振動傳感器種類、原理及發(fā)展趨勢VIP

振動傳感器種類、原理及發(fā)展趨勢【摘要】振動傳感器是一種能感受機械運動振動的參量(振動速度、頻率，加速度等)并轉(zhuǎn)換成可用輸出信號的傳感器。 在高度發(fā)展的現(xiàn)代工業(yè)中，現(xiàn)代測試技術(shù)向數(shù)字化、信息化方向發(fā)展已成必然發(fā)展趨勢，而測試系統(tǒng)的最前端是傳感器，它是整個測試系統(tǒng)的靈魂，被世界各國列為尖端技術(shù)，特別是近幾年快速發(fā)展的IC技術(shù)和計算機技術(shù)，為傳感器的發(fā)展提供了良好與可靠的科學技術(shù)基礎(chǔ)。使傳感器的發(fā)展日新月益，且數(shù)字化、多功能與智能化是現(xiàn)代傳感器發(fā)展的重要特征。 【關(guān)鍵詞】 種類；原理；發(fā)展趨勢【Abstract】: Vibration transducer is atransducer that can feel the vibration of a mechanical movement parameters (frequency of the vibration velocity, acceleration, etc.) and converted into usable output signal of the sensor. At the height of the development of modern industry, modern testing technology to digitization, information management has become an inevitable trend of development, and testing system for the front end is the sensor, it is the soul of an entire test system, is listed as a leading-edge technology around the world, particularly in recent years, the rapid development of IC technology and computer technology, the development of a sensor provides a good and reliable scientific and technology base. Place the sensor development, Crescent IK, and multipurpose digital, is a modern and intelligent sensor development, an important feature.【Keywords】:type , principle , inevitable trend of development振動傳感器的分類1、相對式電動傳感器電動式傳感器基于電磁感應原理，即當運動的導體在固定的磁場里切割磁力線時，導體兩端就感生出電動勢，因此利用這一原理而生產(chǎn)的傳感器稱為電動式傳感器。 相對式電動傳感器從機械接收原理來說，是一個位移傳感器，由于在機電變換原理中應用的是電磁感應電律，其產(chǎn)生的電動勢同被測振動速度成正比，所以它實際上是一個速度傳感器。2、電渦流式傳感器電渦流傳感器是一種相對式非接觸式傳感器，它是通過傳感器端部與被測物體之間的距離變化來測量物體的振動位移或幅值的。電渦流傳感器具有頻率范圍寬（010 kHZ），線性工作范圍大、靈敏度高以及非接觸式測量等優(yōu)點，主要應用于靜位移的測量、振動位移的測量、旋轉(zhuǎn)機械中監(jiān)測轉(zhuǎn)軸的振動測量。 