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1、電火花加工和電解加工都只能加工金屬 導(dǎo)電材料,無(wú)法加工不導(dǎo)電的非金屬材 料,而超聲波加工不僅能加工硬質(zhì)合金、 淬火鋼等脆硬金屬材料,而且更適合加 工玻璃、陶瓷、半導(dǎo)體等不導(dǎo)電的非金 屬脆硬材料,同時(shí)還可以用于清洗、探 傷等。 一、超聲波特性 1、能傳遞很強(qiáng)的能量,對(duì)其傳播 方向上的障礙物施加壓力,固、液 體中的能量密度要比空氣中的聲波 高千萬(wàn)倍 2、在液體介質(zhì)傳播時(shí),可在界面 上產(chǎn)生強(qiáng)烈的沖擊和空化現(xiàn)象 3、通過(guò)不同介質(zhì)時(shí),在界面上發(fā) 生波速突變,產(chǎn)生波的反射和折射 現(xiàn)象 4、在一定條件下,會(huì)產(chǎn)生波的干 涉和共振現(xiàn)象 “超聲波”這個(gè)名詞術(shù)語(yǔ),用來(lái)描述頻率高 于人耳聽覺(jué)頻率上限的一種振動(dòng)波,通常

2、 是指頻率高于16khz以上的所有頻率。超 聲波的上限頻率范圍主要是取決于發(fā)生器, 實(shí)際用的最高頻率的界限,是在5000mhz 的范圍以內(nèi)。在不同介質(zhì)中的波長(zhǎng)范圍非 常廣闊,例如在固體介質(zhì)中傳播時(shí),頻率 為25khz的波長(zhǎng)約為200mm;而頻率為 500mhz的波長(zhǎng)約為0.008mm。 超聲波和聲波一樣,可以在氣體、液體和固體介質(zhì) 中傳播。由于超聲波頻率高、波長(zhǎng)短、能量大,所 以傳播時(shí)反射、折射、共振及損耗等現(xiàn)象更顯著。 在不同的介質(zhì)中,超聲波傳播的速度c亦不同; 例如c空氣=331ms;c水=1430ms;c鐵 =5850ms。 速度c與波長(zhǎng)和頻率,f 之間的關(guān)系可用下式表示: f c 超聲

3、波具有下列主要性質(zhì): (1)超聲波能傳遞很強(qiáng)的能量 超聲波的作用主要是對(duì)其傳播方向的物體施加壓力(聲 壓)。因此,可用這個(gè)壓力的大小表示超聲波的強(qiáng)度,傳 播的波動(dòng)能量越強(qiáng),則壓力越大。 振動(dòng)能量的強(qiáng)弱,用能量密度來(lái)衡量。能量密度就是 通過(guò)垂直于波的傳播方向的單位面積上的能量,用符號(hào)j 來(lái)表示,單位為wcm2 2 )( 2 1 acj 式中 彈性介質(zhì)的密度(kgm3); c彈性介質(zhì)中的波速(ms); a振動(dòng)的振幅(mm); 圓頻率(rads),=2f。 二、超聲波加工的原理二、超聲波加工的原理 超聲波加工(ultrasonic machining,usm)是利用工具端面作 超聲頻振動(dòng),通過(guò)磨料懸

4、浮液加工硬脆材料的一種加工方法 超聲波加工是磨料在超聲波振動(dòng)作用下的機(jī)械撞擊和拋磨作用與超 聲波空化作用的綜合結(jié)果,其中磨料的連續(xù)沖擊是主要的。 加工時(shí)在工具頭與工件之間加入液體與磨料混合的懸浮液,并在工 具頭振動(dòng)方向加上一個(gè)不大的壓力,超聲波發(fā)生器產(chǎn)生的超聲頻電 振蕩通過(guò)換能器轉(zhuǎn)變?yōu)槌曨l的機(jī)械振動(dòng),變幅桿將振幅放大到 0.010.15mm,再傳給工具,并驅(qū)動(dòng)工具端面作超聲振動(dòng),迫 使懸浮液中的懸浮磨料在工具頭的超聲振動(dòng)下以很大速度不斷撞擊 拋磨被加工表面,把加工區(qū)域的材料粉碎成很細(xì)的微粒,從材料上 被打擊下來(lái)。雖然每次打擊下來(lái)的材料不多,但由于每秒鐘打擊 16000次以上,所以仍存在一定的

