潔凈室室系統(tǒng)介紹201410002

1、潔凈室系統(tǒng)介紹 潔凈室系統(tǒng)介紹 1 目錄目錄 一潔凈室的定義及級(jí)別劃分 二潔凈室的分類 三潔凈室的構(gòu)造 四潔凈室的主要控制參數(shù) 五潔凈室主要設(shè)備介紹 六潔凈室的能耗和節(jié)能 潔凈室的定義及級(jí)別劃分 2 1.潔凈室定義 潔凈室是指，將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微 粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi) 之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分 布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)， 而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。 不論外在之空氣條 件如何變化，其室內(nèi)均能具有維持原先所設(shè)定要求 之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。 潔凈室的定義及級(jí)別劃分 3 2.潔凈室等級(jí)劃分 關(guān)于潔凈室的等級(jí)世界各國(guó)均

2、有自己的規(guī)定，現(xiàn)在僅介紹兩種應(yīng)用比較普 遍的劃分方法，并給出ISO 14644-1及美國(guó)聯(lián)邦209E對(duì)照表 以1ft3（立方英尺）為單位空間，直徑0.5um的塵埃粒子為比較標(biāo)準(zhǔn)，即 潔凈室級(jí)別潔凈室級(jí)別劃分標(biāo)準(zhǔn)劃分標(biāo)準(zhǔn) Class 10.5um的微粒子少于1個(gè) Class 100.5um的微粒子少于10個(gè) Class 1000.5um的微粒子少于100個(gè) Class 10000.5um的微粒子少于1000個(gè) Class 100000.5um的微粒子少于10000個(gè) 潔凈室的定義及級(jí)別劃分 4 美國(guó)聯(lián)邦209E以1m3為單位空間，直徑0.5um的塵埃粒子為比較標(biāo)準(zhǔn)，即 潔凈室等級(jí)以“M”字頭表示

3、，如M1、M1.5、M2.5、M3以此類推，M字母 之后的阿拉伯?dāng)?shù)字是以每立方公尺中0.5um的微塵粒子數(shù)目以10的冪次方表示， 并取指數(shù)為之，若微塵粒子述介于前后二者完全冪次之間，則以1.5、2.5、 3.5表示 潔凈室的定義及級(jí)別劃分 5 潔凈室的定義及級(jí)別劃分 6 ISO14644-1（國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)） 潔凈室的定義及級(jí)別劃分 7 各國(guó)潔凈度等級(jí)近似對(duì)照表 潔凈室的分類 8 潔凈室的分類一般有運(yùn)行狀態(tài)、氣流組織及用途三種依據(jù)，即， 潔凈室 運(yùn)行狀態(tài) 氣流組織 用途 空態(tài) 靜態(tài) 動(dòng)態(tài) 單向流 亂流 混合流 矢流 工業(yè)潔凈室 生物潔凈室 一般生物潔凈室 生物學(xué)安全潔凈室 水平單向流 垂直單向流 潔

4、凈室的分類 9 1.按照運(yùn)行狀態(tài)分類 空態(tài)已經(jīng)建造完成并可以投入使用的潔凈室（設(shè)施）。它具備所有有關(guān) 的服務(wù)和功能。但是，在設(shè)施內(nèi)沒(méi)有操作人員操作的設(shè)備。 靜態(tài)各種功能完備、設(shè)定安裝妥當(dāng)，可以按照設(shè)定使用或正在使用的潔 凈室（設(shè)施），但是設(shè)施內(nèi)沒(méi)有操作人員。 動(dòng)態(tài)處于正常使用的潔凈室，服務(wù)功能完善，有設(shè)備和人員；如果需要， 可從事正常的工作。 潔凈室的分類 10 2.按照氣流組織分類 單向流潔凈室，又稱層流（Laminar）、活塞流等。 空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一 均勻直線，空氣由覆蓋率100%的過(guò)濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或者兩側(cè)隔墻 板回風(fēng)，此形式適用于潔凈室等級(jí)需求較高的環(huán)境，一般潔凈室等級(jí)為Cl