3、電感式傳感器依據(jù)傳感器的相對式機械接收原理，電感式傳感器能把被測的機械振動參數(shù)的變化轉(zhuǎn)換成為電參量信號的變化。因此，電感傳感器有二種形式，一是可變間隙，二是可變導磁面積。 4、電容式傳感器電容式傳感器一般分為兩種類型。即可變間隙式和可變公共面積式?？勺冮g隙式可以測量直線振動的位移?？勺兠娣e式可以測量扭轉(zhuǎn)振動的角位移。 5、慣性式電動傳感器慣性式電動傳感器由固定部分、可動部分以及支承彈簧部分所組成。為了使傳感器工作在位移傳感器狀態(tài)，其可動部分的質(zhì)量應該足夠的大，而支承彈簧的剛度應該足夠的小，也就是讓傳感器具有足夠低的固有頻率。 根據(jù)電磁感應定律，感應電動勢為：u=Blx&r 式中B為磁通密度，l為線圈在磁場內(nèi)的有效長度， r x&為線圈在磁場中的相對速度。 從傳感器的結(jié)構(gòu)上來說，慣性式電動傳感器是一個位移傳感器。然而由于其輸出的電信號是由電磁感應產(chǎn)生，根據(jù)電磁感應電律，當線圈在磁場中作相對運動時，所感生的電動勢與線圈切割磁力線的速度成正比。因此就傳感器的輸出信號來說，感應電動勢是同被測振動速度成正比的，所以它實際上是一個速度傳感器。 6、壓電式加速度傳感器壓電式加速度傳感器的機械接收部分是慣性式加速度機械接收原理，機電部分利用的是壓電晶體的正壓電效應。其原理是某些晶體（如人工極化陶瓷、壓電石英晶體等，不同的壓電材料具有不同的壓電系數(shù)，一般都可以在壓電材料性能表中查到。）在一定方向的外力作用下或承受變形時，它的晶體面或極化面上將有電荷產(chǎn)生，這種從機械能（力，變形）到電能（電荷，電場）的變換稱為正壓電效應。而從電能（電場，電壓）到機械能（變形，力）的變換稱為逆壓電效應。 因此利用晶體的壓電效應，可以制成測力傳感器，在振動測量中，由于壓電晶體所受的力是慣性質(zhì)量塊的牽連慣性力，所產(chǎn)生的電荷數(shù)與加速度大小成正比，所以壓電式傳感器是加速度傳感器。 7、壓電式力傳感器在振動試驗中，除了測量振動，還經(jīng)常需要測量對試件施加的動態(tài)激振力。壓電式力傳感器具有頻率范圍寬、動態(tài)范圍大、體積小和重量輕等優(yōu)點，因而獲得廣泛應用。壓電式力傳感器的工作原理是利用壓電晶體的壓電效應，即壓電式力傳感器的輸出電荷信號與外力成正比。 8、阻抗頭阻抗頭是一種綜合性傳感器。它集壓電式力傳感器和壓電式加速度傳感器于一體，其作用是在力傳遞點測量激振力的同時測量該點的運動響應。因此阻抗頭由兩部分組成，一部分是力傳感器，另一部分是加速度傳感器，它的優(yōu)點是，保證測量點的響應就是激振點的響應。使用時將小頭（測力端）連向結(jié)構(gòu)，大頭（測量加速度）與激振器的施力桿相連。從“力信號輸出端”測量激振力的信號，從“加速度信號輸出端”測量加速度的響應信號。 注意，阻抗頭一般只能承受輕載荷，因而只可以用于輕型的結(jié)構(gòu)、機械部件以及材料試樣的測量。無論是力傳感器還是阻抗頭，其信號轉(zhuǎn)換元件都是壓電晶體，因而其測量線路均應是電壓放大器或電荷放大器。 9、電阻應變式傳感器電阻式應變式傳感器是將被測的機械振動量轉(zhuǎn)換成傳感元件電阻的變化量。實現(xiàn)這種機電轉(zhuǎn)換的傳感元件有多種形式，其中最常見的是電阻應變式的傳感器。 電阻應變片的工作原理為：應變片粘貼在某試件上時，試件受力變形，應變片原長變化，從而應變片阻值變化，實驗證明，在試件的彈性變化范圍內(nèi)，應變片電阻的相對變化和其長度的相對變化成正比。 振動傳感器原理 振動傳感器原理概述： 將傳感器緊固在被測的振動體上，當振動體在傳感器敏感的測量方向上振動時，傳感器內(nèi)部的振動磁鋼相應的強制振動，安裝在振動磁鋼旁邊的磁敏元件能夠感應磁鋼振動引起的磁場變化，并產(chǎn)生一交變電壓信號，此信號經(jīng)電路處理放大后，輸出與被測振動參數(shù)（頻率和幅度大?。┫鄬慕蛔冸妷盒盘枴?