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特種加工技術(shù) 工程訓(xùn)練中心 第一章概論 1 1特種加工的概念1 2特種加工的特點及發(fā)展1 3特種加工的分類1 4特種加工的意義 1 1特種加工的概念 1特種加工的出現(xiàn)20世紀40年代 前蘇聯(lián)科學(xué)家拉扎連柯夫婦研究開關(guān)觸點遭受火花放電腐蝕損壞的現(xiàn)象和原因 發(fā)現(xiàn)電火花的瞬時高溫可使局部的金屬熔化 氣化而被腐蝕掉 開創(chuàng)和發(fā)明了電火花加工 后來 由于各種先進技術(shù)的不斷應(yīng)用 產(chǎn)生了多種有別于傳統(tǒng)機械加工的新加工方法 這些新加工方法從廣義上定義為特種加工 NTM Non TraditionalMachining 也被稱為非傳統(tǒng)加工技術(shù) 2特種加工解決的問題1 難切削材料 如寶石 金剛石 鈦合金等 的加工 2 特殊復(fù)雜表面的加工 3 超精 光整及具有特殊要求的表面加工 航空航天 國防工業(yè)中表面質(zhì)量和精度要求高的陀螺儀 伺服閥及低剛度細長軸 3加工原理將電 熱 光 聲 化學(xué)等能量或其組合施加到工件被加工的部位上 從而實現(xiàn)材料去除 由于各種特種加工所用的能量不同 其具體加工原理也有很大不同 特種加工是利用能量及能量間的轉(zhuǎn)化對工件進行加工的方法 1 2特種加工的特點及發(fā)展 與傳統(tǒng)的機械加工相比 特種加工的特點是 1 不是主要依靠機械能 而是利用其他能量 如電 化學(xué) 光 聲 熱等 去除金屬材料 所以加工過程中工具和工件之間不存在顯著的機械切削力 故加工的難易與工件硬度等機械性能無關(guān) 2 非接觸加工 不一定需要工具 有的雖使用工具 但與工件不接觸 因此工件不承受大的作用力 工具硬度可低于工件硬度 3 微細加工 工件表面質(zhì)量高 有些特種加工如超聲 電化學(xué)水噴射等 加工余量都是微細進行 故不僅可加工尺寸微小的孔或狹縫 還能獲得高精度 低粗糙度的加工表面 4 各種加工方法可以揚長避短 任意組合 形成新的工藝方法 更突出其優(yōu)越性 便于擴大應(yīng)用范圍 如目前的電解電火花加工 ECDM 電解電弧加工 ECAM 就是兩種特種加工復(fù)合而形成的新加工方法 正因為特種加工工藝具有上述特點 所以就總體而言 特種加工可以加工任何硬度 強度 韌性 脆性的金屬或非金屬材料 且專長于加工復(fù)雜 微細表面和低剛度的零件 目前 國際上對特種加工技術(shù)的研究主要表現(xiàn)在以下幾個方面 1 微細化 目前 國際上對微細電火花加工 微細超聲波加工 微細激光加工 微細電化學(xué)加工等的研究正方興未艾 特種微細加工技術(shù)有望成為三維實體微細加工的主流技術(shù) 2 特種加工的應(yīng)用領(lǐng)域正在拓寬 例如 非導(dǎo)電材料的電火花加工 電火花 激光 電子束表面改性等 3 廣泛采用自動化技術(shù) 充分利用計算機技術(shù)對特種加工設(shè)備的控制系統(tǒng) 電源系統(tǒng)進行優(yōu)化 建立綜合參數(shù)自適應(yīng)控制裝置 數(shù)據(jù)庫等 進而建立特種加工的CAD CAM和FMS系統(tǒng) 這是當前特種加工技術(shù)的主要發(fā)展趨勢 用簡單工具電極加工復(fù)雜的三維曲面是電解加工和電火花加工的發(fā)展方向 目前 已實現(xiàn)用四軸聯(lián)動線切割機床切出扭曲變截面的葉片 隨著設(shè)備自動化程度的提高 實現(xiàn)特種加工柔性制造系統(tǒng)已成為各工業(yè)國家追求的目標 