真空漏放氣試驗平臺需求說明

真空漏放氣試驗平臺需求說明一、貨物需求明細(xì)序號采購計劃編號貨物名稱數(shù)量單位備注1器件泄漏測試設(shè)備1套1.1泄漏測試模塊I1套1.2泄漏測試模塊II1套1.3泄漏測試模塊III1套1.4流量標(biāo)定模塊1套1.5環(huán)境控制模塊1套1.6附屬模塊1套2材料放氣檢測設(shè)備1套2.1放氣檢測模塊I1套2.2放氣檢測模塊II1套2.3標(biāo)準(zhǔn)流量模塊1套2.4控制模塊1套2.5備品備件1套二、技術(shù)要求序號貨物名稱技術(shù)要求1器件泄漏測試設(shè)備1.1漏率測試范圍：（1~5×10-16）Pam3/s。1.2漏率測試合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度：（1~10-5）Pam3/s范圍內(nèi)：≤5%；（10-5~10-11）Pam3/s范圍內(nèi)：≤6%；（10-11~5×10-16）Pam3/s范圍內(nèi)：≤10%。1.3環(huán)境控制模塊溫度范圍包含：-100℃~+150℃。1.4器件泄漏檢測單元主要功能模塊分別為測試模塊I、測試模塊II、測試模塊III、標(biāo)定模塊、環(huán)境控制模塊和附屬模塊等。1.5測試模塊I可獨立實現(xiàn)（1~10-5）Pam3/s范圍內(nèi)的漏率測試，合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度：≤5%。1.5.1供氣系統(tǒng)主要由氣瓶、進氣閥門、管道等組成。進氣管路采用不銹鋼材質(zhì)，至少應(yīng)設(shè)計N2、He、Ar等3路進氣系統(tǒng)。1.5.2測試模塊I應(yīng)設(shè)計單獨的抽氣機組，主抽泵抽速≥60L/s，前級泵抽速≥1L/s。1.5.3測試模塊I應(yīng)配置必要的真空測量儀器。其中監(jiān)測用儀器測量范圍覆蓋（1×105~1×10-6）Pa；高精度測量儀器組件整體測量范圍覆蓋（1×106~1）Pa，精度優(yōu)于0.2%。1.5.4模塊應(yīng)設(shè)計多個真空室，單次測量時間不大于1000s、單次測量壓力變化不大于10000Pa。1.5.5將相關(guān)閥門、管道、容器等全部至于恒溫箱中，恒溫箱溫度波動不大于2℃/h，配置多路溫度傳感器測量恒溫箱內(nèi)部溫度。1.6測試模塊II用于實現(xiàn)（10-5~10-11）Pam3/s范圍內(nèi)的漏率測試，合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度：≤6%。1.6.1測試室II通過超高真空工藝處理，極限真空度＜5×10-7Pa。質(zhì)譜分析室應(yīng)做穩(wěn)壓恒流設(shè)計，保證測試信號的穩(wěn)定性。質(zhì)譜分析室外側(cè)包裹加熱套，加熱范圍覆蓋（室溫~250）℃。1.6.2測試室II主抽泵抽速≥600L/s，輔抽泵抽速≥60L/s，前級干泵抽速≥3L/s。1.6.3測試模塊II應(yīng)配置必要的真空測量儀器。其中監(jiān)測用儀器測量范圍覆蓋（1×105~1×10-6）Pa；超高真空測量儀器測量范圍覆蓋（1×10-1~1×10-8）Pa；副標(biāo)準(zhǔn)高精度真空測量儀器測量范圍覆蓋（10-3~10-9）Pa量級；質(zhì)譜分析儀器采用四極質(zhì)譜計，可檢測質(zhì)量數(shù)范圍：(1～100)amu，質(zhì)譜計離子流測量下限≤1×10-12A。