振動傳感器 原理 振動傳感器在測試技術(shù)中是關(guān)鍵部件之一，它的作用主要是將機械量接收下來，并轉(zhuǎn)換為與之成比例的電量。由于它也是一種機電轉(zhuǎn)換裝置。所以我們有時也稱它為換能器、拾振器等。 振動傳感器并不是直接將原始要測的機械量轉(zhuǎn)變?yōu)殡娏浚菍⒃家獪y的機械量做為振動傳感器的輸入量，然后由機械接收部分加以接收，形成另一個適合于變換的機械量，最后由機電變換部分再將變換為電量。因此一個傳感器的工作性能是由機械接收部分和機電變換部分的工作性能來決定的。 1、相對式機械接收原理 由于機械運動是物質(zhì)運動的最簡單的形式，因此人們最先想到的是用機械方法測量振動，從而制造出了機械式測振儀（如蓋格爾測振儀等）。傳感器的機械接收原理就是建立在此基礎(chǔ)上的。相對式測振儀的工作接收原理是在測量時，把儀器固定在不動的支架上，使觸桿與被測物體的振動方向一致，并借彈簧的彈性力與被測物體表面相接觸，當物體振動時，觸桿就跟隨它一起運動，并推動記錄筆桿在移動的紙帶上描繪出振動物體的位移隨時間的變化曲線，根據(jù)這個記錄曲線可以計算出位移的大小及頻率等參數(shù)。 由此可知，相對式機械接收部分所測得的結(jié)果是被測物體相對于參考體的相對振動，只有當參考體絕對不動時，才能測得被測物體的絕對振動。這樣，就發(fā)生一個問題，當需要測的是絕對振動，但又找不到不動的參考點時，這類儀器就無用武之地。例如：在行駛的內(nèi)燃機車上測試內(nèi)燃機車的振動，在地震時測量地面及樓房的振動，都不存在一個不動的參考點。在這種情況下，我們必須用另一種測量方式的測振儀進行測量，即利用慣性式測振儀。 2、慣性式機械接收原理 慣性式機械測振儀測振時，是將測振儀直接固定在被測振動物體的測點上，當傳感器外殼隨被測振動物體運動時，由彈性支承的慣性質(zhì)量塊將與外殼發(fā)生相對運動，則裝在質(zhì)量塊上的記錄筆就可記錄下質(zhì)量元件與外殼的相對振動位移幅值，然后利用慣性質(zhì)量塊與外殼的相對振動位移的關(guān)系式，即可求出被測物體的絕對振動位移波形。 ATM專用系列震動傳感器YT-JB3 震動探測器YT-JB3振動入侵探測器通過公安部門權(quán)威檢驗,CCC認證，EMC認證是銀行入圍產(chǎn)品，行業(yè)領(lǐng)先,質(zhì)量保證。 自動取款機ATM震動探測器YT-JB3開關(guān)亮信號，全向探測，探測靈敏度可調(diào)，報警時間、距離可設(shè)置，探測方向可調(diào)。輸出周期為2秒-180秒可設(shè)置，具有多種輸出方式，包含開關(guān)量輸出、電壓輸出、以及常開和常閉輸出選擇。可直接帶動警號、警燈或聯(lián)動燈光、電話拔號器。并且可以調(diào)節(jié)靈敏度和延遲時間，使用非常方便。輸出2組信號，第一組：可實現(xiàn)遠程報警，（可與報警主機或報警控制器、硬盤錄像機、監(jiān)控主機、110連接）。第二組：本地現(xiàn)場報警（可與警號，警笛，喇叭，聲光報警器等設(shè)備連接）YT-JB3系列振動傳感器,是一種集振動和位移檢測于一身的全方信固態(tài)控制器件,是目前作為震動報警和狀態(tài)檢測的最佳選擇,傳感部分采用目前最先進固態(tài)加速度檢測器件,既對振動有很高的檢測靈敏度,又對周圍環(huán)境的聲音信號抑制,具有很強的搞干擾能力,可廣泛應用于各種墻體、ATM取款機、基站、玻璃、保險柜、金庫、庫房門窗、駕校電子樁碰撞振動、機動車等場合的防盜裝置中防撬 防砸 防破壞。特別適用于ATM監(jiān)控系統(tǒng)中。YT-JB3系列振動傳感器，內(nèi)部含有專用的控制芯片,及震動分析電路。具有多種輸出方式，包含開關(guān)量輸出、電壓輸出、以及常開和常閉輸出選擇。可直接帶動警號、警燈或聯(lián)動燈光、電話拔號器。并且可以調(diào)節(jié)靈敏度和延遲時間，使用非常方便。 