特氣系統(tǒng)工作范圍

特氣系統(tǒng)工作范圍編號工作范圍特氣包商其他包商Customer備注業(yè)主1、系統(tǒng)深化設(shè)計1.1氣柜/架,吹掃盤面，磅秤，氣體分配箱/盤，尾氣處理器，管路等設(shè)備的深化設(shè)計√1.2氣柜/架,吹掃盤面，磅秤，氣體分配箱/盤，尾氣處理器等設(shè)備的整體平面布置?！?.3GMS/GDS系統(tǒng)的架構(gòu)、聯(lián)動、設(shè)備的深化設(shè)計和整體布置√1.4特殊氣體的電力架構(gòu)、電盤的深化設(shè)計整體布置√1.5提供Fab平面圖紙和生產(chǎn)廠房的特氣管路空間管理(提供設(shè)計圖紙供機電包商進行空間管理)√√1.6特氣站，F(xiàn)ab內(nèi)的特種氣體管路平面布置圖和特氣站房的空間管理?！?.7特種氣體質(zhì)量和流量需求，如UM表，特氣月用量等?！?.8提供協(xié)調(diào)窗口，安排業(yè)主與承包商的協(xié)調(diào)會議。√√1.9協(xié)調(diào)與其他包商的工作界面?！獭?、土建及土建配套2.1特氣站,特氣房的土建工程√2.2地秤基礎(chǔ)√2.3設(shè)備基礎(chǔ)，管道穿樓板洞，墻洞及門洞的防火泥及不銹鋼板封堵√2.4特氣間所涉及的改造（因特氣包施工所造成的地面、墻面等修補工作）√2.5特氣站/房包括操作室的全新風(fēng)空調(diào)系統(tǒng).√2.6氣體房事故排風(fēng)(易燃性防靜電、防爆)√2.7氣體房換氣排風(fēng)(易燃性防靜電、防爆)√2.8氣體房門禁√2.9氣體房視頻監(jiān)控（CCTV，易燃性防靜電、防爆）√2.10氣體房廣播，(易燃性防靜電、防爆)√2.11氣體房照明，包括應(yīng)急照明(易燃性防靜電、防爆)√2.12氣體房地面防磨、防腐蝕、防靜電環(huán)氧地坪（惰性使用防磨環(huán)氧地坪，毒/腐蝕性使用防磨防腐蝕環(huán)氧地坪、易燃性使用防磨防靜電環(huán)氧地坪）√2.13氣體房墻面涂裝√2.14氣體房防火門、逃生門供應(yīng)及安裝√2.15氣體房內(nèi)，公用系統(tǒng)共通管架(非特氣管路專用)√特氣包提供要求2.16氣體房內(nèi)，特氣管路專用管架√2.17氣體房外共通管架（包括但不局限于，管路、電線、通訊線路等）√2.18氣體房自有消防系統(tǒng)（包含但不限于，煙感、溫感、消防水管網(wǎng)及噴淋頭、滅火器、UV/IR火焰探測器等）√2.19易燃/自燃氣體房/特氣站/硅烷站入口靜電釋放器，所有氣體房入口EMO√2.20氣體房內(nèi)洗眼器（包含液位開關(guān)信號）安裝及調(diào)試√3、特殊氣體系統(tǒng)及UT安裝（包括GC/GR/BSGS/VDB/VMBP、尾氣處理設(shè)備、保壓吹掃盤面、氣體偵測器、地震儀、真空泵、管路、UT、其他輔助設(shè)備等）3.1特氣系統(tǒng)的設(shè)備運送至現(xiàn)場√3.2特氣系統(tǒng)設(shè)備的安裝（定位、電力、IA、消防水、Vent、Exhaust、PCW、氣體偵測器、監(jiān)控、特氣設(shè)備UT配管、管路、管路保溫及加熱、干式真空泵、尾氣處理設(shè)備、地震儀等）√3.3從氣體供應(yīng)設(shè)備到VMB/P的工藝氣體管路連接√3.4從VMBP到機臺的二次配管連接√低壓就地放置直連生產(chǎn)設(shè)備的氣體，出供氣設(shè)備后管路均為二次配范圍3.5消防水管路（供氣設(shè)備用）入戶1米預(yù)留接口√3.6消防水管路（供氣設(shè)備用）預(yù)留口，至各用氣設(shè)備的消防管路√3.7GN2/PN2管路接入各氣體房內(nèi)1米處，預(yù)留閥門√氣體管線包3.8GN2/PN2預(yù)留閥，至氣體房內(nèi)的管網(wǎng)及至各用氣設(shè)備的管路√3.9氣體房內(nèi)工藝排風(fēng)