5、加工速度。 與此同時(shí),懸浮液受工具端部的超聲振動(dòng)作用而產(chǎn)生的液壓沖擊和 空化現(xiàn)象促使液體鉆入被加工材料的隙裂處,加速了破壞作用,而 液壓沖擊也使懸浮工作液在加工間隙中強(qiáng)迫循環(huán),使變鈍的磨料及 時(shí)得到更新。 由于超聲波的頻率很高,其能量密度可達(dá)100wm2以上。超聲波 在液體或 固體中傳播時(shí),由于介質(zhì)密度和振動(dòng)頻率f 比空氣中傳 播聲波時(shí)高許多倍,因此同一振幅時(shí),液體、固體中的超聲波強(qiáng)度、 功率、能量密度要比空氣中的聲波高千萬(wàn)倍。 超聲發(fā)生器將交流電轉(zhuǎn)變?yōu)槌曤娬?蕩 換能器將電振蕩轉(zhuǎn)變?yōu)闄C(jī)械振動(dòng) 變幅桿將振幅放大至0.050.1mm, 驅(qū)動(dòng)工具作超聲振動(dòng) 工具推動(dòng)磨料高速撞擊、拋磨工件, 擊碎

6、工件表面材料,并使之去除 工作液產(chǎn)生的液壓沖擊波和空化作用 加快了表面材料的裂紋擴(kuò)展和破壞 超聲波加工是機(jī)械撞擊、拋磨、空化 作用的 綜合結(jié)果。 三、超聲波加工的特點(diǎn) 1、加工范圍廣 可加工一些傳統(tǒng)難加工的金屬與非金屬材 料 適合深小孔、薄壁件、細(xì)長(zhǎng)桿等低剛度零 件的加工 適合高精度、低表面粗糙度等精密零件的 精密加工 2、切削力小、切削功率消耗低 由于超聲波加工主要靠瞬時(shí)的局部沖擊作用,故 工件表面的宏觀切削力很小,切削應(yīng)力、切削熱 更小 3、工件加工精度高、表面粗糙度低 4、易于加工各種復(fù)雜形狀的型孔、型腔和成形表 面等。 5、工具可用較軟的材料做成較復(fù)雜的形狀 6、超聲波加工設(shè)備結(jié)構(gòu)一般

7、比較簡(jiǎn)單,操作維修 方便 1、超聲發(fā)生器 作用:將工頻交流電轉(zhuǎn)變?yōu)榫哂幸欢üβ?輸出的超聲頻電振蕩 要求:輸出的功率和頻率在一定范圍內(nèi)連 續(xù)可調(diào) 2、聲學(xué)部件 作用:將超聲波發(fā)生器輸出的高頻率電能轉(zhuǎn)變?yōu)?機(jī)械振動(dòng)能,并通過(guò)變幅桿使工具端面作高頻率、 小振幅振動(dòng)以進(jìn)行超聲加工。 組成:換能器、變幅桿和工具 1)換能器 作用:將超聲頻電振蕩信號(hào)轉(zhuǎn)換為超聲頻機(jī)械振 動(dòng) 分類:壓電式換能器(利用壓電效應(yīng)) 磁致伸縮式換能器(利用磁致伸縮效應(yīng)) 壓電效應(yīng) 石英晶體、鈦酸鋇陶瓷等在外力變形時(shí), 在界面上產(chǎn)生電勢(shì) 鐵、鈷、鎳及其合金的長(zhǎng)度能隨其所處的 磁場(chǎng)強(qiáng)度的變化而伸縮的現(xiàn)象 2)變幅桿 作用:將換能器獲

8、得的超聲振動(dòng)振幅加以擴(kuò)大, 以達(dá)到加工所需的振幅 分類: 錐形擴(kuò)大比較小 (510倍) 指數(shù)形擴(kuò)大比中等 (1020倍),難制造 階梯形擴(kuò)大比大 (20倍以上),易制造 擴(kuò)大振幅的原因 通過(guò)變幅桿任一截面的振動(dòng)能量不變 截面越小,能量密度越大,振動(dòng)振幅也就 越大 能量密度與振幅的平方成正比 3)工具 作用:推動(dòng)磨料和懸浮液沖擊工件表面,加工出 形狀和尺寸 形狀和尺寸:取決與被加工表面的形狀和尺寸, 它們相差一個(gè)“加工間隙” 材料: 45鋼、碳素工具鋼一般硬脆材料 硬質(zhì)合金、淬火鋼加工精度高 金剛石鍍覆特殊要求 4、磨料工作液及其循環(huán)系統(tǒng) 1)工作液 常用、效果較好水 表面質(zhì)量要求高煤油或機(jī)油

9、2)磨料 碳化硼、碳化硅或氧化鋁 生產(chǎn)率要求高顆粒大 加工精度、表面質(zhì)量要求高顆粒小 3)循環(huán)系統(tǒng) 小型加工設(shè)備人工澆注,定期更換 大型加工設(shè)備流量泵自動(dòng)供給 工具、變幅桿尺寸較大在其中開孔,由孔內(nèi)抽吸 一、超聲波加工工藝參數(shù)(工藝參數(shù)) 1、加工速度及其影響因素 加工速度指單位時(shí)間內(nèi)去除材料的多少, 以mm3/min或g/min為單位來(lái)表示 影響加工速度的因素主要有工具的振幅和 頻率、進(jìn)給壓力、磨料的種類和粒度、被 加工材料、磨料懸浮液的濃度 1)工具振幅和頻率的影響 過(guò)大的振幅和過(guò)高的頻率會(huì)使工具和變幅 桿承受很大的內(nèi)應(yīng)力,振幅一般在 0.010.1mm之間,頻率在 1600025000h