我國的特種加工技術(shù)起步較早 20世紀50年代中期我國工廠已設(shè)計研制出電火花穿孔機床 60年代末上海電表廠張維良工程師在陽極 機械切割的基礎(chǔ)上發(fā)明了我國獨創(chuàng)的快走絲線切割機床 上海復(fù)旦大學(xué)研制出電火花線切割數(shù)控系統(tǒng) 但是由于我國原有的工業(yè)基礎(chǔ)薄弱 特種加工設(shè)備和整體技術(shù)水平與國際先進水平有不少差距 每年還需從國外進口300臺以上高檔電加工機床 1 3特種加工的分類 與其他先進制造技術(shù)一樣 特種加工正在研究 開發(fā)推廣和應(yīng)用之中 具有很好的發(fā)展?jié)摿蛻?yīng)用前景 依據(jù)加工能量的來源和作用形式列舉如表1 1所示常用的特種加工方法 電能與熱能作用方式 電火花EDM 線切割WEDM 電子束EBM 等離子PAM電能與化學(xué)能作用方式 電解ECM 電鑄 電刷鍍電化學(xué)能與機械能作用方式 電解磨削ECG 電解珩磨ECH聲能與機械作用能作用方式 超聲波加工USM光能與熱能作用方式 激光加工LBM電能與機械作用能作用方式 離子束加工IM液流能與機械作用能 擠壓珩磨AFH 水射流WJC 表1 1常用特種加工方法的分類 電火花加工 電化學(xué)加工 激光加工 化學(xué)加工 盡管特種加工優(yōu)點突出 應(yīng)用日益廣泛 但是各種特種加工的能量來源 作用形式 工藝特點卻不盡相同 其加工特點與應(yīng)用范圍自然也不一樣 而且各自還都具有一定的局限性 為了更好地應(yīng)用和發(fā)揮各種特種加工的最佳功能及效果 必須依據(jù)工件材料 尺寸 形狀 精度 生產(chǎn)率 經(jīng)濟性等情況作具體分析 區(qū)別對待 合理選擇特種加工方法 表1 2對幾種常見的特種加工方法進行了綜合比較 表1 2幾種常見特種加工方法的綜合比較 1 4特種加工的意義 1 提高了材料的可加工性 2 改變了零件的典型工藝路線 3 試制新產(chǎn)品時可以省去刀 夾 模具設(shè)計制造的時間及費用 4 對零件結(jié)構(gòu)工藝性的評價標準進行重新衡量 第二章特種加工技術(shù) 2 1電化學(xué)加工技術(shù)2 2激光加工技術(shù)2 3超聲波加工技術(shù)2 4其他常用特種加工技術(shù) 一 電化學(xué)加工技術(shù)ElectrochemicalMachining 1 電化學(xué)加工的原理與特點1 電化學(xué)加工的原理圖2 1所示為電化學(xué)加工的原理 兩片金屬銅 Cu 板浸在導(dǎo)電溶液 例如氯化銅 CuCl2 的水溶液中 此時水 H2O 離解為氫氧根負離子OH 和氫正離子H CuCl2離解為兩個氯負離子2Cl 和二價銅正離子Cu2 當兩個銅片接上直流電形成導(dǎo)電通路時 導(dǎo)線和溶液中均有電流流過 在金屬片 電極 和溶液的界面上就會有交換電子的反應(yīng) 即電化學(xué)反應(yīng) 溶液中的離子將作定向移動 Cu2 正離子移向陰極 在陰極上得到電子而進行還原反應(yīng) 沉積出銅 圖2 1電解 電鍍 液中的電化學(xué)反應(yīng) 2 電化學(xué)加工的分類電化學(xué)加工有三種不同的類型 第 類是利用電化學(xué)反應(yīng)過程中的陽極溶解來進行加工 主要有電解加工和電化學(xué)拋光等 第 類是利用電化學(xué)反應(yīng)過程中的陰極沉積來進行加工 主要有電鍍 電鑄等 第 類是利用電化學(xué)加工與其他加工方法相結(jié)合的電化學(xué)復(fù)合加工工藝進行加工 目前主要有電解磨削 電化學(xué)陽極機械加工 