5、ass 1100。其又可以分為兩種形式，即， a.水平單向流：水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出，由對(duì)邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng) 回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外。一般在下側(cè)污染較嚴(yán)重。 優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單，運(yùn)行后短時(shí)間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。 缺點(diǎn)：建造費(fèi)用高，室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。 潔凈室的分類 11 b.垂直單向流：房間天花板完全以ULPA過(guò)濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可 得到較高的潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會(huì) 影響其他工作區(qū)域。 優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運(yùn)轉(zhuǎn)開始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)到穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài) 或作業(yè)人員所影響 缺點(diǎn)：構(gòu)造費(fèi)用較高，彈性運(yùn)用空間困難，天花板的吊架相當(dāng)占空間，維 修更換過(guò)濾器較麻煩。

6、 潔凈室的分類 12 亂流潔凈室：空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之過(guò)濾器（HEPA）進(jìn)入潔 凈室，并由潔凈室兩側(cè)隔離墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī) 則之亂流或渦流狀態(tài)。此形式適用于潔凈室等級(jí)1000-100000級(jí)。 優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建造成本低，潔凈室擴(kuò)充比較容易，在某些特殊場(chǎng) 合可并用無(wú)塵工作臺(tái)，提高潔凈等級(jí) 缺點(diǎn)：亂流造成的微粒子在室內(nèi)空間漂浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另 外，若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活，需要較長(zhǎng)一段時(shí)間才能達(dá)到需求潔凈度 潔凈室的分類 13 自凈時(shí)間：是指潔凈室按設(shè)計(jì)換氣次數(shù)開始送風(fēng)到潔凈室室內(nèi)含塵濃度達(dá) 到所涉及的凈化級(jí)別的時(shí)間。 換氣次數(shù)=房間送風(fēng)量/房間體

7、積，單位是次/小時(shí)。換氣次數(shù)的大小不僅與 空調(diào)房間的性質(zhì)有關(guān)，也與房間的體積、高度、位置、送風(fēng)方式以及室內(nèi)空氣 變差的程度等許多因素有關(guān)，是一個(gè)經(jīng)驗(yàn)系數(shù)。 潔凈室級(jí)別潔凈室級(jí)別希望自凈時(shí)間希望自凈時(shí)間/min計(jì)算自凈時(shí)間計(jì)算自凈時(shí)間/min 10002015 100003025 1000004030 潔凈室的分類 14 復(fù)合式潔凈室（Mixed Type ），又稱混合流潔凈室，為將亂流式和層 流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈的空氣。 a.潔凈隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或者ULPA過(guò)濾器將制程區(qū)域或工作 區(qū)域100%覆蓋，使?jié)崈舳鹊燃?jí)級(jí)提高到10級(jí)以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用

8、此形式需將作業(yè)人員的工作區(qū)域與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī) 器維修時(shí)影響了工作和品質(zhì)，ULSI制程常用此種形式。 潔凈隧道另有兩項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：A.彈性擴(kuò)充容易 B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)請(qǐng)以 進(jìn)行。 b.潔凈管道（Clean Tuube）：將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化 處理，將潔凈度等級(jí)提高至100級(jí)以上。因產(chǎn)品和作業(yè)人員及發(fā)塵環(huán)境隔離， 少量送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節(jié)約能源，不需要人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線 最適宜使用。藥品、食品工業(yè)及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。 潔凈室的分類 15 c.并裝局部潔凈室（Clean Spot）：將潔凈室等級(jí)10000100000之亂流潔凈 室內(nèi)的制程區(qū)的潔凈度等級(jí)提高

9、為101000級(jí)以上以為生產(chǎn)之用；潔凈工作臺(tái)、 潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。 潔凈工作臺(tái)：等級(jí)Class 1100級(jí) 潔凈工作棚：為在亂流式潔凈室內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍城以小空間， 采用獨(dú)立的HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機(jī)組而成為一較高等級(jí)的潔凈空間其等級(jí)為 101000級(jí)，高度在2.5m，覆蓋面積在10m2以下，四支支柱并加裝活動(dòng)輪，可 為彈性運(yùn)用。 16 矢流潔凈室：由扇形高效過(guò)濾器圓心沿各方向半徑送出的具有相同速度 的矢量流，應(yīng)用這種氣流的潔凈室稱為矢流潔凈室。此類潔凈室理論研究不多， 并且應(yīng)用實(shí)例較少，大多在歐美。 矢流潔凈室的凈化原理不同于亂流的稀釋作用，也不同于單向流的活塞作

