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磁電阻傳感器的理論分析以及應(yīng)用案例綜述1.1磁電阻響應(yīng)分析1.1.1磁電阻曲線分析磁電阻與磁場(chǎng)函數(shù)方程帶入到origin軟件進(jìn)行仿真有: (1.1)圖4-1低磁場(chǎng)條件下磁電阻曲線由圖像4-1可知道,外磁場(chǎng)對(duì)磁電阻存在影響。對(duì)于小于0.12T的磁場(chǎng),我們可以觀察到負(fù)磁電阻隨著外磁場(chǎng)的增大而急劇增大。對(duì)于大于0.12T的磁場(chǎng),負(fù)磁電阻隨著外磁場(chǎng)增大而緩慢的增大。1.1.2磁電阻參數(shù)分析圖4-2模擬結(jié)果不同低磁場(chǎng)條件下磁電阻曲線由圖像4-2(a)可知道,β參數(shù)會(huì)影響磁電阻性能。在相同的外磁場(chǎng)下,當(dāng)β增大時(shí),磁電阻會(huì)隨著β的增大而快速增大。此時(shí),我們可以進(jìn)一步的提高低磁場(chǎng)磁電阻的線性度。圖像4-2(b)C參數(shù)會(huì)影響磁電阻性能,在相同外磁場(chǎng)的下,當(dāng)C增大時(shí),磁電阻會(huì)隨著C的增大而平緩的增大。此時(shí),我們可以進(jìn)一步增大磁場(chǎng)的線性度區(qū)域。圖像(c)D參數(shù)會(huì)影響磁電阻性能,在相同外磁場(chǎng)的下,當(dāng)D增大時(shí),磁電阻會(huì)隨著D的增大而快速的增大。此時(shí),我們可以進(jìn)一步增大磁場(chǎng)的線性度區(qū)域。1.2磁電阻靈敏度響應(yīng)分析圖4-5低磁場(chǎng)條件下LSMO磁電阻靈敏度曲線分析圖4-5在低磁場(chǎng)區(qū),我們可以清晰的看到MR的一階導(dǎo)數(shù)隨著H的增大而急劇增大。在0.12T時(shí),將會(huì)達(dá)到每特斯拉3%靈敏度最高值。進(jìn)一步增加磁場(chǎng)將會(huì)導(dǎo)致一階導(dǎo)數(shù)減少。對(duì)于外磁場(chǎng)大于0.12T,磁電阻靈敏度呈線性場(chǎng)變化。1.3磁電阻的標(biāo)定1.3.1磁電阻的工作點(diǎn)負(fù)磁電阻在大于0.12T時(shí),其磁電阻效應(yīng)呈線性變化,由于磁電阻在應(yīng)用時(shí)對(duì)該材料不容易區(qū)分磁電阻的正負(fù),我們需要對(duì)磁電阻進(jìn)行標(biāo)定。我們規(guī)定將在外磁場(chǎng)0.25T時(shí),該點(diǎn)為該磁電阻的工作點(diǎn),當(dāng)小于0.25T時(shí),我們將其規(guī)定為磁電阻的N極。當(dāng)外磁場(chǎng)大于0.25T時(shí),我們規(guī)定為磁電阻的S極。0.15T~0.35T為磁電阻傳感器的工作區(qū)間。圖4-6磁電阻對(duì)零點(diǎn)的標(biāo)定1.3.2偏置磁場(chǎng)的標(biāo)定利用永磁鐵實(shí)現(xiàn)對(duì)LSMO磁場(chǎng)偏置,采用0.25T作為磁場(chǎng)偏置,用外磁場(chǎng)對(duì)偏置磁場(chǎng)發(fā)生磁場(chǎng)的控制,來實(shí)現(xiàn)磁電阻處在線性區(qū)域。當(dāng)無永磁鐵時(shí)候,外加磁場(chǎng)增大時(shí),電阻變化無規(guī)則,不能辨認(rèn)磁場(chǎng)的方向。而當(dāng)我們加入外磁場(chǎng)時(shí),傳感器在兩邊產(chǎn)生雙極輸出信號(hào)。