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1、第五章 晶體的缺陷與運(yùn)動(dòng),51點(diǎn)缺陷,晶格中的填隙原子、空位、俘獲電子的空位、雜質(zhì)原子等,稱為點(diǎn)缺陷,尺度只有一個(gè)或幾個(gè)原子大小,點(diǎn)缺陷是指發(fā)生在一個(gè)或幾個(gè)晶格常數(shù)的線度內(nèi)的晶格周期性破壞,包括空位、填隙原子、雜質(zhì)原子等,雜質(zhì)原子:雜質(zhì)原子進(jìn)入晶體后,可以處在間隙位置上形成填隙式雜質(zhì)原子,也可以占據(jù)空位形成替位式原子,填隙原子:如果脫離格點(diǎn)的原子進(jìn)入晶格中的間隙位置,從而形成填隙原子,空位:晶體某些原子振動(dòng)劇烈,脫離格點(diǎn)而跑到表面上,在內(nèi)部留下了空格點(diǎn),形成空位,1 弗侖克爾缺陷(Frenkel defect,金屬和離子晶體中都會(huì)由于熱運(yùn)動(dòng)的能量漲落,使原子或離子脫離格點(diǎn)進(jìn)入晶體中的間隙位置,
2、從而同時(shí)出現(xiàn)空位和填隙原子(離子)。這種成對(duì)的空位和填隙原子稱為弗侖克爾缺陷,一 、熱缺陷: 由熱起伏引起的空位和填隙原子,在離子晶體中,正、負(fù)離子都可以各自形成“空穴填隙離子對(duì)”(弗侖克爾缺陷,2 肖特基缺陷(Schottky defect,在一定溫度,晶體中原子由于熱漲落獲得足夠能量,離開格點(diǎn)位置,遷移至晶體表面,于是在晶體中出現(xiàn)不被原子占據(jù)的空格點(diǎn),稱為空位,也稱肖特基缺陷,肖特基缺陷是最表面的原子位移到一個(gè)新的位置,晶體內(nèi)不伴隨填隙原子產(chǎn)生。因此產(chǎn)生肖特基缺陷時(shí),伴隨表面原子的增多,晶體的質(zhì)量密度會(huì)有所減小,形成填隙原子時(shí),原子擠入間隙位置所需要的能量比產(chǎn)生肖特基空位所需能量大,因此當(dāng)
3、溫度不太高時(shí),肖特基缺陷的數(shù)目要比弗侖克爾缺陷的數(shù)目大得多,3 晶體內(nèi)部只有填隙原子,晶體表面上的原子跑到晶體內(nèi)部的間隙位置,這樣晶體內(nèi)部只有填隙原子,填隙原子與晶體表面上原子處于平衡,二 替位式雜質(zhì)原子(離子,替位雜質(zhì):落在晶體的正常格點(diǎn)位置的雜質(zhì)原子,形成原因: 1、化學(xué)不純 2、摻雜(有目的,半導(dǎo)體制備過程中,在高純Si、Ge單晶內(nèi)摻雜微量三價(jià)B、Al、Ga、In或五價(jià)P、As、Sn等,占據(jù)正常格點(diǎn)的原子位置,剛玉(Al2O3)是白色的,摻雜少量Cr2O3,Cr3代替Al3,變成紅寶石,紅寶石激光器所用的紅寶石,Cr3產(chǎn)生的替位式缺陷就是發(fā)光中心,即激活中心,將堿鹵晶體放在堿金屬的蒸氣中
4、加熱,然后驟冷到室溫,原來透明的晶體就出現(xiàn)了顏色,氯化鈉變成淡黃色,氯化鉀變成紫色,氟化鋰變成粉紅色等等。這些晶體的吸收光譜在可見光區(qū)有一個(gè)鐘形的吸收帶,稱為F帶,產(chǎn)生這個(gè)吸收帶的吸收中心稱為F心,吸收光的波長與晶格常數(shù)的平方成正比。 a2,三 色心,在中性的離子晶體中出現(xiàn)空位而改變晶體顏色,這種能改變晶體顏色的空位稱為色心,F心,機(jī)制:在增色過程中,堿金屬原子擴(kuò)散到晶體內(nèi),并以一價(jià)離子的形式占據(jù)晶格正離子位置并多余一個(gè)電子,該電子可以在晶體中巡游。如果過多的堿金屬原子進(jìn)入到晶體中,會(huì)破壞原來的化學(xué)配比,必然在晶格中形成負(fù)離子空位,而原來堿金屬原子上的一個(gè)電子被負(fù)離子空位所俘獲。負(fù)離子空位是一