10、用。它是靠流線（跡線） 不交叉的氣流斜推作用，將室內(nèi)空氣排出室外，已達(dá) 到凈化的目的。國(guó)內(nèi)外研究表明，它可以達(dá)到ISO5級(jí)，在某些場(chǎng)合可替代單向 流潔凈室。 潔凈室的分類 17 潔凈室的分類 不同潔凈級(jí)別潔凈廠房的送風(fēng)量、冷量投資耗電的指標(biāo)不同潔凈級(jí)別潔凈廠房的送風(fēng)量、冷量投資耗電的指標(biāo) 18 潔凈室的構(gòu)成是由下列各項(xiàng)系統(tǒng)所組成，在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不 可的，否則將無(wú)法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的潔凈室。 1.天花板系統(tǒng)：包括吊桿（Celing rod）、綱梁（I-Beam或U-Beam）、天花 格子梁（Ceiling grid或Ceiling frame）。 2.空調(diào)系統(tǒng)：包括空氣倉(cāng)、過(guò)濾器

11、系統(tǒng)、風(fēng)車等。 3.隔墻板系統(tǒng)（Partitional wall）：包括窗戶、門。 4.地板：包括高架地板或防靜電舒美地板（華夫板） 5.照明器具：包括日光燈、黃色燈管等。 潔凈室的構(gòu)造 19 潔凈室的構(gòu)造 20 潔凈室之建筑主體構(gòu)造，一般是用鋼筋混凝土或骨水泥，但無(wú)論是何種構(gòu) 造，必須滿足如下條件： A.不會(huì)因溫度變化與振動(dòng)而發(fā)生裂痕 B.不易產(chǎn)生微塵粒子，且很難附著粒子 C.吸濕性小 D.為了維持潔凈室內(nèi)之溫濕度條件，熱絕緣性要高 潔凈室的構(gòu)造 21 1.天花板 特點(diǎn)功能： 由輕質(zhì)合金鋁料構(gòu)成，重量輕，負(fù)荷強(qiáng)度高一級(jí)變形量低的特點(diǎn)。能承載 以及配合其他相關(guān)系統(tǒng)的操作，如過(guò)濾風(fēng)扇、灑水噴頭等

12、。 用途： a.彩鋼板吊頂：級(jí)別較低無(wú)塵室 b.Ceiling Grid系統(tǒng) 鋁合金龍骨+盲板系統(tǒng)，用于高級(jí)別無(wú)塵室 鋁合金龍骨表面經(jīng)陽(yáng)極化處理 潔凈室的構(gòu)造 22 2.空調(diào)系統(tǒng) 控制潔凈車間溫濕度、潔凈度及壓力的系統(tǒng)。室外空氣經(jīng)過(guò)空調(diào)器處理后， 由風(fēng)機(jī)經(jīng)風(fēng)管 送入各個(gè)房間。 MAU（新風(fēng)機(jī)組）+FFU（風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元）+（干盤管） 潔凈室的構(gòu)造 靜壓箱 生產(chǎn)層 下技術(shù)夾層 潔凈室 風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元 干盤管 回風(fēng)井道 23 .隔墻板：雙層凈化板 特點(diǎn)功能： 采用優(yōu)質(zhì)鋼板及特殊層鋼板，內(nèi)夾高密度聚氨酯。 優(yōu)點(diǎn)：節(jié)能、環(huán)保、經(jīng)濟(jì)美觀保溫、隔熱性能好；整體剛性好，承載力高； 連接合理簡(jiǎn)便，施工費(fèi)用低 常用

