設(shè)備部日常點檢表.xls

記錄編號：I/JADH-CX-019-R08 版本號：A/0 機號：DS 年月無異常異常X未使用 / 123456789 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 氣壓12 電阻13 點 檢 人 設(shè)備部確認: 點檢部位 點 檢 結(jié) 果 進水壓力是否正常（50-65psi) 進回水壓差是否正常（37psi）冷卻水 水流量 GT 鑄 錠 爐 日 常 點 檢 表 晶海洋半導(dǎo)體材料(東海)有限公司 F6水流量（24) F7水流量（17.5) F8水流量（4) 壓縮空氣的壓力（50psi） 加熱器于爐壁的電阻（2K ） 實 施 日點檢內(nèi)容 進水溫度是否正常（241） F1水流量（7) F2水流量（7) F3水流量（7) F4水流量（7) F5水流量（7) 記錄編號：I/JADH-CX-019-R08 版本號：A/0 機號：DS 年月無異常異常X未使用 / 123456789 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 氣壓15 電阻16 點 檢 人 設(shè)備部確認: F6水流量（8) F7水流量（8) F11水流量（25) JYT 鑄 錠 爐 日 常 點 檢 表 點檢部位點檢內(nèi)容 點 檢 結(jié) 果 實 施 日 壓縮空氣的壓力（50psi） 加熱器于爐壁的電阻（2K ） 晶海洋半導(dǎo)體材料(東海)有限公司 冷卻水 進水壓力是否正常（50-65psi) 進回水壓差是否正常（37psi） 進水溫度是否正常（241） 水流量 F1水流量（3) F2水流量（8) F3水流量（8) F4水流量（8) F5水流量（8) F12水流量（25) F13水流量（25) F14水流量（25) 記錄編號：I/JADH-CX-019-R08 版本號:A/0 機 號：KF 年月無異常異常 X未使用 / 1 2 3 4 5 6 7 8 9 # # # # # # # # # # # # # # # # # # # # # # 1 進水壓力、 張力是否正常 2 砂漿密度是否正常 3 各急停按鈕是否正常 4 各門鎖、門是否正常 5 砂漿液位是否正常 6 切割室沉積砂漿是否清理 7 過濾網(wǎng)、砂漿簾是否清洗 8 各管道、空調(diào)是否有異常 9 切割室沉積砂漿是否清理 10 進氣壓力是否正常、是否有漏氣 11 各指示燈、工藝參數(shù)是否正常 12 設(shè)備運行是否有異音、異味 13 工裝夾具是否有松動、磨損 14 上料工作臺是否正常（日進） 15 機臺是否清洗 點 檢 人 設(shè) 備 部 確 認: 晶海洋半導(dǎo)體材料(東海)有限公司 開 方 機 日 常 點 檢 表 點 檢 部 位點 檢 內(nèi) 容 點 檢 結(jié) 果 實 施 日 開機準備 機身 記錄編號：I/JADH-CX-019-R08 版本號:A/0 機 號:JC 年月 無異常異常 X未使用 / 1 2 3 4 5 6 7 8 9 # # # # # # # # # # # # # # # # # # # # # # 1 水閥、氣閥是否打開 2 配電柜是否關(guān)好 3 機臺運行參數(shù)是否正常 4 電磁閥、硅錠夾是否正常 5 機器是否清潔，有無螺絲松動現(xiàn)象 6 鋸條張力是否變化、是否要更換 7 硅錠切割表面是否光滑 水管道 8 有無漏水情況發(fā)生 9 設(shè)備運轉(zhuǎn)是否正常,有無異味 10 機臺移動時是否正常 11 周圍是否經(jīng)常保持清潔 12 工作臺是否擺放整齊 13 硅錠擺放是否區(qū)分 點 檢 人 設(shè) 備 部 確 認: 鋸條 機身 晶海洋半導(dǎo)體材料(東海)有限公司 工作臺 開機前準備 點 檢 內(nèi) 容 帶 鋸 機 日 常 點 檢 表 點 檢 部 位 點 檢 結(jié) 果 實 施 日 記錄編號：I/JADH-CX-019-R08 版本號:A/0 機 號:DJ 年月無異常異常 X未使用 / 1 2 3 4 5 6 7 8 9 # # # # # # # # # # # # # # # # # # # # # # 1 