5、個(gè)帶正電的缺陷,要吸收多余的電子以保持電中性,F心=負(fù)離子空位+電子,F心的組態(tài)與氫原子相似,可以用類氫模型處理,F(xiàn)吸收帶可看成是電子從氫基態(tài)1s到第一激發(fā)態(tài)2p躍遷產(chǎn)生,本來是一條吸收線,但是由于晶格振動(dòng)影響使譜線加寬成吸收帶,V心,將堿鹵晶體放在鹵素的蒸氣中加熱,然后驟冷到室溫,造成鹵素過剩,在晶體中出現(xiàn)正離子空位,形成負(fù)電中心,將束縛一個(gè)電子空穴,稱為V心,V心=正離子空位+電子空穴,在晶體紫外區(qū)域出現(xiàn)新的吸收帶,稱為V帶,此外還有R、M、N、V2、V3等色心,當(dāng)電子進(jìn)入完整離子晶體后,會(huì)使原來的周期性勢(shì)場(chǎng)發(fā)生局部的畸變,從而構(gòu)成點(diǎn)缺陷,四、極化子,極化子(準(zhǔn)粒子)電子晶格的極化畸變,電
6、子吸引正離子,排斥負(fù)離子,從而導(dǎo)致極化,離子極化產(chǎn)生庫侖力阻止電子逃逸,即電子“自陷,52熱缺陷的統(tǒng)計(jì)理論,1 熱缺陷的數(shù)目,晶體中格點(diǎn)位置上的原子或離子可以看作是處于自己的勢(shì)能最低的平衡位置,實(shí)際上是在平衡位置附近振動(dòng)。它們的熱振動(dòng)的能量有漲落,當(dāng)能量大到一定程度時(shí),原子有可能脫離原來的格點(diǎn),移到鄰近的原子空隙中,失去多余的動(dòng)能后就被束縛在那里成為填隙原子。填隙原子經(jīng)過一段時(shí)間后,可能返回原來位置,和空位復(fù)合;也可能移到較遠(yuǎn)的間隙中去。這樣形成的空位和填隙原子稱為熱缺陷,熱缺陷的數(shù)目越多,所需要的能量就 越多,內(nèi)能的增加也越大。因此系統(tǒng)的自由能是熱缺陷數(shù)目的函數(shù)。由平衡時(shí)系統(tǒng)的自由能取極小值
7、可求出熱缺陷的數(shù)目,設(shè)熱平衡時(shí)空位的數(shù)目為n1,每形成一個(gè)空位所需的能量為u1,由于這n1個(gè)空位的形成,晶體的熵改變量為S1,則自由能的改變量為,其中W為相應(yīng)的微觀狀態(tài)數(shù),假設(shè)空位的產(chǎn)生不引起振動(dòng)的微觀狀態(tài)數(shù)的改變,則在每一種排列方式中,都包含了由原來振動(dòng)所決定的微觀狀態(tài)數(shù)W0,由于空位的出現(xiàn),原子排列的可能方式增加了W1,晶格中有n1個(gè)空位時(shí),整個(gè)晶體將包含N + n1個(gè)格點(diǎn),N個(gè)相同的原子將可能有的排列方式種類,1.1 弗侖克爾缺陷數(shù)目,由于n1個(gè)空位的出現(xiàn),熵的改變?yōu)?自由能的改變?yōu)?晶體處于熱平衡時(shí)自由能取極小值,當(dāng)x是大數(shù)時(shí),利用斯特令公式,按照同樣的計(jì)算,可以求出填隙原子的數(shù)目為,
