NTC442切片機培訓(xùn)

1、片機操作操作工藝流程:切片原理.:工藝操作細(xì)節(jié).:機器與工件清洗.:線軸卸裝與安裝.:導(dǎo)輪主輻卸裝與安裝.:主輻布線輔助工具車的維護(hù)J丿料漿供給I泵的維護(hù)丿啟動切割*進(jìn)入簫酬魅tk鞋。魏鬆耗藝要求檢查水、電、氣確認(rèn)無鶴好原塞舌養(yǎng)警畫51淮盍希漏酒精、丙酮、萼備狎齬鸚詁弈3層禽溝希青3虧、4strois：韓辭賞鋼小車、用毛巾將機體從上到下一遍，擦洗時注意不要 將所有控制接線及開關(guān)碰斷或碰壞，并把機體 周宙清右干浮，注意璨獲時不要讓水流進(jìn)機林 內(nèi)部。切割原理:SiC主要用于切割，切割液用于懸 浮，鋼線用于承載.:Si的摩氏硬度6.5, SiC的摩氏硬度9.2595鋼線的摩氏硬度5操作工藝流程細(xì)節(jié)（

2、領(lǐng)棒）領(lǐng)棒時確認(rèn)晶棒長度與崩邊 是否減去，鎖緊螺絲對角擰 緊，晶棒朝上放置.手推車保持推行通暢有輪子 損壞報修設(shè)備.運輸晶棒時 車身搽試干凈.過下水道慢步推行防止斜倒 碰到晶棒或車產(chǎn)生崩邊.下棒操作注意事項:.下棒確認(rèn)晶棒是否 切透，用手電筒觀察. 以及片子是否松動 與掉片.提棒速度為慢速 50MM提起.：下棒車的對位與高 低，防止晶籟卡住玄 身不穩(wěn)硬拉掉棒.清理線網(wǎng)上殘留的碎硅片等大顆粒下棒后應(yīng)將線網(wǎng)上殘留的碎硅片清理干凈，使用絲光毛巾，如用手直接清理存在安全隱患，用拉線的方 式可能會使碎硅片彈入加工倉其他部位在加工時易出現(xiàn)品質(zhì)問題。清理的部位包括線網(wǎng)表面,主車?yán)?表面及碎片盒邊緣。清理時在

3、靜態(tài)下操作，同時請: 注意1主輻清理與檢查:清理主車?yán)ィ菏褂脡嚎s空氣對主車?yán)ミM(jìn)行處理： 處理應(yīng)注意安全以手動5%走線為宜，處理 應(yīng)注意方法：應(yīng)保證處理時能將主車?yán)ド系?碎渣清除，建議將順著鋼絲走向處理和斜 方向?qū)χ鬈嚴(yán)ヌ幚?，這兩種方法結(jié)合使用。處理的目的在于清理干凈主車?yán)ァ?主車?yán)z查清理效果，以手動5%走線，用手 觸摸主轆，感覺是否平整，有無毛刺及顆 粒，若有則重復(fù)上一步驟。若無，則清理 主車?yán)スぷ骺梢越Y(jié)束，進(jìn)入下道工序。若有 異常則報告班長或相關(guān)人員進(jìn)行處理。操 作時應(yīng)注意安全。跳線的處理用膠帶粘貼排除跳線.j處理跳線（線網(wǎng)上若有）。跳線有三種形式，其中交叉線較難發(fā)現(xiàn)，需要大家在工作中細(xì)心

4、仔細(xì); 同時檢查線網(wǎng)，主車?yán)ナ欠裼挟惓?。按照正常的?況，0/P側(cè)兩主車?yán)ド隙紤?yīng)留有一空線槽，而M/C側(cè)都為滿線槽。若情況不符需要查找問題，是原 來布線的狀況與要求不符。加工后出現(xiàn)的異常。 確認(rèn)主車?yán)サ馁|(zhì)量狀況。處理完跳線后應(yīng)將殘留膠 布清理干凈。直到保證線網(wǎng)和主車?yán)顩r都正常。砂漿的過濾關(guān)閉最外兩側(cè)的兩個砂漿閥門，氣壓調(diào)至0.1 MPA;過濾砂漿網(wǎng)必須無破損（包括碎片盒 內(nèi)與機身三個過濾網(wǎng)）有破損更換過濾時間 30分鐘每隔15分中更換一次過濾網(wǎng).過濾完砂漿記得兩側(cè)砂漿閥門打開和氣壓調(diào)） 至 0.05MPA:過濾砂漿時可以用手觸摸過濾網(wǎng)內(nèi)的砂漿是 否有大顆粒與雜質(zhì)過大影響切割效力.啟動前測量比