水閥是否打開 2 電源開關(guān)是否正常,有無異味 3 工作臺移動是否異常 4 調(diào)速器位置是否正常 5 砂輪是否損壞 電控柜 6 電壓指示燈是否正常,有無異味 水管道 7 有無漏水情況發(fā)生 8 電源指示燈是否正常 9 設(shè)備運行是否有異音、異味 10 工裝夾具是否有松動、磨損 11 機身是否干凈整潔 環(huán)境 12 周圍是否經(jīng)常保持清潔 其他 13 設(shè)備運行是否有異音、異味 點 檢 人 設(shè) 備 部 確 認: 機身 實 施 日 晶海洋半導(dǎo)體材料(東海)有限公司 開機準備 倒 角 機 日 常 點 檢 表 點 檢 部 位點 檢 內(nèi) 容 點 檢 結(jié) 果 記錄編號：I/JADH-CX-019-R08 版本號:A/0 機 號:MC 年月無異常異常 X未使用 / 1 2 3 4 5 6 7 8 9 # # # # # # # # # # # # # # # # # # # # # # 上料臺 1傳送帶是否正常,有無異常聲音 2砂輪是否有損壞 3運行時是否有異響 4氣壓、水壓是否正常 5 各管路是否有漏氣、漏水現(xiàn)象 6觸摸屏顯示是否正常,有無異味 7空調(diào)是否正常 8配電柜是否關(guān)閉 9 各原點位置是否正常 10 電源指示燈是否正常 11 工藝參數(shù)顯示是否正常 12 工裝夾具是否有松動、磨損 環(huán)境 13 周圍是否經(jīng)常保持清潔 點 檢 人 設(shè) 備 部 確 認: 砂輪 氣壓 晶海洋半導(dǎo)體材料(東海)有限公司 電控柜 機身 點 檢 部 位點 檢 內(nèi) 容 點 檢 結(jié) 果 實 施 日 研 磨 機 日 常 點 檢 表 記錄編號：I/JADH-CX-019-R08 版本號:A/0 機 號: 年月無異常異常 X未使用 / 1 2 3 4 5 6 7 8 9 # # # # # # # # # # # # # # # # # # # # # # 1 研磨刷是否脫落 2 切入量是否為規(guī)定值 3 涂層是否脫落 4 減壓閥設(shè)定壓力（0.4MPa) 5 壓力開關(guān)設(shè)定壓力（0.3MPa) 6 有無異常發(fā)熱 7 有無異響 8 水壓是否正常 9 管路是否有漏水現(xiàn)象 10 電源指示燈是否正常 11 工藝參數(shù)顯示是否正常 12 工裝夾具是否有松動、磨損 環(huán)境 13 周圍是否經(jīng)常保持清潔 點 檢 人 設(shè) 備 部 確 認: 毛 刷 機 日 常 點 檢 表 點 檢 部 位點 檢 內(nèi) 容 點 檢 結(jié) 果 實 施 日 晶海洋半導(dǎo)體材料(東海)有限公司 軸頭部 空氣管 馬達 水管道 機身 記錄編號：I/JADH-CX-019-R08 版本號:A/0 機 號:MC 年月無異常異常 X未使用 / 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 上料臺 1傳送帶是否正常,有無異常聲音 2砂輪是否有損壞 3運行時是否有異響 4氣壓、水壓是否正常 5 各管路是否有漏氣、漏水現(xiàn)象 6觸摸屏顯示是否正常,有無異味 7空調(diào)是否正常 8配電柜是否關(guān)閉 9 各原點位置是否正常 10 電源指示燈是否正常 11 工藝參數(shù)顯示是否正常 12 工裝夾具是否有松動、磨損 環(huán)境 13 周圍是否經(jīng)常保持清潔 點 檢 者 設(shè) 備 部 確 認: 點 檢 部 位點 檢 內(nèi) 容 點 檢 結(jié) 果 實 施 日 晶海洋半導(dǎo)體材料(東海)有限公司 砂輪 氣壓 電控柜 機身 自動倒角機日常點檢表 記錄編號：I/JADH-CX-019-R08 版本號:A/0 設(shè)備編號：MB年月無異常異常X未使用 / 12345678910 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 切割室 15 16 17 18 19 砂漿管連接處有無漏砂漿現(xiàn)象 照明 20 設(shè)備部確認： 壓縮空氣 進氣壓力是否為4-6bar 機器是否有漏氣現(xiàn)象 線 