8、因此可得,其中u2表示形成一個(gè)間隙原子所需要的能量,N為晶格中間隙的數(shù)目,1.2 空位和填隙原子的數(shù)目,從N個(gè)正離子中取出n個(gè)正離子, 形成正離子空位的可能形式數(shù)為,對(duì)負(fù)離子也是如此,那么, 正負(fù)離子對(duì)的總的形式數(shù)是,自由能,自由能取極小值,2 熱缺陷的產(chǎn)生幾率,2 = 1/P2表示填隙原子從一個(gè)間隙位置跳到相鄰間隙位置所需的等待時(shí)間,= 1/P表示在正常格點(diǎn)上的原子形成填隙原子所需的等待時(shí)間,P表示單位時(shí)間內(nèi)一個(gè)在正常格點(diǎn)上的原子跳到間隙位置形成填隙原子的幾率,P1表示單位時(shí)間內(nèi)一個(gè)在正常格點(diǎn)上的空位跳到相鄰格點(diǎn)位置的幾率,1 = 1/P1表示在正常格點(diǎn)上的空位跳到相鄰的格點(diǎn)位置所需的等待時(shí)
9、間,P2表示單位時(shí)間內(nèi)一個(gè)填隙原子從一個(gè)間隙位置跳到相鄰間隙位置的幾率,空位所在的平衡位置是能量最低的位置,空位要從一個(gè)平衡位置向鄰近格點(diǎn)運(yùn)動(dòng)時(shí),必須越過一勢(shì)壘E1,由于熱振動(dòng)能量的起伏,空位有一定的幾率越過勢(shì)壘。按玻耳茲曼統(tǒng)計(jì),在溫度T時(shí)具有能量為E1的幾率和exp(-E1/kBT)成正比。則空位每秒鐘可以越過勢(shì)壘的次數(shù)為,式中v01是空位鄰近原子的振動(dòng)頻率,空位每跳一步所必需的時(shí)間為,對(duì)填隙原子的運(yùn)動(dòng)可以作類似的討論,因此,在溫度T時(shí),晶體中有n1個(gè)空位,只有仍然處于正常格點(diǎn)上的(N - n1)個(gè)原子才能形成填隙原子,但是n1 N,因此每秒鐘產(chǎn)生填隙原子的數(shù)目就是NP。填隙原子跑到空位附近
10、的間隙位置時(shí),與空位復(fù)合的幾率接近1,填隙原子每跳一步遇到一個(gè)復(fù)合位置的幾率為n1/N,而它每跳一步所需的等待時(shí)間為 2,由此可得一個(gè)填隙原子的平均壽命為N 2/ n1。根據(jù)定義平均壽命就是一個(gè)填隙原子單位時(shí)間內(nèi)復(fù)合幾率的倒數(shù),因此單位時(shí)間內(nèi)填隙原子的復(fù)合幾率為 n1 / N 2,因?yàn)楣灿衝2個(gè)填隙原子,單位時(shí)間內(nèi)所復(fù)合掉的填隙原子數(shù)為 n2n1 / N 2,熱平衡時(shí),單位時(shí)間內(nèi)產(chǎn)生的填隙原子數(shù)和復(fù)合掉的填隙原子數(shù)相等,因此,當(dāng)空位運(yùn)動(dòng)為主時(shí),原子脫離格點(diǎn)形成填隙原子的幾率為,53 缺陷的擴(kuò)散,一、 擴(kuò)散方程,設(shè)擴(kuò)散原子的濃度為C(r,t),穩(wěn)定時(shí),由于擴(kuò)散而產(chǎn)生的單位時(shí)間內(nèi)、通過單位面積的擴(kuò)
11、散原子的量,即擴(kuò)散流密度j為,其中D為擴(kuò)散系數(shù)。單位為m2/s。負(fù)號(hào)表示擴(kuò)散原子從濃度高的區(qū)域向濃度低的區(qū)域擴(kuò)散,即逆濃度梯度的方向擴(kuò)散,D一般是濃度C(r) 的函數(shù),因此擴(kuò)散的連續(xù)性方程為,當(dāng)D與濃度無關(guān)時(shí),擴(kuò)散的連續(xù)性方程為,對(duì)一維樣品的擴(kuò)散,1) 定量擴(kuò)散:一定量C的雜質(zhì)原子由晶體表面向晶體內(nèi)部擴(kuò)散,開始時(shí)t = 0,x=0, C0 = C; t = 0,x0, C(x) = 0;當(dāng)t 0時(shí)有,2) 定濃度擴(kuò)散:擴(kuò)散原子在晶體表面的濃度C0保持不變,在x = 0處,t0,C(0,t) = C0;在x 0處,當(dāng) t = 0時(shí), C(x,0) = 0,一般利用放射性元素的示蹤,可以測(cè)出C(x