主管路（Exhaust）接入各氣體房內(nèi)1米處，預(yù)留閥門√3.10工藝排風(fēng)（Exhaust）預(yù)留閥，至氣體房內(nèi)的管網(wǎng)及至供氣設(shè)備(GC/BSGS及VMB閥箱、SCRUBBER等)的工藝排風(fēng)管路√3.14UPS預(yù)留開關(guān)至特氣UPS供電主盤的接線、測試√3.15應(yīng)急電預(yù)留開關(guān)至特氣應(yīng)急電供電主盤的接線、測試√3.16特氣供電系統(tǒng)的電盤√3.17特氣供電架構(gòu)、電盤、配電線路的深化設(shè)計√3.18特氣各供電主盤至各分電盤的電力分配及接線、測試√3.19供電電盤開關(guān)至各用電設(shè)備的配電及接線、測試√3.20PCW管路接入各氣體房內(nèi)1米處，預(yù)留閥門√3.21PCW預(yù)留閥，至氣體房內(nèi)的管網(wǎng)及用氣設(shè)備的管路√3.22氣體房內(nèi)Vent主管路及管網(wǎng)√3.23特氣設(shè)備排氣至Vent主管路的配管及測試√3.24氣柜和尾氣處理裝置、真空泵的排氣管路連接√3.25特氣系統(tǒng)所需的輔助設(shè)備的提供、安裝及連接√3.26氣體管道的標簽√3.27設(shè)備及管線防靜電接地√4、特氣GMS及監(jiān)控系統(tǒng)4.1氣體偵測器及其控制系統(tǒng)√4.2GMS/GDS服務(wù)器、監(jiān)控電腦、冗余PLC柜、IO盤、音箱、氣體偵測器、聲光報警器等√4.3提供GMS系統(tǒng)服務(wù)（硬件、軟件、安裝、編程）√4.4在系統(tǒng)上提供客戶界面連接端口，用于連接客戶廠務(wù)中央監(jiān)控系統(tǒng)?！?.5連接從氣體監(jiān)控系統(tǒng)到客戶中央廠務(wù)監(jiān)控系統(tǒng)（FMCS）的信號線√4.6GMS/GDS系統(tǒng)的調(diào)試?！?.7連接從監(jiān)控系統(tǒng)到客戶消防監(jiān)控系統(tǒng)的信號線（包含廣播聯(lián)動和門禁聯(lián)動，連接至消防包商指定位置）√4.8廣播系統(tǒng)√4.9GDS系統(tǒng)偵測區(qū)域事故排風(fēng)風(fēng)機控制信號接入（連接至機電包商指定位置）√4.10地震儀監(jiān)測系統(tǒng)√4.11高低壓吹掃保壓盤面PT接入GMS√5、設(shè)備與施工安裝范圍內(nèi)的質(zhì)量管控、測試、分析、調(diào)試和供氣5.1質(zhì)量控制/質(zhì)量測試程序。√5.2高純管路材料的物料進場質(zhì)量控制。√5.3壓力測試/氦檢?！?.4微量水/微量氧/顆粒測試√5.5特氣系統(tǒng)試車?！?.6特氣系統(tǒng)Firstturn-on√6、文檔6.1品控質(zhì)量管理記錄記錄√6.2證明/證書/操作手冊√6.3施工圖紙和文件√6.4配合特種設(shè)備必要的相關(guān)證書取得√7、建造階段事宜7.1施工期間的臨時電源。（T002總包單位提供接點，包商連接使用）√7.2施工期間的自來水供應(yīng)。（T002總包單位提供接點，包商連接使用）√7.3施工期間的現(xiàn)場辦公室。（T002總包單位提供，包商租賃使用）√7.4施工期間的臨時倉庫。（T002總包單位提供，包商租賃使用）√7.5管道安裝所需焊接氬氣。（焊接氬氣Ready之前由廠商提供，接管由廠商負責(zé)；Ready之后業(yè)主提供，接管由廠商負責(zé)）√7.6測試所需吹掃氮氣。（氮氣Ready之前由廠商提供，接管由廠商負責(zé)；Ready之后業(yè)主提供，接管由廠商負責(zé)）√8、Others其它8.1按照規(guī)章制度與當(dāng)?shù)氐穆毮懿块T聯(lián)系?！獭?.2雇用設(shè)計院審核特氣系統(tǒng)的設(shè)計√√8.3施工期間的施工工程保險√8.