其中還含有電火花放電作用 電化學(xué)加工的類別如表2 1所示 本節(jié)主要介紹電解加工 電鑄成型 電解磨削 其它的電化學(xué)加工請參考相關(guān)資料 表2 1電化學(xué)加工分類 3 電化學(xué)加工的適用范圍電化學(xué)加工的適用范圍 因電解和電鍍兩大類工藝的不同而不同 電解加工可以加工復(fù)雜成型模具和零件 例如汽車 拖拉機連桿等各種型腔鍛模 航空 航天發(fā)動機的扭曲葉片 汽輪機定子 轉(zhuǎn)子的扭曲葉片 炮筒內(nèi)管的螺旋 膛線 來復(fù)線 齒輪 液壓件內(nèi)孔的電解去毛刺及擴孔 拋光等 電鍍 電鑄可以復(fù)制復(fù)雜 精細的表面 4 電解加工1 電解加工的原理及特點1 基本原理電解加工是利用金屬在電解液中的 電化學(xué)陽極溶解 來將工件成型的 如圖2 2所示 在工件 陽極 與工具 陰極 之間接上直流電源 使工具陰極與工件陽極間保持較小的加工間隙 0 1 0 8mm 間隙中通過高速流動的電解液 這時 工件陽極開始溶解 開始時 兩極之間的間隙大小不等 間隙小處電流密度大 陽極金屬去除速度快 而間隙大處電流密度小 去除速度慢 隨著工件表面金屬材料的不斷溶解 工具陰極不斷地向工件進給 溶解的電解產(chǎn)物不斷地被電解液沖走 工件表面也就逐漸被加工成接近于工具電極的形狀 如此下去直至將工具的形狀復(fù)制到工件上 圖2 2電解加工原理圖 2 特點 1 能加工各種硬度和強度的材料 只要是金屬 不管其硬度和強度多大 都可加工 2 生產(chǎn)率高 約為電火花加工的5 10倍 在某些情況下 比切削加工的生產(chǎn)率還高 且加工生產(chǎn)率不直接受加工精度和表面粗糙度的限制 3 表面質(zhì)量好 電解加工不產(chǎn)生殘余應(yīng)力和變質(zhì)層 又沒有飛邊 刀痕和毛刺 在正常情況下 表面粗糙度Ra可達0 2 1 25 m 4 陰極工具在理論上不損耗 基本上可長期使用 電解加工當前存在的主要問題是加工精度難以嚴格控制 尺寸精度一般只能達到0 15 0 30mm 2 電解加工應(yīng)用目前 電解加工主要應(yīng)用在深孔加工 葉片 型面 加工 鍛模 型腔 加工 管件內(nèi)孔拋光 各種型孔的倒圓和去毛刺 整體葉輪的加工等方面 圖2 3是用電解加工整體葉輪 葉輪上的葉片是采用套料法逐個加工的 加工完一個葉片 退出陰極 經(jīng)分度后再加工下一個葉片 圖2 3電解加工整體葉輪 5 電鑄成型1 電鑄成型原理及特點1 成型原理與大家熟知的電鍍原理相似 電鑄成型是利用電化學(xué)過程中的陰極沉積現(xiàn)象來進行成型加工的 即在原模上通過電化學(xué)方法沉積金屬 然后分離以制造或復(fù)制金屬制品 但電鑄與電鍍又有不同之處 電鍍時要求得到與基體結(jié)合牢固的金屬鍍層 以達到防護 裝飾等目的 而電鑄則要電鑄層與原模分離 其厚度也遠大于電鍍層 圖2 4電鑄成型的原理 2 特點 1 復(fù)制精度高 可以做出機械加工不可能加工出的細微形狀 如微細花紋 復(fù)雜形狀等 表面粗糙度Ra可達0 1 m 一般不需拋光即可使用 2 母模材料不限于金屬 有時還可用制品零件直接作為母模 3 表面硬度可達35 50HRC 所以電鑄型腔使用壽命長 4 電鑄可獲得高純度的金屬制品 如電鑄銅 它純度高 具有良好的導(dǎo)電性能 十分有利于電加工 5 電鑄時 金屬沉積速度緩慢 制造周期長 如電鑄鎳 一般需要一周左右 6 電鑄層厚度不易均勻 且厚度較薄 僅為4 8mm左右 電鑄層一般都具有較大的應(yīng)力 所以大型電鑄件變形顯著 且不易承受大的沖擊載荷 這樣 就使電鑄成型的應(yīng)用受到一定的限制 2 電鑄的應(yīng)用電鑄具有極高的復(fù)制精度和良好的機械性能 