12、),從而可以求出D,不同溫度下測(cè)得D,得到DT的經(jīng)驗(yàn)關(guān)系: D(T)=D0exp(-/KBT,D0:常數(shù),頻率因子 :擴(kuò)散過程中的激活能,實(shí)驗(yàn)表明: D0 exp(/KBTm) Tm為晶體的熔點(diǎn),二、 擴(kuò)散的微觀結(jié)構(gòu),擴(kuò)散的微觀基礎(chǔ)是原子的無規(guī)則的布朗運(yùn)動(dòng)。其擴(kuò)散系數(shù)為,其中:為布朗運(yùn)動(dòng)的各個(gè)獨(dú)立行程的長度,為沿某晶向上格點(diǎn)的距離a 為該行程走完所需的時(shí)間,空位機(jī)制,填隙原子機(jī)制,易位機(jī)制,1、空位機(jī)制,當(dāng)原子以空位機(jī)制擴(kuò)散時(shí),只有其近鄰是一個(gè)空位時(shí),才能跳躍一步,所需要時(shí)間為空位移動(dòng)時(shí)間,原子旁邊有空位的幾率為n1/N,則原子每跳一步所需的平均時(shí)間為,U1表示空位數(shù)目的多少,E1反映空位跳一
13、步的難易,2、填隙原子機(jī)制,若原子以填隙原子的形式擴(kuò)散,則在它進(jìn)入填隙位置之前在正常格點(diǎn)上需等待的時(shí)間(即原子脫離正常格點(diǎn)形成填隙原子的幾率P的倒數(shù))為,它比跳一間隙位置所需時(shí)間2大得多,所以可以不考慮填隙原子跳躍間隙位置的情況,而把從離開正常格點(diǎn)到落入下一個(gè)正常格點(diǎn)看做為一大步,所需時(shí)間為,每大步長度為,每一小步都是獨(dú)立的,若f很大,則,從正常格點(diǎn)出發(fā),平均每跳N/n1步才能遇到空位,a為每一小步的距離, 因?yàn)閡=u1+u2,因?yàn)閡2u1, 所以D2D1,填隙原子依靠熱漲落可以在間隙之間跳躍,跳躍的頻率為,其中為填隙原子跳躍勢(shì)壘所需的能量。這種跳躍完全是無規(guī)則的,以此為基礎(chǔ)的布朗運(yùn)動(dòng)就形成了
14、擴(kuò)散,因此擴(kuò)散系數(shù)直接反映了原子布朗運(yùn)動(dòng)的強(qiáng)弱。比較由兩種方法求出的布朗運(yùn)動(dòng)的平均平方位移可得,這個(gè)結(jié)果從微觀機(jī)制上說明了擴(kuò)散系數(shù)和溫度的關(guān)系,3. 雜質(zhì)原子的擴(kuò)散,一般認(rèn)為最常見的是空位式擴(kuò)散。在格點(diǎn)上的擴(kuò)散原子雖然不斷地向周圍沖擊,但是只有當(dāng)一個(gè)空位出現(xiàn)在它周圍是,它才有可能躍進(jìn)這個(gè)空位。在自擴(kuò)散情況下的跳躍率為,這種情況下,擴(kuò)散激活能除了空位跳躍勢(shì)壘的能量外,還有形成空位的能量u1,因此擴(kuò)散系數(shù)為,5-4 離子晶體的導(dǎo)電性,離子晶體中點(diǎn)缺陷的特點(diǎn)是帶有一定的電荷。在沒有外電場(chǎng)時(shí),這些作無規(guī)布朗運(yùn)動(dòng)的缺陷不產(chǎn)生宏觀電流。但是當(dāng)外電場(chǎng)存在時(shí),由于庫侖力的影響,帶電缺陷產(chǎn)生一定的沿外電場(chǎng)方向的
