省略。

pos_y：Y坐標(biāo)自增方向，取值Up、Down或其縮寫U、D，分別表示上、下。若測試類型為FT，該列可

被省略。

user_text：用戶自定義內(nèi)容

part_id：芯片編號

head_num：測試頭編號。一臺測試設(shè)備可以具有單個測試頭，也可以具有多個測試頭。多個測試頭

的配置可以提高測試的并行度和效率。

site_num：site編號，非負(fù)整數(shù)

hbin：HardwareBin編號，正整數(shù)

hbin_name：HardwareBin名稱

sbin：SoftwareBin編號，正整數(shù)

sbin_name：SoftwareBin名稱

pass_fail：芯片測試結(jié)果，采用Pass、1、P表示“測試通過”，F(xiàn)ail、0、F表示“測試失敗”

x：芯片的X坐標(biāo)，整數(shù)。結(jié)合Y坐標(biāo)，可定位芯片在晶圓上的位置

y：芯片的Y坐標(biāo)，整數(shù)。結(jié)合X坐標(biāo)，可定位芯片在晶圓上的位置

duration：測試一顆芯片所花的時間，浮點數(shù)

test_item_<正整數(shù)>：測試項的列名，test_item_1表示第一個測試項，test_item_2表示第二個測

試項，以此類推。

5.2測試項信息

第二部分為測試項信息，從第二條記錄開始，包含11條記錄。其中每條記錄的第一個字段與文件名

復(fù)用，指明了該記錄的功能。主要包含以下內(nèi)容：

3

T/ZJBDTXXXX—XXXX

圖3

test_num：測試項編號，正整數(shù)。留空，則采用列名中的數(shù)字作為測試項編號，如test_item_10

列，則編號為10。

test_txt：測試項名稱，必填。

test_name：測試項簡稱。

item_type：測試項類型，P表示參數(shù)項，F(xiàn)表示功能項。留空，默認(rèn)為參數(shù)項。

param_flag：參數(shù)項標(biāo)志。留空，默認(rèn)為測試結(jié)果等于下限或上限時，測試結(jié)果為Pass。

a)bit0：0表示測試值等于下限時，測試結(jié)果為Fail；1表示測試值等于下限時，測試結(jié)果為Pass。

b)bit1：0表示測試值等于上限時，測試結(jié)果為Fail；1表示測試值等于上限時，測試結(jié)果為Pass。

其它位保留。

lo_limit：測試數(shù)據(jù)下限，浮點數(shù)。

hi_limit：測試數(shù)據(jù)上限，浮點數(shù)。

lo_spec：規(guī)格下限，浮點數(shù)。

hi_spec：規(guī)格上限，浮點數(shù)。

unit：數(shù)據(jù)單位。

duration：每個測試項的測試總時間，浮點數(shù)。

每條記錄從tdas_ver列到duration列，除了duration記錄duration列表示測試時間的單位，其余皆

為空。

每條記錄從test_item_1列開始，描述每個測試項的一條信息。如test_num記錄，從test_item_1

列開始，每個字段依次描述各個測試項的編號。

5.3測試數(shù)據(jù)

每條記錄為一顆芯片的數(shù)據(jù)：包含基本信息和原始測試數(shù)據(jù)，以test_item_1列為界。記錄的每個

字段的含義由第一部分的列名指定。

參數(shù)項的測試結(jié)果以浮點數(shù)記錄；功能項的測試結(jié)果以0,1記錄：0為Fail，1為Pass。

基本信息原始測試數(shù)據(jù)

圖4

4

T/ZJBDTXXXX—XXXX

參考文獻

[1]rfc8140CommonFormatandMIMETypeforComma-SeparatedValues(CSV)Files

[2]StandardTestDataFormat(STDF)SpecificationVersion4

5

《基于CSV的測試數(shù)據(jù)文件規(guī)范》團體標(biāo)準(zhǔn)

