電子氣體 八氟丙烷 編制說明

《電子氣體八氟丙烷》征求意見稿編制說明2一、工作簡況電子級八氟丙烷主要用于集成電路技術領域，是一種性能極佳的高純氣體材料。八氟丙烷作為電子級八氟丙烷主要用于集成電路技術領域，是一種性能極佳的高純氣體材料。八氟丙烷作為集成電路用量大、純度要求高的基礎材料，是國家重點鼓勵發(fā)展的產(chǎn)品和產(chǎn)業(yè)，符合《“十四五”推動高質(zhì)量發(fā)展的國家標準體系建設規(guī)劃》中建設制造業(yè)高端化領域的材料標準的要求。電子級八氟丙烷是一種理想的電子蝕刻劑和清洗劑，廣泛應用于半導體工業(yè)和微電子技術領域，八氟丙烷的純度要求達到99.999%（5N）以上，選擇性地與硅片的金屬基質(zhì)作用，用于等離子蝕刻和器件表面清洗，以滿足刻蝕精度和硅片良品率的要求。電子級八氟丙烷作為一種高附加值精細化工產(chǎn)品，具有一定的技術、研發(fā)和應用價值。在早期階段，由于技術限制，中國電子級八氟丙烷的生產(chǎn)能力不足，其產(chǎn)品高度依賴進口。近年來，隨著中國半導體產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展，電子八氟丙烷的市場需求加快現(xiàn)行的電子用八氟丙烷標準（GB/T31986-2015）已經(jīng)執(zhí)行10年，隨著技術進步和市場變化，適用范圍、技術要求及試驗方法等內(nèi)容都需要修訂。2015版標準已無法滿足現(xiàn)代集成電路產(chǎn)業(yè)的要求，因此建議重新修訂該標準。通過對標準的修訂，旨在對生產(chǎn)和檢測提供指導性作用，對下游半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供質(zhì)量保障。有利于提高我國高端電子材料自給能力，推動電子相關產(chǎn)業(yè)進步，擴大我國高純電子材料對外影響力，有效服務于國家戰(zhàn)略需求。根據(jù)國標委發(fā)〔2024〕60號文，國家標準化管理委員會于2024年下達了修訂計劃，修訂計劃號：20243670-T-469。本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出，全國半導體設備和材料標準化技術委員氣體分會執(zhí)行。1.2工作過程的說明1.2.1起草階段2024年國家標準化管理委員會下達了〔2024〕60號文，《電子氣體八氟丙烷》正式立項，標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員氣體分會歸口。為保證項目順利實施，全國半導體設備和材料標準化技術委員氣體分會組織昊華氣體有限公司西南分公司、福建德爾科技股份有限公司、廣東華特氣體股份有限公司、浙江省化工研究院有限公司、中船（邯鄲）派瑞特種氣體股份有限公司、上海華愛色譜分析技術有限公司、大連大特氣體有限公司、聯(lián)雄投資(上海)有限公司、杭州新世紀混合氣體有限公司、沈陽中復科金壓力容器有限公司、西南化工研究設計院有限公司等相關單位做了大量的前期調(diào)研及草案起草工作。3標準起草小組首先開始搜集相關的資料，國際半導體設備與材料組織（SEMI）制定的國際工業(yè)標準中無八氟丙烷標準，起草小組對國際、國內(nèi)電子八氟丙烷產(chǎn)品生產(chǎn)情況進行了深入調(diào)研和分析，將國外產(chǎn)品的技術標準和國內(nèi)實際生產(chǎn)情況相結合，于2025年2月份提出了標準的討論稿。2025年4月，標準起草小組在線上召開標準討論會，廣泛征求生產(chǎn)企業(yè)的意見。