切 機 日 常 點 檢 表 點檢部位點檢內(nèi)容 點 檢 結(jié) 果 實 施 日 冷卻系統(tǒng) 進水壓力是否在3.5-4.5bar 回水壓力是否在1.5-2.5bar 進水溫度是否在12-17 水管是否有漏水現(xiàn)象 切割室內(nèi)有無異響 各電機溫度是否在47-53 各軸承溫度是否在20-26 控制柜溫度是否在19-30 砂漿溫度是否符合設(shè)定值 控制系統(tǒng) 操作屏顯示是否正常 操作屏上是否有非常規(guī)報警 狀態(tài)指示燈是否正常 控制柜內(nèi)有無異味 收放線室 收放線排線跟隨度是否正常 張力臂擺動是否正常 砂漿系統(tǒng) 砂漿攪拌泵和供應(yīng)泵有無異響 各處照明燈具是否正常 點 檢 人 晶海洋半導(dǎo)體材料（東海）有限公司 記錄編號：I/JADH-CX-019-R08 版本號:A/0 機 號：FX年月無異常異常X未使用 / 123456789 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 機械臂1 2 3 4 5 6 7 8 9 電控柜10 11 12 13 設(shè)備部確認： 環(huán)境 機臺內(nèi)外是否有碎硅片 檢測系統(tǒng)觀察門是否關(guān)閉 傳送機構(gòu) 傳送帶是否完好，有無破損 系統(tǒng) 厚度檢測數(shù)據(jù)是否正常 風(fēng)扇是否正常、有無異味 分 選 機 日 常 點 檢 表 點檢部位點檢內(nèi)容 點 檢 結(jié) 果 實 施 日 機械臂各項動作是否正常 傳送帶硅片位置是否有偏移現(xiàn)象 傳送過程是否有異響 卡片情況是否嚴重 馬達是否有異常振動和異味 各檢測模組圖象是否正常 檢測系統(tǒng)下部相機是否有異物 周圍是否保持清潔 點 檢 人 晶海洋半導(dǎo)體材料（東海）有限公司 記錄編號：I/JADH-CX-019-R08 版本號:A/0 機 號：SC年月無異常異常X未使用 / 123456789 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 上料臺1 2 3 4 5 6 7 溫度8 排風(fēng)系統(tǒng)9 10 11 12 13 烘干14 下料臺15 提拉電機16 環(huán)境17 清 洗 機 日 常 點 檢 表 清洗槽 超聲波是否工作正常電流是否正常 各槽水位是否正常，有無漏水現(xiàn)象 拋動電機是否有異常聲音 各槽溫度是否正常 排風(fēng)是否正常，機器內(nèi)有無水汽 點檢部位點檢內(nèi)容 點 檢 結(jié) 果 實 施 日 傳送帶是否正常，有無異常聲音 機械臂 機械臂各項動作是否正常 機械臂走動時有無異常 導(dǎo)軌是否有藥液等異物 烘干是否正常有無水跡 傳送帶是否正常，有無異常聲音 提拉動作是否正常 周圍是否保持清潔 點 檢 人 管道 有無漏氣情況 補水和排水是否通暢 電控柜 電壓指示燈是否正常,有無異味 排風(fēng)扇是否正常工作 設(shè)備部確認: 晶海洋半導(dǎo)體材料（東海）有限公司 記錄編號：I/JADH-CX-019-R08 版本號:A/0 機 號：HP年月 無異常異常X未使用 / 123456789 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 電控柜12 環(huán)境13 設(shè)備部確認： 包 裝 機 日 常 點 檢 表 點檢部位點檢內(nèi)容 點 檢 結(jié) 果 實 施 日 烘箱 鏈條速度是否過快或過慢 收縮爐溫度是否正常 指示燈是否正常，柜內(nèi)有無異味 周圍是否保持清潔 點 檢 人 封口刀 封口刀機械臂各項動作是否正常 封口刀溫度是否正常 封口刀切膜是否正常 傳送臺 傳送帶是否完好，有無破損 傳動時有無阻滯現(xiàn)象 薄膜重疊部位是否有破裂現(xiàn)象 傳送帶是否有跑偏現(xiàn)象 傳送帶是否有異常振動和噪聲 塑料薄膜是否正確安裝 晶海洋半導(dǎo)體材料（東海）有限公司 記錄編號：I/JADH-CX-019-R08 版本號:A/0 機 號：KP年月無異常異常X未使用 / 123456789 