微處理器控制，探測和分析處理一體化，靈敏度高低兩檔設(shè)置并連續(xù)可調(diào)，振動脈沖計數(shù)分析0，2，4，6次可調(diào) 適用各種磚、混凝土、木頭、金屬墻體和玻璃等，防護半徑：0.5-4米，可多只串聯(lián)使用增大防護面積， 可用于墻振動入侵探測器、ATM機振動入侵探測器、地音振動入侵探測器、報警控制器銀行ATM、金庫、倉庫、保險柜、展品柜等防護，常閉輸出，自動復位或鎖存，防拆本產(chǎn)品適用于各種結(jié)構(gòu)的銀行金庫、部隊的武器庫、國家炸藥庫、毒品庫、貴重物資庫等的安全防護。 由于YT-JB3系列器件工作在固態(tài)檢測方式,故不存在機械疲勞,靈敏度降低,誤觸發(fā)和受環(huán)境濕度溫度影響等不良現(xiàn)象,具有很好的一致性。它相比之于無源的振動傳感器，具有極高的可靠性。 防護范圍：磚墻3.5米、鋼板3米、木板3.5米、混凝土1.5米、復合板4米、石膏板2.5米、玻璃3.5米； 產(chǎn)品說明 智能震動探測器采用最新科技piezo壓電式技術(shù)傳感器與數(shù)字信號處理相結(jié)合，對震動信號的頻率、震幅強弱和持續(xù)時間進行精密的震動信號分析和處理，以區(qū)分處理真正的攻擊行為和自然環(huán)境的震動干擾,確保快速可靠的最佳探測性能和超強的抗誤報功能，特別適合用于保護ATM取款機、自動柜員機、保險箱、金庫和門窗等防敲擊物體。 本產(chǎn)品安裝簡易,無須連接震動分析儀, 獨立的報警信號直接輸出與報警主機連接(當破壞者進行破壞時,震動探測器會向報警主機傳輸信號直接到110報警中心);雙重可調(diào)節(jié)探測靈敏度（靈敏度的高低或強弱可調(diào)）,用戶可以根據(jù)現(xiàn)場的保護環(huán)境進行設(shè)置調(diào)節(jié)靈敏度，從而達到最佳的探測效果。對于屋外的風、雨或路過汽車等引起的干擾不會產(chǎn)生誤報,但對入侵者在室外對被防護的物體對像進行推、打、鉆孔或者用電鋸進行破壞等敲擊震蕩卻有極高的靈敏度! 目前國內(nèi)銷量最大、性能最穩(wěn)定、價格最具優(yōu)勢的智能震動探測器。 震動探測器是以探測入侵者走動或破壞活動時產(chǎn)生的震動信號來觸發(fā)報警的探測器。震動傳感器是震動探測器的核心部件。常用的震動探測器有位移式傳感器（機械式）、速度傳感器（電動式）、加速度傳感器（壓電晶體式）等，震動探測器基本上屬于面控制型探測器。 常見的有水銀式、重錘式、鋼球式。當直接或間接受到機械沖擊震動時，水銀珠、鋼珠、重錘都會離開原來的位置而出發(fā)報警。這種傳感器靈敏度低、控制范圍小，只適合小范圍控制，如門窗、保險柜、局部的墻體。鋼珠式雖然可以用于建筑物，但只有4m2左右，很少使用。 解速度傳感器一般選用電動式傳感器，由永久磁鐵、線圈、彈簧、阻尼器和殼體組成。這種傳感器靈敏度高，探測范圍大，穩(wěn)定性好，但加工工藝較高，價格較高。 加速度傳感器一般是壓電式加速度計，是利用壓電材料因震動產(chǎn)生的機械形變而產(chǎn)生電荷，由此電荷的大小來判斷震動的幅度，同時籍此電路來調(diào)整靈敏度。 震動探測器應該與探測面安裝牢固，否則不易感受到震動，應該遠離震動干擾源。 產(chǎn)品使用說 一、YT-JB3A震動傳感器應用：特別設(shè)計作金屬和水泥墻防破壞用，適用于保險箱、金屬門、密室、錢箱和銀行水泥墻、自動柜員機、ATM取款機、保險箱等防擊防敲物體等保護防盜保險柜 是針對ATM/自助銀行系統(tǒng)而設(shè)計研發(fā)的一種新型高靈敏度全向振動傳感器，具有全向檢測、靈敏度可調(diào)、高抗干擾能力、產(chǎn)品一致性和互換性好、體積小、可靠性高、價格低等特點。 二YT-JB3振動傳感器主要性能： 靈敏度： 高低可調(diào) 一致性及互換性： 好 可靠性及抗干擾： 無誤觸發(fā)、抗干擾強 自動復位： 自動復位性強 信號的后期處理： 簡單 輸出信號： 開關(guān)信號，外觀小巧，安裝調(diào)試方便。 