在此次討論會上，專家們就討論稿的基本結構、范圍、技術指標、檢驗方法等進行了認真的討論。提出了如下的意見：（1）八氟丙烷制備方法基本為氟碳化合物為原料，因此建議適用范圍修改為以氟碳化合物為原料提純制備。（2）將標準正文表1中項目名稱中的“/10-2”放入技術指標一欄，并修改為“×10-2”，將項目名稱中的“/10-6”放入技術指標一欄，并修改為“×10-6”。（3）開展測定方法的驗證試驗。1.2.2征求意見階段2025年5月，起草小組根據(jù)2025年2月工作組會議討論的意見修改并提出了征求意見稿，在“全國標準信息公共服務平臺”、全國氣體標準化網(wǎng)站、以及發(fā)送主要生產(chǎn)、經(jīng)銷、使用、科研、檢驗等單位及大專院校，面向全社會廣泛征集修改意見。二國家標準編制原則和確定標準主要內(nèi)容起草小組參照了國外先進企業(yè)技術標準，做了大量的實驗工作，制定出了技術指標和檢驗方法，現(xiàn)將有關情況說明如下：2.1標準名稱2021年7月，國家標準委下達了國家標準體系優(yōu)化試點工作任務，根據(jù)工作任務的要求，氣體分會電子氣體領域的標準體系情況進行梳理、評估、優(yōu)化和重構，形成了“1+6”的成果模式，即構建了一個標準體系，形成了六個標準清單（整合一批、提出一批、修訂一批、廢止一批、轉(zhuǎn)化一批、采信一批），逐步優(yōu)化提升了電子氣體國家標準體系的科學性、先進性和協(xié)調(diào)性。根據(jù)體系優(yōu)化工作的成果，電子氣體的產(chǎn)品標準名稱由“電子特氣”修改為“電子氣體”，因此本次修訂，將2015版的“電子工業(yè)氣體八氟丙烷”修改為“電子氣體八氟丙烷”。2.2適用范圍2.2.1八氟丙烷的生產(chǎn)工藝主要包括以下幾種方法：42.2.1.1六氟丙烯制備：六氟丙烯可以通過與氟氣直接氟化、在催化劑存在下反應、與金屬氟化物反應等多種方法制備八氟丙烷。2.2.1.2七氟丙烷直接氟化：這是工業(yè)生產(chǎn)中常用的方法，反應式為C3HF7+F2→C3F8+HF。國內(nèi)七氟丙烷的純度較高，可直接使用，反應過程中產(chǎn)生的氟氣也可用于此反應。2.2.1.3固定床反應：使用COF3作為氟化劑，通過一系列化學反應生成八氟丙烷。生成的粗品經(jīng)過洗滌、吸附和精餾等純化過程得到最終產(chǎn)品。2.2.22015版標準適用于六氟丙烯或七氟丙烷氟化制備，并通過精餾、吸附、催化等工藝提純的八氟丙烷產(chǎn)品，以及碳和氟直接反應法合成的八氟丙烷產(chǎn)品。本次修訂更改為：以碳氟化合物為原料提純制備的八氟丙烷。2.2.32015版的標準規(guī)定了八氟丙烷的使用領域、分子式及相對分子質(zhì)量。根據(jù)GB/T1.1-2020的要求，討論稿及征求意見稿刪除了八氟丙烷的使用領域，將分子式和相對分子質(zhì)量放入了附錄。2.3技術指標的依據(jù)標準起草小組首先開始搜集相關的資料，2015版八氟丙烷標準技術指標見表1。這種純度以及相關指標的分析方法已經(jīng)不能適應現(xiàn)在的發(fā)展需求，起草小組對國際、國內(nèi)電子八氟丙烷產(chǎn)品生產(chǎn)情況進行了深入調(diào)研和分析，國內(nèi)外較大規(guī)模客戶對電子八氟丙烷的要求見表2~表4。起草小組修改了2015版的技術要求，提出了討論稿技術要求，見表5。根據(jù)起草工作組會議的要求，起草小組修改了技術指標，提出了征求意見稿，見表6。