已在航空 儀器儀表 精密機械 模具制造等方面發(fā)揮日益重要的作用 圖2 5為刻度盤模具型腔電鑄過程 圖2 5刻度盤模具型腔電鑄過程 電鍍和電刷鍍產(chǎn)品 6 電解磨削1 加工原理及特點1 加工原理電解磨削是電解加工的 種特殊形式 是電解與機械的復(fù)合加工方法 它是靠金屬的溶解 占95 98 和機械磨削 占2 5 的綜合作用來實現(xiàn)加工的 加工原理如圖2 6所示 加工過程中 磨輪 砂輪 不斷旋轉(zhuǎn) 磨輪上凸出的砂粒與工件接觸 形成磨輪與工件間的電解間隙 電解液不斷供給 磨輪在旋轉(zhuǎn)中 將工件表面由電化學(xué)反應(yīng)生成的鈍化膜除去 繼續(xù)進行電化學(xué)反應(yīng) 如此反復(fù)不斷 直到加工完畢 圖2 6電解磨削加工原理圖 2 特點 1 磨削力小 生產(chǎn)率高 這是由于電解磨削具有電解加工和機械磨削加工的優(yōu)點 2 加工精度高 表面加工質(zhì)量好 因為電解磨削加工中 一方面工件尺寸或形狀是靠磨輪刮除鈍化膜得到的 故能獲得比電解加工好的加工精度 另一方面 材料的去除主要靠電解加工 加工中產(chǎn)生的磨削力較小 不會產(chǎn)生磨削毛刺 裂紋等現(xiàn)象 故加工工件的表面質(zhì)量好 3 設(shè)備投資較高 其原因是電解磨削機床需加電解液過濾裝置 抽風(fēng)裝置 防腐處理設(shè)備等 2 電解磨削的應(yīng)用電解磨削廣泛應(yīng)用于平面磨削 成型磨削和內(nèi)外圓磨削 圖2 7 a b 分別為立軸矩臺平面磨削 臥軸矩臺平面磨削的示意圖 圖2 8為電解成型磨削示意圖 其磨削原理是將導(dǎo)電磨輪的外圓圓周按需要的形狀進行預(yù)先成型 然后進行電解磨削 圖2 7平面磨削示意圖 圖2 8電解成型磨削原理圖 二 激光加工技術(shù)Lasermachining 激光加工是利用激光固有的特性 使光能很快轉(zhuǎn)變?yōu)闊崮軄砦g除金屬 1 激光加工的原理與特點1 激光加工的原理激光是一種強度高 方向性好 單色性好的相干光 由于激光的發(fā)散角小和單色性好 理論上可以聚焦到尺寸與光的波長相近的 微米甚至亞微米 小斑點上 加上它本身強度高 故可以使其焦點處的功率密度達到107 1011W cm2 溫度可達10000 以上 在這樣的高溫下 任何材料都將瞬時急劇熔化和汽化 并爆炸性地高速噴射出來 同時產(chǎn)生方向性很強的沖擊 因此 激光加工 如圖2 9所示 是工件在光熱效應(yīng)下產(chǎn)生高溫熔融和受沖擊波拋出的綜合過程 圖2 9激光加工示意圖 2 激光加工的特點激光加工的特點主要有以下幾個方面 1 幾乎對所有的金屬和非金屬材料都可以進行激光加工 2 激光能聚焦成極小的光斑 可進行微細和精密加工 如微細窄縫和微型孔的加工 3 可用反射鏡將激光束送往遠離激光器的隔離室或其它地點進行加工 4 加工時不需用刀具 屬于非接觸加工 無機械加工變形 5 無需加工工具和特殊環(huán)境 便于自動控制連續(xù)加工 加工效率高 加工變形和熱變形小 采用激光加工必然性 激光加工 如 焊接 切割 打孔 打標 熱處理和微加工等 解決了許多常規(guī)方法無法解決的難題大大提高了工作效率和加工質(zhì)量 是先進加工系統(tǒng)必不可少的發(fā)達國家的制造業(yè)已經(jīng)步入 光加工 時代 2 激光加工的應(yīng)用1 激光打孔隨著近代工業(yè)技術(shù)的發(fā)展 硬度大 熔點高的材料應(yīng)用越來越多 并且常常要求在這些材料上打出又小又深的孔 例如 鐘表或儀表的寶石軸承 鉆石拉絲模具 化學(xué)纖維的噴絲頭以及火箭或柴油發(fā)動機中的燃料噴嘴等 這類加工任務(wù) 