碳化硅陶瓷晶舟制品用高純碳化硅粉體-編制說明-征集意見稿

碳化硅陶瓷晶舟制品用高純碳化硅粉體編制說明晶圓氧化溫度約在800℃~1300℃之間，且對(duì)環(huán)境中金屬雜質(zhì)含量要協(xié)會(huì)。本標(biāo)準(zhǔn)參照GB/T1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)經(jīng)濟(jì)適用原則:在制定團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，充分考慮碳化硅陶瓷晶舟制可證實(shí)原則:標(biāo)準(zhǔn)中涉及的各項(xiàng)性能指標(biāo)，規(guī)定相應(yīng)的試驗(yàn)條件符合法律法規(guī)和政策要求:在制定團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，嚴(yán)格遵守國家現(xiàn)本文件適用于碳化硅質(zhì)量分?jǐn)?shù)含量不小于99.99%的碳化硅陶瓷原材料的純度和主要雜質(zhì)元素含量影響碳化硅陶瓷晶舟制品的表1產(chǎn)品純度%/C/表2主要雜質(zhì)元素mg/kgmg/kgmg/kgmg/kgmg/kg表3各牌號(hào)粒度分布牌號(hào)>25>2產(chǎn)品的堆積密度和顆粒密度影響碳化硅陶瓷晶舟制品的體積密表4各牌號(hào)堆積密度和顆粒密度牌號(hào)在對(duì)不同碳化硅陶瓷晶舟制品用高純碳化硅粉體產(chǎn)品測試數(shù)據(jù)粉體的純度、主要雜質(zhì)元素含量按ISO/TS15338規(guī)定的項(xiàng)目單位樣品1樣品2樣品3樣品4樣品5標(biāo)準(zhǔn)要求產(chǎn)品純度F240SiC%99.991099.991899.991899.991699.9907≥99.99Si/主元素主元素主元素主元素主元素主元素C/主元素主元素主元素主元素主元素主元素F1200SiC%99.992099.991699.991099.991799.9911≥99.99Si/主元素主元素主元素主元素主元素主元素C/主元素主元素主元素主元素主元素主元素主要雜質(zhì)元素含量F240Femg/kgAlmg/kgNamg/kg78679Mgmg/kg889Camg/kg9677F1200Femg/kgAlmg/kgNamg/kg98776Mgmg/kg9856Camg/kg86798粒度F240D10um24.1426.8927.5427.0527.83>25D50um47.1148.4249.1048.6448.8848.0±1D90um85.1086.2090.3287.2088.78F1200D10um2.422.202.382.242.10>2D50um4.483.863.524.863.544.0±0.5D90um9.449.229.769.899.62堆積密度F240g/cm31.5221.5531.4971.5101.541≥1.50F1200g/cm30.7560.7500.7600.7550.753≥0.75顆粒密度F240g/cm33.153.143.123.133.14≥3.12F1200g/cm33.123.133.183.143.14≥3.12標(biāo)準(zhǔn)化的碳化硅陶瓷晶舟制品用高純碳化硅粉體生產(chǎn)將推動(dòng)碳我國碳化硅陶瓷晶舟制品用高純碳化硅粉體和碳化硅陶瓷晶舟制品（1）與有關(guān)的現(xiàn)行法律、法規(guī)和規(guī)章制度的符合性，特別是與（1）加大標(biāo)準(zhǔn)宣傳力度，提高認(rèn)知度，在碳化硅陶瓷晶舟制品用高純碳化硅粉體生產(chǎn)領(lǐng)域以及下游設(shè)備的設(shè)計(jì)和應(yīng)用企業(yè)加強(qiáng)宣（2）標(biāo)準(zhǔn)歸口單位進(jìn)行貫標(biāo)指導(dǎo)，組織標(biāo)準(zhǔn)宣貫培訓(xùn)班，由標(biāo)