微電子機械技術教學大綱.doc

微電子機械技術教學大綱課程編號：MI3321037 課程名稱：微電子機械技術 英文名稱：MEMS Technology 學時： 30 學分：2課程類型：任選課 課程性質：專業(yè)課適用專業(yè)：微電子學 先修課程：電子器件基礎集成電路設計與集成系統(tǒng) 集成電路制造技術開課學期：6 開課院系：微電子學院一、課程的教學目標與任務（黑體小四）目標：通過本課程的學習，使學生了解典型微電子機械系統(tǒng)基本原理，為微電子機械系統(tǒng)的設計和研制提供必要的基礎知識。任務：了解微電子機械系統(tǒng)的概念和基本原理，掌握微電子機械系統(tǒng)的基本加工技術與設計方法，熟悉微電子機械系統(tǒng)中微傳感器與微執(zhí)行器等基本機械部件的結構，二、本課程與其它課程的聯(lián)系和分工微電子機械是半導體技術和機械技術結合的一種新技術，本課程在半導體制造技術的基礎上對學生的知識進行擴充。先修課程為半導體物理、半導體器件電子學和集成電路制造技術等。三、課程內容及基本要求（一）概論 （2學時）具體內容：微電子機械系統(tǒng)概念，微電子機械系統(tǒng)起源，微電子機械系統(tǒng)的現(xiàn)狀。1.基本要求（1） 了解微電子機械的概念（2） 了解微電子機械的現(xiàn)狀2.重點、難點重點：微電子機械的概念和應用難點：微電子機械的概念 3.說明：本節(jié)內容使學生對微電子機械有一個基本的了解。（二）微機械系統(tǒng)基本原理（4學時）具體內容：電容效應，壓阻效應，靜電效應，壓電效應，電磁效應，其他效應。1.基本要求（1） 掌握微電子機械的基本原理（2） 掌握制造微電子機械的各種效應2.重點、難點重點：各種形成微電子機械的各種效應難點：壓阻效應，靜電效應，壓電效應，電磁效應3.說明：本節(jié)內容使學生對微電子機械原理有一個基本的了解。（三）微細加工技術（6學時）具體內容：表面加工工藝，體硅加工工藝，LIGA工藝，鍵合工藝，封裝工藝，特種加工工藝。1.基本要求（1） 了解微電子機械的加工原理和過程（2） 掌握制造微電子機械的主要工藝技術2.重點、難點重點：制造微電子機械的主要工藝技術難點：表明加工，鍵合工藝，封裝工藝3.說明：本節(jié)內容使學生對微電子機械加工制造技術有一個基本的了解。（四）微傳感器和微執(zhí)行器（6學時）具體內容：物理量傳感器，微型化學量傳感器，微型生物傳感器，靜電執(zhí)行器，壓電執(zhí)行器，電磁執(zhí)行器，熱執(zhí)行器，其他執(zhí)行器1.基本要求（1） 了解微傳感器和微執(zhí)行器的基本概念（2） 掌握各種微傳感器的原理和加工技術（3） 掌握各種微執(zhí)行器的原理和加工技術2.重點、難點重點：微傳感器和微執(zhí)行器的原理和主要工藝技術難點：微型生物傳感器3.說明：本節(jié)內容使學生對微電子機械系統(tǒng)有一個基本的了解（五）微電子機械系統(tǒng)設計技術（4學時）具體內容：設計的概念與本質，設計內容，設計過程，計算機輔助設計技術，常用設計軟件1.基本要求（1） 了解微電子機械系統(tǒng)的設計流程（2） 掌握微電子機械設計軟件的使用方法2.重點、難點重點：微電子機械系統(tǒng)的設計流程和主要內容難點：計算機輔助設計技術3.說明：本節(jié)內容使學生對微電子機械系統(tǒng)設計有一個基本的了解（六）典型微電子機械系統(tǒng)及其應用 （8學時）具體內容：微加速度計與微陀螺，微型機器人，微分析系統(tǒng)，微型飛行器。微電子機械系統(tǒng)在汽車工業(yè)中的應用，在軍事中的應用，在醫(yī)學中的應用，在生物科學中的應用，在信息技術中的應用1.基本要求（1） 了解一些典型的微電子機械系統(tǒng)（2） 了解微電子機械系統(tǒng)的應用范圍及現(xiàn)狀2.重點、難點重點：典型微電子機械系統(tǒng)及其應用難點：典型微電子機械系統(tǒng) 3.說明：本節(jié)內容使學生對微電子機械系統(tǒng)及其應用有一個基本的了解。四、教學安排及方式總學時 30學時，講課 28 學時，多種教學形式 2學時。 教學環(huán)節(jié)教學時數(shù)課程內容講 課實 驗習 題 課討 論 課上 機參觀或看錄像小 計概論22微機械系統(tǒng)基本原理44微細加工技術516微傳感器和微執(zhí)行器66微電子機械系統(tǒng)設計技術44典型微電子機械系統(tǒng)及其應用718五、考核方式筆試（半開卷）各教學環(huán)節(jié)占總分的比例:平時測驗及作業(yè)：30%，期末考試：70%六、推薦教材與參考資料 教學用書：1.莫錦秋等微機電系統(tǒng)設計與制造，化學工業(yè)出版社。2004年3月。2.苑偉政，馬炳和微機械與微細加