《金相分析基礎(chǔ)》-課件：掃描電鏡的操作

金相分析基礎(chǔ)掃描電子顯微鏡的操作目

錄掃描電子顯微鏡的原理掃描電子顯微鏡的應(yīng)用掃描電子顯微鏡的參數(shù)掃描電子顯微鏡的操作01030204顯微鏡的作用人肉眼的觀察能力能分辨的最小距離只能達(dá)到0.2mm左右。顯微鏡：把微觀形貌放大幾十倍到幾十萬倍，以適應(yīng)人眼的分辨能力。掃描電子顯微鏡?

掃描電子顯微鏡，簡(jiǎn)稱為掃描電鏡，英文縮寫為SEM(Scanning

Electron

Microscope)。?

它是用細(xì)聚焦的電子束轟擊樣品表面，通過電子與樣品相互作用產(chǎn)生的二次電子、背散射電子等對(duì)樣品表面或斷口形貌進(jìn)行觀察和分析。?

現(xiàn)在SEM都與能譜（EDS）組合，可以進(jìn)行成分分析。電子束與固體的相互作用入射高壓電子束背散射電子俄歇電子二次電子陰極熒光X射線樣品吸收電子二次電子?

二次電子一般都是在表層5-10nm深度范圍內(nèi)發(fā)射出來的，它對(duì)樣品的表面形貌十分敏感，因此，能非常有效地顯示樣品的表面形貌。?

它的產(chǎn)額與原子序數(shù)Z沒有明顯關(guān)系，不能進(jìn)行成分分析背散射電子背散射電子的產(chǎn)額隨原子序數(shù)Z的增加而增加I

2/

3~3/

4Z?

利用背散射電子作為成像信號(hào)不僅能分析形貌特征，還可以作為原子序數(shù)襯度，進(jìn)行定性成分分析。X射線通過特征波長(zhǎng)檢測(cè)相應(yīng)元素，進(jìn)分分析-EDS，這就是我們俗稱的EDSSEM的主要結(jié)構(gòu)掃描電子顯微鏡的參數(shù)廠家型號(hào)：ThermoFisherScientific

Apreo2C分辨率：15kV時(shí)0.9

nm放大倍率：30～1,000,000倍電子束流：1pA

～50nA(400nA可選)，連續(xù)可調(diào)成像探頭：SE，T1(BSE)，T2，DBS建設(shè)時(shí)間&價(jià)值：2022年12月，298萬人民幣掃描電子顯微鏡的應(yīng)用領(lǐng)域掃描電子顯微鏡是一種多功能的儀器，具有很多優(yōu)越的性能，是用途最為廣泛的一種儀器，它可以進(jìn)行如下分析：12觀察納米材料。所謂納米材料就是指組成材料的顆?；蛭⒕С叽缭?.

1～100nm范圍內(nèi)。進(jìn)行材料斷口的分析。它顯示的斷口形貌從深層次、高景深的角度呈現(xiàn)材料斷裂的本質(zhì)，在材料斷裂原因的分析、事故原因的分析的判定是一個(gè)強(qiáng)有力的手段。直接觀察大試樣的原始表面。它能夠直接觀察大試樣，能真實(shí)觀察試樣本身物質(zhì)成分不同的襯度（背反射電子象）。3掃描電子顯微鏡的應(yīng)用領(lǐng)域掃描電子顯微鏡是一種多功能的儀器，具有很多優(yōu)越的性能，是用途最為廣泛的一種儀器，它可以進(jìn)行如下分析：45觀察厚試樣。其在觀察厚試樣時(shí)，能得到高的分辨率和最真實(shí)的形貌。觀察試樣的各個(gè)區(qū)域的細(xì)節(jié)。試樣在樣品室中可動(dòng)的范圍非常大。不規(guī)則形狀試樣的細(xì)節(jié)觀察帶來極大的方便。進(jìn)行從高倍到低倍的連續(xù)觀察。掃描電子顯微鏡的放大倍數(shù)范圍很寬，這對(duì)進(jìn)行事故分析特別方便。6掃描電子顯微鏡的應(yīng)用領(lǐng)域掃描電子顯微鏡是一種多功能的儀器，具有很多優(yōu)越的性能，是用途最為廣泛的一種儀器，它可以進(jìn)行如下分析：觀察生物試樣。掃描電鏡以光柵狀掃描方式照射試樣，對(duì)觀察一些生物試樣特別重要。78進(jìn)行動(dòng)態(tài)觀察。在樣品室內(nèi)裝有相應(yīng)附件時(shí)，則可以觀察相變、斷裂等動(dòng)態(tài)的變化過程。從試樣表面形貌獲得多方面資料。掃描電子顯微鏡除了觀察表面形貌外，還能進(jìn)行成分和元素的分析。9應(yīng)用領(lǐng)域由于掃描電子顯微鏡具有上述特點(diǎn)和功能，所以越來越受到科研人員的重視，用途日益廣泛。掃描電子顯微鏡已廣泛用于材料科學(xué)（金屬材料、非金屬材料、納米材料）、冶金、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、半導(dǎo)體材料與器件、地質(zhì)勘探、病蟲害的防治、災(zāi)害（火災(zāi)、失效分析）鑒定、刑事偵察、寶石鑒定、工業(yè)生產(chǎn)中的產(chǎn)品質(zhì)量鑒定及生產(chǎn)工藝控制等。高分子材料的形貌觀察高分子材料的形貌觀察高分子材料的形貌觀察高分子材料的形貌觀察金屬合金的形貌觀察金屬合金的形貌觀察金屬合金的形貌觀察金屬合金的形貌觀察陶瓷的形貌觀察陶瓷的形貌觀察陶瓷的形貌觀察石墨烯的形貌觀察石墨烯的形貌觀察石墨烯的形貌觀察包裹材料的形貌觀察包裹材料的形貌觀察包裹材料的形貌觀察生物樣品的形貌觀察生物樣品的形貌觀察生物樣品的形貌觀察頭發(fā)的形