表12015版技術指標八氟丙烷（CF）純度（體積分數(shù)）/10(氧＋氬)（O+Ar）含量（體積分數(shù)）/10<1氮（N）含量（體積分數(shù)）/10<5一氧化碳（CO）含量（體積分數(shù)）/10<5二氧化碳（CO）含量（體積分數(shù)）/10<5其它碳氟化合物（四氟化碳、六氟乙烷、六氟丙烯丁烷）含量（體積分數(shù)）/10<1其他有機物（以甲烷計）含量(體積分數(shù))/10<15水（HO）含量（體積分數(shù)）/10<15酸度（以HF計）含量（質(zhì)量分數(shù)）/10<總雜質(zhì)含量（摩爾分數(shù)）/10≤表2客戶要求1<1×10<1×10<0.5×10<0.5×10其它碳氟化合物（四氟化碳、六氟乙烷、六氟丙烯、七氟<0.5×10<1×10<0.1×10表3客戶要求2<0.5×10<1×10<3×10<0.5×10<0.5×10<0.5×10其它碳氟化合物（四氟化碳、六氟乙烷、六氟丙烯、七氟<1×10<1×10<0.1×10表4客戶要求3<1×10<4×10<0.5×10<0.5×10其它碳氟化合物（四氟化碳、六氟乙烷、六氟丙烯、七氟<2×10<0.5×10<2×10<0.1×10表5討論稿技術要求<0.5×10(氧＋氬)（O+Ar）含量（摩爾分數(shù)）/10<1×10<3×10<0.5×10<0.5×10<0.5×10含量（摩爾分數(shù)）/10<1×10水分（HO）含量（摩爾分數(shù)）/10<1×10<0.1×10表6征求意見稿技術要求<1×10<3×10<0.5×10<0.5×10<0.5×10<1×10<1×10酸度（以HF計）含量（質(zhì)量分數(shù)）<0.1×102.4采樣2015版未單列采樣的要求，只規(guī)定了采樣安全符合GB/T3723《工業(yè)用化學產(chǎn)品采樣安全通則》的要求，討論稿中將采樣的要求單列一章，并引用了GB/T43306《氣體分析采樣導則》，該標準等同采用ISO19230:2020，適用于八氟丙烷的采樣，因此本次制定直接引用。2.5關于試驗方法2.5.1純度計算八氟丙烷的純度采用差減法計算，2015版規(guī)定先計算總雜質(zhì)含量，然后減去雜質(zhì)總含量計算純度。本次修訂依然采用該方法計算純度。2.5.2氧+氬、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、其他碳氟化合物（四氟化碳、一氯五氟乙烷、六氟化硫、六氟丙烯、七氟丙烷、八氟環(huán)丁烷）含量的測定2015版規(guī)定采用GB/T28726-2012《氣體分析氦離子化氣相色譜法》測定，本次修訂依然采用了GB/T28726規(guī)定的氦離子化氣相色譜法。根據(jù)工作組會議的要求，起草小組及標準驗證平臺作了試驗驗證工作，驗證結果見附件1。從檢測結果可以看出，GB/T28726規(guī)定的HID（氦離子化法）能全部測定八氟丙烷中氧+氬、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、其他氟碳化合物（四氟化碳、一氯五氟乙烷、六氟化硫、六氟丙烯、七氟丙烷、八氟環(huán)丁烷）含量等雜質(zhì)含量，檢出限和靈敏度遠遠優(yōu)于其他方法，因此本次制訂采用GB/T28726規(guī)定的HID法。2.5.3水分含量的測定2015版標準規(guī)定水分含量的測定是采用GB/T5832.3-2011《氣體中微量水分的測定第3部分：光腔衰蕩光譜法》規(guī)定的方法，本次修訂依然采用GB/T5832.3規(guī)定的方法為仲裁法，并增加了GB/T5832.1-2011《氣體中微量水分的測定第1部分：電解法》、GB/T5832.2-2011《氣體中微量水分的測定第2部分：露點法》。