用常規(guī)的機械加工方法很困難 有的甚至是不可能的 而用激光打孔 則能比較好地完成任務(wù) 激光打孔 激光打孔的特色速度快 效率高 尤其高密度群孔加工大深徑比 傳統(tǒng)不大于1 10 激光在碳鋼上加工0 25mm的小孔深徑比達65 1可加工硬脆軟材料可在難加工材料上加工斜孔 2 激光切割激光切割 如圖2 10所示 的原理與激光打孔相似 但工件與激光束要相對移動 在實際加工中 采用工作臺數(shù)控技術(shù) 可以實現(xiàn)激光數(shù)控切割 激光切割大多采用大功率的CO2激光器 對于精細切割 也可采用YAG激光器 激光可以切割金屬 也可以切割非金屬 在激光切割過程中 由于激光對被切割材料不產(chǎn)生機械沖擊和壓力 再加上激光切割切縫小 便于自動控制 故在實際中常用來加工玻璃 陶瓷 各種精密細小的零部件 圖2 10CO2氣體激光器切割鈦合金示意圖 激光切割 激光切割特色切縫窄 工件變形小非接觸與計算機配合高速加工切割非金屬是其它方法不可比的 激光切割過程中 影響激光切割參數(shù)的主要因素有激光功率 吹氣壓力 材料厚度等 3 激光打標激光打標是指利用高能量的激光束照射在工件表面 光能瞬時變成熱能 使工件表面迅速產(chǎn)生蒸發(fā) 從而在工件表面刻出任意所需要的文字和圖形 以作為永久防偽標志 如圖2 11所示 圖2 11振鏡式激光打標原理 激光標記 激光標記的特色便于對原材料 半成品 在制品 產(chǎn)品進行分類便于使用 防止假冒激光標記特點可標記條形碼 數(shù)字符號圖案 激光打標的特點是非接觸加工 可在任何異型表面標刻 工件不會變形和產(chǎn)生內(nèi)應(yīng)力 適于金屬 塑料 玻璃 陶瓷 木材 皮革等各種材料 標記清晰 永久 美觀 并能有效防偽 標刻速度快 運行成本低 無污染 可顯著提高被標刻產(chǎn)品的檔次 激光打標廣泛應(yīng)用于電子元器件 汽 摩托 車配件 醫(yī)療器械 通訊器材 計算機外圍設(shè)備 鐘表等產(chǎn)品和煙酒食品防偽等行業(yè) 4 激光焊接當激光的功率密度為105 107W cm2 照射時間約為1 100s左右時 可進行激光焊接 激光焊接一般無需焊料和焊劑 只需將工件的加工區(qū)域 熱熔 在一起即可 如圖2 12所示 激光焊接速度快 熱影響區(qū)小 焊接質(zhì)量高 既可焊接同種材料 也可焊接異種材料 還可透過玻璃進行焊接 圖2 12激光焊接過程示意圖 激光焊接 激光焊接的優(yōu)勢速度快 效率高 深度大 變形小大深寬比 5 1 最大10 1可焊接難熔材料可進行微型焊接 5 激光表面處理當激光的功率密度約為103 105W cm2時 便可實現(xiàn)對鑄鐵 中碳鋼 甚至低碳鋼等材料進行激光表面淬火 淬火層深度一般為0 7 1 1mm 淬火層硬度比常規(guī)淬火約高20 激光淬火變形小 還能解決低碳鋼的表面淬火強化問題 圖2 13為激光表面淬火處理應(yīng)用實例 圖2 13激光表面強化處理應(yīng)用實例 激光的其它應(yīng)用 激光淬火激光淬火是激光快速表面局部淬火工藝的一種高新技術(shù)加工 特點 高速加熱 高速自冷硬度高 比常規(guī)高5 20 淬火應(yīng)力與變形小激光快速成型加工醫(yī)學(xué)應(yīng)用 眼科手術(shù)等軍事應(yīng)用 對抗演習(xí) 雷達 高能束武器信息技術(shù) 激光存儲 光盤 光纖通訊 激光雕刻 特點 適用于多種金屬 非金屬材料復(fù)雜平面藝術(shù)圖形 激光雕刻的水晶作品 激光雕刻的水晶作品 激光切割演示 三 超聲波加工UltrasonicMachining 1 超聲波加工的原理與特點1 加工原理超聲波加工是利用振動頻率超過16000Hz的工具頭 