1.7測試模塊III用于實現(xiàn)（10-11~5×10-16）Pam3/s范圍內(nèi)的漏率測試，合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度：≤10%。1.7.1測試室III連接閥門采用全金屬角閥、波紋管截止閥等金屬密封閥門，閥門連接處采用金屬密封。1.7.2測試室III主抽泵抽速≥60L/s；輔抽泵抽速≥60L/s；前級干泵抽速≥1L/s；吸氣劑泵抽速≥100L/s。1.7.3測試室III應(yīng)配置必要的真空測量儀器。其中監(jiān)測用儀器測量范圍覆蓋（1×105~5×10-7）Pa；質(zhì)譜分析儀器采用四極質(zhì)譜計，可檢測質(zhì)量數(shù)范圍：(1～100)amu，質(zhì)譜計離子流測量下限≤1×10-12A。1.8標(biāo)定模塊提供的流量范圍覆蓋（1×10-5~5×10-16）Pam3/s。1.8.1穩(wěn)壓室主抽泵抽速≥60L/s；前級干泵抽速≥1L/s。充氣室干泵抽速≥1L/s。1.8.2穩(wěn)壓室和充氣室應(yīng)配置必要的真空測量儀器。其中監(jiān)測用儀器測量范圍覆蓋（1×105~1×10-6）Pa；高精度測量儀器組件整體測量范圍覆蓋（1×105~1）Pa，精度優(yōu)于0.5%。1.9環(huán)境控制模塊可提供-100℃~+150℃范圍內(nèi)的高低溫環(huán)境。1.10附屬模塊在完成器件泄漏檢測的同時，設(shè)備預(yù)留超高真空計、質(zhì)譜計測試接口，擴展超高真空計、質(zhì)譜計測試模塊，檢測范圍（1~10-7）Pa。2材料放氣檢測設(shè)備2.1放氣率檢測范圍：（10-1~10-14）Pa·m3/(s·cm2）。2.2合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度：（10-1~10-8）Pa·m3/(s·cm2）≤6%；（10-8~10-14）Pa·m3/(s·cm2）≤10%。2.3模塊II樣品室檢測溫度范圍：-100℃~+1000℃。2.4模塊II質(zhì)譜分析范圍：（0~300）amu。2.5材料放氣檢測單元主要功能模塊包括檢測模塊I、檢測模塊II、標(biāo)準(zhǔn)流量模塊、控制模塊等。2.6檢測模塊I放氣率檢測范圍需覆蓋：（10-1~10-8）Pa·m3/(s·cm2），合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度：≤6%。2.6.1檢測室I主抽泵抽速≥60L/s；前級干泵抽速≥1L/s。2.6.2檢測室I連接閥門采用全金屬角閥、波紋管截止閥等金屬密封閥門，閥門連接處采用金屬密封。2.6.3檢測模塊I應(yīng)根據(jù)不同容積分別配置必要的真空測量儀器。其中監(jiān)測用儀器測量范圍覆蓋（1×105~5×10-6）Pa；高精度測量儀器組件整體測量范圍覆蓋（1×104~1）Pa，精度優(yōu)于1%。2.7檢測模塊II放氣率檢測范圍需覆蓋：（10-8~10-14）Pa·m3/(s·cm2），合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度：≤10%。檢測模塊II應(yīng)配置必要的真空測量儀器。其中監(jiān)測用儀器測量范圍覆蓋（1×105~1×10-6）Pa；超高真空測量儀器不少于2套，測量范圍覆蓋（1×10-1~5×10-8）Pa；四極質(zhì)譜計可檢測質(zhì)量數(shù)范圍：（1～300）amu，質(zhì)譜計離子流測量下限≤1×10-12A。2.8標(biāo)準(zhǔn)流量模塊提供的流量范圍覆蓋（5×10-1~1×10-11）Pam3/s。