15、定向運(yùn)動(dòng),從而引起宏觀電流,無外電場(chǎng)時(shí)的勢(shì)能曲線,有外電場(chǎng)時(shí)的勢(shì)能曲線,具體研究一個(gè)帶正電荷的間隙離子在外電場(chǎng)作用下的運(yùn)動(dòng)。沿x方向的外電場(chǎng)E可以用勢(shì)能-Eqx描述,使原來離子勢(shì)能曲線沿電場(chǎng)方向傾斜。造成填隙原子向左右兩邊跳躍的勢(shì)壘不同,沿外電場(chǎng)方向的勢(shì)壘減小為,逆外電場(chǎng)方向的勢(shì)壘增加為,因此單位時(shí)間內(nèi)沿外電場(chǎng)方向運(yùn)動(dòng)的距離為,這種在外場(chǎng)的影響下,在原來無規(guī)運(yùn)動(dòng)基礎(chǔ)上引起的定向的平均運(yùn)動(dòng)通常稱為“漂移,對(duì)于一般的電場(chǎng)強(qiáng)度,Eqa kBT,因此上式簡化為,其中定義常數(shù)系數(shù)為離子的遷移率,顯然遷移率和擴(kuò)散系數(shù)之間存在簡單的關(guān)系,通常稱為愛因斯坦關(guān)系,愛因斯坦關(guān)系實(shí)際上是一個(gè)普遍的關(guān)系式,不僅適用于
16、離子晶體的導(dǎo)電性。由漂移速度可以直接得到電流密度,其中n0為單位體積中填隙原子的數(shù)目。電導(dǎo)率為,線缺陷:周期性遭受破壞的區(qū)域形成一條線。位錯(cuò),55 線缺陷和面缺陷,1 刃位錯(cuò),2 螺位錯(cuò),3 面缺陷,面缺陷:偏離周期性的區(qū)域形成平面; 層錯(cuò)、小角晶界、孿晶界,56位錯(cuò)缺陷的性質(zhì),1 位錯(cuò)的滑移,金屬受到的應(yīng)力超過彈性限度時(shí)會(huì)發(fā)生永久形變,稱為范性形變。范性形變的發(fā)生是由于晶體某族晶面發(fā)生了滑移,這種晶面稱為滑移面。對(duì)于一定的晶體材料,存在產(chǎn)生范性形變的最小的切應(yīng)力tc,稱為臨界切應(yīng)力。金屬的臨界切應(yīng)力一般在105106 N/m2,如果認(rèn)為金屬晶體是理想的,在滑移過程中,晶面整個(gè)地發(fā)生了相對(duì)的滑
17、移,則理論上對(duì)臨界切應(yīng)力的估算值為109 N/m2,理論值和實(shí)驗(yàn)值嚴(yán)重不同,說明理論模型不符合實(shí)際,實(shí)驗(yàn)證明晶體內(nèi)位錯(cuò)的存在使臨界切應(yīng)力大為減小,1.1 刃位錯(cuò),晶體中已滑移區(qū)和未滑移區(qū)之間的分界線,常常稱為位錯(cuò)線,位錯(cuò)線與滑移方向垂直的位錯(cuò)稱為刃位錯(cuò),位錯(cuò)線與滑移方向平行的位錯(cuò)稱為螺位錯(cuò)。刃位錯(cuò)可以想象用刀子將理想晶體切開一部分,在垂直于切割邊界的方向上將切開的晶體向切割邊界方向推移一個(gè)原子間距形成。刃位錯(cuò)的位置由插入晶體的多余的垂直于滑移面的半原子面的邊緣標(biāo)志。在刃位錯(cuò)滑移的過程中,原子的滑移方向、位錯(cuò)線的運(yùn)動(dòng)方向和外加切應(yīng)力三者是平行的,螺位錯(cuò)可以想象用刀子將理想晶體切開一部分,在平行于切割邊界的方向上施加切應(yīng)力,將切開的晶體平行切割邊界方向切移一個(gè)原子間距
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