2.5.4酸度的測定2015版標準規(guī)定采用酸堿滴定法測定酸度，本次修訂直接采用該方法為仲裁法，并增加了GB/TXXXX《電子氣體中酸度的測定第1部分：傅里葉變換紅外光譜法》規(guī)定的方法。2.5.5尾氣處理本次修訂增加對尾氣處理的要求，提出了原則性要求：測定八氟丙烷中的雜質(zhì)含量時，應防止八氟丙烷環(huán)境的污染。2.6檢驗規(guī)則2015版未單列檢驗規(guī)則，本次修訂將“檢驗規(guī)則”單列，并完善了判定規(guī)則。2.7關于產(chǎn)品標志、包裝、貯運及安全本次修訂參照了最新的有關法律法規(guī)、標準和國際化學品安全卡。2015版的規(guī)定比較雜亂，根據(jù)工作組會議的要求，將該章分成三部分內(nèi)容來編制1）標志（2）包裝、運輸和貯存（3）安全信息，并將安全信息放入附錄A。2.7.1標志（1）產(chǎn)品質(zhì)量合格證2015版規(guī)定合格證的內(nèi)容至少如下：a)產(chǎn)品名稱，生產(chǎn)廠名稱，危險化學品生產(chǎn)許可證編號；b)生產(chǎn)日期或批號，充裝質(zhì)量（kgc)本標準號及技術指標，檢驗員號。根據(jù)最新的電子氣體標準體系中對產(chǎn)品質(zhì)量合格證的要求，將合格證的內(nèi)容修改如下：a)產(chǎn)品名稱，生產(chǎn)廠名稱，危險化學品生產(chǎn)許可證編號；b)生產(chǎn)日期或批號，以及保質(zhì)期；c)充裝質(zhì)量（kg）；d)本文件號及八氟丙烷的純度。（2）2015版中規(guī)定：包裝容器上應標明“電子八氟丙烷”字樣，本次修訂更改為：包裝容器上應涂刷“電子氣體八氟丙烷”字樣。（3）2015版中規(guī)定：氣瓶顏色標記應符合GB/T7144的規(guī)定。氣瓶的運輸標志應符合GB190的規(guī)定。按照最新的要求，增加了標簽的要求，修改為：八氟丙烷的包裝標志應符合GB190的相關規(guī)定，顏色標志應符合GB/T7144的規(guī)定，標簽應符合GB/T16804、GB15258規(guī)定的要求。2.7.2包裝、運輸和儲存（1）包裝八氟丙烷在室溫和大氣壓力下是無色、無毒和不可燃的氣體。因為八氟丙烷是非腐蝕性氣體，任何普通的或商用金屬材料均可使用。然而，設計裝有八氟丙烷的管道系統(tǒng)或容器時，應使其足以能承受所遇到的壓力。9我國對液化氣體氣瓶（鋼瓶）包裝的規(guī)定有GB/T5099（鋼制無縫氣瓶）、GB/T5100（鋼制焊接氣瓶）。由于八氟丙烷屬于低壓液化氣體，由于純度高，對雜質(zhì)指標要求高，不能用焊接氣瓶，因此本次制定采用GB/T5099（鋼制無縫氣瓶）?！短胤N設備生產(chǎn)和充裝單位許可規(guī)則》、TSG23《氣瓶安全技術規(guī)程》中包括了對于氣瓶的安全使用和監(jiān)督監(jiān)察，因此本標準采用了此規(guī)程。（2）對氣瓶內(nèi)表面、瓶口處理的要求鋼制氣瓶、鋁合金氣瓶都可用于裝運八氟丙烷，鋼瓶標稱水容積不得超過125磅（57kg）。用3AL規(guī)格鋼瓶裝的八氟丙烷只允許通過公路和鐵路運輸，并保護好鋼瓶閥門，作好防漏密封。2015版規(guī)定瓶閥出氣口連接方式推薦使用CGA660，本次修訂與2015版規(guī)定相同。（3）充裝的規(guī)定：由于GB/T14193《液化氣體氣瓶充裝規(guī)定》適用于八氟丙烷的充裝，因此本次修訂刪除了最大充裝量的計算公式，直接引用GB/T14193《液化氣體氣瓶充裝規(guī)定》。（4）運輸和儲存運輸車輛應配備相應品種和數(shù)量的消防器材及泄漏應急處理設備。嚴禁與氧化劑、食用化學品等混裝混運。