JSD-300蒸發(fā)鍍膜機(jī)使用說明書.doc

安徽嘉碩真空科技有限公司 JSD-300型真空鍍膜機(jī)使用說明書安徽嘉碩真空科技有限公司目 錄1、概述32、主要技術(shù)性能參數(shù)33、設(shè)備安裝.54、操作規(guī)程.55、使用注意事項、維護(hù)與保養(yǎng).76、設(shè)備主要配置.87、技術(shù)資料清單9一、概述JSD-300型真空鍍膜機(jī)是我公司研發(fā)，用于真空蒸發(fā)鍍光學(xué)薄膜、低熔點金屬和合金薄膜等。設(shè)備由真空室、真空機(jī)組和電氣系統(tǒng)組成，具有結(jié)構(gòu)緊湊、方便移動、操作簡單、維護(hù)方便的特點，特別適合小型企業(yè)、科研單位和高校的使用。二、主要技術(shù)性能參數(shù)1. 真空室：300*H450mm；2. 基片架：放一個基片，可旋轉(zhuǎn)（步進(jìn)電機(jī)控制，轉(zhuǎn)速連續(xù)可調(diào)，可加熱0-300度連續(xù)可調(diào)）；3. 最大可鍍工件直徑：120mm；4. 極限真空度：1X10-4Pa;5. 抽氣時間：大氣壓8*10-3Pa小于20min；6. 蒸發(fā)：電阻式蒸發(fā)電極（2對） 功率：2KW；7. 開啟方式：上翻蓋結(jié)構(gòu)；8. 真空系統(tǒng)：機(jī)械泵+分子泵；設(shè)備結(jié)構(gòu)介紹：1. 真空室鐘罩結(jié)構(gòu)，上蓋開啟。不銹鋼材質(zhì)，前面配100觀察窗、預(yù)抽接口、充氣接口；內(nèi)部有底板、蒸發(fā)源等；2. 真空系統(tǒng)采用分子泵+旋片式機(jī)械泵。采用真空波紋管連接，配有真空測量儀表，具備真空互鎖機(jī)構(gòu)；3. 電氣系統(tǒng)電氣系統(tǒng)包括真空抽氣機(jī)組控制、蒸發(fā)與烘烤控制、真空測量控制等部分組成。系統(tǒng)示意圖如下所示：備用接口步進(jìn)電機(jī)膜厚儀探頭電機(jī)控制器地腳腳輪溫控儀表加熱溫控電源封板分子泵電源觀察窗擋板電流表調(diào)節(jié)旋紐前門板插板閥預(yù)抽閥門觀察窗總開關(guān)電離單元真空室陶封電極電阻單元真空計膜厚儀蒸發(fā)開關(guān)電控面板圖1 JSD-300真空鍍膜機(jī)示意圖三、設(shè)備安裝3.1、機(jī)架平面尺寸：L1200W700mm。3.2 、配套設(shè)施準(zhǔn)備 設(shè)備安裝前，客戶應(yīng)提供如下條件：3.2.1 整機(jī)配電要求安裝位置附近應(yīng)有易得的電源插座；供電：交流220V，8KW。3.2.2 聯(lián)接地線要求本設(shè)備必須進(jìn)行良好接地。使用前，需將設(shè)備與安裝場地內(nèi)的地線進(jìn)行有效連接。3.2.3 冷卻水安裝設(shè)備使用時，須對分子泵、電極等進(jìn)行冷卻。設(shè)備使用前，先接通冷卻水。四、 操作規(guī)程4.1 開機(jī)準(zhǔn)備工作4.1.1 總供電檢測：用萬用表測量用戶端的電壓是否正常，若為三相，檢測三相是否正常，零線及地線是否有效；4.1.2 冷卻水檢測：將設(shè)備的冷卻水接通后打開冷卻水閥門，為設(shè)備供水，觀察出水口是否有水流出，保證各水路暢通。4.1.3 電氣檢查：檢查總供電電源配線是否完好，地線是否接好，所有儀表電源開關(guān)全部處于關(guān)閉狀態(tài)。4.1.4 真空系統(tǒng)檢測：檢查分子泵、機(jī)械泵油是否達(dá)到使用要求。檢查所有手動閥門是否處在關(guān)閉狀態(tài)（注意，本設(shè)備中所使用的手動閥門，順時針方向為關(guān)，逆時針為開）。確定真空室已經(jīng)處在抽真空的準(zhǔn)備狀態(tài)。4.1.5 鍍材安裝：本設(shè)備的配置二組蒸發(fā)電極，蒸鍍前在蒸發(fā)舟上安裝需要鍍制的材料。4.1.6 基片安裝：先將樣品（待鍍基片）清洗干凈后，將基片裝到基片盤上。4.2 開機(jī)4.2.1 啟動總電源：確認(rèn)所有電源開關(guān)都在關(guān)閉狀態(tài)后，轉(zhuǎn)動總控制電源開關(guān)，相關(guān)儀器表盤燈亮，供電正常。如果相關(guān)儀器表盤燈不亮，應(yīng)檢查供電電源是否有問題。