10、z 在實(shí)際加工中需根據(jù)不同工具調(diào)至共振頻 率以獲得最大振幅,從而達(dá)到較高的加工 速度 2)進(jìn)給壓力的影響 加工時(shí)工具對(duì)工件應(yīng)有一個(gè)適當(dāng)?shù)倪M(jìn)給壓 力。 壓力過(guò)小時(shí),工具端面與工件加工表面間 的間隙增大,從而減少了磨料對(duì)工件的錘 擊力 壓力增大,間隙減少,當(dāng)間隙減少到一定 程度則會(huì)降低磨料與工作液的循環(huán)更新速 度,從而減低生產(chǎn)率。 3)磨粒種類和粒度的影響 加工時(shí)針對(duì)不同強(qiáng)度的工件材料可選擇不 同的磨料 磨料強(qiáng)度愈高,加工速度愈快,但要考慮 價(jià)格成本 加工寶石、金剛石等超硬材料,必須選用 金剛石;加工淬火鋼、硬質(zhì)合金,應(yīng)選碳 化硼。加工玻璃、石英和鍺、硅等半導(dǎo)體 材料,選用氧化鋁磨料。 4)被加工

11、材料的影響 被加工材料愈硬脆,則承受沖擊載荷的能 力愈低,愈易被去除加工,反之,韌性愈 好,愈不易加工 5)磨料懸浮液濃度的影響 磨料懸浮液濃度低,加工間隙內(nèi)的磨粒少, 特別是在加工面積大、深度較大時(shí)可能造 成加工區(qū)局部沒(méi)有磨料,使加工速度大大 降低 磨料濃度的增加,加工速度也增加,但濃 度太高,磨粒在加工區(qū)域內(nèi)的循環(huán)運(yùn)動(dòng)和 對(duì)工件的撞擊運(yùn)動(dòng)受到影響,又會(huì)導(dǎo)致加 工速度降低。 2、加工精度及其影響因素 超聲波的加工精度,除了機(jī)床、夾具精度 影響外,主要與磨粒粒度、工具精度及其 磨損情況、工具橫向振動(dòng)大小、加工深度、 被加工材料性質(zhì)有關(guān)。 3、表面質(zhì)量的影響 超聲波加工具有良好的表面質(zhì)量,不會(huì)產(chǎn)

12、生 表面變質(zhì)層和燒傷,其表面粗糙度主要與磨 粒尺寸、超聲波振幅大小和工件材料硬度有 關(guān) 磨粒尺寸愈小,超聲振幅愈小,工件材料愈 硬,生產(chǎn)率愈低,表面粗糙度愈會(huì)得到明顯 改善,因?yàn)楸砻娲植诙戎抵饕Q于每顆磨 粒每次捶打工件材料所留下的凹痕的大小和 深淺。 4、超聲波加工的應(yīng)用 超聲波加工的生產(chǎn)率雖然比電火花加工和電 解加工低,但其加工精度和表面質(zhì)量都優(yōu)于 它們。 而且可以加工難以加工的半導(dǎo)體和非金屬的 硬脆材料 對(duì)于電火花加工后的一些淬火鋼、硬質(zhì)合金 沖模、拉絲模等,最后還經(jīng)常用超聲波拋磨、 光整加工,使表面粗糙度進(jìn)一步降低 1)型孔和型腔的加工 2)切割加工 對(duì)于難以用普通加工方法切割的脆硬材料 如陶瓷、石英、硅、寶石等用超聲波加工 具有切片薄、切口窄、精度高、生產(chǎn)率高、 經(jīng)濟(jì)性好等優(yōu)點(diǎn)。 3)超聲波清洗 其原理主要是基于清洗液在超聲波作用下產(chǎn)生 空化效應(yīng)的結(jié)果??栈?yīng)產(chǎn)生的強(qiáng)烈沖擊液 直接作用到被清洗的部位,使污物遭到破壞, 并從清洗表面脫落下來(lái)。 應(yīng)用:主要用于幾何形狀復(fù)雜、清洗質(zhì)量要求 高而用其它方法清洗效果差的中小精密零件, 特別是工件上的深小孔、微孔、彎孔等部位的 靜精洗。 4)復(fù)合加工 采用超聲波加工硬質(zhì)合金、耐熱合金等硬 質(zhì)合金時(shí)加工速度低,工具損耗大,為了 提高加工速度和降

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