當(dāng)偏置磁場(chǎng)的方向與外磁場(chǎng)相同的時(shí)候,電阻會(huì)增大;當(dāng)偏置磁場(chǎng)的方向與外磁場(chǎng)的方向反平行時(shí),會(huì)抵消偏置磁場(chǎng),電阻會(huì)減小。1.4磁電阻電橋電路圖4-7磁電阻的單臂電橋布局如圖4-7可見,采用最常見的電阻電橋布局方式,由四個(gè)相同電阻組成的橋臂,E提供輸入電源,U0為輸出的電壓。單臂上的R1覆蓋上一層磁電阻層,構(gòu)成單臂工作片電橋。其中磁電阻的偏置磁場(chǎng)為0.25T,當(dāng)加入外磁場(chǎng)大于0.25T,且與偏置磁場(chǎng)反向,磁電阻呈現(xiàn)正磁電阻?!鱎1是加入磁場(chǎng)后R1的變化量。但此時(shí),磁電阻電橋會(huì)失衡。單臂電橋傳感器的輸出電壓為:(1.2)因?yàn)橐沟弥绷麟姌虻钠胶?,所? (1.3)將公式(4-3)帶入到(4-2)中,且△R1<<R1,所以忽略分母中的△R1/R1得到單臂磁電阻電橋輸出電壓: (1.4)其中單臂電橋的電壓靈敏度為 (1.5)為了最大的電壓靈敏度,我們使得R1/R2=1、R1=R2、R3=R4,則單臂的最大輸出電壓以及電壓靈敏度分別為: (1.6) (1.7)但是電路中單臂電橋的線性度比較差,為了使得我們?cè)O(shè)計(jì)出來的傳感器靈敏度較高,所以我們采用了半橋磁電阻傳感器。在R1、R2分別附上磁電阻敏感單元。其中R1、R2上敏感單元的偏置磁場(chǎng)工作點(diǎn)為0.25T,當(dāng)外磁場(chǎng)與偏置磁場(chǎng)反向時(shí),R1的磁電阻呈現(xiàn)正磁電阻。而R2的偏置磁場(chǎng)與R1的偏置磁場(chǎng)相反,使得在加入同等磁場(chǎng)的情況下,R2呈現(xiàn)負(fù)磁電阻效應(yīng)。如圖1.8圖4-8磁電阻的半橋布局半橋電橋的輸出電壓為: (1.8)按等臂電橋:R1=R2=R3=R4,△R1=△R2=△R可以得到半橋電路輸出和電壓靈敏度別為: (1.9) (1.10)在這里磁電阻半橋電路與磁電阻單臂電橋?yàn)閮杀兜年P(guān)系,且沒有線性的誤差。為了進(jìn)一步提高磁電阻傳感器的靈敏度,采用了磁電阻全橋布局,如圖4-9。將R1與R4放置正磁電阻,而將R2與R3放置負(fù)磁電阻。圖4-9磁電阻的全橋布局全橋電路的電壓輸出則有: (1.11)按照對(duì)臂同性,鄰臂異性原則,因此△R1=△R2=△R3=△R4,全橋的電壓輸出函數(shù)和電壓靈敏度函數(shù)分別為: (1.12) (1.13)分析公式(1.6)、(1.12),全橋輸出電壓靈敏度會(huì)是單臂的四倍,并且沒有非線性的誤差。下面將采用磁電阻全橋電路進(jìn)行應(yīng)用。1.5磁測(cè)量傳感器的應(yīng)用為了讓傳感器在零點(diǎn)的位置有良好的線性度,我們采用全橋磁電阻電路如圖4-9。在偏置磁場(chǎng)的作用下,經(jīng)過(3-21)公式的變化磁電阻可以表示為: (1.14)帶入圖4-6標(biāo)定磁電阻標(biāo)定數(shù)據(jù)可得經(jīng)過磁場(chǎng)偏置下的磁電阻: (1.15)對(duì)磁電阻全橋通入大于0.25T外磁場(chǎng)后,磁電阻R1與R3會(huì)增大,磁電阻R2與R4會(huì)減小;反之通入小于0.25T外場(chǎng),磁電阻R1與R3會(huì)減小,磁電阻R2與R4會(huì)增大: (1.16)其中Hx表示通入的外磁場(chǎng)大小的改變量,大小不得超過|Hx|<0.2T,D’表示
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