裝運該物品的車輛排氣管必須配備阻火裝置。使用槽(罐)車運輸時應有接地鏈，槽內(nèi)可設孔隔板以減少震蕩產(chǎn)生靜電。禁止使用易產(chǎn)生火花的機械設備和工具裝卸。夏季最好早晚運輸。運輸途中應防暴曬、雨淋，防高溫。公路運輸時要按規(guī)定路線行駛，勿在居民區(qū)和人口稠密區(qū)停留。運輸工具上應根據(jù)相關運輸要求張貼危險標志、公告。儲存于陰涼、通風的庫房。應與氧化劑、食用化學品分開存放，切忌混儲（禁配物參見第10部分）。保持容器密封。遠離火種、熱源。2.8安全信息2.8.1基本性質(zhì)八氟丙烷在常溫常壓下是無色、無味、無毒和不可燃的惰性氣體。2.8.2危險性概述八氟丙烷的化學性質(zhì)不活潑，熱穩(wěn)定性能好，但在高溫能分解產(chǎn)生有毒的氟化物。吸入高濃度八氟丙烷氣體可引起窒息。高溫下的分解產(chǎn)物氟化物在有水分時具有腐蝕作用，能刺激人的皮膚、眼睛和呼吸道粘膜。液態(tài)時濺到皮膚上能引起冷灼傷。若遇高熱，容器內(nèi)壓增大，有開裂或爆炸危險。2.8.3急救措施如發(fā)生吸入，迅速脫離現(xiàn)場至空氣新鮮處，保持呼吸道通暢。如呼吸困難，給輸氧。如呼吸、心跳停止，立即進行心肺復蘇術，并及時就醫(yī)。如發(fā)生皮膚接觸或發(fā)生凍傷，用溫水（38~42）℃復溫，忌用熱水或輻射熱，不要揉搓，并及時就醫(yī)就醫(yī)。對保護施救者的忠告：將患者轉(zhuǎn)移到安全的場所。咨詢醫(yī)生。出示此化學品安全技術說明書給到現(xiàn)場的醫(yī)生。2.8.4消防措施滅火劑：用水霧、干粉、泡沫或二氧化碳滅火劑滅火。避免使用直流水滅火，直流水可能導致可燃性液體的飛濺，使火勢擴散。特別危險性：不燃。若遇高熱，容器內(nèi)壓增加，有開裂和爆炸的危險滅火注意事項及防護措施：盡可能將容器從火場移至空曠處。噴水保持火場容器冷卻，直至滅火結束。迅速切斷氣源，用水噴淋保護切斷氣源的人員，然后根據(jù)著火原因選擇適當?shù)臏缁饎缁稹?.8.5泄漏應急處理作業(yè)人員防護措施、防護裝備和應急處置程序：根據(jù)氣體的影響區(qū)域劃定警戒區(qū)，無關人員從側(cè)風、上風向撤離至安全區(qū)。泄漏場所保持通風。建議應急處理人員戴正壓自給式呼吸器，穿一般作業(yè)工作服。液化氣體泄漏時穿防寒服。禁止接觸或跨越泄漏物。盡可能切斷泄漏源。噴霧狀水抑制蒸氣或改變蒸氣云流向。禁止用水直接沖擊泄漏物或泄漏源。若可能翻轉(zhuǎn)容器，使之逸出氣體而非液體。防止氣體通過下水道、通風系統(tǒng)和密閉性空間擴散。漏出氣允許排入大氣中。環(huán)境保護措施：收容泄漏物，避免污染環(huán)境。防止泄漏物進入下水道、地表水和地下水。泄漏化學品的收容、清除方法及所使用的處置材料：小量泄漏：盡可能將泄漏液體收集在可密閉的容器中。用沙土、活性炭或其它惰性材料吸收，并轉(zhuǎn)移至安全場所。禁止沖入下水道。大量泄漏：構筑圍堤或挖坑收容。封閉排水管道。用泡沫覆蓋，抑制蒸發(fā)。用防爆泵轉(zhuǎn)移至槽車或?qū)Ｓ檬占鲀?nèi)，回收或運至廢物處理場所處置。2.8.6操作處置與儲存操作人員應經(jīng)過專門培訓，嚴格遵守操作規(guī)程。操作處置應在具備局部通風或全面通風換氣設施的場所進行。避免眼和皮膚的接觸，避免吸入蒸汽。遠離火種、熱源，工作場所嚴禁吸煙。使用防爆型的通風系統(tǒng)和設備。如需罐裝，應控制流速，且有接地裝置，防止靜電積聚。避免與氧化劑等禁配物接觸。搬運時要輕裝輕卸，防止包裝及容器損壞。倒空的容器可能殘留有害物。使用后洗手，禁止在工作場所進飲食。