13、材料為：彩鋼夾芯板 按照夾芯材料的不同分為： a.巖棉夾芯板：防火性能佳 b.聚苯乙烯夾芯板：經(jīng)濟(jì) c.蜂巢板（鋁蜂巢、紙蜂巢及陶瓷蜂巢）：強(qiáng)度好 潔凈室的構(gòu)造 24 4.地板：環(huán)氧樹脂、PVC地面 優(yōu)點(diǎn)：附著力強(qiáng)、無(wú)縫、防塵、防潮、耐油污、韌性好、強(qiáng)度高、耐磨、 耐化學(xué)腐蝕、耐化學(xué)品液、易清潔、保養(yǎng)容易、達(dá)鏡面效果。 地板類型 環(huán)氧自流平EPOXY PVC地磚 高架地板 a.沖孔板：開孔率17%25% b.隔柵板板：40%50% c.盲板：不開孔 潔凈室的構(gòu)造 25 5.照明： 主要作用是使工作活動(dòng)清晰可見，從而形成安全、舒適、有 效的工作條件 包含：普通照明、黃光燈、應(yīng)急照明等 潔凈室的構(gòu)

14、造 照度（illumination）：光照強(qiáng)度的簡(jiǎn)稱，是一種物理術(shù)語(yǔ)，指單位面積上 所接受可見光的能量，是關(guān)于照明量的指標(biāo)，單位勒克斯（Lux或Lx）。可通過(guò) 照度計(jì)來(lái)測(cè)量。 眩光 （glare）：是指視野中由于不適宜亮度分布，或在空間或時(shí)間上存在 極端的亮度對(duì)比，以致引起視覺不舒適和降低物體可見度的視覺條件，是關(guān)于 照明質(zhì)量的指標(biāo)。 26 由潔凈室的定義可知，潔凈室的主要控制參數(shù)有以下幾種，即： 潔凈室的主要控制參數(shù) 潔凈 室 潔凈 度 溫度 濕度 壓力 靜電氣流 噪音 振動(dòng) 照度 27 1.潔凈度 潔凈度指潔凈空氣中空氣含塵（包括微生物）量多少的程度，單位為pc/m3。 我們一般用潔凈度來(lái)

15、衡量潔凈室的空氣質(zhì)量，同時(shí)，潔凈度也是潔凈室潔 凈等級(jí)劃分的依據(jù)。 潔凈室的主要控制參數(shù) 塵埃粒子直徑示意圖 28 潔凈室塵埃粒子的來(lái)源潔凈室塵埃粒子的來(lái)源 潔凈室的主要控制參數(shù) 29 潔凈室塵埃粒子的去除 塵埃粒子的去除是靠過(guò)濾器多級(jí)過(guò)濾實(shí)現(xiàn)的，而決定無(wú)塵室潔凈度大小的 是末端過(guò)濾器，末端過(guò)濾器過(guò)濾等級(jí)越高（Hepa、Ulpa），滿布比越大，無(wú)塵 室的潔凈等級(jí)也就越大，反之亦然。其他低級(jí)別過(guò)濾器的設(shè)置主要是為了保證 和延長(zhǎng)末端過(guò)濾器的使用壽命。 潔凈室的主要控制參數(shù) 30 不同級(jí)別過(guò)濾器過(guò)濾效率、過(guò)濾粒徑及初阻力的對(duì)比不同級(jí)別過(guò)濾器過(guò)濾效率、過(guò)濾粒徑及初阻力的對(duì)比 潔凈室的主要控制參數(shù) 過(guò)濾

16、器級(jí)別過(guò)濾器級(jí)別過(guò)濾粒徑過(guò)濾粒徑效率效率（效率效率（%）初阻力初阻力Pa 初效過(guò)濾器對(duì)5um微粒子80E2050 中效過(guò)濾器對(duì)1um微粒子70E2080 高中效過(guò)濾器對(duì)1um微粒子99E70100 亞高效過(guò)濾器對(duì)0.5um微粒子E95120 高效過(guò)濾器對(duì)0.5um微粒子E99.99220 超高效過(guò)濾器對(duì)0.1um微粒子E99.999280 31 空氣過(guò)濾器過(guò)濾級(jí)別比較 潔凈室的主要控制參數(shù) 32 2.溫度、濕度 潔凈室的溫、濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定 的，在滿足工藝要求的條件下，還應(yīng)滿足人員的 舒適感。 溫度溫度對(duì)生產(chǎn)工藝的影響，主要是從產(chǎn)品精度和 合格率來(lái)考慮的。 潔凈室的主要控制參數(shù) 濕