無需外接振動分析板： 產(chǎn)品內(nèi)部設(shè)計振動分析放大電路 三、YT-JB3主要性能參數(shù)： 1、工作電壓：12VDC（紅線V+ 屏蔽線V-）； 2、靈敏度：大于等于0.2g； 3、頻率范圍：0.5HZ20HZ； 4、工作溫度范圍：-1050； 5、體積： 6.04.52.1 6、檢測方向：全向。 7、信號輸出：開關(guān)信號（黃/白線）； 8、輸出脈沖寬度：與振動信號幅度成正比； 控制防范：每只振動探測器可控制 10m 2 左右的房間。 靈敏度：在探測器警戒防范區(qū)內(nèi)，以 60kg（5kg）體重的人用1kg鋼錘或其它工具打墻13次報警。 報警延時： 18秒； 報警輸出：繼電器常閉（警戒為常閉、報警常開）。 防拆功能：打開探測器盒蓋或斷電源線時報警。 誤報率低：在電路中采用特殊信號處理電路，使之誤報率最小警戒電流 47mA，報警電流 30mA。 四、使用中注意的問題： YT-JB3振動傳感器與其他的振動傳感器一樣，安裝時使用粘結(jié)膠固定，以減小振動源至傳感器之間的信號衰減。發(fā)展趨勢引入新技術(shù)發(fā)展新功能隨著人們對自然認識的深化，會不斷發(fā)現(xiàn)一些新的物理效應、化學效應、生物效應等。利用這些新的效應可開發(fā)出相應的新型傳感器，從而為提高傳感器性能和拓展傳感器的應用范圍提供新的可能。圖爾克市場技術(shù)部產(chǎn)品經(jīng)理兼技術(shù)支持主管楊德友向記者表示，“目前傳感器界的最大特點就是不斷引入新技術(shù)發(fā)展新功能。”如檢測金屬產(chǎn)品位置的電感式接近開關(guān)，它利用金屬物體接近能產(chǎn)生電磁場的振蕩感應頭時在被測金屬上形成的渦流效應來檢測金屬產(chǎn)品的位置。由于不同金屬渦流效應的效果不同，因此不同金屬的檢測距離是不一樣的，尤其是面對各類合金時，普通的電感式接近開關(guān)就顯得力不從心，這就要求生產(chǎn)廠商在提高產(chǎn)品功能上下功夫。由于電感式接近開關(guān)其內(nèi)部結(jié)構(gòu)是在鐵氧體磁芯上繞制線圈作為電感線圈，而鐵氧體磁芯自身的限制使得電感式傳感器不可能在已有的設(shè)計理念下發(fā)展，那么只能在技術(shù)上開發(fā)出可以替代鐵氧體線圈的產(chǎn)品來提高產(chǎn)品的性能。圖爾克公司的電感式接近開關(guān)就摒棄了鐵氧體磁芯，從而去掉了磁芯的限制。這樣在檢測不同金屬時可以通過電路調(diào)節(jié)提高產(chǎn)品的檢測距離，并且全金屬檢測距離無衰減，抗干擾能力也有所提升。而美國邦納工程國際有限公司上海代表處的產(chǎn)品經(jīng)理何廣軍也表示，如何在產(chǎn)品中引用新技術(shù)已成為傳感器制造商獲得突破的關(guān)鍵。如雷達傳感器，雖然這項技術(shù)是在美國發(fā)展起來的，但是在中國卻有著巨大的市場，邦納及時的把這項技術(shù)引入到中國的市場中來，研發(fā)出了R-Gage QT50R雷達傳感器。R-Gage QT50R雷達傳感器是針對光學和超聲波傳感器無法發(fā)揮作用的條件而研發(fā)的，并且能夠用于檢測多普勒雷達無法檢測的固定物體?？赏ㄟ^DIP開關(guān)輕而易舉地設(shè)置檢測范圍，并能忽略設(shè)定距離之外的物體。何廣軍經(jīng)理補充說，“24GHz雷達波的特性決定其可以應用在戶外，用于檢測大型鐵磁性物體有無或者港口機械防撞應用?！崩眯虏牧习l(fā)展新產(chǎn)品傳感器材料是傳感器技術(shù)的重要基礎(chǔ)，隨著材料科學的進步，人們可制造出各種新型傳感器。例如用高分子聚合物薄膜制成溫度傳感器，光導纖維能制成壓力、流量、溫度、位移等多種傳感器，用陶瓷制成壓力傳感器。