配備相應品種和數(shù)量的消防器材及泄漏應急處理設備。儲存注意事項：儲存于陰涼、通風的庫房。應與氧化劑、食用化學品分開存放，切忌混儲。保持容器密封。遠離火種、熱源。庫房必須安裝避雷設備。排風系統(tǒng)應設有導除靜電的接地裝置。儲區(qū)應備有泄漏應急處理設備和合適的收容材料。三、主要試驗（或驗證）的分析、綜述報告，技術經(jīng)濟論證，預期的經(jīng)濟效果1、主要試驗（或驗證）的分析本標準制定過程中，起草小組做了大量的試驗驗證工作，詳見第二章2.5。2、修訂意義及預期的經(jīng)濟效果電子級八氟丙烷是一種重要的電子氣體，也是一種重要的工業(yè)基礎材料，廣泛應用于半導體產(chǎn)業(yè)的制造。隨著微電子工業(yè)的迅速發(fā)展，廣大用戶對電子級八氟丙烷的質(zhì)量提出了更高更苛刻的要求，2015版國標中的產(chǎn)品純度已經(jīng)不能滿足市場和技術的需求。因此，重新修訂電子級八氟丙烷的國家標準是我們應要進行的一項具有深遠意義的重要工作。通過修訂標準，將引領電子級八氟丙烷規(guī)模化產(chǎn)出，推動我國電子半導體材料行業(yè)發(fā)展和八氟丙烷的生產(chǎn)和檢測合作研發(fā)，提升行業(yè)的競爭力，促進整個行業(yè)健康持續(xù)發(fā)展。同時通過標準的制定，有利于提高我國高端電子材料自給能力，推動電子相關產(chǎn)業(yè)進步，擴大我國電子科技對外影響力，有效服務于國家戰(zhàn)略需求。因此，修訂后的高純度電子級八氟丙烷產(chǎn)品國家標準，無論是國家需要、市場需要還是對用戶負責都是我們應要進行的一項具有意義的工作。目前，我國已具備自主生產(chǎn)超高純八氟丙烷的能力。而且隨著八氟丙烷應用的越來越廣泛，國內(nèi)生產(chǎn)廠家將會增加，本次制定推動了國內(nèi)八氟丙烷的產(chǎn)業(yè)化，因此本次修訂將產(chǎn)生以下一些方面的效益：（1）推動國內(nèi)電子用八氟丙烷生產(chǎn)產(chǎn)企業(yè)采用先進的生產(chǎn)工藝，與國外先進企業(yè)看齊。（2）本次制訂后標準達到了國際先進水平，提高了國產(chǎn)電子八氟丙烷產(chǎn)品的國際競爭力。（3）檢測方法采用了氦離子化氣相色譜法這種先進的方法，為標準使用者提供了更好的指導。（4）包括了安全警示的內(nèi)容，對使用者提供了很好的幫助.四、采用國際標準和國外先進標準的程度，以及與國際、國外同類標準水平的對比情況，或與測試的國外樣品、樣機的有關數(shù)據(jù)對比情況該標準無國際標準可以借鑒，在制定過程中參考了國內(nèi)外相關文獻資料。五、與有關的現(xiàn)行法律、法規(guī)和強制性國家標準的關系電子八氟丙烷屬于危險化學品，在生產(chǎn)、儲運和使用環(huán)節(jié)涉及以下多項強制性國家標準，本文件與現(xiàn)行相關法律、法規(guī)、規(guī)章及相關標準，特別是強制性標準是協(xié)調(diào)一致的：GB190危險貨物包裝標志GBl5258化學品安全標簽編寫規(guī)定同時，還應符合以下法規(guī)：《氣瓶安全技術監(jiān)察規(guī)程》、《危險化學品安全管理條例》等規(guī)定。六、重大分歧意見的處理經(jīng)過和依據(jù)本次國標的制定無重大分歧意見。七、國家標準作為強制性國家標準或推薦性國家標準的建議建議將該標準作為推薦性國家標準，建議標準發(fā)布后6個月實施。八、貫徹國家標準的要求和措施建議（包括組織措施、技術措施、過渡辦法等內(nèi)容）本次國標的修訂是依據(jù)半導體材料行業(yè)發(fā)展的要求，根據(jù)我國電子八氟丙烷的發(fā)展現(xiàn)狀進行的，因此應盡快實施國家標準。