在確認(rèn)電源正常之后方可進(jìn)行下一步工作。4.2.2 啟動機(jī)械泵: 按下控制面板上的機(jī)械泵開關(guān)，機(jī)械泵指示燈亮，此時機(jī)械泵工作。機(jī)械泵工作后，打開預(yù)抽閥，對真空室進(jìn)行抽氣，然后打開電磁閥對分子泵泵腔進(jìn)行預(yù)抽。打開真空室復(fù)合真空計進(jìn)行測量。（復(fù)合真空計及規(guī)管說明書見附件：微機(jī)型數(shù)顯復(fù)合真空計使用說明書。）4.2.3 啟動分子泵：確認(rèn)分子泵的冷卻水均處于接通狀態(tài)，待真空度達(dá)到10Pa以下時，打開分子泵控制器（按下分子泵控制電源面板上的工作按紐），啟動分子泵，約1-2分鐘分子泵完全啟動后，關(guān)閉預(yù)抽閥，打開插板閥對真空室進(jìn)行抽氣。4.3 鍍膜用分子泵+機(jī)械泵對真空室連續(xù)抽真空，利用復(fù)合真空計監(jiān)測真空室內(nèi)的真空度。待真空室內(nèi)本底真空度達(dá)到本次實驗所預(yù)期要求后，即可準(zhǔn)備鍍膜工作。4.3.1先將調(diào)壓開關(guān)調(diào)整至零位（逆時針轉(zhuǎn)到最小）；4.3.2確定蒸鍍電極，在控制面板上先確定本次實驗所需要的一組或多組電極，再根據(jù)實驗需要依次或同時打開一組或二組電極；4.3.3開啟實驗所需要的蒸發(fā)電壓按鈕，旋轉(zhuǎn)調(diào)壓器（00-100A左右），先將電阻蒸發(fā)絲預(yù)熱，然后調(diào)整蒸發(fā)電流直至膜材完全蒸發(fā)。4.3.4設(shè)備配套一個四通道膜厚儀，在鍍膜過程中可實時監(jiān)測膜厚，具體操作方法見使用說明書4.3.5設(shè)備配置一套溫控加熱電源，可在加熱過程中對基片加熱，加熱溫度0-300度連續(xù)可調(diào)；4.4 關(guān)機(jī)4.4.1 停止鍍膜鍍膜完成后，將調(diào)壓器旋至零位，關(guān)閉蒸發(fā)電源按鈕，關(guān)閉插板閥后關(guān)閉分子泵，約2-3分鐘后，分子泵完全停下后既可斷開冷卻水，再關(guān)閉前級真空泵，關(guān)閉相應(yīng)的電源。4.4.2 關(guān)閉系統(tǒng) 完成鍍膜后，開啟放氣閥，打開真空室取出樣品，之后使用前級真空泵對真空室進(jìn)行抽空后關(guān)閉電源。保持真空室處于真空狀態(tài)。五、使用注意事項、維護(hù)與保養(yǎng)5.1 使用注意事項5.1.1 設(shè)備應(yīng)在清潔的室內(nèi)環(huán)境使用。 5.1.2分子泵、機(jī)械泵的使用和維護(hù)應(yīng)嚴(yán)格按照相應(yīng)說明書上的規(guī)定進(jìn)行。5.1.3 真空室暴露大氣應(yīng)盡可能的短，同時暴大氣時應(yīng)關(guān)緊插板閥，以免分子泵、抽氣管路等受到污染。5.1.4樣品可隨爐冷卻，真空室內(nèi)溫度60以下時再暴露大氣。5.1.6 對真空室內(nèi)零件進(jìn)行操作（包括蒸發(fā)舟、鍍材等）時，要注意真空室的清潔。5.2 維護(hù)和保養(yǎng)5.2.1 設(shè)備運行一段時間后，若真空度有下降現(xiàn)象，應(yīng)及時檢查各法蘭密封口是否有膠圈老化及螺釘松動現(xiàn)象，并及時更換膠圈，擰緊螺釘。5.2.2 遇有前級真空抽不上去時，除了要盡力排除前級管道及電磁閥的泄露之外，要檢查機(jī)械泵是否油不夠或油質(zhì)變劣，要定期查看油標(biāo)，及時加注或更換泵油。分子泵的油標(biāo)也要定期檢查（約半年時間查一次）。六、設(shè)備主要配置JSD-300真空鍍膜機(jī)主要配置表項目單位數(shù)量規(guī)格產(chǎn)地備注JSD300真空鍍膜機(jī)真空室（不銹鋼）只1300H450安徽嘉碩真空室壁+上蓋、底板+觀察窗等設(shè)備機(jī)架臺1安徽嘉碩包括電氣面板插板閥只1DN100連接真空室和主泵機(jī)械泵（配KF25放氣閥）臺1上海前級+預(yù)抽分子泵臺1180L北京主泵電磁閥臺1KF25上海充氣閥臺1安徽嘉碩管路與接口批1安徽嘉碩真空計（1電離+1電阻）套1成都膜厚儀套1上海電極套3安徽嘉碩照明套1安徽嘉碩烘烤套1安徽嘉碩蒸發(fā)電源套2安徽嘉碩溫控電源套1安徽嘉碩其他套