高分子聚合物能隨周圍環(huán)境的相對濕度大小成比例地吸附和釋放水分子。將高分子電介質(zhì)做成電容器，測定電容容量的變化，即可得出相對濕度。利用這個原理制成的等離子聚合法聚苯乙烯薄膜溫度傳感器，具有測濕范圍寬、溫度范圍寬、響應速度快、尺寸小、可用于小空間測濕、溫度系數(shù)小等特點。陶瓷電容式壓力傳感器是一種無中介液的干式壓力傳感器。采用先進的陶瓷技術(shù)，厚膜電子技術(shù)，其技術(shù)性能穩(wěn)定，年漂移量的滿量程誤差不超過0.1%，溫漂小，抗過載更可達量程的數(shù)百倍。光導纖維的應用是傳感材料的重大突破，光纖傳感器與傳統(tǒng)傳感器相比有許多特點：靈敏度高、結(jié)構(gòu)簡單、體積小、耐腐蝕、電絕緣性好、光路可彎曲、便于實現(xiàn)遙測等。而光纖傳感器與集成光路技術(shù)的結(jié)合，加速了光纖傳感器技術(shù)的發(fā)展。將集成光路器件代替原有光學元件和無源光器件，光纖傳感器又具有了高帶寬、低信號處理電壓、可靠性高、成本低等特點。 緊跟用戶需求更易操作傳感器在技術(shù)水平和功能上的迅速發(fā)展，一方面來自于計算機、檢測等技術(shù)的發(fā)展，另一方面則源于應用領(lǐng)域需求的驅(qū)動。廣州市施克傳感器有限公司高級產(chǎn)品經(jīng)理崔麗麗表示，用戶的新要求在推動著傳感器技術(shù)的發(fā)展?！耙詸C器視覺傳感器為例，以前用戶可能只需要2D的效果，現(xiàn)在越來越多的用戶開始要求能夠?qū)崿F(xiàn)3D的檢測效果，施克的3D視覺傳感器就是跟隨著用戶的需要而研發(fā)出來的。”崔麗麗經(jīng)理介紹說，施克的Ranger C產(chǎn)品系列采用相機連接技術(shù)與PC進行連接，這樣就簡化了集成過程并且提高了采集速率。在3D模式下，Ranger C每秒采集約30000幅圖片，每一張圖片包含1536個高質(zhì)量三維坐標，相當于每秒4500萬個3D點。整套3D算法在相機內(nèi)完成，這樣就節(jié)省了購買昂貴的后處理器的花銷。Ranger C還可以在多路掃描模式下進行操作，用戶可以從一個相機中同時得到包括3D形狀以及包括灰度等級、光澤度、激光分散度在內(nèi)的多種密度數(shù)據(jù)。在線掃描模式下，所有的特征圖像在物體通過相機時被捕捉下來，然后通過相機連接接口送到PC上用于簡單的系統(tǒng)集成。在用戶需求催生出越來越多傳感器新品的同時，廠商也開始越發(fā)重視讓產(chǎn)品更適用于用戶的操作和需要。邦納的產(chǎn)品經(jīng)理何廣軍表示，傳感器制造商注重用戶需求的最大體現(xiàn)就是對友好操作的注重。何廣軍經(jīng)理說，“在業(yè)內(nèi)，我們有一種說法就是讓傳感器遠離計算機專家，意思就是讓用戶實現(xiàn)簡單操作。” 上海倍加福工業(yè)自動化貿(mào)易有限公司產(chǎn)品市場總監(jiān)John Saw也表示，如何通過對多種智能傳感器的組合讓用戶更簡單的使用傳感器已經(jīng)成為公司發(fā)展的一個方向。如作為專用于傳感器和執(zhí)行器之間聯(lián)網(wǎng)通訊的國際標準的AS-I（EN50295），它摒棄了傳統(tǒng)接線中，電源必須連接到每只傳感器并且信號線必須連到I/O模塊中的限制。一個AS-I網(wǎng)絡中最多可包含124只簡單的傳感器或31個可編程的AS-I傳感器，用戶可組合使用。MEMS技術(shù)帶動傳感器的發(fā)展半導體技術(shù)中的加工方法有氧化、光刻、擴散、沉積、平面電子工藝、各向?qū)愿g及蒸鍍，濺射薄膜等，這些都已引進到傳感器制造。因而產(chǎn)生了各種新型傳感器，如利用半導體技術(shù)制造出硅微傳感器，利用薄膜工藝制造出快速響應的氣敏、濕敏傳感器，利用濺射薄膜工藝制造壓力傳感器等。精量電子市場總監(jiān)陳振指出，MEMS技術(shù)肯定是傳感器技術(shù)未來