T-CCGA 90004-2023 泛半導(dǎo)體用尾氣處理設(shè)備分解移除效率的測(cè)試方法

CCGAProtocolformeasuringdestructionorremovalefficiency(DRE)ofpoint-of-useabatementequipmentinpan-semI 2 2 4 8本文件按照GB/T1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定本文件起草單位：埃地沃茲貿(mào)易（上海）有限公本文件主要起草人：朱文心、熊艷玲、劉翔宇、高艷秋、魏王1泛半導(dǎo)體用尾氣處理設(shè)備分解移除效率的測(cè)試方法EPA430-R-10-003電子制造中氟化溫室氣體消除設(shè)備分解移除效率（DRE）的協(xié)議（ProtocolforEquipmentinElectronicsManufacturin尾氣處理設(shè)備point-of-useabateme2全氟化合物perfluorinatedcompo揮發(fā)性有機(jī)物volatileorganiccompound沸點(diǎn)在50～250℃之間，溫度298.15K時(shí)蒸汽壓大于等于0.01kPa，或者能夠以氣態(tài)分子的形特種廢氣specialcontaminatedwaste氧化性、自燃性、可燃性、惰性等物質(zhì)的廢氣。分為烷類、全氟化合物和其它廢氣與工藝尾氣混合后不發(fā)生變化且不影響尾氣處理系統(tǒng)的性能，并在很低的濃4試劑和材料4.1工藝尾氣12344.2氮?dú)?設(shè)備與儀器測(cè)儀，檢測(cè)尾氣處理設(shè)備進(jìn)出口的氣體濃度。工藝尾氣處理系統(tǒng)流312臺(tái)21臺(tái)31個(gè)43個(gè)53個(gè)630~200℃,精度0.1℃米4在采樣進(jìn)口安裝采樣泵，以收集流出物。采樣泵需要有足夠的抽氣能力，避免氣體回為避免干擾，采樣管道應(yīng)配備恒溫加熱套，保證尾氣處理設(shè)備的流入物和流出物打開氮?dú)獯祾撸淙氲獨(dú)庵?15kPa。30min后，關(guān)閉氮?dú)獯祾吡髁块y，監(jiān)測(cè)系統(tǒng)并等待5m的壓力讀數(shù)并記錄。再等待10min并記錄第二次壓力讀數(shù)，若此時(shí)壓降小于2.5kP打開氮?dú)獯祾?，開啟傅里葉變換紅外光譜儀或便攜式氣體檢測(cè)儀，進(jìn)行背景采集。隨后5和出口端工藝尾氣濃度。當(dāng)流量及壓力穩(wěn)定后，連續(xù)尾氣處理設(shè)備的分解移除效率（DRE）的數(shù)據(jù)處理和計(jì)算，依據(jù)EPA430-R-10-003進(jìn)行，……（1）……（3）Q出口——尾氣處理設(shè)備出口的總氣體體積流量612347尾氣處理設(shè)備的分解移除效率（DRE）公式推導(dǎo)），DRE=1-(nsalmza)……（4）……（5）Q出口——尾氣處理設(shè)備出口的總氣體體積流量Q進(jìn)口——尾氣處理設(shè)備進(jìn)口的總氣體體積流量……（6