17、度濕度的影響很多，如： a.濕度過(guò)高，冷卻水管壁上容易結(jié)露，水滴會(huì)引起各類事故 b.濕度過(guò)高，物體表面灰塵難以清除 c.濕度低于30%，靜電力作用使粒子吸附在物體表面，還會(huì)是半導(dǎo)體器件 發(fā)生擊穿。 無(wú)塵室熱量來(lái)源 33 1）溫度控制原理 a.升溫：常用空氣加熱器或電加熱器處理空氣， 在處理過(guò)程中，空氣的溫度增加，但含濕量沒(méi)有發(fā) 生變化，又稱為干式加或等濕加熱熱。 b.降溫 干式冷卻：用表面溫度低于空氣溫度卻又高于 空氣露點(diǎn)溫度的空氣冷卻器來(lái)處理空氣的過(guò)程。處 理過(guò)程中不產(chǎn)生冷凝水，常用DCC（干盤管）來(lái)實(shí)現(xiàn) 這一過(guò)程 減濕冷卻：用溫度低于空氣露點(diǎn)溫度的空氣冷 卻器來(lái)處理空氣的過(guò)程，空氣中的水蒸

18、氣凝結(jié)為水， 溫度降低的同時(shí)相對(duì)濕度升高，絕對(duì)濕度降低 潔凈室的主要控制參數(shù) 34 2）濕度控制原理 a.除濕 處理過(guò)程見“減濕冷卻” b.加濕 潔凈室的主要控制參數(shù) 等焓加濕：利用噴水室噴循環(huán)水處理空 氣時(shí)，水吸收空氣的熱量蒸發(fā)成水蒸氣進(jìn)入空 氣，使空氣失去顯熱的同時(shí)，增加了潛熱，焓 值基本保持不變，近似與等焓過(guò)程。我們公司 采用此種加濕方式 35 潔凈室的主要控制參數(shù) 等溫加濕：通過(guò)向空氣中噴蒸汽來(lái)實(shí)現(xiàn)?？諝庵性黾诱羝箪手岛秃瑵?量均有增加。當(dāng)蒸汽溫度為100 時(shí)，近似等溫。 36 潔凈室的主要控制參數(shù) 靜壓箱 生產(chǎn)層 下技術(shù)夾層 潔凈室 風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元 干盤管 回風(fēng)井道 溫濕度及潔凈度控

19、制示意圖溫濕度及潔凈度控制示意圖 37 3.壓力 對(duì)于大部分潔凈室，為了防止外界污染的侵入，需保持室內(nèi)壓力（靜壓） 高于外部的壓力（靜壓），壓力的維持一般應(yīng)符合以下原則： 潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力 潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈級(jí)別低的空間的壓力 相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級(jí)別高的房間 潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范規(guī)定： 不同等級(jí)的潔凈室以及潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的降壓差，應(yīng)不小于4.9Pa。 潔凈區(qū)與室外的靜壓差，應(yīng)不小于9.8Pa 潔凈室的主要控制參數(shù) 38 4.靜電 1）靜電的危害： 產(chǎn)生的電磁場(chǎng)能擊穿電子和微電子產(chǎn)品，造成廢品 靜電放電產(chǎn)生電磁波會(huì)引起電子儀器的誤動(dòng)作，產(chǎn)生