本次修改的內(nèi)容已經(jīng)具有較廣泛的應用范圍，具有可靠的技術措施保證，標準發(fā)布后將組織相關生產(chǎn)和應用企業(yè)進行宣貫培訓，因此標準實施的過渡期較短（不會超過半年）。九、廢止現(xiàn)行有關標準的建議十、其他應予說明的事項PDD法測定氧+氬、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、氟碳化合物（四氟一標準氣體及樣品氣標準氣體一：組分含量見表1生產(chǎn)單位：大連大特氣體有限公司；表1：標氣組分濃度表組分H2O2ArN2COCO2CH4CF4SF6含量（10-6mol/mol）4.95.04.95.04.85.04.9余氣：氦氣標準氣體二：組分含量見表2生產(chǎn)單位：大連大特氣體有限公司；表2：標氣組分濃度表組分C2F5ClC3F6C3HF7C4F8C3F8含量（10-6mol/mol）4.99.95.0余氣：氦氣二、儀器分析及數(shù)據(jù)1、氦離子化氣相色譜儀生產(chǎn)單位：上海華愛色譜分析技術有限公司設備型號：GC-9560-PDD柱爐：50℃;檢測器：150℃;輔助箱1：50℃;定量管1：1.0mL；定量管2：1.0mL；2、色譜流程圖圖1PDD檢測C3F8中H2、O2+Ar、N2、CH4、CO、CO2、CF4、SF6、C2F5Cl、C3F6、C3HF7、C4F8流程圖1-載氣（高純氦氣）2-減壓閥3-定點穩(wěn)壓閥4-純化器5-過濾器6、8-氣動十通閥7、9、10-氣動六通閥11-樣品進12-樣品出13、14-流量計15、16-定量環(huán)17、20-碳分子篩19-5A柱20-硅膠柱21-Q柱22-Q柱23、24、25-針閥放空26、27-氦離子檢測器28、29-放空口3、色譜柱預分離柱Ⅰ：長約0.6m、內(nèi)徑約2mm的不銹鋼管,內(nèi)裝約粒徑為0.18mm~0.25mm的碳分子篩，或其他等效色譜柱。預分離柱Ⅱ：長約0.6m、內(nèi)徑約2mm的不銹鋼管,內(nèi)裝約粒徑為0.18mm~0.25mm的硅膠，或其他等效色譜柱。色譜柱Ⅰ：長約1.5m、內(nèi)徑約2mm的不銹鋼管，內(nèi)裝粒徑為0.18mm～0.25mm的5A分子篩，或其他等效色譜柱。該柱用于測定氧+氬、氮、一氧化碳和甲烷含量。色譜柱Ⅱ：長約2m、內(nèi)徑約2mm的不銹鋼管，內(nèi)裝粒徑為0.18mm~0.25mm的碳分子篩，或其他等效色譜柱。該柱用于分析四氟化碳含量。色譜柱Ⅲ：長約2m、內(nèi)徑約2mm的不銹鋼管，內(nèi)裝粒徑為0.18mm~0.25mm的乙基苯乙烯和二乙烯基苯共聚物，或其他等效色譜柱。該柱用于分析二氧化碳、六氟化硫含量。色譜柱Ⅳ：長約4m、內(nèi)徑約2mm的不銹鋼管，內(nèi)裝粒徑為0.18mm~0.25mm的乙基苯乙烯和二乙烯基苯共聚物，或其他等效色譜柱。該柱用于分析一氯五氟乙烷、六氟丙烯、七氟丙烷、八氟環(huán)丁烷含量（八氟丙烷在前端放空）。4、標氣分析譜圖標氣分析譜圖見圖2、圖3圖2PDD分析標氣C3F8中H2、O2+Ar、N2、CF4、CH4、CO譜圖圖3PDD分析標氣C3F8中CO2、SF6譜圖圖4PDD分析標氣C3F8中C2F5Cl、C3F6、C3HF7、C4F8譜圖三、重復性計算公式1、重復性實驗重復性以組分的保留時間、峰高和峰面積測量的相對標準偏差RSD表示，相對標準偏差RSD依下式計算：式中：RSD——相對標準偏差（%）；n——測量次數(shù)；xi——第i次測量的保留時間、峰高或峰面積；x——n次進樣的保留時間、峰高