（征求意見稿）編制說明

1.工作情況

1.1項目背景

近年來，在各級政府統(tǒng)一規(guī)劃和部署下，政策聚焦高端芯片、集

成電路裝備和工藝技術(shù)、集成電路關(guān)鍵材料、集成電路設(shè)計工具、先

進存儲、先進計算、先進制造、高端封裝測試、關(guān)鍵裝備材料、新一

代半導(dǎo)體技術(shù)等關(guān)鍵“卡脖子”領(lǐng)域，培育新質(zhì)生產(chǎn)力，推動半導(dǎo)體

產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量自主發(fā)展。

當(dāng)下，半導(dǎo)體“國產(chǎn)替代”給行業(yè)帶來巨大機遇的同時，也對產(chǎn)

品兼容性提出了非常苛刻的條件，各項指標(biāo)差異如何去適應(yīng)系統(tǒng)的要

求，都是亟需解決的行業(yè)問題。

目前業(yè)內(nèi)有STDF（標(biāo)準(zhǔn)測試數(shù)據(jù)格式），一種主流的半導(dǎo)體芯片

測試數(shù)據(jù)的存儲規(guī)范。然而，STDF格式文件容量較大，且很多測試機

無法輸出該格式，這導(dǎo)致了一些實際應(yīng)用上的困難。相比之下，基于

CSV格式的測試數(shù)據(jù)文件具有文件容量小、易于生成和解析的優(yōu)勢，

但目前尚缺乏統(tǒng)一的規(guī)范和標(biāo)準(zhǔn)，給行業(yè)帶來較高的成本浪費，且非

常不利于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的各環(huán)節(jié)協(xié)同。建立基于CSV格式的測試數(shù)據(jù)

文件規(guī)范的團體標(biāo)準(zhǔn)具有較強的技術(shù)必要性和社會需求性。

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了基于CSV格式的測試數(shù)據(jù)文件的名稱，統(tǒng)一了半導(dǎo)

體行業(yè)常用的PCM、CP和FT測試結(jié)果的數(shù)據(jù)格式，使后續(xù)的數(shù)據(jù)分析變

得更為科學(xué)便捷，同時，也為半導(dǎo)體測試的數(shù)據(jù)分析、存檔、應(yīng)用以

及商業(yè)化交互提供了一種通用標(biāo)準(zhǔn)。

1.2項目來源

本項目根據(jù)浙江省半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會的浙半發(fā)〔2024〕8號文件《浙

江省半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會關(guān)于<基于CSV格式的測試數(shù)據(jù)文件規(guī)范>團體標(biāo)

準(zhǔn)立項的通知》，由杭州芯翼科技有限公司擔(dān)任主起草單位，項目周期

為6個月。

1.3主要工作過程

1.3.1前期準(zhǔn)備工作

背景調(diào)研

對半導(dǎo)體芯片測試數(shù)據(jù)的存儲規(guī)范的發(fā)展趨勢、國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)等進

行文獻以及工業(yè)界經(jīng)驗調(diào)研，參考國際上通用的STDF規(guī)范，借鑒其

在測試數(shù)據(jù)存儲和交換方面的經(jīng)驗和成果，并結(jié)合本標(biāo)準(zhǔn)起草單位

自身多年積累的工業(yè)界經(jīng)驗，充分驗證和研討本標(biāo)準(zhǔn)使用客戶的各

類參數(shù)和使用情況，明確標(biāo)準(zhǔn)制定的目的和必要性，確定標(biāo)準(zhǔn)適用

的范圍。

標(biāo)準(zhǔn)立項

2024年03月向浙江省半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會提出標(biāo)準(zhǔn)制定立項申請。

成立標(biāo)準(zhǔn)工作組

根據(jù)浙江省半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會下達的《基于CSV格式的測試數(shù)據(jù)文

件規(guī)范》團體標(biāo)準(zhǔn)的立項通知，為了更好地開展編制工作，杭州芯翼

科技有限公司組建了標(biāo)準(zhǔn)工作組，落實標(biāo)準(zhǔn)起草任務(wù)。

1.3.2標(biāo)準(zhǔn)草案研制

收集國際相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)：收集到

[l]rfc4180CommonFormatandMIMETypeforComma-

SeparatedValues(CSV)Files；

[2]StandardTestDataFormat(STDF)SpecificationVersion

4；

為起草該標(biāo)準(zhǔn)提供了參考。

編寫標(biāo)準(zhǔn)草案及編制說明：根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)編制原則，經(jīng)反復(fù)討論，確