5、重，黏度（預(yù)熱后恒溫25C）噴嘴的拆卸與安裝噴嘴拆卸與過濾網(wǎng)放置為兩層，防止噴嘴與 過濾網(wǎng)碰撞把過濾網(wǎng)撕破（有破損必須更換）噴嘴安裝先確認(rèn)清洗是否干凈有無水份未 吹干安裝時內(nèi)管定位確認(rèn)，:進(jìn)給臺下壓中間噴嘴對位.:先把已領(lǐng)入的晶棒用酒精擦拭干凈后用上I 棒車上棒運輸中避免碰撞晶棒.晶棒以整棒或拼接棒進(jìn)線端對齊為準(zhǔn).I緊固M 8X40-6夾持螺栓切記每刀上棒后一 定要上緊此六顆螺絲，不鎖緊，則重為整 刀報廢片，輕為整刀線痕片。按次序來回 鎖緊檢查噴嘴安裝 L晶棒工件加工確認(rèn)按進(jìn)給慢速下降工件，輕壓接觸線網(wǎng)后，按“復(fù)位”鍵，再使晶棒上升至1.5mm左右|打開所以加工工藝參數(shù)進(jìn)行確認(rèn)檢查（包括暖機、

6、切割線回復(fù)時間進(jìn)給速度，進(jìn)給 量，鋼絲速度，張力，等.對水，電，氣，冷卻系統(tǒng)確認(rèn).全自動運轉(zhuǎn)35分鐘，檢查橫移是否正常并微調(diào)，有否跳線及砂漿有無斷簾.J點檢確認(rèn)與啟動全自動預(yù)熱后自己檢查在找班長或技工點 檢確認(rèn)簽字.:所以表單填寫完整.:全自動啟動觀察排線情況，觀察張力擺動 情況，觀察線弓狀況以及切割狀況，觀察 漿料流量曲線，觀察漿料溫度變化，至少1 小時觀察1次并做記錄.機器與工件清理事項對進(jìn)給臺進(jìn)行清理，清理干凈表面的殘留砂 漿,注意不要引入新雜質(zhì)（如抹布上的雜物、 線頭等）；并且將軌道清理干（燕尾糟），以 防晶棒固定木良屈現(xiàn)質(zhì)量問題。:每次加工完將殘留砂漿清理干凈，防止砂 漿硬化結(jié)塊。I

7、機器清洗前用鏟刀鏟去沉積砂漿在用水沖 洗干凈鋼線用鮮膜纏保好.將線軸及主車?yán)ジ魈幱悯r膜纏保好，以防 漏水，使鋼絲生銹（保鮮膜保護(hù)切割鋼 K f將機器氣壓表由“0.05 MPa”調(diào)整到 0.1 MPa”；防止在過濾砂漿時有細(xì)小 的顆粒混入主 器的各個軸承用水沖洗機器內(nèi)部砂漿，在用切割液（回收液）沖洗，不要對著軸部與張力處直接沖洗,把水壓控制.I晾干后去掉保鮮膜；I將機器氣壓表由“0/ MPa”調(diào)整到“0.05 MPa| 在沖洗完成后，至少需2小時以上，才能停止供彳。 為避免各伺服器、變頻器的損壞，總開關(guān)斷開后，應(yīng)至少5分鐘以上才能合上。清洗工件流程清洗噴嘴時I放入清洗槽用水沖洗手推車I沖洗干凈I

8、放在手推車上部用氣管將所洗工件吹干清洗砂漿罐打開砂漿罐出口拿出過濾網(wǎng)進(jìn)行沖洗沖洗罐內(nèi)各個存在砂漿的部位手推車下部用氣管吹干更換。: tow選吐內(nèi)部否彳 且宓殞甫耗吹年，用二:所有濾網(wǎng)使用前，必須察看面上是否有雜物，（ 喜無破損，有則必須在次清洗或更換后方可使 咧嚏要將內(nèi)eta清洗，并且用空壓1氣吹干。噴裝時奠磋線網(wǎng)3mm5mm ）之間。）定期檢查噴嘴，噴砂口損害影響噴砂的必須更f 換，不得在機用。砂漿罐內(nèi)濾網(wǎng)，切片機加工 人、亠e ,5、亠亠m亠e卞得有任何破損，；且必須、水沉積。O用。 :噴濾網(wǎng),注意其他細(xì)節(jié)要求線軸的拆卸與安裝I用扭力扳手卸下4顆M12X60-4的螺絲，在線軸上 鎖緊兩顆固