通過懸浮液磨料對工件進行成型加工的一種方法 其加工原理如圖2 14所示 圖2 14超聲波加工原理圖 2 特點超聲波加工的主要特點如下 1 適合于加工各種硬脆材料 特別是某些不導(dǎo)電的非金屬材料 例玻璃 陶瓷 石英 硅 瑪瑙 寶石 金剛石等 也可以加工淬火鋼和硬質(zhì)合金等材料 但效率相對較低 2 由于工具材料硬度很高 故易于制造形狀復(fù)雜的型孔 3 加工時宏觀切削力很小 不會引起變形 燒傷 表面粗糙度Ra值很小 可達0 2 m 加工精度可達0 05 0 02mm 而且可以加工薄壁 窄縫 低剛度的零件 4 加工機床結(jié)構(gòu)和工具均較簡單 操作維修方便 5 生產(chǎn)率較低 這是超聲波加工的一大缺點 2 超聲波加工設(shè)備超聲波加工裝置如圖2 15所示 盡管不同功率大小 不同公司生產(chǎn)的超聲波加工設(shè)備在結(jié)構(gòu)形式上各不相同 但一般都由高頻發(fā)生器 超聲振動系統(tǒng) 聲學(xué)部件 機床本體和磨料工作液循環(huán)系統(tǒng)等部分組成 圖2 15超聲波加工裝置 換能器 把超聲頻電振蕩轉(zhuǎn)變?yōu)槌曨l機械振動 常用的換能器有 壓電效應(yīng)換能器和磁致伸縮換能器 超聲波發(fā)生器 將工頻交流電轉(zhuǎn)變?yōu)榫哂幸欢üβ实某曨l電振蕩 磨料懸浮液 磨料液 由工作液和磨料混合而成 常用的工作液有水 煤油等 常用的磨料有碳化硅 碳化硼 金剛砂等 振幅擴大棒 變幅桿 將換能器產(chǎn)生的小振幅 0 005 0 01mm 轉(zhuǎn)變?yōu)槟軡M足超聲波加工要求的振幅 0 01 0 1mm 常用的變幅桿有錐形 擴大5 10倍 指數(shù)曲線形 擴大10 20倍 和階梯形 擴大20倍以上 三種 工具 為避免工具受到大的破壞 其材料不宜過脆 為不使變幅桿共振頻率降低 其重量不宜過大 一般用45鋼 3 超聲波加工的應(yīng)用超聲波加工的生產(chǎn)率雖然比電火花 電解加工等低 但其加工精度和表面粗糙度都比它們好 而且能加工半導(dǎo)體 非導(dǎo)體的脆硬材料 如玻璃 石英 寶石 鍺 硅甚至金剛石等 在實際生產(chǎn)中 超聲波廣泛應(yīng)用于型 腔 孔加工 如圖2 17所示 切割加工 如圖2 18所示 清洗 如圖2 19所示 等方面 圖2 17超聲波加工的型孔 腔孔類型 圖2 18超聲波切割加工 圖2 19超聲波清洗裝置 四 其他常用特種加工技術(shù) 1 電子束加工1 加工原理電子束加工是利用高速電子的沖擊動能來加工工件的 如圖2 20所示 在真空條件下 將具有很高速度和能量的電子束聚焦到被加工材料上 電子的動能絕大部分轉(zhuǎn)變?yōu)闊崮?使材料局部瞬時熔融 汽化蒸發(fā)而去除 圖2 20電子束加工原理 2 特點與應(yīng)用電子束加工的特點如下 1 電子束能夠極其微細地聚焦 可達l 0 1 m 故可進行微細加工 2 加工材料的范圍廣 由于電子束能量密度高 可使任何材料瞬時熔化 汽化且機械力的作用極小 不易產(chǎn)生變形和應(yīng)力 故能加工各種力學(xué)性能的導(dǎo)體 半導(dǎo)體和非導(dǎo)體材料 3 加工在真空中進行 污染少 加工表面不易被氧化 4 電子束加工需要整套的專用設(shè)備和真空系統(tǒng) 價格較貴 故在生產(chǎn)中受到一定程度的限制 由于上述特點 電子束加工常應(yīng)用于加工微細小孔 異型孔 如圖2 21所示 及特殊曲面 圖2 22所示為電子束加工彎曲的型面 其原理為 電子束在磁場中受力 在工件
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