2.8.1標(biāo)準(zhǔn)流量模塊應(yīng)配置足夠的抽氣機組，主抽泵抽速≥60L/s；前級干泵抽速≥1L/s。2.8.2標(biāo)準(zhǔn)流量模塊配置足夠的真空測量儀器。其中監(jiān)測用儀器測量范圍覆蓋（1×105~5×10-6）Pa；高精度測量儀器組件整體測量范圍覆蓋（1×104~1）Pa，精度優(yōu)于0.2%。2.9控制模塊主要用于供電、真空泵及閥門的啟動和停止操作、真空計和溫度傳感器數(shù)據(jù)的采集及對設(shè)備的運行狀態(tài)、真空度、漏率、溫度等參數(shù)及設(shè)備運行的時間等進行顯示?？刂颇K的操作可以通過自帶液晶觸摸屏實現(xiàn)，也可以通過數(shù)據(jù)線連接電腦實現(xiàn)。控制系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置有安全聯(lián)鎖保護機制，確保設(shè)備安全穩(wěn)定的運行。裝置控制模塊功能要求如下：2.9.1裝置采用整體結(jié)構(gòu)設(shè)計方式，為閥門、真空規(guī)、泵等設(shè)備接通電源及校準(zhǔn)氣體氣源；2.9.2真空規(guī)、四極質(zhì)譜計、分子泵、前級泵等具有互鎖功能，防止設(shè)備損壞；2.9.3設(shè)備電源輸入為380V或220V交流電，通過穩(wěn)壓電路轉(zhuǎn)換為直流電給分子泵等設(shè)備供電；2.9.4設(shè)備本體及外殼、輔助電氣設(shè)備等設(shè)有可靠的接地保護，且各接地不串聯(lián)；2.9.5設(shè)備啟停、顯示、采集存儲等均集成在工控一體機界面，實現(xiàn)的功能包括：（1）對分子泵、機械泵等元件的啟停控制和狀態(tài)監(jiān)測；（2）對烘烤系統(tǒng)溫度的測量、顯示、調(diào)節(jié)；（3）對真空規(guī)的真空度、四極質(zhì)譜計離子流等狀態(tài)的顯示、存儲和校準(zhǔn)；（4）對漏率、放氣率等測量結(jié)果進行參數(shù)計算、數(shù)據(jù)修正等。3備品備件服務(wù)單位提供適當(dāng)數(shù)量的耗材和備品備件，包括但不限于密封圈、轉(zhuǎn)換接頭等。備品備件應(yīng)與設(shè)備上零件廠家、型號完全一致。4維修響應(yīng)及故障解決時間在保修期內(nèi)，一旦發(fā)生質(zhì)量問題，服務(wù)單位保證2小時內(nèi)作出響應(yīng)，包括通過電話或電子郵件進行遠(yuǎn)程支持。若服務(wù)單位確認(rèn)故障無法通過遠(yuǎn)程支持予以解決，則需服務(wù)單位在確認(rèn)后24小時內(nèi)派服務(wù)工程師到達(dá)最終用戶現(xiàn)場查找原因并提供解決方案。若服務(wù)單位確認(rèn)設(shè)備無法通過遠(yuǎn)程或現(xiàn)場維修解決的，服務(wù)單位將予以返廠維修或更換，且服務(wù)單位將承擔(dān)設(shè)備流轉(zhuǎn)所產(chǎn)生的費用，包括檢驗費、運費、保險費、倉儲費和裝卸費。重大問題或其他無法迅速解決的問題，服務(wù)單位應(yīng)在5個工作日內(nèi)解決或提出明確的解決方案。服務(wù)單位應(yīng)在10個工作日內(nèi)排除故障，如不能按期排除故障，則設(shè)備免費保修期順延，但服務(wù)單位應(yīng)在30個工作日內(nèi)排除故障。5培訓(xùn)要求服務(wù)單位保證提供貨物相關(guān)的技術(shù)培訓(xùn)，培訓(xùn)內(nèi)容包括設(shè)備的使用，維護等。（1）服務(wù)單位