9、定螺絲把升降機的掛鉤直接掛在安 裝線軸夾具的吊環(huán)螺栓處；拉出線軸運輸中注將線軸和線軸的安裝端面用酒精擦拭干淨(jìng) 加注潤滑油.(安裝線軸時先將線軸車升至一定高度來用手電 筒看線軸定位銷對中調(diào)解高低安裝入位.將線軸牢固的設(shè)置于線軸主軸定位銷處，用 M12X55螺栓（4個）臨時扭緊線軸;從線軸上拆下線軸安裝夾具，在托架孔匚 穿過制動鎗栓對線軸進(jìn)行固定；緊扭M12X55螺栓卸下制動螺栓（緊扭 M12X 55螺栓前加一顆螺栓彈簧墊片防丄 用力過緊擰不下來）換線軸筒細(xì)節(jié)拆卸下線軸的外包裝，取出線頭，用專用焊接工具焊接線頭)把張力臂動入，使鋼線產(chǎn)生張力用手動50%的速度把線頭走過去，一般走線頭為17km線。/

10、 注：換線時細(xì)節(jié)要求)換線筒時必須用絲光毛巾沾酒精對線簡軸頭擦拭干凈，若線宦 軸頭有圭勅必念用砂紙整鮎對壕紋孔必須每伙更換后曹 注入一定筋潤儈油,以防止螺紋損壞。1在取線頭時一定要注意線與線不能交叉，以防止開機壓線斷線L *養(yǎng)曙後筒晃動必須有工藝技術(shù)人員現(xiàn)場確認(rèn)或有當(dāng)班主管琬 ：是否有毛刺、凸包，有則必須拿砂皮沖導(dǎo)輪主輻卸裝與安裝:工具：扭力扳手（500N的可調(diào)動型）、1 M50套頭、M22套頭、內(nèi)6角5#、3#扳手、 固定器、固定銷、M/C廁主軸夾具及抜手、 主車?yán)ヘ两颠\送車。|:輔助工具：絲光毛巾、無塵紙，酒精.絲-8固定螺M5 X 35-地絡(luò)報警桿（p8 X 3603停止機器運行，確認(rèn)砂

11、漿供應(yīng)泵處于4%的運作狀於 砂漿攪拌馬達(dá)正常開啟，左右張力動切關(guān)閉，各豐 氣壓一定處于開啟并保證大于0.05MPaoJ:剪斷鋼絲，拆下地烙報警桿（內(nèi)側(cè)的兩根直接輕建 適當(dāng)下壓即可抽出.外圍的一根要借助8#開口扳手與4#內(nèi)六方扳手?jǐn)Q 固定螺絲方可取下。）:拆下碎片盒（擰下內(nèi)外側(cè)各兩顆固定螺絲即可拿 出）。小固定螺絲用3號扳手I擰丿:用5#扳手?jǐn)Q松M/C側(cè)主軸外保護(hù)蓋的三顆 M8X30-3固定螺絲，將保護(hù)蓋延順時針! 方向適當(dāng)旋轉(zhuǎn)，取下保護(hù)蓋。主車?yán)ダ敿?其固定螺絲就暴露出來了.I用3#扳手?jǐn)Q下，主輾拉釘固定螺絲的六顆:M4X20-6小固定螺絲.I力手用ON限扳使480定位銷與 固定孔主軸拉釘

12、p30X700將固定器平面冋上,安裝在M/C法蘭盤上方的聞 定部位戈上固定銷并用手適當(dāng)轉(zhuǎn)動主楹使曲定I 錯同時皤入主車?yán)サ膰?心扭力扳手使用480N將M50X35-2套頭卡裝在主車?yán)ダ敼潭萁z上 （套頭內(nèi)的兩個突起與固定螺絲的兩個凹槽部對 應(yīng)安裝）將扭力扳手調(diào)至480N的位置，裝在M24 套頭的另端逆時針方向?qū)⑵渫耆珨Q松取下M22 套頭.心 主軸拉釘（p30X 700-2:將M22套頭裝在主車?yán)ダ敼潭變?nèi)，將扭力扳手調(diào)至380N,延逆時針方向?qū)⒗敂Q松取下.心將固定銷、固定器取下.裝上專用拉馬,使拉馬 的兩固定槽剛好卡著主軸的兩個固定螺絲用 夾具專用扳手延順時針方向旋轉(zhuǎn)夾具軸心，將 主