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 1 2 3 4 5 6水泵出口壓力是否正常（1Kg） 7 8 9 10 11 柜內(nèi)有無異味 12 13 14 槽體15 環(huán)境16 脫 膠 機 日 常 點 檢 表 點檢部位點檢內(nèi)容 點 檢 結(jié) 果 實 施 日 電源指示燈是否正常 排風(fēng)扇是否正常工作 是否有異常振動和噪聲 電控柜 電機、水泵 機械臂 機械臂各項動作是否正常 機械臂動作時有無異響 氣管是否有漏氣情況 水泵是否有滴漏水現(xiàn)象 噴淋噴嘴出水是否有堵塞 水泵是否有異常振動和噪聲 補水和排水是否通暢 閥門、管路有無漏水情況 管路與槽體 是否有奇異氣味 各槽蓋開合動作是否順暢正常 周圍是否保持清潔 點 檢 人 設(shè)備部確認： 晶海洋半導(dǎo)體材料（東海）有限公司 記錄編號：I/JADH-CX-019-R08 版本號:A/0 機 號：CP年月無異常異常X未使用 / 12345678910 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 環(huán)境13 設(shè)備部確認： 升降臂 滑臺水槽 水管道 電控柜 插 片 機 日 常 點 檢 表 點檢部位點檢內(nèi)容 點 檢 結(jié) 果 實 施 日 補水和排水是否通暢 開關(guān)按鈕是否有損壞 蜂鳴器是否正常工作 電源指示燈是否正常，柜內(nèi)有無異味 周圍是否保持清潔 升降臂走動時有無異常 升降臂動作是否到位 滑臺出水是否正常，有無堵塞 插片是否順暢正常 水槽水位是否正常 出水量是否明顯減少 過濾袋是否干凈 有無漏水情況 點 檢 人 晶海洋半導(dǎo)體材料（東海）有限公司 記錄編號：I/JADH-CX-019-R08 版本號:A/0 機 號：CP年月無異常異常X未使用 / 12345678910 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 氣路、砂路1 2 3 5 6 7 8 9 10 11 12 設(shè)備部確認： 晶海洋半導(dǎo)體材料（東海）有限公司 整 錠 噴 砂 機 日 常 點 檢 表 點檢部位點檢內(nèi)容 點 檢 結(jié) 果 實 施 日 檢查管路有無破損或滲漏現(xiàn)象 點 檢 人 整機 檢查各密封部位，特別是艙門密封是否 完好 檢查整機是否經(jīng)常保持清潔 電控柜 檢查觸摸屏顯示是否正常 電源指示燈是否正常，柜內(nèi)有無異味 噴槍 檢查噴槍壓力是否正常 檢查噴槍膠管接頭是否損壞 檢查噴槍膠管是否損壞、脫落 噴槍擺臂擺動是否有異響，軸承是否缺 油 進料臺 檢查轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)是否正常，平穩(wěn) 檢查限位開關(guān)是否工作正常 記錄編號：I/JADH-CX-019-R08 版本號:A/0 機 號：SC年月無異常異常X未使用 / 12345678910 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 下料臺15 環(huán)境16 設(shè)備部確認: 晶海洋半導(dǎo)體材料（東海）有限公司 傳送帶是否正常，有無異常聲音 周圍是否保持清潔 點 檢 人 電控柜 電源指示燈是否正常,柜內(nèi)有無異味 排風(fēng)扇是否正常工作,端子排有無異常 酸路系統(tǒng) 檢查一槽酸位傳感器是否顯示正常 檢查酸路管道是否泄露 清洗槽 檢查清洗籃是否完好 六槽水溫是否正常，超聲波工作是否正 常 各槽槽蓋打開關(guān)閉是否正常 各槽水位是否正常，有無漏水現(xiàn)象 水路系統(tǒng) 有無漏水情況 補水和排水是否通暢 上料臺 傳送帶是否正常，有無異常聲音 上料臺是否有碎硅片，是否保持清潔 機械臂 機械臂各項動作是否正常 機械臂走動時有無異常，動作時是否有 異響 自 動 硅 料 酸 洗 機 日 常 點 檢 表 點檢部位點檢內(nèi)容 點 檢 結(jié) 果 實 施 日 記錄編號：I/JADH-CX-019-R08 版本號:A/0 機 號：CP年月無異常異常X未使用 / 1234