定標(biāo)準(zhǔn)主體內(nèi)容，編制了標(biāo)準(zhǔn)草案及編制說明。

1.3.3標(biāo)準(zhǔn)研討會

2024年03月20日，本標(biāo)準(zhǔn)主要起草單位杭州芯翼科技有限公

司組織召開了標(biāo)準(zhǔn)啟動會暨研討會。會上，編制組向與會人員作了

標(biāo)準(zhǔn)的編制說明，確定了標(biāo)準(zhǔn)研制計劃與進展。與會人員就標(biāo)準(zhǔn)草案

的結(jié)構(gòu)、內(nèi)容和格式等進行詳細討論，并提出了修改意見。

1.3.4征求意見（后續(xù)根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)版次補充）

1.3.5專家評審（后續(xù)根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)班次補充）

1.3.6標(biāo)準(zhǔn)報批（后續(xù)根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)班次補充）

1.4標(biāo)準(zhǔn)制定相關(guān)單位及人員

1.4.1本標(biāo)準(zhǔn)主要起草單位：杭州芯翼科技有限公司。

1.4.2本標(biāo)準(zhǔn)參與起草單位：浙江馳拓科技有限公司、杭州士蘭微電子

股份有限公司、杭州米芯微電子有限公司、浙江英能電子科技有

限公司。

1.4.3本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：蔣宏業(yè)、鄭尊標(biāo)、歐陽震、方偉、胡榮星、

程飛、黃聰。

2.標(biāo)準(zhǔn)編制原則、主要內(nèi)容及確定依據(jù)

2.1編制原則

標(biāo)準(zhǔn)編制遵循合規(guī)性、協(xié)調(diào)性、時效性、可行性，嚴(yán)格按照GB/T

1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)

則》規(guī)定的基本原則和要求進行編寫。

2.1.1合規(guī)性

標(biāo)準(zhǔn)的編制符合國家相關(guān)法律法規(guī)、標(biāo)準(zhǔn)、文件的要求。

2.1.2協(xié)調(diào)性

制定基于CSV格式的測試數(shù)據(jù)文件規(guī)范時，應(yīng)考慮和協(xié)調(diào)與其他

行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的關(guān)系，考慮行業(yè)發(fā)展技術(shù)現(xiàn)狀，以促進行業(yè)技術(shù)升級。

2.1.3時效性

標(biāo)準(zhǔn)的制定應(yīng)當(dāng)考慮到科技和行業(yè)的發(fā)展變化，具有一定的時效

性，能夠適應(yīng)未來一段時間內(nèi)的發(fā)展趨勢。

2.1.4可行性

標(biāo)準(zhǔn)中的技術(shù)內(nèi)容應(yīng)具有可行性，能夠在實際應(yīng)用中被廣泛采用，

為行業(yè)提供實際的指導(dǎo)與規(guī)范。

2.2主要內(nèi)容及確定依據(jù)

標(biāo)準(zhǔn)主要內(nèi)容包括基于CSV格式的測試數(shù)據(jù)文件規(guī)范的范圍、規(guī)

范性引用文件、術(shù)語和定義、文件命名規(guī)范、測試數(shù)據(jù)規(guī)范。

2.2.1范圍

根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)主要內(nèi)容和適用對象確定范圍。

2.2.2規(guī)范性引用文件

根據(jù)實際引用的規(guī)范性文件按規(guī)定要求排列。

2.2.3術(shù)語和定義

根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)的實際需要和行業(yè)通用解釋確定。

2.2.4文件命名規(guī)范、測試數(shù)據(jù)規(guī)范

參考《StandardTestDataFormat(STDF)Specification

Version4》、《rfc4180CommonFormatandMIMETypefor

Comma-SeparatedValues(CSV)Files》，以及各大測試廠的測試數(shù)