13、軸接出.心 用手使主輾向外側(cè)滑動，（如果無法將主銀卸下, 用橡膠錘輕擊主車?yán)テ款i處即可將主輾卸下）放 好主輾升降運送車，調(diào)解升降臂的高度使升降 臂與機器主輾軌道平齊，將升降車的腳輪瑣緊. 將主輾轉(zhuǎn)動推到升降車的凹槽中.心 用上述同樣的方法卸下另一主車?yán)?、：昆運送車（所有的籍主轟駅騁乩警字編號的一側(cè)方攵在主轆運送 軌道碗形而清 理比厶兀4卩乍匚叫少匕Y乜也（冃柱刀口丄至， 周邊部樓（0/P法蘭蠱、M/C法蘭盤 這）； 將新圣車?yán)サ耐胄蚊?、定位孔及端面用絲光毛巾或 無塵紙清掃干凈。（兩個端面）i用腳踩下 制動剎車:將升降車升至與機器主車?yán)ボ壍例R平對應(yīng)，將t 升降車的腳輪鎖緊。I:將主車?yán)パ榆壍老?/p>

14、機器推進(jìn)，直至主車?yán)?yīng)的I 凹槽處，旋轉(zhuǎn)主令昆對應(yīng)的兩側(cè)主軸，枝主車由: 的定位銷對準(zhǔn)主車?yán)サ亩ㄎ豢祝?裝在機器的內(nèi)側(cè)（右側(cè)）。定位銷限力扳手使用、380N當(dāng)限力扳 手發(fā)出，兩聲 清脆的響聲后 表明擰緊，在裝 上M45螺母限按卸主車?yán)A具的安裝方法裝好夾具，用夾具扳手按逆時 針方向旋轉(zhuǎn)夾具軸心，將主軸完全推進(jìn)。按卸時的方法裝好固定器及固定銷裝上主車?yán)ス潭ɡ斢门ちΠ馐郑ㄒ?80N）延順時針方 向鎖緊拉釘，使主車?yán)マD(zhuǎn)動180度再次鎖緊。裝上M45螺母并用480N的扭力扳手按8項的方法鎖緊。 用3#內(nèi)6角扳手對角鎖緊6棵M4X20-6小固定螺絲。 心 拔去固定器、固定銷，安裝保護(hù)蓋。心裝上碎片盒

15、、地絡(luò)桿。分正動 千校跳再次將各主銀兩端瓶頸處清掃干凈，用千分表進(jìn)行校驗經(jīng)班長確認(rèn)。晃動不得大于8um。記錄導(dǎo)輪主棍的各項數(shù)據(jù).:.如果晃動過大可用橡膠錘輕擊主輾瓶頸處，再 次測試，反復(fù)兩次不能達(dá)到要求的。要卸下對各 端面進(jìn)行重新清掃安裝，直到符合要求。布線:面對線軸，將鋼絲的端部從線軸上部抽出; 拉緊鋼絲逐步將其纏到對應(yīng)側(cè)的導(dǎo)輾及松緊調(diào)節(jié)輪內(nèi)側(cè)槽內(nèi)；:滿線軸在左側(cè)時，將繞過導(dǎo)輪的線從主車?yán)?下側(cè)接入滿線軸在左（如上圖示），繞過兩個主車?yán)ィㄟM(jìn)線端不留槽，另一主車?yán)チ粢徊郏?，粘在膠帶上；滿線軸在右側(cè)時，將繞過導(dǎo)輪的線從主車?yán)ド蟼?cè)接入；如下圖所示），繞過兩個主輾（進(jìn)線端 不留槽，另一主車?yán)チ粢徊郏?，粘在膠 帶上滿線軸在右側(cè)0W*:.調(diào)節(jié)導(dǎo)向車?yán)サ奈恢?，使主車?yán)サ囊粋€孔型列 之校直；3檢查鋼絲各處是否只接觸導(dǎo)輪、線軸及寺 卡昆，弄確認(rèn)之；此圖為左“入”右“切已此圖為 左“入 ”右“ .kn ”滿線軸在左側(cè)時，左側(cè)“入，右側(cè)“切”；滿線軸在右側(cè)時，右側(cè)“入”，f十宀綏速（5m/s）將線繞在主車?yán)ド?，并且使它們均勻排?（ 當(dāng)線的寬度差不多繞到1cm時，貼上膠帶（貼法及位置如 圖所示），以防繞好的線再次散亂；剪掉線頭，去掉膠帶（注意：剪線頭時，線頭不能殳 明、見恚屮而日蠻師著未緯有白