20、火花會(huì)使感光材 料曝光 靜電聚集放電會(huì)誘發(fā)火災(zāi)和爆炸，影響潔凈室安全 2）靜電的產(chǎn)生原因：接觸帶電、感應(yīng)帶電、流動(dòng)帶電、電暈帶電 潔凈室的主要控制參數(shù) 39 3）靜的消除 潔凈室維護(hù)防靜電：即用高導(dǎo)電率材料來(lái)建造潔凈室的維護(hù)（墻、頂、 地） 地面要采用由電阻值為104106導(dǎo)靜電材料或電阻值為106109抗靜電材料制 作，并由良好的接地 墻和頂要采用表面電阻值為106109鋁蜂窩或巖棉彩鋼板等金屬材料制作， 并有良好接地 人員防靜電：潔凈室作業(yè)人員要穿防靜電的而潔凈工作服，在衣織中加 入金屬纖維、碳素纖維等導(dǎo)電材料。必要時(shí)，在手腕上配帶接地腕環(huán) 若生產(chǎn)工藝允許還可以通過(guò)提高潔凈室相對(duì)濕度的辦法

21、來(lái)消除靜電 潔凈室的主要控制參數(shù) 40 5.氣流 1）氣流的重要性 潔凈室的潔凈度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機(jī)器間隔、建筑結(jié) 構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃之移動(dòng)、擴(kuò)散受到氣流的支配。這些塵埃一旦擴(kuò)散，即無(wú)法 保持潔凈空間，因此，必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。 2）氣流的控制 潔凈室氣流的控制主要從兩個(gè)方面來(lái)實(shí)現(xiàn)，即 a.氣流速度：風(fēng)速越高氣流的抗干擾的能力越強(qiáng)，但是，由于流速提高， 運(yùn)行成本也隨之提高，所以從經(jīng)濟(jì)性和適用性兩方面考量，氣流速度一般取 0.250.5之間 潔凈室的主要控制參數(shù) 41 b.氣流均一性 若氣流均一性無(wú)法保持，則表示風(fēng)速有異，特別是在壁面，氣流會(huì)沿著壁 面發(fā)生渦流作

22、用，很難實(shí)現(xiàn)潔凈度的控制。 3）影響因素 潔凈室的影響因素很多，如制程設(shè)備、人員、潔凈室組裝材料、照明器具 等，同時(shí)對(duì)于生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點(diǎn)，亦應(yīng)列入考慮因素。 潔凈室的主要控制參數(shù) 42 1.風(fēng)淋室、貨淋室 是安裝于潔凈室與非潔凈室之間的局部?jī)?化設(shè)備。其吹出的潔凈空氣可去除人與貨物所 攜帶的塵埃，能有效的阻斷或減少塵源進(jìn)入潔 凈區(qū)。風(fēng)淋室/貨淋室的前后兩道門為電子互 鎖，又可起到氣閘的作用，阻止未凈化的空氣 進(jìn)入潔凈區(qū)域。 潔凈室的主要設(shè)備介紹 43 2.傳遞窗 傳遞窗主要適用于潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間，或潔凈室與潔凈室之間的 小貨物傳遞，可有效的減少潔凈室門的開啟次數(shù)，把潔凈區(qū)的污染減少

23、的 最低程度。 潔凈室的主要設(shè)備介紹 。 傳遞窗的兩扇門采用電控連鎖或機(jī)械連鎖 裝置，可有效的防止低潔凈 等級(jí)區(qū)內(nèi)的灰塵帶 入高潔凈區(qū)內(nèi)，是凈化車間必備佳品。 44 4.潔凈工作臺(tái) 潔凈工作臺(tái)可以在操作臺(tái)的局部空間形成無(wú)菌、無(wú)塵的局部?jī)艋渲饕?組成部件有預(yù)過(guò)濾器、高效過(guò)濾器、風(fēng)機(jī)機(jī)組、外殼、靜壓箱、臺(tái)面和配套 的電器元器件等。 潔凈室的主要設(shè)備介紹 45 4.FFU風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元 FFU為Fan Filter Units英文縮寫, 中文意思為“風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元（機(jī)組）”。也就 是將風(fēng)機(jī)和過(guò)濾器（高效過(guò)濾器（HEPA）或超高效過(guò)濾器（ULPA）組合在一 起的一種自帶動(dòng)力、具有過(guò)濾功效的模塊化的末端送風(fēng)裝置，是無(wú)塵室parti